专利名称：一种对位平台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种机械对位平台，该机械对位平台可作X轴、Y轴及θ轴(即绕Z轴) 的三轴运动，特别适用于触膜屏、IXD及PDP制作过程中用的贴膜机的校位机构中。
背景技术：
触膜屏，大体结构上由X线膜、Y线膜和保护膜等贴合而成的多层复合膜结构，贴 合时通常将一者称为被贴的膜层，而另一者称为载体。触膜屏的制作工艺中，膜层与载体 的贴合要求很高，一方面膜层与载体的重合位置需精准，第二贴合后不能有气泡、起皱等问 题。
早先，触膜屏的贴合多采用人工贴合方式，通过人工来确定膜层与载体位置的对 准，并靠操作者经验控制贴合压力大小。这种方式效率低下，并且贴合质量不易保证，对操 作人员的熟练程度的依赖性很大。
因此，后来逐步出现了半自动式触膜屏贴合机，其代表性结构可参见中国专利公 报公开号为101581850Α，名称为《一种半自动贴合机及其贴合方法》的发明专利申请公布说 明书。该专利说明书中公开的半自动式触膜屏贴合机，其工作时膜层与载体的位置对准(即 对位)是靠在上、下承截板上预先定下原点位置，然后人工按照该原点来放置膜层和载体， 从而间接使上承载板翻盖于下承载板上后，膜层与载体的位置对准。此方法在实际使用中 因机械机构存在装配间隙或外力影响，上承载板翻盖于下承截板上这一动作的精度很难保 证，从而导致膜层与载体的位置易发生偏差。为解决这个问题，就需在上承载板翻盖于下承 截板上后再进行“对位”这一工序，即需要以上承载板为基准来移动下承载板。故，需要一 可沿水平X轴、Y轴移动及绕竖直Z轴旋转的对位平台机构来放置下承载板，使下承载板可 作沿X轴、Y轴移动及绕Z轴旋转来完成对位。
目前，虽市场上各式机械移动平台有多种多样，但是对于能完成可沿水平X轴、Y 轴移动及绕竖直Z轴旋转的三轴运动平台不多，并且其结构上都是三轴独立设计，再叠加 为多层的结构，其高度高、体积庞大。发明内容
本发明目的是提供一种对位平台，使结构更加紧凑，减小设备的高度及体积。
为达到上述目的，本发明采用的第一种技术方案是一种对位平台，包括一台面， 该台面下按一矩形的四角布置四个支承机构；每个支承机构由一支承轴承下设一十字导轨 副组成，所述十字导轨副由上导轨、与上导轨十字交叉的下导轨以及滑动连接在上、下导轨 间的中间滑块组成；所述支承轴承的上端与台面固定连接，其下端与对应的十字导轨副的 上导轨固定连接，而所述十字导轨副的下导轨供固定于安装基面上；设所述矩形的纵向边的方向为X向，而横向边的方向为Y向；四个支承机构中，位于所 述矩形的一条Y向边两端的两支承机构中的十字导轨副的下导轨是沿X向布置的，且这两 十字导轨副的中间滑块上各作用有一 X向推拉驱动机构；而另有一个支承机构的十字导轨副的下导轨是沿Y方向布置的，且这个十字导轨副的中间滑块上作用有一 Y向推拉驱动机 构。
本发明采用的第二种技术方案是一种对位平台，包括一台面，该台面下按一矩形 的四角布置四个支承机构；每个支承机构由一支承轴承下设一十字导轨副组成，所述十字 导轨副由上导轨、与上导轨十字交叉的下导轨以及滑动连接在上、下导轨间的中间滑块组 成；所述支承轴承的上端与台面固定连接，其下端与对应的十字导轨副的上导轨固定连接， 而所述十字导轨副的下导轨供固定于安装基面上；设所述矩形的纵向边的方向为X向，而横向边的方向为Y向；四个支承机构中，有两个 对角的支承机构中的十字导轨副的下导轨是沿X向布置的，且这两十字导轨副的中间滑块 上各作用有一 χ向推拉驱动机构；而另有一个支承机构的十字导轨副的下导轨是沿Y方向 布置的，且这个十字导轨副的中间滑块上作用有一 Y向推拉驱动机构。
上述两种技术方案中的有关内容解释如下1、上述方案中，所述“设所述矩形的纵向边的方向为X向，而横向边的方向为Y向”只 是按附图2假设定义，矩形的纵向边和横向边是分指矩形的长、宽两组边，并没有特定纵向 边是指长边，而横向边是指宽边，而实际中，纵向边和横向边是可以互换定义，即X向和Y向 也可互换。
2、上述方案中，所述台面的对角上开设有销棒穿置孔，并配有销棒，供在初始时以 销棒穿于该销棒穿置孔中与安装基面插销固定，来确定台面的初始位置。这里的销棒是用 于台面与基面校正，保证工作前台面相对于基面的同心，利于整个校位机构工作时的精度。
3、上述方案中，所述“X向推拉驱动机构”是指沿X向推拉作用的驱动机构，而“Y 向推拉驱动机构”是指沿Y向推拉作用的驱动机构。
具体所述“X向推拉驱动机构”和“Y向推拉驱动机构”可以采用现有的手动、电动、 液压或气动驱动机构均可。譬如x向推拉驱动机构和Y向推拉驱动机构均主要由伺服电 机以及丝杠螺母机构组成，X向推拉驱动机构的丝杠沿X向布置，而Y向推拉驱动机构的丝 杠沿Y向布置。从而工作时，可由配设的控制电路控制伺服电机，并经丝杠螺母机构传动， 达到精确控制位移量的效果。并且，可在每个设有伺服电机的支承机构旁对应设置限位传 感器。
由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点和效果由于本发明对位平台为单层的机械结构，以一层结构同时实现X轴、Y轴、和绕Z轴(可 标记为θ轴)的三轴运动，这样的设计最大的好处是利于控制，保证了机械精度，结构紧凑， 减小了设备的高度及体积。
附图1为本发明实施例一结构主视示意图；附图2为附图1的俯视示意图，该图为去除了台面、围板、销棒及支承轴承后的状态； 附图3为本发明实施例一中一支承机构的结构示意图；附图4为本发明实施例二的十字导轨副、X向推拉驱动机构及Y向推拉驱动机构的布 置示意图。
以上附图中1、台面；2、矩形；3、支承机构；4、支承轴承；5、十字导轨副；6、上导轨；7、下导轨；8、中间滑块；9、安装基面；10、伺服电机；11、丝杠；12、螺母；13、限位传感 器；14、销棒；15、销棒穿置孔；16、围板；17、安装基面上的对应孔。具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述 实施例一参见附图1、附图2以及附图3所示一种对位平台，包括一台面1，该台面1下按一个矩形2 (图中所示为一个正方形)的四 角布置四个支承机构3 ；每个支承机构3由一支承轴承4下设一十字导轨副5组成，所述十 字导轨副5由上导轨6、与上导轨6十字交叉的下导轨7以及滑动连接在上、下导轨间的中 间滑块8组成；所述支承轴承4的上端与台面1固定连接，其下端与对应的十字导轨副5的 上导轨6固定连接，而所述十字导轨副5的下导轨7供固定于安装基面9上。
设所述矩形2的纵向边的方向为X向，而横向边的方向为Y向；四个支承机构3 中，位于所述矩形2的一条Y向边两端的两支承机构3中的十字导轨副5的下导轨7是沿 X向布置的，且这两十字导轨副5的中间滑块8上各作用有一 X向推拉驱动机构；而另有一 个支承机构3的十字导轨副5的下导轨7是沿Y方向布置的，且这个十字轨副5的中间滑 块8上作用有一 Y向推拉驱动机构。
X向推拉驱动机构和Y向推拉驱动机构如图1、2所示，它们均由伺服电机10以及 丝杠11螺母12机构连接构成，X向推拉驱动机构的丝杠11沿X向布置，其上相配合的螺 母12与对应的中间滑块8的侧部固定连接。Y向推拉驱动机构的丝杠11沿Y向布置，其上 相配合的螺母12也与对应的中间滑块8的侧部固定连接。在每个设有伺服电机10的支承 机构3旁对应设置限位传感器13。
并且，在台面1四周向下设计有个围板16，将台面下支承机构以及的限位传感器 13保护起来。
在设置台面初始位置时，我们使用了对角线放置的销棒14，来保证台面1与安装 基面9的同心，以此来确定台面的初始位置。即在台面1的对角上开设有销棒穿置孔15，并 配有销棒14，将销棒14穿于该销棒穿置孔15中并与安装基面9上的对应孔17插接固定。
本实施例举例应用于触屏膜贴合机上，工作时，本对位平台移动是由三部伺服电 机10来驱动的，其中两部X向设的伺服电机10控制台面1的X向运动，另一部Y向设的伺 服电机10控制台面的Y方向运动。伺服电机10旋转运动转化为丝杠11的直线运动，丝 杠11带动十字导轨副5的运动，十字导轨副5带着支承轴承4移动，从而使台面1也移动。 当三部伺服电机10同时转动，即带动丝杠11、十字导轨副5运动，导致支承轴承4发生转 动，台面1就形成了一个θ (即绕Z轴)的转动。无论是X轴、Y轴还是θ轴的运动，由采 用的高精度的丝杠11及十字导轨副5决定了整个对位平台的重复精度较高及行程误差较 小。为实现全自动的对位，整个触屏膜贴合机上可以设有一套图像采集及分析系统，图像采 集及分析系统包括两照相头、一画像处理机等。一般是由两个照相头分别读取膜层和载体 上的MARK，然后通过画像处理机分别计算出其中心点，再通过PLC执行输出指令给伺服电 机10，从而使台面1作X轴、Y轴及θ轴运动，使膜层与载体的MRAK两两重合，从而达到全 自动对位。
实施例二 参见附图4所示一种对位平台，包括一台面1，该台面1下按一个矩形2 (图中所示为一个正方形)的四 角布置四个支承机构3 ；与实施例一的不同之处在于四个支承机构3中，有两个对角的支 承机构3中的十字导轨副5的下导轨7是沿X向布置的，且这两十字导轨副5的中间滑块 8上各作用有一 X向推拉驱动机构；而另有一个支承机构3的十字导轨副5的下导轨7是 沿Y方向布置的，且这个十字导轨副5的中间滑块8上作用有一 Y向推拉驱动机构。
其它同实施例一，这里不再赘述。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人 士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明 精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种对位平台，其特征在于包括一台面，该台面下按一矩形的四角布置四个支承 机构；每个支承机构由一支承轴承下设一十字导轨副组成，所述十字导轨副由上导轨、与上 导轨十字交叉的下导轨以及滑动连接在上、下导轨间的中间滑块组成；所述支承轴承的上 端与台面固定连接，其下端与对应的十字导轨副的上导轨固定连接，而所述十字导轨副的 下导轨供固定于安装基面上；设所述矩形的纵向边的方向为X向，而横向边的方向为Y向；四个支承机构中，位于所 述矩形的一条Y向边两端的两支承机构中的十字导轨副的下导轨是沿X向布置的，且这两 十字导轨副的中间滑块上各作用有一 X向推拉驱动机构；而另有一个支承机构的十字导轨 副的下导轨是沿Y方向布置的，且这个十字导轨副的中间滑块上作用有一 Y向推拉驱动机 构。
2.根据权利要求1所述对位平台，其特征在于所述台面的对角上开设有销棒穿置孔， 并配有销棒，供销棒穿于该销棒穿置孔中与安装基面插销固定。
3.—种对位平台，其特征在于包括一台面，该台面下按一矩形的四角布置四个支承 机构；每个支承机构由一支承轴承下设一十字导轨副组成，所述十字导轨副由上导轨、与上 导轨十字交叉的下导轨以及滑动连接在上、下导轨间的中间滑块组成；所述支承轴承的上 端与台面固定连接，其下端与对应的十字导轨副的上导轨固定连接，而所述十字导轨副的 下导轨供固定于安装基面上；设所述矩形的纵向边的方向为X向，而横向边的方向为Y向；四个支承机构中，有两个 对角的支承机构中的十字导轨副的下导轨是沿X向布置的，且这两十字导轨副的中间滑块 上各作用有一 X向推拉驱动机构；而另有一个支承机构的十字导轨副的下导轨是沿Y方向 布置的，且这个十字导轨副的中间滑块上作用有一 Y向推拉驱动机构。
4.根据权利要求1所述对位平台，其特征在于所述台面的对角上开设有销棒穿置孔， 并配有销棒，供销棒穿于该销棒穿置孔中与安装基面插销固定。
全文摘要
一种对位平台，包括一台面，该台面下按一矩形的四角布置四个支承机构；每个支承机构由一支承轴承下设一十字导轨副组成，所述十字导轨副由上导轨、下导轨以及中间滑块组成；支承轴承的上端与台面固定连接，其下端与对应的十字导轨副的上导轨固定连接，而十字导轨副的下导轨供固定于安装基面上；设矩形的一对边沿X向，另一对边沿Y向；位于矩形的一条Y向边两端的十字导轨副的下导轨是沿X向布置的，且这两十字导轨副的中间滑块上各作用有一X向推拉驱动机构；而另有一个十字导轨副的下导轨是沿Y方向布置的，且这个十字轨副的中间滑块上作用有一Y向推拉驱动机构。本发明对位平台利于控制，保证了机械精度，结构紧凑。
文档编号B32B41/00GK102029771SQ201010522
公开日2011年4月27日 申请日期2010年10月28日 优先权日2010年10月28日
发明者刘宏宇, 唐志稳, 景建平 申请人:苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司