一种安装工具的制作方法

本技术涉及半导体，特别涉及一种安装工具。

背景技术：

1、目前，在半导体工艺中，为了保证刻蚀机台的密封性，通常在刻蚀机台内的密封反应腔的内部侧壁上设置有密封圈。具体的，在刻蚀机台的维护保养过程中，需要定时对密封反应腔的内部侧壁上的密封圈进行定时更换以及保养，以避免密封圈的老化问题。然而，在现有技术中，一般密封反应腔腔体侧壁的密封圈是属于刻蚀机台维护工艺中的最难按的一条，如果不借用外部工具的话，势必造成密封圈安装效率低下、操作人员费力费时，以及按多时对操作人员的手造成气泡等伤害的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种安装工具，以在将密封圈辅安装在刻蚀机台的腔体侧壁上时，提供一种基于螺旋力矩可分解部分应力的作用原理的辅助安装工具，进而解决现有技术中在不借用外部工具的话，势必造成密封圈安装效率低下、操作人员费力费时，以及按多时对操作人员的手造成气泡等伤害的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种安装工具，具体可以用于将密封圈安装在刻蚀机台的腔体侧壁上，具体的，本所述实用新型所提供的安装工具可以包括：芯轴(1)、旋转把手(2)和推筒(3)；其中，所述芯轴(1)可以包括位于前轴段的螺栓柱(11)和位于后轴段的手柄(12)，所述螺栓柱(11)和所述手柄(12)固定连接，所述螺栓柱(11)的外壁设置有螺纹(111)；所述旋转把手(2)可以包括固定杆(21)和与所述螺栓柱(11)套接在一起可水平移动的锁紧螺母(22)，所述推筒(3)滑动套接在所述螺栓柱(11)上并与所述锁紧螺母(22)相邻，以实现通过所述固定杆(21)带动与其固定连接的锁紧螺母(22)以及所述螺栓柱(11)沿着所述芯轴(1)的轴心方向水平移动。

3、进一步的，所述螺栓柱(11)的外直径与所述锁紧螺母(22)的内直径需要相同，以使所述螺栓柱(11)与所述锁紧螺母(22)可以通过螺纹配合的方式相滑动连接。

4、进一步的，所述推筒(3)可以为中间为空且其两端均为开口的筒状结构。

5、更进一步的，所述推筒(3)还可以为中间为空且远离所述锁紧螺母(22)的一端为开口的筒状结构。

6、进一步的，所述推筒(3)的内直径需要不小于所述螺母(22)的内直径。

7、进一步的，所述推筒(3)的材料可以包括树脂或特氟纶。

8、进一步的，所述推筒(3)可以沿所述芯轴(1)的轴心方向上的长度不小于所述螺栓柱(11)的长度。

9、进一步的，所述螺栓柱(11)和所述手柄(12)可以一体成型；和/或，所述固定杆(21)与所述锁紧螺母(22)可以一体成型。

10、进一步的，所述手柄(12)可以为圆柱体手柄，而所述圆柱体手柄的外直径需要不小于所述螺栓柱(11)的外直径。

11、进一步的，所述密封圈的材质可以示例性的为橡胶。

12、与现有技术相比，本实用新型至少具有如下技术效果：

13、在本实用新型提供了一种安装工具中，其是针对现有的需要安装在刻蚀机台反应腔的内壁上的密封圈，为其设计了一款利用螺旋力矩可分解部分应力的作用原理的辅助安装工具。由于在本实用新型中，可以通过操作人员一手抓住所述手柄，一手旋转所述旋转把手，进而实现通过所述旋转把手带动所述推筒向外滑动，进而延长所述安装工具的长度，进而实现根据刻蚀机台的反应腔腔体侧壁的特殊性，借助刻蚀机台本身，利用螺旋力矩可以分解垂直向下的力的原理，轻松实现将密封圈安装在所述反应腔腔体的侧壁上的目的。

技术特征：

1.一种安装工具，其特征在于，用于辅助将密封圈安装在刻蚀机台的腔体侧壁上，所述安装工具包括：芯轴(1)、旋转把手(2)和推筒(3)；所述芯轴(1)包括位于前轴段的螺栓柱(11)和位于后轴段的手柄(12)，所述螺栓柱(11)和所述手柄(12)固定连接，所述螺栓柱(11)的外壁设置有螺纹(111)；所述旋转把手(2)包括固定杆(21)和与所述螺栓柱(11)套接在一起可水平移动的锁紧螺母(22)，所述推筒(3)滑动套接在所述螺栓柱(11)上并与所述锁紧螺母(22)相邻，以实现通过所述固定杆(21)带动与其固定连接的锁紧螺母(22)以及所述螺栓柱(11)沿着所述芯轴(1)的轴心方向水平移动。

2.如权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述螺栓柱(11)的外直径与所述锁紧螺母(22)的内直径相同，以使所述螺栓柱(11)与所述锁紧螺母(22)通过螺纹配合的方式相滑动连接。

3.如权利要求2所述的安装工具，其特征在于，所述推筒(3)为中间为空且两端均为开口的筒状结构。

4.如权利要求2所述的安装工具，其特征在于，所述推筒(3)为中间为空且远离所述锁紧螺母(22)的一端为开口的筒状结构。

5.如权利要求3或4所述的安装工具，其特征在于，所述推筒(3)的内直径不小于所述螺母(22)的内直径。

6.如权利要求3所述的安装工具，其特征在于，所述推筒(3)的材料包括树脂或特氟纶。

7.如权利要求2所述的安装工具，其特征在于，所述推筒(3)沿所述芯轴(1)的轴心方向上的长度不小于所述螺栓柱(11)的长度。

8.如权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述螺栓柱(11)和所述手柄(12)一体成型；和/或，所述固定杆(21)与所述锁紧螺母(22)一体成型。

9.如权利要求8所述的安装工具，其特征在于，所述手柄(12)为圆柱体手柄，所述圆柱体手柄的外直径不小于所述螺栓柱(11)的外直径。

10.如权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述密封圈的材质包括橡胶。

技术总结
本技术提供了一种安装工具，应用于半导体技术领域。具体的，在本技术提供了一种安装工具中，其是针对现有的需要安装在刻蚀机台反应腔的内壁上的密封圈，为其设计了一款利用螺旋力矩可分解部分应力的作用原理的辅助安装工具的辅助安装工具。由于在本技术中，可以通过操作人员一手抓住所述手柄，一手旋转所述旋转把手，进而实现通过所述旋转把手带动所述推筒向外滑动，进而延长所述安装工具的长度，进而实现根据刻蚀机台的反应腔腔体侧壁的特殊性，借助刻蚀机台本身，利用螺旋力矩可以分解垂直向下的力的原理，轻松实现将密封圈安装在所述反应腔腔体的侧壁上的目的。

技术研发人员：李锦锋,庄树举,刘志攀
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20221208
技术公布日：2024/1/13