一种基于柔性平行四边形机构的具有远程转动中心的平行对准平台的制作方法_3

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于单杠杆放大机构,设计的双杠杆放大机构具有更高的输出刚度,因此在 驱动柔性对称双平行四边形机构时可以获得更大的位移输出。
[0048] ⑤柔性对称双平行四边形机构和双杠杆放大机构均采用对称式构型设计,避免了 由于温度变化等因素带来的误差,提高了机构整体的定位精度。
[0049] ⑥运动传递机构通过柔性元件的变形来实现运动的输出,避免了传统刚体机构带 来的间隙、摩擦和对润滑的需求,进一步保证平行对准平台的对准精度。
【附图说明】
[0050] 图1是本发明基于柔性平行四边形机构的具有远程转动中心的平行对准平台的 正视结构图。
[0051] 图IA是本发明基于柔性平行四边形机构的具有远程转动中心的平行对准平台的 仰视结构图。
[0052] 图IB是本发明基于柔性平行四边形机构的具有远程转动中心的平行对准平台的 立体图。
[0053] 图IC是本发明运动传递机构、压电陶瓷、垫片之间的装配结构图。
[0054] 图ID是本发明平台垫板、运动传递机构、压电陶瓷、垫片之间的装配结构图。
[0055] 图IE是本发明基于柔性平行四边形机构的具有远程转动中心的平行对准平台的 分解图。
[0056] 图2是本发明平台垫板的结构图。
[0057] 图3A是本发明第一支架的结构图。
[0058] 图3B是本发明第二支架的结构图。
[0059] 图3C是本发明第三支架的结构图。
[0060] 图4是本发明运动传递机构的正视结构图。
[0061] 图4A是A本发明运动传递机构的正视灰度结构图。
[0062] 图4B是在本发明运动传递机构的正视角度下的变形点的标注图。
[0063] 图5A是本发明基于柔性平行四边形机构的具有远程转动中心的平行对准平台的 的运动示意图。
[0064] 图5B是本发明基于柔性平行四边形机构的具有远程转动中心的平行对准平台的 双杠杆放大机构的运动传递的运动示意图。
[0065] 图5C是本发明基于柔性平行四边形机构的具有远程转动中心的平行对准平台的 导向机构的运动传递的运动示意图。
[0066]
【主权项】
1. ー种基于柔性平行四边形机构的具有远程转动中心的平行对准平台,其特征在子: 该平行对准平台包括有基座(1)、预紧螺钉(2)、运动传递机构(3)、盖板(4)、压电陶瓷驱动 器(5)、A垫片(6A)、B垫片(6B)、平台垫板(7)、第一支架(2A)、第二支架(2B)、第三支架 (2C)和电容传感器(8A、8B、8C);平台垫板(7)位于运动传递机构(3)与基座(1)之间,且 凸块(7C)置于运动传递机构(3)的第八切缝(3H)中;平台垫板(7)用于支撑起压电陶瓷 (5)、A垫片(6A)和B垫片(6B); 基座⑴上设有AA螺纹孔(1A),A螺钉(9A)穿过A支架(2A)上的通孔后螺纹连接在AA螺纹孔(IA)中; 基座(1)上设有AB螺纹孔(IB),B螺钉(9B)穿过B支架(2B)上的通孔后螺纹连接在AB螺纹孔(IB)中; 基座(1)上设有AC螺纹孔(1C),F螺钉(9F1)顺次穿过运动传递机构(3)上的BA通 孔(37A)、平台垫板(7)上的DA通孔(7E)后,螺纹连接在AC螺纹孔(1C)内; 基座(1)上设有AD螺纹孔(ID),G螺钉(9F2)顺次穿过运动传递机构(3)上的耶通 孔(37B)、平台垫板(7)上的DB通孔(7F)后,螺纹连接在AD螺纹孔(ID)内; 基座(1)上设有AE螺纹孔(IE),H螺钉(9F3)顺次穿过运动传递机构(3)上的AA通 孔(36A)、平台垫板(7)上的DE通孔(71)后,螺纹连接在AE螺纹孔(IE)内; 基座(1)上设有AF螺纹孔(IF),I螺钉(9F4)顺次穿过运动传递机构(3)上的AB通 孔(36B)、平台垫板(7)上的DF通孔(7J)后,螺纹连接在AF螺纹孔(IF)内; 基座⑴上设有AG螺纹孔(IG),J螺钉(9G1)顺次穿过盖板⑷上的CA通孔(4C)、 运动传递机构(3)上的BC通孔(37C)、平台垫板(7)上的DC通孔(7G)后,螺纹连接在AG 螺纹孔(IG)内; 基座(1)上设有AH螺纹孔(IH),K螺钉(9G2)顺次穿过盖板⑷上的CB通孔(4D)、 运动传递机构(3)上的AC通孔(36C)、平台垫板(7)上的DG通孔(7K)后,螺纹连接在AH 螺纹孔(1?内; 基座(1)上设有AI螺纹孔(II),L螺钉(9G3)顺次穿过盖板⑷上的CC通孔(4E)、 运动传递机构(3)上的BD通孔(37D)、平台垫板(7)上的DD通孔(7H)后,螺纹连接在AI 螺纹孔(II)内; 预紧螺钉(2)螺纹连接在盖板(4)的B螺纹孔(4A)中,且预紧螺钉(2)的端部与B垫 片(6B)接触; 第一支架(2A)上设有A通孔(2A1)、B通孔(2A2)和D螺纹孔(2A3);该A通孔(2A1) 用于安装A电容传感器(8A);该B通孔(2A2)用于A螺钉(9A)穿过;该D螺纹孔(2A3)用 于A销钉(2A4)穿过,穿过后的A销钉(2A4)顶紧A电容传感器(8A); 第二支架(2B)上设有C通孔(2B1)、D通孔(2B2)和E螺纹孔(2B3);该C通孔(2B1) 用于安装B电容传感器(8B);该D通孔(2B2)用于B螺钉(9B)穿过;该E螺纹孔(2B3)用 于B销钉(2B4)穿过,穿过后的B销钉(2B4)顶紧B电容传感器(8B); 第三支架(2C)上设有E通孔(2C1)、F通孔(2C2)和F螺纹孔(2C3);该E通孔(2C1) 用于安装C电容传感器(8C);该F通孔(2C2)用于C螺钉(9C)穿过;该F螺纹孔(2C3)用 于C销钉(2C4)穿过,穿过后的C销钉(2C4)顶紧C电容传感器(8C); 第四支架(2D)为L形结构,第四支架(2D)通过D螺钉(9D)固定在运动传递机构(3) 的第四刚性梁(38D)上,即D螺钉(9D)螺纹连接在A螺纹孔(38D1)中;第四支架(2D)的 立板面(2D1)与C电容传感器(8C)的敏感端平行; 盖板⑷上设有B螺纹孔(4A)、下凹槽(4B)、CA通孔(4C)、CB通孔(4D)、CC通孔(4E) 和C螺纹孔(4F) ;B螺纹孔(4A)用于螺纹连接预紧螺钉(2) ;CA通孔(4C)用于J螺钉(9G1) 穿过、CB通孔(4D)用于K螺钉(9G2)穿过、CC通孔(4E)用于L螺钉(9G3)穿过;C螺纹孔 (4F)用于螺纹连接C螺钉(9C); 平台垫板(7)上设有A定位块(7A)、B定位块(7B)、凸块(7C)和上凹槽(7D) ;A定位 块(7A)上设有DE通孔(71)、DF通孔(7J)、DG通孔(7K),DE通孔(71)用于H螺钉(9F3) 穿过、DF通孔(7J)用于I螺钉穿过(9F4)、DG通孔(7K)用于K螺钉(9G2)穿过;B定位块 (7B)上设有DA通孔(7E)、DB通孔(7F)、DC通孔(7G)、DD通孔(7H),DA通孔(7E)用于F 螺钉(9F1)穿过、DB通孔(7F)用于G螺钉(9F2)穿过、DC通孔(7G)用于J螺钉(9G1)穿 过、DD通孔(7H)用于L螺钉(9G3)穿过;凸块(7C)用于放置压电陶瓷(5)、A垫片(6A)和 B垫片(6B); 两个垫片(6A、6B)置于压电陶瓷驱动器(5)的一端与第二固定板(37)的凸起(37E) 之间,压电陶瓷驱动器(5)的另一端位于第四刚性梁(38D)处; 运动传递机构(3)上切割有第一切缝(3A)、第二切缝(3B)、第三切缝(3C)、第四切缝 (3D)、第五切缝(3E)、第六切缝(3F)、第七切缝(3G)、第八切缝(3H)和第九切缝(31);运动 传递机构(3)上设有输出板(31)、第一限位板(32)、第二限位板(33)、第三限位板(34)、第 四限位板(35)、第一固定板(36)、第二固定板(37)、第一刚性梁(38A)、第二刚性梁(38B)、 第三刚性梁(38C)、第四刚性梁(38D)、第五刚性梁(38E)、第六刚性梁(38F)、第一柔性梁 (39A)、第二柔性梁(39B)、第三柔性梁(39C)、第四柔性梁(39D)、第五柔性梁(39E)、第六柔 性梁(39F)、第七柔性梁(39G)、第八柔性梁(39H)、第九柔性梁(391)、第十柔性梁(39J)、第 i^一柔性梁(39K)、第十二柔性梁(39L)、第十三柔性梁(39M)、第十四柔性梁(39N)、第十五 柔性梁(390)、第十六柔性梁(39P)和第十七柔性梁(39Q); 第一切缝(3A)位于运动传递机构(3)的左上部; 第二切缝(3B)位于运动传递机构(3)的右上部;第一切缝(3A)和第二切缝(3B)为运 动传递机构(3)的上部开ロ; 第三切缝(3C)位于运动传递机构(3)的左下部; 第四切缝(3D)位于运动传递机构(3)的右下部;第三切缝(3C)和第四切缝(3D)为运 动传递机构(3)的下部开ロ; 第
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