专利名称：：用于分解碳氟化合物的方法及其所用的试剂和设备的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种用于有效地分解碳氟化合物，特别是带有约1-5个碳原子的全氟碳和氢氟碳的方法以及用于此目的的简单设备。日本未审专利出版物6-293501公开了一种用于分解氯氟碳的方法，它包括通过在一种施加器中施加微波而加热磁铁矿，然后将经过加热的磁铁矿与氯氟碳气体接触。此外，日本未审专利出版物7-24255公开了一种用于分解氯氟碳的方法，它包括用微波辐射由含碳物质和碱土金属氧化物或盐组成的混合物以产生热量，然后将该经过加热的混合物与氯氟碳气体接触。由于在上述出版物中公开的氯氟碳分解方法均采用微波，因此，它们的缺点在于需要昂贵的微波发生装置和反应器，从而受到对微波具有良好的透过性的耐热材料的限制。陶瓷是具有良好微波透过性的材料，但这些材料会与氟起反应从而使其质量下降。因此，氯氟碳的在工业上经济和稳定的分解是人们正在需要解决的一个问题。本申请人的日本未审专利出版物8-187302中提出了一种不采用微波来分解氯氟碳的技术，在该氯氟碳分解方法中，将氯氟碳气体与一种物质接触并反应，所说的物质含有一种含碳材料和一种碱土金属化合物，该物质在非氧化气氛中加热。这种在先申请的方法的优点在于可以采用具有电加热器的普通加热炉来分解氯氟碳，并且正如在相应的说明书中所说，象R-113那样的氯氟碳可以有效地被分解。不管怎样，后面的研究已经表明有多种碳氟化合物不能通过该在先申请的方法来分解，而且分解率不一定能满足不含氯基团的碳氟化合物，例如全氟碳和氢氟碳，这些物质在在先申请的说明书没有提到。因此，本发明的目的在于提供一种可以有效分解不含氯基团的碳氟化合物，例如全氟碳和氢氟碳。该目的可以通过在20％体积或更少(但不是0％)气体氧的存在下、在300℃或更高的温度、将全氟碳或氢氟碳气体与包括碳和至少一种碱土金属的试剂接触而实现。更进一步地说，已经发现通过将含有全氟碳或氢氟碳的处理气体连续或间断地送入用包括碳和至少一种碱土金属的试剂填充的反应器中，在反应之后将废气从该反应器中连续或间断地排出，在将处理气体导入反应之前将氧气包含在该处理气体中，从而使处理气体中氧气的浓度达到20％体积或更低，以及将全氟碳或氢氟碳分解所需要的热量从该反应器的外面传送到反应区中，或者从该反应器内部传送到反应区中，从而可有效地分解碳氟化合物气体。根据本发明的方法，在该废气中有时会同时存在CO气体。在这种情况下，可以增加一个将废气中的CO氧化成CO2的步骤。此外，对于本发明的方法来说，该反应器可以由像耐热合金或耐腐合金，如不锈钢或镍基合金那样的材料制成，并且如果陶瓷能耐氟和氟化氢，也可以采用陶瓷(其例子为有氟化铝制成的陶瓷)。可以将该反应器放在一种熔炉中，该熔炉可以在所需的温度下保持其内部气氛，从而将熔炉中的热量通过该反应器的壁转移到该反应器中的试剂中。本发明的另一个目的在于提供一种可以有效地分解碳氟化合物的方法，该碳氟化合物除了碳和氟以外还可以含有氢和/或更多的除氟以外的卤素，例如氯。因此，本发明还提供了一种用于分解碳氟化合物的方法，该方法包括在200℃或更高的温度下将气态碳氟化合物与包括碳、至少一种碱土金属和至少一种碱金属的试剂接触。可以将来自该分解的碳氟化合物的卤素成分以这样一种方式固定在所说的试剂上，即将由于该碳氟化合物的分解而由该碳氟化合物形成的卤素作为该试剂中碱土金属的卤化物以及任选地该试剂中的碱金属的卤化物而固定到该试剂上。本发明还提供了一种用于分解碳氟化合物的试剂，它包括至少一种碱土金属、碳和至少一种碱金属，其原子比为碱土金属∶碳∶碱金属＝1.0∶0.25-4.0∶0.01-0.3。优选地，该试剂中不少于50％重量的碱土金属和碱金属是氧化物。在本发明的这一个第二特征中，术语“碳氟化合物”是指除了碳和氟以外还可以含有氢和/或一种或多种除氟以外的卤素，例如氯的碳氟化合物。本发明还提供了一种碳氟化合物分解设备，作为用来适当地实施上述分解方法的设备，它包括用包括碳和至少一种碱土金属或包括碳、至少一种碱土金属和至少一种碱金属的试剂填充的反应器，导向该反应器的处理气体入口，用于从该反应器中排出反应气体的气体出口，容纳该反应器的熔炉，用于升高熔炉中气氛温度的加热源，将上述处理气体入口与含有碳氟化合物的气体源连接在一起的管道，以及如果需要还含有通过导向气体出口的管子而连接的废气氧化器。该反应器可以由耐热合金或耐腐合金制成。该含有碳氟化合物的气体源可以是含有中等数量的氧气的气体源，例如由半导体制造过程产生的含有碳氟化合物的气体。图1是设备安装系统图，表示用于实施本发明的方法的装置的实施方案。图2是设备安装系统图，表示用于实施本发明的方法的装置另一种实施方案，它带有废气通道部分。图3是设备安装系统图，表示用于实施本发明的方法的装置另一种实施方案，它带有处理气体入口部分。图4是反应器部分的截面示意图，表示根据本发明的方法从反应器内部加热试剂的一种实施方案。图5是反应器部分的截面示意图，表示根据本发明的方法从反应器内部加热试剂的另一种实施方案。图6表示在本发明的方法中、进入反应器之前的处理气体与已经离开反应器的废气之间的热交换的实施方案。图7表示对处理气体中氧气浓度为0％和10％的CFC-113进行分解处理时三氯-三氟乙烷(CFC-113)流入量与CFC-113分解率之间的关系曲线。图8表示对处理气体中氧化浓度为0％和10％的FC-116进行分解处理时全氟乙烷(FC-116)流入量与FC-116分解率之间的关系曲线。图9表示试剂的加热系统以电加热器加热和微波加热为基础的全氟乙烷(FC-116)分解率的差别。根据第一个方面，本发明提供了用于分解优选地具有1-5个碳原子、更优选地为1-3个碳原子的全氟碳或氢氟碳的方法，其中所分解的氟被试剂捕获，所分解的碳(和氢)作为氧化物质在废气中送出，适用于本发明的分解处理的全氟碳和氢氟碳包括CF4、C2F6、C3F8、C-C4F8、CHF3、CH2F2、C2HF5、C2H2F4、及其类似物，它们可以很容易地在常温下蒸发(包括那些与惰性气体，如氮一起蒸发的物质)。对于该分解反应来说，重要的是在含量为20％体积或更少(但不是0％)的气体氧存在下、在300℃或更高的温度下使全氟碳或氢氟碳气体与包括碳和至少一种碱土金属的试剂接触、其中所说的碱土金属可以由含碳固体物料和碱土金属化合物获得。作为形成该试剂的一种原料的含碳固体材料可以是一种或多种选自焦炭粉、碳、煤、粗沥清、木炭、活性炭和炭黑中的成分，其中粉料是最优选的形式。作为形成该试剂的另一种原料的碱土金属氧化物可以是一种或多种选自钙、镁、钡和锶氧化物，钙、镁、钡和锶氢氧化物和钙、镁、钡和锶碳酸盐和硝酸盐的化合物，其中优选的是氧化钙、氢氧化钙、碳酸钙和硝酸钙，其中从容易操作方面来考虑，生石灰、熟石灰和石灰石是较有利的。可以将该试剂以粉末或颗粒状的含碳固体材料和粉末或颗粒状的碱土金属化合物形式填充到该反应器中。另外优选地，也可以将粉末状的含碳固体材料和粉末状的碱土金属化合物混合，而后造粒形成容易操作的尺寸。这样可以使碳和碱土金属化合物相互靠近并且由于试剂的比表面积(单位重量的表面积)的增加而加大与处理气体的接触。可以采用水或有机粘结剂来造粒，将造粒后的颗粒干燥或烧结可以产生具有足够强度和空隙率的颗粒。用作原料的含碳固体材料或粉末碱土金属化合物的形式或种类可以在造粒的颗粒的生产过程中有所变化，只要固体碳和碱土金属材料的所需比率在造粒后的颗粒中得以保持，它们就可以有利于本发明的分解反应。举例来说，当采用碳作为含碳固体材料和熟石灰作为碱土金属化合物、将这种粉末以合适的比例混合、加入水、将该混合物捏合、然后形成具有容易操作的颗粒尺寸的颗粒，例如1-10毫米，优选地为1-5毫米，并且将它们在非氧化气氛中烧结(例如在500-850℃下)以形成料粒时，碳中的挥发性成分在烧结过程中几乎完全被除去并且熟石灰被转变成氧化钙；由此获得主要由碳(C)和氧化钙(CaO)组成的高纯度料粒。以这种方式获得的由C和CaO形成的试剂具有足够的强度和高孔隙率，其比表面积较大，这些试剂可以适用于实施本发明方法。用于形成该试剂的含碳固体材料和碱土金属化合物的相对比率将取决于所用的材料和化合物的种类，但是，根据本发明人的经验，优选地这两种物料以相等数量存在或后者稍微过量(根据重量百分量)。在含碳固体材料中的碳(C)和碱土金属化合物中的碱土金属(M)的金属氧化物(MO)的摩尔比方面，C/MO摩尔比在0.9-2.3之间较为合适，优选地为0.9-1.9，更优选地为1.4-1.9。一般说来，全氟碳和氢氟碳是比氯氟碳和氢氯氟碳更稳定的化合物，因此，它们的分解被认为是更难以完成的，但是通过将它们与本发明所说的试剂在氧的存在下、在300℃或更高的温度下接触就可以很容易地使全氟碳和氢氟碳分解。该所需温度的下限可以随着全氟碳或氢氟碳的种类而变化。只要保持所需的温度，即使在没有氧存在的情况下也可以获得一定程度的分解，但是，其分解效果比较差。另一方面，对于氯氟碳或氢氯氟碳气体来说，就会看到这样一种现象，即即使采用相同的试剂和相同的分解工艺，氧气的存在不会产生非常大的作用，而非氧化性气氛甚至更加有助于分解。因此，根据本发明的方法，处理气体中足量氧气的存在是必不可少的，有些作用即使采用较低的氧气浓度也能看到，但优选地该浓度应为5％体积或更高。但是，超过20％体积的氧气浓度会导致试剂中碳的过分消耗，促进分解反应的作用将变得饱和。因此，处理气体中的氧气浓度较为合适地是0.5-20％体积，优选地为2-15％体积，更优选地为5-10％体积。目前，氧气的存在能更加有效地促进全氟碳和氢氟碳的分解的原因尚不完全清楚。当对反应完成以后的试剂组成进行分析时，全部或部分氧化钙被转变成氟化钙并且含碳固体材料的量减少了。此外，某些含碳固体材料根据废气中CO2的组成很显然最后被转变成CO2。因此，本发明中的试剂具有这样一个作用，即它可以使全氟碳和氢氟碳分解并且作为碱土金属的氟化物，例如氟化钙而捕获氟成分，从而加快了分解反应。有时空气也可以作为处理气体中的氧源。有时，CO2中的氧也可以作为氧源。为了使全氟碳或氢氟碳(下文可以分别简写为PFC或HFC，或者简单地称为碳氟化合物)与该试剂接触，可以较方便地用惰性气体，如氮气作为载体将其连续或间断地供应到试剂中。当采取这种方式时，可以用惰性气体稀释碳氟化合物，但是，惰性气体仅仅起着去热载体的作用，并且基本上对反应没有影响。在本说明书中当也存在惰性载体气体时，处理气体中的氧气浓度是指包含该载体气体在内的全部气体体积中的氧化浓度。根据本发明的第二个方面的用于分解碳氟化合物的方法包括采用包括碳、一种或多种碱土金属和一种或多种碱金属的试剂作为分解试剂。该分解试剂的成分将在下面进行描述。当该试剂中的碳与碱土金属一块存在时，该碳有助于碳氟化合物的分解。如果在气相中存在氧，碳还可以在碳氟化合物进行分解反应时形成一氧化碳。试剂中的碳含量可以根据分解反应的进展而变化，但是，优选地至少在分解反应开始阶段，碳与碱土金属的原子比至少为0.25∶1.0。当该比率小于0.25∶1.0时，分解反应不能令人满意地进行。保留在该试剂中的碳含量在该反应过程中优选地应使碳与碱土金属的原子比至少为0.25∶1.0。但是，如果包含在该试剂中的碳其与碱土金属的原子比超过4.0∶1.0，则碱土金属的含量将减少并且分解反应不能令人满意地进行。因此，该试剂中的碳含量以碳与碱土金属的原子比表示优选地为0.25-4.0∶1.0，更优选地为0.5-3.0∶1.0，特别是1.0-2.0∶1.0。较为合适的是试剂中的碳含量在分解反应的开始阶段以及在反应过程中应保持在该含量下。试剂中的碳可以以木炭、活性炭、炭黑或焦炭粉的形式存在。也可以采用炭纤维和石墨以及主要由无机含炭物质组成的物料。当该试剂是颗粒状的粒子时，这些含碳材料中至少一种的粉末可以与其它的原料，如碱土金属化合物和碱金属化合物一起进行造粒。当该试剂是经过烧结的一种产物时，这些含碳材料中至少一种粉末可以与另一种原料。例如碱土金属化合物一起进行造粒或与其它的原料，例如碱土金属化合物和碱金属化合物一起进行造粒。该试剂中的碱土金属当与碳一起存在时可以使碳氟化合物分解。例如，当该碱土金属是钙而要分解的碳氟化合物是C2F6时，将进行下列反应因此，该碱土金属以CaF2的形式将该碳氟化合物中的氟固定。因此该碱土金属是本发明的试剂中的一种基础成分。因此在本说明书中，碳和碱金属的含量通过与碱土金属含量的相对比例来确定，该碱土金属的精确含量取决于碳和碱金属的含量。当碱土金属的反应比例太小时，随着反应的进行，相对于碳含量的有助于分解反应的碱土金属的相对比例将下降，从而不可能获得较高的分解率。另一方面，当碱土金属的相对含量太大时，其相对与碳的相对比例太高，因而也不可能获得较高的分解率。该碱土金属可以包括Be、Mg、Ca、Sr、Ba和Ra，并且可以作为氧化物、氢氧化物或盐，例如碳酸盐而包含在该试剂中。这些碱土金属中，优选的是Ca和Mg。本发明人试验了多种碱土金属并且发现Ca和Mg在碳氟化合物的分解反应中显示出较高的效率，这些物质由于原料或分解产物具有较低的毒性而很容易操作。这些物质稳定且容易操作的原料是含氧化合物形式的原料，例如氧化物、氢氧化物和碳酸盐。生石灰、熟石灰、大理石、碳酸镁和白云石可以作为有限的例子而提出，这些物质中特别优选的是氧化物形式。当将钙或镁以如上所说的含氧化合物的形式引入试剂中时，碳氟化合物可以特别有利地分解。这可能是基于这样一个事实，即当在碳氟化合物分解反应中含氧化合物中的氧与碳反应或被该碳氟化合物中的氟取代或者气相中的氧与试剂中的碳起反应时，该试剂变成高度活性。如果碱金属与碳和碱土金属一起存在于该试剂中，即使与碱金属不存在的情况相比分解温度较低，碳氟化合物仍可以以较高的分解率分解。该碱金属包括Li、Na、K、Rb和Cs，已经证实，采用钾可以使分解温度明显降低。试剂中碱金属的含量以碱金属与碱土金属的原子比表示优选地在0.01-0.3∶1.0范围内。即使碱金属的含量为超过0.3∶1.0的比率该作用也不能进一步提高并且碳和碱土金属的含量被相对降低。当该比率低于0.01∶1.0时，不能获得降低分解温度的作用。更优选地，碱金属的含量可以在0.02-0.2∶1.0，特别是0.03-0.1∶1.0的比率范围内。作为碱金属的K可以以化合物形式，例如氢氧化物、碳酸盐、磷酸盐、铝酸盐、硝酸盐或硫酸盐而引入到试剂中。如果这些化合物是粉末形式则可以以粉末形式或者如果这些化合物是块料形式则在磨碎成尺寸不大于100微米的颗粒以后，将这些化合物单独引入或作为两种或多种成分的混合物引入。虽然当K成分以合适的数量存在于试剂中时碳氟化合物即使在较低的分解温度下也可以令人满意地分解的原因尚不清楚，但考虑到即使在要分解的碳氟化合物的气体中不含有氧，即即使在无氧气氛中分解反应也能令人满意地进行的事实，可以认为该试剂活性提高了。试剂中碳、碱土金属和碱金属的总量希望不低于试剂重量的50％。虽然在总量低于50％重量时，该碳氟化合物可以分解，但是为了有效地进行分解，该量合适地为至少50％重量。其余的成分可以包括将碱土金属和碱金属作为化合物而引入的化合物成分。优选地氧占余下成分中的绝大部分，但是，也可以含有水、二氧化碳以及与原料有关的杂质。根据本发明，用于分解该碳氟化合物的试剂可以是固体，它由作为必需成分的碳、至少一种碱土金属和至少一种碱金属组成。该试剂优选地可以是颗粒形状，以提高与要分解的碳氟化合物的接触机会。为了进行造粒，可以将上述原料的粉末混合、利用适量的水或任选地加入合适的粘结剂进行造粒，然后将其干燥以蒸发掉水。最优选地粒化产品可以是经过烧结的粒化产品。这些产品可以是通过将粉末含碳原料、粉末碱土金属化合物和碱金属化合物的粉末混合物烧结而获得的经过烧结的产品，也可以是通过将经过将粉末含碳原料和粉末碱土金属化合物的粉末混合物烧结而获得的经过烧结的产物涂覆或浸没在碱金属化合物的溶液中而后将其干燥以除去挥发性成分，如溶剂而获得的产品。上述含碳原料、碱土金属和碱金属化合物可以作为原料用来获得经过烧结的产品。典型的经过烧结的产品可以是通过将含有含碳原料粉末、熟石灰和钾化合物的混合物在足以使熟石灰进行逆向熟化反应的条件下进行烧结同时保留碳而获得的产品，或者是通过将含有含碳原料粉末、碳酸钙和钾化合物的混合物在足以使碳酸钙进行分解反应的条件下进行烧结同时保留碳而获得的产品。引入到该混合物中的钾化合物可以是粉末形式，也可以是水溶液形式。该混合物优选地是一种粒化产品，其中各种颗粒尺寸不大于100微米的原料均匀地混合在一起，该混合物的制备包括将要混合的原料称重并在混合时加入适量的水。水的加入可以代之以加入含有碱金属的化合物的水溶液。比较有利的是采用同时可以进行混合和造粒的混合机，但是也可以是分别进行混合和造粒的混合机。举例来说，可以采用Henschel混合物机和垂直混合机来同时进行混合和造粒，也可以将原料在Henschel混合物机或V型混合物机中进行混合，然后在造粒盘或鼓形造粒器中进行造粒。在混合和造粒时，除了水或上述水溶液以外可以加入适量的粘结剂。可以采用有机粘结剂，如聚乙烯醇(PVA)作为粘结剂。也可以采用无机粘结剂，例如氧化铝或氧化硅基粘结剂，但是无机粘结剂的用量不能影响所得到的分解试剂的性能。经过混合和造粒的产品烧结可以在使水和挥发性成分得以除去并且获得具有中等强度的烧结产品的条件下进行。为了防止原料混合物中的碳在氧化过程中被消耗掉，优选地该热处理是在惰性气氛中进行。因此，在惰性气氛中，在高温下的热处理变得可行并且可以获得具有较高强度的烧结产物。为了进行烧结，可以采用一种连续的装置，例如旋转窑以及静止的窑炉。优选地，根据本发明的分解试剂具有较低的含水量并且在分解反应中几乎不产生水蒸汽，从而当在惰性气氛中加热到800℃时其水份排出量为15％重量。下面将描述采用上述试剂来对碳氟化合物进行分解的方法和装置。根据本发明，碳氟化合物的分解处理可以通过将含有要处理的碳氟化合物的气体通过用该试剂填充的反应器而进行。该试剂的温度或反应温度可以保持在200℃或更高的温度下，并且该处理可以在非氧化或弱氧化气氛中进行。被控制的反应温度和反应的气氛可以根据该碳氟化合物的种类而适当进行选择。举例来说，对于全氟碳(PFC)、氢氟碳(HFC)、氢氯氟碳(HCFC)和氯氟碳(CFC)来说，最低的能够使它们令人满意地分解的分解温度可以根据该碳氟化合物的种类而变化，并且本发明人通过试验已经发现这些碳氟化合物具有按上述顺序越来越低的最低分解温度。分解效率比较高，它与在处理气体中是否存在氧无关，其原因在于含有碱金属的本发明的试剂与不含有碱金属的试剂相比具有较高的活性。因此，虽然该分解反应可以在非氧化气氛中令人满意地进行，但是更为有利地是在弱氧化气氛中进行分解反应，例如处理气体的气氛中含有0.01-25％体积的氧。处理气体中碳氟化合物的浓度不是极为重要的，正如在下列实施例中所说，100％碳氟化合物气体可以被分解，但是该处理气体可以用惰性气体或含氧气体进行稀释。因此合适的分解温度取决于要分解的碳氟化合物的种类，处理气体中碳氟化合物的浓度、处理气体中含氧气体的浓度、SV(表面速度)、LV(线性速度)、与其它气体混合的气体的条件、以及根据本发明的试剂的组成和形状。举例来说，当SV较低时，即使在较低的温度下也可获得合适的分解。因此，通过适当选择处理条件、本发明的碳氟化合物的分解处理可以针对由氟和碳组成的全氟碳、由氟、氢和碳组成的氢氟碳、由氟、碳和除氟以外的卤素组成的卤代氟碳以及由氟、氢、碳和除氟以外的卤素组成的卤化氢氟碳而高效地进行。该分解处理可以在碳氟化合物分解装置中进行，该装置包括用上述试剂填充的反应器、导向该反应器的处理气体入口、用于将经过处理的气体从该反应器中排出的气体出口、用来放置该反应器的熔炉、用来将熔炉中的气氛温度提高到200℃或更高的加热源、用来将处理气体入口与含有碳氟化合物的气体源连接在一起的导管以及任选地通过用导向气体出口的管道连接的废气氧化器。图1表示用来进行根据本发明的第一和第二方面的本发明的方法的设备的实施方案。在该附图中，1是金属反应器(管)，其中用包括碳和至少一种碱土金属或包括碳和至少一种碱土金属和至少一种碱金属的试剂2填充。该实施方案具有垂直放置的管状反应器1，试剂2保持在固定的可以通过气体的层3上。反应器1的金属管可以由不锈钢和镍基合金制成。该反应器1位于加热炉4中。图中示出的加热炉4的加热源为电加热器5，其加热元件通过电来产生热量，熔炉气氛6的温度通过电加热器5而升温到所需的温度，熔炉中的热量通过金属反应器壁传送到试剂2中。加热源并不限于电加热器，只要它们能将熔炉气氛6的温度升高到所需的温度即可。举例来说，可以采用高温度气体，例如燃烧废气作为加热源。在位于加热炉4中的反应器1中配有处理气体入口7，处理气体入口7通过一根管子而与含有碳氟化合物的容器8相连。容器8如果需要可以通过加热装置9而间接加热，从而使容器8中的碳氟化合物气体的压力升高。在容器8和气体排出管10之间还配有一个流动调节阀11。在图1的实施方案中，除了容器8以外还分别配有氧气筒12和氮气筒13，从而在使氧气和氮气通过配有流动调节阀14、15的气体排出管16、17而送入气体头18时，该碳氟化合物送入到头18并且氮气作为载体与该碳氟化合物气体结合在一起，而氧气可以任选地与其混合，此后在头18处混合的处理气体通过气体送入管19而送入到反应器1的处理气体入口7中。除了该方案以外，也可以将碳氟化合物、氮气和氧作为混合气体而事先混合在一起并且在单个容器中制备，从而将经过混合的气体直接送到处理气体入口7中，或者可以将氮气送入容器8中，从而将碳氟化合物从该容器中排出，同时沿着排出管加入氧气。在任何一种情况下，优选地，该氧气输入管可以任选地与容器8相连或与在容器8与处理气体入口7之间的管道相连。此外，废气通道21与反应器1气体出口20相连，该废气通道与一种卤素吸附瓶22相连，该吸附瓶配有气体排出管23。有一个取样管24与排气通道21相连，被取样的废气通过取样管24送入到气体分析气25中。图2表示另一种实施方案，其中废气氧化装置26与用于从该反应器中排放废气的废气通道21相连。该废气氧化装置26设计成基本上使所有从中通过的废气也通过催化剂层27，催化剂层27用促使CO氧化反应成CO2的氧化催化剂填充。所用的催化剂可以是支承在一种耐热载体上的贵金属催化剂，例如铂或铑，或霍加拉特(hopcalite)催化剂。还有一个氧气进入管28，它将氧气在其进入废气氧化装置26之前加入到废气中，在氧气进入管28中配有流动调节阀29以调整由氧气源30加入到废气中的氧气的数量。管道35用来将氮气34导入位于氧气导入点上游的废气通道21中，在来自管道35的氮气34与废气混合之后将氧导入以降低废气中的CO浓度，可以控制在氧气导入点处的CO燃烧成CO2的现象，即使在废气中的CO浓度较高的情况下。空气也可以作为加入到废气中的氧源30。通过废气氧化装置26的废气而后送入到卤素吸收瓶22中，其路径与图1中的相同。取样管24用来抽取部分废气并且将取样的废气通过取样管24送入气体分析器25中。在图1和2所示的装置中，加热熔炉4中的气氛温度通过容器壁传送到反应器1中的试剂2上，但是该温度还会由于反应的热平衡和导入气体和废气的进入和排出热能力的平衡而发生变化，因此通过大约在如图所示的试剂2的中心处插入温度敏感器(热电偶)31，可以通过温度计32来控制反应区的温度，并且对来自热源5的热量供应进行调节以保持所需的温度。此外，加热炉本身的温度调节可以采用温度敏感器33根据对加热炉4内部气氛6的温度监测而适当完成。因此，处理气体中的碳氟化合物几乎完全分解(分解率接近100％)，而分解的氟与试剂中的碱土金属起反应形成碱土金属氟化物，从而除去了包含在废气中的碳氟化合物或氟。通过废气氧化装置26，废气中的所有CO还可以氧化成CO2。图3表示对来自半导体生产过程的碳氟化合物进行本发明所说的分解处理的实施方案。包含在来自半导体工艺的废气中的碳氟化合物37通常通过管子38送入常规处理步骤36中。当根据本发明进行使用时，碳氟化合物输送管38与反应器1的处理气体进口7相连。在如图所示的实施方案中，支管40通过3路阀39导向输送管38，支管40与处理气体进口7相连。氮气输送管41与支管40相连，氮气以流速可变的方式从氮气源42加压泵送到支管40中。因此，即使当3路阀39转向使支管40中的原料气体流动减少时，仍可以吹送将所需数量的氮气由氮气源42，从而使原料气体以基本上恒定的流速输送到处理气体进口7中。图4和5表示本发明的实施方案，其中在反应器1中设有加热源并且热量从反应器内部传送到试剂2上。在这些附图中，44是耐热炉炉衬材料，它包围着反应器1的周围，7是导向该反应器的处理气体进口，20是与该反应器相连的气体出口。在图4所示的情况下，产生热量的电加热原件43位于用试剂2填充的层中，并且加热原件43上涂覆了耐腐蚀、耐热涂层。根据该实施方案，由于热量从用试剂2填充的内层传送，因此可以增加升温速度以将试剂升高到所需的温度，同时还可以使热量损耗降至最小。在图5所示的情况下，反应器1的内部分成试剂2的填充层和加热层，并且设计成使导入反应器1中的处理气体通过该加热层而流入试剂填充层。在该加热层中，用于电加热的加热原件46安装在反应器盖45上。处理气体流过该加热层并接收能量，而后将其传送到试剂2上。该实施方案的优点在于电加热器置于反应器内部，从而使热利用率较高，并且可以使加热原件46的损坏降至最小，其原因在于加热原件46没有与试剂或反应气体相接触。图6是配有用于热交换的热交换器48的本发明的一种实施方案，所说的热交换器48位于在进入配有加热源的反应器1之前的处理气体与离开反应器2的废气之间。热交换器48将废气的热量传送到处理气体上，从而使热量得以回收，由此降低了热源消耗的热量。在上述本发明的装置中，当填充的试剂完全消耗掉时，分解反应是完全的。反应的结束时间可以根据废气体中碳氟化合物或其它氟化合物开始检测到的时间而确定。当该反应完成时，碳氟化合物通过采用批料系统可以在相同的设备中依次分解，从而使该设备的操作中断并且再次加热试剂，使反应重新开始。为了以连续的方式操作该批料系统，可以以串连方式放置多个相同的设备，从而采用一种双向转换系统，该系统设计成在其中一个设备处于操作时，对另一个设备的试剂进行替换，而当第一个设备中断时，气体流转向另一个设备。此外，通过采用可以使试剂连续或间断地送入反应器并且将使用过的试剂从反应器中连续或间断地除去的设计外，可以对相同的设备进行长期连续的操作。图7表示与对比实施例相似的三氯-三氟乙烷(CFC-113)流动体积与CFC-113分解率之间的关系，其中对于具有取代基氯的CFC-113进行分解处理来说，CFC-113的浓度为10％体积，气体流量为0.15升/分钟，试剂中C/CaO摩尔比为1.67，试剂最高温度为800℃，此时处理气体中的氧气浓度为0％和10％。CFC-113的分解率将在后面进行描述，CFC-113流量是流入反应器的CFC-113的累积量(克)，直到达到相应的分解率。图7中的结果表明对于具有取代基氯的氯氟碳的分解处理来说，在处理气体中存在氧可以使分解率大大降低。另一方面，图8表示了全氟乙烷(FC-116)流动体积和FC-116分解率之间的关系，其中对于FC-116的分解处理来说，FC-116的浓度为10％体积，气体流量为0.15升/分钟，试剂中C/CaO摩尔比为1.67，试剂最高温度为800℃，此时处理气体中的氧气浓度为0％和10％，这与下面所说的实施例1相同。也就是说，图8的情况是在与图7相同的反应条件下，其不同之处在于用作分解气体的三氯-三氟乙烷被全氟乙烷取代。但是，在图8中，与图7的情况不同的是，分解率由于在处理气体中存在氧而大大降低了。图9表示全氟乙烷(FC-116)分解率的差异，此时，加热系统是以通过实施例1所说的电加热器加热为基础的，并且还通过微波加热。在这两种情况下，反应条件是碳氟化合物浓度为10％体积，气体流速为0.15升/分钟，氧气浓度为10％体积，试剂中的C/CaO摩尔比为1.67，微波加热通过采用与下面所说的实施例1具有相同功率的反应装置来完成，其不同之处在于反应管是由可以透过微波的陶瓷材料制成并且位于微波发射装置中。由图9中的结果可以证明，当采用电加热器来进行加热时，反应管中的试剂的最高温度从开始到结束一直保持在800℃下，分解率在FC-116累计流量为约40克时接近100％，而当流量接近55克时下降到95％。采用微波加热时，在FC-116累计流量达到约20克时分解率开始下降并且试剂温度不能保持在800℃下，并且分解率和试剂温度随后下降很大。更进一步地说，当FC-116累计流量达到29克时，分解率为95％而试剂温度为600℃，此后这两方面均下降很多，从而使分解处理不能进行。这是因为在微波加热的情况下，试剂(特别是碳)被处理气体中的氧氧化，从而不能通过微波加热将所需的试剂温度保持一段较长时间。实施例1本发明的方法可以采用基于与图1相同的原理的设备来实施。也就是说，将内径为28毫米、长度为1000毫米的奥氏体不锈钢(SUS304)反应管沿管式炉(电能20KW)的轴向中心插入，该管式炉配有电加热元件(坎萨尔合金)，反应管中的炉中心填充了100克试剂，该试剂是采用木炭和熟石灰为原料制得。用1比3重量比例将最大颗粒尺寸为250微米的木灰和最大颗粒尺寸为250微米的熟石灰在Henschel混合机中混合，加入水并将该混合物造粒。而后，将粒化混合物在110℃下干燥4小时、在氮气气氛下在800℃下加热8小时，以脱水并烧结，将所获得的烧结产物破碎成1.4-4.0毫米的颗粒而制得该试剂。该木炭原料由78％固体碳、9％可挥发性成分、3％灰和10％水组成，熟石灰原料是标准的JISR9001产品。所获得的试剂颗粒经分析发现它含有碳(C)和氧化钙(CaO)为主要成分，其C/CaO摩尔比为1.67。将一根热电偶插入填充的试剂中心，以测量在反应期间试剂的温度。采用全氟乙烷(C2F6)作为进行分解的碳氟化合物，如图1所示，在将氮气作为载体引入上述反应管的同时，将氧气加到该全氟乙烷中。此时的处理气体流量保持在0.15升/分钟不变，进行5次试验(第1-5)，仅改变氧气的加入量。在所有的情况下，处理气体中的碳氟化合物的量保持不变，为10％体积。所有的试验均通过在引入处理气体时向加热元件中引入电流并且确保试剂中心的温度达到800℃而进行的。在反应过程中，对管式炉的电流进行控制，从而在用插入试剂中心(试剂物料中最高温度区)的热电偶进行测定时保持800℃的温度。所保持的温度下文中称为“最高试剂温度”。如图1中所示，由反应管中排出的废气部分被连续取样并送向气体分析仪，而其余的废气流过用苛性钠溶液填充的吸收瓶并且排出该系统。对废气中的碳氟化合物和氟化合物、O2、N2、CO2、和CO进行分析。采用气相色谱对碳氟化合物、O2、N2和CO2进行测定，采用CO气体检测管对CO进行测定，采用离子色谱对其它氟化合物进行测定。表1表示每一次试验(第1-5)的反应条件和结果。采用下列方式确定在表1中的反应结果栏中表示的30分钟后的分解率、碳氟化合物分解量和试剂CaO消耗率。30分钟后的分解率由在反应开始30分钟后获取的废气样品测定保留在废气中的碳氟化合物的量，并且用废气中碳氟化合物相对处理气体中碳氟化合物的百分比来表示。碳氟化合物的分解量(克)这是直到反应结束时分解的碳氟化合物的量。反应结束时间是分解率下降为95％时的时间。分解率每30分钟测定一次，由每30分钟的废气分析值进行测定，在30分钟内的分解量是30分钟内流入的碳氟化合物的量乘以此时的分解率，而碳氟化合物的分解量(克)是反应开始后分解率下降到95％时分解量的累积值。试剂CaO的消耗率这是到反应结果时消耗的试剂中的CaO的百分比。假设CaO的消耗是从产生CaF2开始的，与Ca相连的氟的累积量由直到反应结束时分解的碳氟化合物中的氟的累积量和在废气中测出的氟的累积量来测定，直到反应结束时消耗的CaO的量而后测定。表1中的结果表明对于处理气体中氧气浓度为0％的第1号试验来说，30分钟后的分解率接近100％，但反应结束时分解的碳氟化合物的量为13克，而当在第2-4号试验中氧气浓度增高时，30分钟后的分解率也接近100％，但反应结束时分解的碳氟化合物的量分别为31、51和52克。而当氧气浓度像第5号试验中那样高时，反应结束时分解的碳氟化合物的量有些下降。加外，由第3、4号试验的CO测定结果来看，氧气加入量较高的第4号试验在废气中具有比率3号试验更高的CO量。实施例2以与实施例1相同的方式进行试验(编号6-9)，其不同之处在于在处理气体中保持恒定的5％体积氧气浓度并且采用具有不同C/CaO摩尔比的试剂。改变木炭与熟石灰的混合比，对按照与实施例1相同方式制备的粒料进行分析，测量粒料中C和CaO的含量，由这些测定值确定试剂中C/CaO摩尔比。测试结果列于表1中。这些结果证实全氟乙烷在反应结束前的分解量受到C/CaO摩尔比的影响。在该实施例中，最好的结果是在C/CaO摩尔比约为1.7时获得的。实施例3以与实施例1相同的方式进行试验，其不同之处在于采用全氟甲烷代替全氟乙烷。氧气浓度变成0％(第10号)和10％(第11号)。列于表1中的该实施例的试验结果证实反应结束之前的分解由于加入氧而明显增加。实施例4以与实施例1相同的方式进行试验，其不同之处在于采用三氟甲烷代替全氟乙烷。碳氟化合物和氧气的浓度均保持在5％体积，气体流速为0.12升/分钟，试剂C/CaO摩尔比为1.67，同时采用不同的最高试剂温度(编号12-17)。列于表1中的结果证实当最高试剂温度低于400℃时，30分钟后的分解率较低，但当温度增加到400℃以上时，分解率达到近100％。对比实施例提供含有氯作为取代基的三氯三氟乙烷、根据实施例1所说的方式进行分解处理。反应条件和反应结果列于表1中。在这种情况下，当处理气体中不存在氧时，分解量较大(对比实施例1)，而当存在氧时，分解量下降(对比实施例2)。实施例5在与实施例1的试验3相同的反应条件下提供全氟乙烷进行分解处理，但在加入氮以后将氧加入到废气中(CO浓度为20％)时，如图2所示，将其导入废气氧化装置26中并经过催化剂层27(试验18)。氮气加入速度为5.0升/分钟，氧气加入速度为1.5升/分钟，所用的催化剂为购买的产品，携带0.5％铂的氧化铝(NikkiKagaku，KK.)。表1中的结果表明废气中的CO浓度达到0％。实施例6在与实施例1的试验3相同的反应条件下提供全氟乙烷进行分解处理，但其反应温度为700℃(试验19)。表1中的结果表明尽管与反应温度为800℃的试验3相比其分解稍低，但它仍是适度的。实施例7以与实施例4相同的方式进行试验，其不同之处在于采用1，1，1，2-四氟乙烷(C2H2F4)代替三氟甲烷(CHF3)(试验20)。此时，最高反应加速剂温度为350℃。表1中的结果表明即使在350℃下分解率也达到近100％。表1表1续实施例8采用基于图1中所示的相同原理的装置来进行本发明的方法。也就是说，将内径为16毫米、长度为30毫米的Inconel600(商标)反应管沿管式炉(电能0.4KW)的轴心插入，该管式炉配有基于电加热的加热元件(坎萨尔合金)，反应管中的炉中心填充了35克用于分解碳氟化合物的试剂。该试剂是采用木炭、熟石灰和氢氧化钾为原料由下列工艺所得的粒状产品。用各种比例将最大颗粒尺寸为250微米的木灰、最大颗粒尺寸为250微米的熟石灰和氢氧化钾混合，加入水并将该混合物造粒。而后，将粒化混合物在110℃下干燥4小时、在800℃下加热8小时，以脱水并烧结，将所获得的烧结产物进行颗粒整形，由此获得最大颗粒尺寸为10毫米、平均颗粒尺寸为约3毫米的粒料。该木炭原料由78％固体碳、9％可挥发性成分、3％灰和10％水组成，熟石灰原料是标准的JISR9001产品，所用的氢氧化钾是一级化学试剂。所获得的试剂颗粒经分析发现它含有单质碳(C)和氧化钙(CaO)为主要成分以及少量钾(K)。这些试剂颗粒中的C、CaO、和K的原子比和基于试剂重量的成分的总量(％)示于表2中。以与实施例1相同的方式将全氟乙烷(C2F6)分解，其不同之处在于处理气体流速为0.17升/分钟，该处理气体中的碳氟化合物的量为5％体积，试剂中心的温度，即最高试剂温度为700℃。对于7次试验(编号21-27)，其每一次所用的反应条件和按照与实施例1相同方式测定的反应结果示于表2中。表2<p>表2中的结果表明在所有试验中，C2F6在700℃的反应温度下分解并且当试剂中的K浓度增加时，30分钟后的分解率也增加了。也就是说，当K与Ca的原子比为0.04-0.10时，每一种情况下的分解率为约100％，而在K与Ca的原子比为0.06时，分解量达到最大。由第21-23的结果可以看出，分解反应发生在K与Ca的原子比低于0.04时，但反应速度在反应温度低于700℃时较低。另一方面，由第24可以看出，当K的浓度太高时，分解效率降低了。在该实施例中，通过将第25、26和27作比较可以证实，分解效率在K浓度对应于Ca/C原子比为约1/0.6时达到最大。实施例9重复实施例8中所说的工艺，其不同之处在于采用在表3中所示出的其它钾化合物来代替氲氧化钾。其结果示于表3中。表3由表3可以看出，在所有采用碳酸钾、铝酸钾、磷酸钾、硫酸钾和硝酸钾作为钾来源物质的情况下，分解率在700℃下差不多均为100％。实施例10重复实施例8中所说的工艺，其不同之处在于在试剂中引入的钾量有所不同，包括采用不含钾的试剂的情况，并且处理气体中的氧含量有所不同，包括采用处理气体中不含氧的情况。其结果示于表4中。表4<p>由表4可以看出，当采用不含钾的试剂时，分解温度会降低，即使在处理气体中不含氧时，分解也能获得令人满意的效果，而在氧气含量为20％体积时分解效率有些低。实施例11重复实施例8中所说的工艺，其不同之处在于采用其它碳氟化合物来进行分解，并且改变处理气体中的氧含量。其结果示于表5中。表5由表5可以看出，所有参加试验的碳氟化合物均可以完全被分解。特别是即使在350℃低温下，含氯碳氟化合物也可以以约100％的分解率分解。在处理气体中有氧存在和无氧存在的情况下，没有发现明显的差别。实施例12重复实施例8中所说的工艺，其不同之处在于采用Mg(OH)2来代替熟石灰，Ca(OH)2，采用CF4作为碳氟化合物来进行分解。其结果示于表6中。表6<tablesid="table9"num="009"><tablewidth="1249">实施例编号试验编号反应条件反应结果碳氟化合物碳氟化合物浓度体积％氧气浓度体积％气体流量升/分钟SV小时-1LV厘米/分句Mg/C原子比Mg/K原子比试剂中Mg，C，K的总量wt％最高试剂温度℃30分钟后的分解率(％)分解的碳氟化合物的量克/毫升试剂CaO消耗率％实施例1146CF4550.172910.851/1.561/0.0368370072.2--</table></tables>上表6可以看出，当采用含Mg作为碱土金属的试剂时，CF4可以分解，但分解效率与采用钙作为碱土金属的情况相比有些低。实施例13重复实施例8中所说的工艺，其不同之处在于还采用CF4作为碳氟化合物来进行分解，并且处理气体中碳氟化合物的浓度为100％。其结果示于表7中。表7由表7可以看出，即使当碳氟化合物以100％浓度不经稀释地使用时，也可以获得像实施例8那样的好结果。如上所说，本发明可以通过简单工艺来完全分解碳氟化合物，在该工艺中，分解后的氟以无害的形式结合。因此，本发明的碳氟化合物分解方法产生了以前未曾获得的效果，它可以采用简单的分解装置，产生较高的分解效率，其分解产物的后处理较简单，试剂的成本较低，并且特别有助于将包含在来自半导体生产过程的废气中的碳氟化合物分解。权利要求1.一种分解碳氟化合物的方法，它包括在20％体积或更少(但不是0％)气体氧的存在下、在300℃或更高的温度、将全氟碳或氢氟碳气体与包括碳和至少一种碱土金属的试剂接触。2.根据权利要求1的方法，其中该试剂是由含碳固体材料和至少一种碱土金属化合物获得的。3.根据权利要求1或2的方法，其中含碳固体材料可以是一种或多种选自焦炭粉、碳、煤、粗沥清、木炭、活性炭和炭黑中的成分，该碱土金属氧化物可以是钙、镁、钡或锶的氧化物、氢氧化物、碳酸盐和硝酸盐。4.根据权利要求1-3中任意一个的方法，其中来自分解的碳氟化合物的卤素被固定到所说的试剂上。5.根据权利要求1-4中任意一个的方法，它包括将含有全氟碳或氢氟碳的处理气体连续或间断地送入用所说的试剂填充的反应器中，在反应之后将废气从该反应器中连续或间断地排出，在将处理气体导入反应器之前将氧气包含在该处理气体中，从而使处理气体中氧气的浓度达到20％体积或更低，以及将全氟碳或氢氟碳分解所需要的热量从该反应器的外面传送到反应区中，或者从该反应器内部传送到反应区中。6.根据权利要求5的方法，其中传送到反应区中的热是通过电加热器产生的，该加热器采用产生热量的电加热元件。7.根据权利要求5的方法，其中该试剂被填充到金属或陶瓷反应器中。8.根据权利要求1-7中任意一个的方法，它包括将含有全氟碳或氢氟碳的处理气体连续或间断地送入用所说的试剂填充的反应器中，在反应之后将废气从该反应器中连续或间断地排出，在将处理气体导入反应之前将氧气包含在该处理气体中，从而使处理气体中氧气的浓度达到20％体积或更低，以及将全氟碳或氢氟碳分解所需要的热量从该反应器的外面传送到反应区中，或者从该反应器内部传送到反应区中，以及将在所说的废气中CO氧化成CO2。9.根据权利要求8的方法，其中该氧化处理采用氧化催化剂或试剂进行。10.根据权利要求1-9中任意一个的方法，其中该全氟碳或氢氟碳是带有1-5个碳原子的碳氟化合物。11.根据权利要求1-10中任意一个的方法，其中该试剂是颗粒形状的，它是通过将粉末状的含碳固体材料和粉末状的碱土金属化合物混合并且将该混合物造粒而形成的。12.一种用于分解全氟碳或氢氟碳的试剂，它包括碳和至少一种碱土金属。13.根据权利要求12的试剂，它是由含碳固体材料和至少一种碱土金属化合物获得的。14.根据权利要求12或13的试剂，其中含碳固体材料是一种或多种选自焦炭粉、碳、煤、粗沥清、木炭、活性炭和炭黑中的成分，该碱土金属氧化物可以是钙、镁、钡或锶氧化物、氢氧化物、碳酸盐和硝酸盐。15.一种用于分解碳氟化合物的方法，该方法包括在200℃或更高的温度下将气态碳氟化合物与包括碳、至少一种碱土金属和至少一种碱金属的试剂接触。16.根据权利要求15的方法，其中该试剂由含碳固体材料、至少一种碱土金属化合物和至少一种碱金属化合物获得的。17.根据权利要求15或16的方法，其中该试剂包括至少一种碱土金属、碳和至少一种碱金属，其原子比为碱土金属∶碳∶碱金属＝1.0∶0.25-4.0∶0.01-0.3。18.根据权利要求15-17中任意一个的方法，其中碱土金属、单质碳和碱金属的总量不低于试剂重量的50％。19.根据权利要求15-18中任意一个的方法，其中所说的碳氟化合物的氟固定到所说试剂上。20.根据权利要求15-19中任意一个的方法，其中该碳氟化合物是由氟和碳组成的全氟碳或由氟、氢和碳组成的氢氟碳。21.根据权利要求15-20中任意一个的方法，其中该碳氟化合物是由氟、碳和除氟以外的卤素组成的卤代碳氟化合物或由氟、氢、除氟以外的卤素和碳组成的卤代氢氟碳。22.根据权利要求15-21中任意一个的方法，其中与该固体试剂接触的气体碳氟化合物含有0.01-25％体积的氧。23.一种用于分解碳氟化合物的试剂，它包括碳、至少一种碱土金属和至少一种碱金属。24.根据权利要求23的试剂，它是由一种含碳固体材料、至少一种碱土金属化合物和至少一种碱金属化合物制得。25.根据权利要求23或24的试剂，它包括至少一种碱土金属、碳和至少一种碱金属，其原子比为碱土金属∶碳∶碱金属＝1.0∶0.25-4.0∶0.01-0.3。26.根据权利要求23-25中任意一个的试剂，其中不低于50％重量的碱土金属和碱金属的物质是氧化物。27.根据权利要求23-26中任意一个的试剂，其中该碱土金属选自钙和镁并且以氧化物、氢氧化物或碳酸盐形式引入固体中。28.根据权利要求23-27中任意一个的试剂，其中该碱金属是钾并且以氢氧化物、碳酸盐、磷酸盐、铝酸盐、硝酸盐或硫酸盐的形式引入固体中。29.根据权利要求23-28中任意一个的试剂，其中该单质碳以木炭、活性碳、碳黑或焦碳粉末的形式引入固体中。30.根据权利要求23-29中任意一个的试剂，其中该固体是烧结产物。31.根据权利要求23-30中任意一个的试剂，当在惰性气氛中在800℃下加热时，其水份排出量为15％或更低。32.一种碳氟化合物分解设备，它包括用包括碳和至少一种碱土金属或包括碳、至少一种碱土金属和至少一种碱金属的试剂填充的反应器，导向该反应器的处理气体入口，用于从该反应器中排出反应气体的气体出口，容纳该反应器的熔炉，用于升高熔炉中气氛温度的加热源，将上述处理气体入口与含有碳氟化合物的气体源连接在一起的管道。33.一种碳氟化合物分解设备，它包括用包括碳和至少一种碱土金属或包括碳、至少一种碱土金属和至少一种碱金属的试剂填充的反应器，导向该反应器的处理气体入口，用于从该反应器中排出反应气体的气体出口，容纳该反应器的熔炉，用于升高熔炉中气氛温度的加热源，将上述处理气体入口与含有碳氟化合物的气体源连接在一起的管道以及通过导向气体出口的管子而连接的废气氧化器。34.根据权利要求32或33的设备，其中含有碳氟化合物的气体源是由半导体制造过程产生的。全文摘要包括全氟碳和氢氟碳在内的碳氟化合物通过在升高的温度下与包括碳和碱土金属的试剂或包括碳、碱土金属和碱金属的试剂接触而高效分解,分解后的卤素固定到该试剂上。文档编号A62D3/00GK1174811SQ97117149公开日1998年3月4日申请日期1997年7月4日优先权日1996年7月4日发明者泉川千秋,手和正,伊藤和人,迹边仁志,金子虎一申请人:同和矿业株式会社,同和铁粉工业株式会社,昭和电工株式会社