一种碳化硅纤维裂解室和碳化硅纤维裂解系统的制作方法

文档序号:14264895阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本申请公开一种碳化硅纤维裂解室,包括:排气主通道;设于排气主通道两侧、且与排气主通道连通的分腔室体;设于排气主通道一端的尾气排气口;分腔室体内设有:工艺气体分配室、可与工艺气体分配室连通的分腔热裂解室,位于工艺气体分配室、分腔热裂解室之间的工艺气体分配板;工艺气体分配室开设有用于工艺气体输入的工艺进气口;分腔热裂解室内设有用于放置工件的裂解室主体;工艺气体分配板上开设有工艺气体分配口。本申请提供的碳化硅纤维裂解室,与现有技术相比,其能够克服裂解过程中由于进气端和排气端裂解气的差异导致的碳化硅纤维表面质量差的问题,显著地提高碳化硅纤维表面质量,本申请还提供一种碳化硅纤维裂解系统,同样具有上述有益效果。

技术研发人员:胡高健;胡祥龙;戴煜
受保护的技术使用者:湖南顶立科技有限公司
技术研发日:2017.12.11
技术公布日:2018.04.24
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1