可多自由度调节的位移台的制作方法

本发明涉及精密平台相关，特别是涉及一种可多自由度调节的位移台。

背景技术：

1、由于半导体行业不断发展，对精密加工工艺及精密设备提出更高的精度及效率要求。同时针对视觉检测设备要求检测精度更高，结构空间更加紧凑；尤其针对半导体晶圆检测行业，针对晶圆上缺陷检测能力要求更高。针对此类高精度晶圆检测设备，行业中需求量逐年增加。由于晶圆检测的特殊性，检测过程中需调节晶圆的表面高度及水平位置。

2、相关技术中通过将用于放置晶圆的载台通过多个驱动件与底座相连接，载台与驱动件铰接，驱动件与底座直线滑动连接，当驱动件沿着底座做水平方向上的直线移动时，驱动件能驱动与载台连接的位置做垂直移动，从而实现对载台的高度及水平位置进行调节。但是，相关技术中的驱动件与底座之间具有机械摩擦，导致位移台具有定位精度及稳定性较差，以及使用寿命短的缺陷。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对相关技术中的位移台具有定位精度及稳定性差、寿命短的技术问题，提供一种可多自由度调节的位移台。

2、一种可多自由度调节的位移台，所述可多自由度调节的位移台包括：

3、底座；

4、多个导轨机构，间隔地设于所述底座上，各所述导轨机构包括固定组件和移动组件，所述固定组件固定连接于所述底座，，所述固定组件与所述移动组件能够相互限位；

5、载台，与各所述导轨机构中的移动组件可转动连接；

6、驱动组件，所述驱动组件的驱动端连接于所述移动组件，以驱动所述移动组件相对所述固定组件移动，以实现所述载台的多自由度调节；

7、其中，所述移动组件能够被气浮于所述固定组件上，以使所述移动组件相对所述固定组件移动时，所述移动组件和所述固定组件之间无摩擦。

8、在其中一个实施例中，所述移动组件包括：

9、第一移动组件，与所述固定组件滑动连接，所述第一移动组件能够相对所述固定组件沿着第一方向移动；

10、第二移动组件，与所述第一移动组件滑动连接，并与所述第一移动组件联动，所述第二移动组件能够相对所述第一移动组件沿着第二方向移动，所述第二移动组件与所述载台可转动连接；

11、其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。

12、在其中一个实施例中，所述固定组件包括固定连接于所述底座的直线轴承，所述直线轴承沿着所述第一方向延伸；所述第一移动组件配置有导向滑槽，所述导向滑槽与所述直线轴承导向配合，气浮气体能够流入至所述导向滑槽的槽壁与所述直线轴承之间，并在所述导向滑槽的槽壁与所述直线轴承之间形成气膜间隙，以使所述第一移动组件相对所述直线轴承向远离所述直线轴承的方向浮起。

13、在其中一个实施例中，所述第一移动组件包括：

14、楔形导轨，包括相对设置的第一面和第二面，所述第一面与所述直线轴承相对设置，所述第二面被构造为斜面，所述第一面与所述第二面之间的距离沿着所述第一方向逐渐减小；

15、间隔设置的两个侧板，所述楔形导轨设置与两个所述侧板之间，并与两个所述侧板固定连接，两个所述侧板的侧面与所述第一面之间围合限定出所述导向滑槽；

16、其中，第二移动组件与所述第二面相配合，所述楔形导轨相对所述直线轴承沿着所述第一方向移动，所述第二面推动所述第二移动组件沿着所述第二方向移动。

17、在其中一个实施例中，所述第二移动组件包括：

18、楔形轴承，所述楔形轴承包括楔形面，所述楔形面与所述第二面相贴合；

19、轴承座，固定连接于所述楔形轴承背离所述楔形面的侧面上；

20、球铰轴承，与所述轴承座转动连接，所述球铰轴承与所述载台固定连接；

21、其中，所述楔形导轨相对所述直线轴承沿着所述第一方向移动时，所述楔形轴承在所述第二面的作用下沿着所述第二方向移动，以使所述球铰轴承相对所述轴承座转动。

22、在其中一个实施例中，所述第二移动组件还包括：

23、第一吸附件，固定连接于所述楔形轴承的楔形面；

24、其中，所述楔形导轨的第二面上设置有容纳槽，所述第一吸附件滑设于所述容纳槽内，所述第一吸附件能够与所述楔形导轨之间产生吸附力，以显示所述楔形轴承相对所述楔形导轨移动。

25、在其中一个实施例中，所述位移台还包括：

26、磁平衡定子，固定连接于所述底座；

27、磁平衡动子，固定连接于其中一个所述侧板，并与所述磁平衡定子相配合，所述磁平衡动子能够沿着所述第一方向为所述侧板提供推力，所述推力与所述第二移动组件施加在所述楔形导轨上的重力沿着所述第一方向的分力的方向相反。

28、在其中一个实施例中，所述固定组件还包括：

29、节流板，盖设于所述直线轴承上；

30、多个第一节流器，设于所述节流板上；

31、第一气动接头，设于所述直线轴承的一端，用于与气源相连接；

32、其中，所述直线轴承上设置有第一气道，所述第一气道与所述第一气动接头相连通，并与所述第一节流器相连通，以使所述气浮气体从所述第一节流器流向所述导向滑槽与所述直线轴承之间的间隙内。

33、在其中一个实施例中，所述移动组件包括：

34、进气板，固定连接于所述第二移动组件，所述进气板上设置有第二气道；

35、第二气动接头，连接于所述进气板，并与所述第二气道相连通，所述第二气动接头还与气源相连接；

36、气浮气体能够通过所述第二气动接头流入所述第二气道内，并自所述第二气道流至所述第一移动组件和所述第二移动组件之间，以在所述第一移动组件和所述第二移动组件之间产生气膜间隙。

37、在其中一个实施例中，所述多自由度调节的位移台还包括：

38、至少一个第二吸附件，固定连接于所述底座上，所述第二吸附件能够与所述移动组件产生吸附力，以限制所述移动组件相对所述底座移动。

39、本发明的有益效果：

40、本发明提供了一种可多自由度调节的位移台，其中，底座用于支撑并连接导轨机构和载台。将导轨机构中的固定组件与底座固定连接，将移动组件与固定组件滑动连接，载台与移动组件可转动连接，当驱动组件驱动移动组件相对固定组件移动时，可改变载台的角度或者位置的调节。而通过在底座上设置多个相间隔的导轨机构，以使得通过移动不同的导轨机构中的移动组件来实现载台的多自由度的调节。而通过将移动组件设置成能够被气浮在固定组件上，以使得移动组件相对固定组件移动时，移动组件和固定组件之间不会产生摩擦，从而使得位移台的位移调节精度更高、稳定性更好，而且还能延长移动台的使用寿命。

技术特征：

1.一种可多自由度调节的位移台，其特征在于，所述可多自由度调节的位移台包括：

2.根据权利要求1所述的可多自由度调节的位移台，其特征在于，所述移动组件包括：

3.根据权利要求2所述的可多自由度调节的位移台，其特征在于，所述固定组件包括固定连接于所述底座的直线轴承，所述直线轴承沿着所述第一方向延伸；所述第一移动组件配置有导向滑槽，所述导向滑槽与所述直线轴承导向配合，气浮气体能够流入至所述导向滑槽的槽壁与所述直线轴承之间，并在所述导向滑槽的槽壁与所述直线轴承之间形成气膜间隙，以使所述第一移动组件相对所述直线轴承向远离所述直线轴承的方向浮起。

4.根据权利要求3所述的可多自由度调节的位移台，其特征在于，所述第一移动组件包括：

5.根据权利要求4所述的可多自由度调节的位移台，其特征在于，所述第二移动组件包括：

6.根据权利要求5所述的可多自由度调节的位移台，其特征在于，所述第二移动组件还包括：

7.根据权利要求4所述的可多自由度调节的位移台，其特征在于，所述位移台还包括：

8.根据权利要求3所述的可多自由度调节的位移台，其特征在于，所述固定组件还包括：

9.根据权利要求2所述的可多自由度调节的位移台，其特征在于，所述移动组件包括：

10.根据权利要求1-8中任意一项所述的可多自由度调节的位移台，其特征在于，所述位移台还包括：

技术总结
本发明涉及一种可多自由度调节的位移台，可多自由度调节的位移台包括底座、多个导轨机构、载台及驱动组件，多个导轨机构间隔地设于底座上，各导轨机构包括固定组件和移动组件，固定组件固定连接于底座，移动组件与固定组件滑动连接；载台与各导轨机构中的移动组件可转动连接；驱动组件连接于移动组件，以驱动移动组件相对固定组件移动，以实现载台的多自由度调节；其中，移动组件能够被气浮于固定组件上，以使移动组件相对固定组件移动时，移动组件和固定组件之间无摩擦。通过将移动组件设置成能够被气浮在固定组件上，以使得移动组件相对固定组件移动时，移动组件和固定组件之间不会产生摩擦，从而使得位移台的位移调节精度更高、稳定性更好。

技术研发人员：文明,江敏,于久宝,王正根,陈万群
受保护的技术使用者：迈为技术（珠海）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11