专利名称：液滴喷头的功能液填充方法及其装置、液滴喷出装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及把墨水等功能液填充在喷墨式液滴喷头的液滴喷头的功能液填充方法及其装置、液滴喷出装置、电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械背景技术以往，在喷墨式打印机为代表的液滴喷出装置中，向喷头(液滴喷头)的内部流路填充墨水时，给积存墨水的墨水箱(功能液积存部)赋予正压，从墨水箱通过管子向喷头加压输送墨水(例如，参照特开2000-21157号公报，第2-3页、图2)。
也已知与此相反的，在填充墨水时，利用帽封闭喷头，驱动联接在帽的吸引泵的方法，给喷头内部流路赋予负压，从墨水箱输送墨水的技术(例如，参照特开平10-286974号公报，第2页、图5)。
但是，如果在喷头内部流路中残留气泡，液滴喷头会产生喷嘴的喷出不良。另一方面，使用于制造彩色滤光器或有机EL设备的各种成膜部的液滴喷出装置中，有时使用不能完全脱气的墨水等特殊的功能液。
在以往的靠负压的填充方法中，根据功能液的性状，由于溶解气体，有可能在管路或喷头内部流路中发生气泡。此时，有必要排除残留气泡的重复几次的吸引，通过喷嘴从喷头内部流路和功能液一起排出气泡；这就发生白白浪费昂贵的功能液的问题。
另一方面，以往的依靠正压的填充方法中，虽然填充时，在管路或喷头内部流路中不发生气泡，但是，在喷头内部流路中，由于功能液的表面张力，如果在喷头内部流路(构成喷头内部流路的喷头主体内部)的角落部位残留气泡，则，在依靠正压的送液中，很难排出气泡到喷嘴。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可以有效排出喷头内部流路的气泡、向液滴喷头可靠填充功能液的液滴喷头的功能液填充方法及其装置、液滴喷出装置、电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械。
本发明的液滴喷头的功能液填充方法是把功能液填充在液滴喷头喷头内部流路的液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于包括加压输送功能液的方法来填充上述液滴喷头的喷头内部流路的加压送液工序，和上述加压送液工序之后从上述液滴喷头的喷嘴吸引功能液的吸引工序。
根据这样的构成，功能液依靠正压加压送液到液滴喷头之后，由赋予负压的液滴喷头被吸引的方法，结束喷头内部流路的填充。因为最初利用正压，功能液尽可能不产生气泡而被供应到液滴喷头，另外，最后利用负压的方法，即使在喷头内部流路内残留气泡，利用减压效果扩大残留气泡，可以和功能液一起，从液滴喷头的喷嘴中适宜排出残留气泡。
这样，组合正压和负压进行填充作业的方法，不管功能液的脱气率，可以最佳控制气泡的产生和残留，可以把功能液无缝隙地填充在喷头内部流路。
这时，最好是加压送液工序中的各部分的功能液流速相对小于吸引工序中的各部分的功能液流速。
根据这样的构成，在靠正压的功能液供应时，因为比较低的流速，恰当抑制产生气泡的状态，可以输送功能液，在依靠负压的功能液吸引时，因为比较高的流速，可以和功能液一起恰当排出残留气泡。
此时，吸引工序最好是在吸引帽密接在液滴喷头的状态下进行，而加压送液工序是在吸引帽可以容纳喷嘴所排出功能液的状态下进行。
根据这样的构成，通过吸引帽赋予液滴喷头负压而吸引功能液，利用这个吸引帽，可以接收伴随最初加压送液的液滴喷头所可能排出(漏出)的功能液。由此，有效利用帽，可以防止功能液的飞散。另外，也可以吸引帽从加压送液工序时刻开始密接在液滴喷头。
这时，吸引工序最好是在吸引帽密接在液滴喷头的状态下进行，并且，最终阶段中，一边继续吸引，一边使该吸引帽离开。
根据这样的构成，可以防止由于吸引排出到吸引帽的残留气泡在解除吸引帽密接的最终阶段中向液滴喷头逆流。换句话说，排出气泡后，一边继续赋予负压的同时，一边把吸引帽离开液滴喷头的方法，即使是液滴喷头开放在大气环境中，也不会使排出的残留气泡逆流，与此同时，可以稳定液滴喷头中的功能液的弯液面。
同样，最好是吸引工序后，还具有向液滴喷头一时加压输送功能液的一时加压送液工序为好。
根据这样的构成，排出气泡后，再度向功能液赋予正压的方法，可以稳定液滴喷头中的功能液的弯液面。
本发明的液滴喷头的功能液填充装置，是把功能液积存部的功能液填充在液滴喷头的喷头的液滴喷头功能液填充装置，包括加压功能液积存部，通过供应管路，把该功能液积存部内的功能液加压输送到液滴喷头的加压送液机构、通过密接在上述液滴喷头的帽，从该液滴喷头的喷嘴吸引功能液的吸引机构、控制加压送液机构和吸引机构的控制机构；而控制机构驱动加压送液机构的方法来向上述液滴喷头的喷头内部流路填充功能液之后，驱动吸引机构的方法来从上述液滴喷头吸引功能液为特征。
根据这样的构成，从功能液积存部内部向液滴喷头依靠正压加压输送之后，通过帽从赋予负压的液滴喷头中吸引的方法，功能液填充在供应管路到喷头内部流路。这时，因为最初利用正压，可以把功能液尽可能不产生气泡而向液滴喷头供应；另外，最终利用负压的方法，即使是喷头内部流路中滞留气泡，利用减压效果扩大残留气泡，和功能液一起，从液滴喷头的喷嘴中可以恰当排出残留气泡。
这样，组合正压和负压进行填充作业的方法，不管功能液的脱气率，可以适当地控制气泡的产生和残留，可以把功能液无缝隙地填充在喷头内部流路。
另外，吸引动作的开始最好是根据液滴喷头附近设在供应管路的传感器检测结果(有时，可以使用定时器)来进行。
此时，控制机构最好是在停止加压送液机构驱动之后，开始驱动吸引机构。
根据这样的构成，因为吸引动作中给喷头内部流路恰当赋予负压，可以可靠排出残留气泡。
此时，加压送液机构最好是具有向功能液积存部供应压缩空气的压缩空气供应源、连接压缩空气供应源与功能液积存部的耐压管路、设在耐压管路并控制机构来控制开闭的加压一侧开闭阀；加压送液机构的驱动和停止驱动最好是开闭加压一侧开闭阀来进行为好。
根据这样的构成，利用加压一侧开闭阀的开闭，可以简单且恰当执行功能液的加压送液机构的驱动·停止驱动。另外，如果加压一侧开闭阀使用具有通大气孔的三通阀，不仅可以简化装置结构，而且利用被加压的功能液积存部的压力向大气开放的方法，可以迅速停止功能液的输送。
这时，在供应管路上最好是还设置控制机构来控制开闭的开闭阀，控制机构在开始驱动吸引机构前，关闭开闭阀，而关闭开闭阀后，开始驱动吸引机构，并且，吸引机构继续驱动中，开放开闭阀。
根据这样的构成，先关闭开闭阀，可靠地给喷头内部流路赋予负压而扩大残留气泡之后，开放开闭阀的方法，通过继续的吸引而使功能液流动，此时，疏浚扩大的残留气泡。这样，利用负压的过程中开闭开闭阀的方法，因为可以恰当扩大残留气泡，所以可以可靠排出残留气泡。
另外，也可以不停止加压送液机构驱动(上述加压侧地开闭阀)而进行开闭阀的开闭控制。根据这个，如果继续的吸引中开放开闭阀，由于加压的送液和依靠负压的送液的共同效果，功能液更高速流动，因此，可以更可靠地排出残留气泡。
此时，控制机构最好是吸引机构继续驱动中多次开闭开闭阀。
根据这样的构成，喷头内部流路中产生一时的脉动，所以连喷头内部流路执拗滞留的气泡也可以适宜排出。
这时，开闭阀最好是设在靠近液滴喷头的供应管路上。
根据这样的构成，因为可以迅速赋予液滴喷头负压，一边减少由吸引机构的功能液排出量，一边有效扩大残留气泡而进行排出。
此时，最好是控制机构控制加压送液机构和吸引机构，以便由于加压送液机构的功能液流速相对小于由吸引机构的功能液流速。
根据这样的构成，不仅在依靠正压的功能液填充时，因为比较低流速，可以恰当抑制气泡发生的状态输送功能液，同时在依靠负压的功能液吸引时，因为比较高的流速，可以和功能液一起恰当排出残留气泡。
此时，帽最好是兼有可以接收由加压送液机构的驱动而液滴喷头喷嘴所排出功能液的容器。
根据这样的构成，利用帽可以接收伴随从最初的加压送液的液滴喷头可能排出的(漏)功能液。由此，有效利用帽，可以防止功能液的飞散。另外，也可以从加压送液阶段开始，帽密接在液滴喷头。
此时，吸引机构具有相对于液滴喷头接·离的接·离机构，控制机构最好是在最终阶段一边继续吸引机构的驱动，一边利用接·离机构来把帽离开液滴喷头。
根据这样的构成，可以防止由于吸引，排出到吸引帽的残留气泡在解除吸引帽密接的最终阶段向液滴喷头逆流。换句话说，排出气泡后，一边继续赋予负压的同时，一边把吸引帽离开液滴喷头的方法，即使是液滴喷头开放在大气环境中，不会使排出的残留气泡逆流，与此同时，可以稳定液滴喷头中的功能液的弯液面。
此时，控制机构最好是在停止吸引机构驱动之后，一时驱动加压送液机构。
根据这样的构成，排出气泡后，给功能液再度赋予正压的方法，可以稳定液滴喷头中的功能液的弯液面。
本发明的液滴喷出装置，具备上述的本发明的液滴喷头的功能液填充装置和对工件相对扫描而从喷嘴喷出功能液滴的液滴喷头。
根据这样的构成，因为向液滴喷头恰当填充功能液，可以防止由于气泡的喷出不良(所谓的漏点)，对工件可以恰当喷出功能液。另外，工件包括后面要叙述的彩色滤光器等的各种基板以外，还包括单票纸等记录介质。
此时，液滴喷头的功能液填充装置最好是还具备积存向功能液积存部供应的功能液，并使功能液积存部具有支箱功能的主箱，加压送液机构兼有从主箱向功能液积存部供应功能液的供给机构。
根据这样的构成，即使是功能液积存部内的功能液减少，利用加压送液机构，可以从主箱把功能液恰当补给到功能液积存部。由此，有效利用加压送液机构，可以适当维持液滴喷头与功能液积存部之间的水头差，因此，可以恰当进行对工件的功能液滴的喷出。另外，可以实现整个装置的小型化。
本发明电光学装置，其特征在于作为工件的基板上具有利用上述本发明的液滴喷出装置，从液滴喷头喷出的功能液滴形成的成膜部。
同样，本发明的电光学装置制造方法的特征在于利用上述本发明的液滴喷出装置，液滴喷头喷出的功能液滴在作为工件的基板上形成成膜部。
根据这样的构成，因为利用对基板可靠喷出功能液滴的液滴喷出装置来制造，可以提高电光学装置的成品率。另外，作为电光学装置(设备)可以考虑液晶显示装置、有机EL(电致光)装置、电子放出装置、PDP(等离子显示板)装置和电迁移显示装置。另外，电子放出装置是包括所谓的FED(场发射显示器)或SED(表面导电电子射极)等概念。还有，作为电光学装置包括金属配电线形成、透镜形成、保护层形成和光扩散体形成的装置。
本发明的电子器械是装有上述的本发明的电光学装置为特征。
根据这样的构成，可以提供装有高性能电光学装置的电子器械。此时，作为电子器械有所谓的装有平面板显示器的手机、家庭用电子计算机和各种电气产品。
图1是实施方式液滴喷出装置的外形立体图。
图2是实施方式液滴喷出装置的正视图。
图3是实施方式液滴喷出装置的右侧视图。
图4是实施方式液滴喷出装置的省略一部分的俯视图。
图5是实施方式喷头部件的俯视图。
图6A是实施方式液滴喷头的立体图，图6B是液滴喷头的主要部分的剖面图。
图7是实施方式吸引部件的立体图。
图8是实施方式吸引部件的正视图。
图9是实施方式吸引部件的帽的剖面图。
图10是实施方式供液支箱的立体图。
图11是实施方式液滴喷出装置的管路布置系统图。
图12是表示实施方式液滴喷头的功能液填充处理流程的流程图。
图13是说明彩色滤光器制造工序的流程图。
图14A-14E是按照制造工序顺序表示彩色滤光器的模式剖面图。
图15是采用本发明彩色滤光器的液晶装置大体结构的主要部分的剖面图。
图16是表示采用本发明彩色滤光器的第二例液晶装置大体结构的主要部分的剖面图。
图17是采用本发明彩色滤光器的第三例液晶装置大体结构的主要部分的拆卸立体图。
图18是第二实施方式显示装置的主要部分剖面图。
图19是说明作为有机EL装置的显示装置制造工序的流程图。
图20是说明无机物堤岸层形成的工序图。
图21是说明有机物堤岸层形成的工序图。
图22是说明空穴注入/输送层形成过程的工序图。
图23是说明已经形成空穴注入/输送层状态的工序图。
图24是说明蓝色发光层形成过程的工序图。
图25是说明已经形成蓝色发光层状态的工序图。
图26是说明已经形成各颜色发光层状态的工序图。
图27是说明阴极形成的工序图。
图28是作为等离子显示装置(PDP装置)的显示装置主要部分的拆卸立体图。
图29是作为电子放出装置(FED装置)的显示装置主要部分的剖面图。
图30A是表示显示装置的电子放出部周围的俯视图，图30B是表示其形成方法的俯视图。
图中，
1、液滴喷出装置 2、喷出机构 4、液体供应回收机构5、空气供应机构(加压送液机构) 20、液滴喷头 23、X·Y移动机构 49、喷嘴 72吸引部件(吸引机构) 81、帽84、升降机构 85、吸引泵 161、主箱 162、供液支箱(功能液积存部) 163、第一供应管 164、第二供应管(供应管路)188、供应阀(开闭阀) 201、气泵(压缩空气供应源)203、第二空气供应管(加压用管路) 205、三通阀(加压一侧开放阀)具体实施方式
下面，结合
本发明的液滴喷头的功能液填充方法及其装置和液滴喷出装置。这个液滴喷出装置是组合在有机EL装置等的平面板显示器制造线上的装置，利用喷墨方式，从液滴喷头对基板(工件)选择性喷出滤光材料或发光材料等的功能液滴而进行绘图，在基板上形成所要的成膜部的装置。
如图1至图4所示，液滴喷出装置1包括具有图6A、6B所示液滴喷头20的喷出功能液的喷出机构2、进行液滴喷头20维护处理的保养机构3、向液滴喷头20供应功能液的同时收回不要功能液的液体供应回收机构4、为了驱动·控制液体供应回收机构4，供应压缩空气的空气供应机构5、统一控制这些机构·装置的控制机构(省略图示)。
液滴喷出装置1包括将角钢组合成立方体形状的台座11、增设在台座11的机座12、固定在台座11上部的石定盘13。石定盘13上面布置喷出机构2，对应于上方的液滴喷头20安装下方的作为液滴对象物的工件W(基板，参照图4)。工件，例如由玻璃基板或聚酰胺基板等而构成。
机座12由容纳液体供应回收机构4的主箱161等箱子类的前面的大容纳室14、容纳空气供应机构5的主要部分的后面的小容纳室15、箱子底座16，其设在小容纳室15并对主箱161起支箱作用的液体供应回收机构4的供液支箱162(后面要叙述)的安放、布置在大容纳室14并在机座12长度方向(即X轴方向)滑动自由地支承的移动台17所构成。在移动台17上固定公用底座18，以放置保养机构3的吸引部件72和摩擦接触部件73(都要在后面叙述)。
喷出机构2由具有多个液滴喷头20的喷头部件21、安装喷头部件21的主输送架22、通过主输送架22使喷头部件21对工件W在X·Y轴方向相对移动的X·Y移动机构23所构成。X·Y移动机构23由设在石定盘13并使工件W在X轴方向移动的X轴台子25和，垂直于X轴台子25使主输送架22在Y轴方向相对移动的Y轴台子26所构成。X轴台子25是线形电动机来构成移动系统的主体，通过吸引放置工件W的吸引固定台子27(参照图4)使工件W在X轴方向移动。Y轴台子26，以螺杆来构成移动系统的主体，使之横跨X轴台子25并布置在其上方。
依靠喷出机构2的一系列动作中，和由X轴台子25的工件W的主扫描方向(X轴方向)移动同步，多个液滴喷头20选择性驱动喷出。即，液滴喷头20的所谓主扫描是靠X轴台子25的工件W的往复运动动作来进行，与此对应的所谓的副扫描是靠Y轴台子26的液滴喷头20的Y轴方向节距输送动作的往复运动动作来进行。这样，根据存储在控制机构的数据来进行利用X·Y移动机构23使液滴喷头20相对于工件W进行主扫描和副扫描，在工件W的规定位置喷出功能液的绘图动作。
另外，工件W在主扫描方向相对于液滴喷头20(喷头部件21)作移动，但是，也可以将液滴喷头20在主扫描方向移动的结构。另外，也可以是固定工件W，而液滴喷头20在主扫描方向和副扫描方向移动的结构。
如图5和图6所示，喷头部件21具有安装多个(12个)液滴喷头20的支输送架29，在支输送架29部分，固定主输送架22。如图1和图3所示，主输送架22是由从Y轴台子26的桥板60下面固定的外形为「I」的吊挂部件61和安装在吊挂部件61下表面的Θ台子62、吊挂安装在Θ台子62下方的输送架主体63所构成。输送架主体63上设有间隙配合支输送架29的方形的开口，定位固定喷头部件21。
如图6A、B所示，液滴喷头20是所谓的双联喷头，由具有双联连接针41的功能液引入部42、连接在功能液引入部42的双联喷头主板43、连接在功能液引入部42下方(图6A中是上方)内部充满功能液并形成喷头内部流路的喷头主体44所构成。这种喷墨方式的液滴喷头20由压电元件(压电元件)或电热变换体作为喷出驱动能量发生元件的喷头所构成。
各连接针41通过管接头51连接在供液支箱162，功能液引入部42可以接收各连接针41的功能液。即，靠空气供应机构5，使功能液从液体回收机构的主箱161加压力供应到供液支箱162的同时，在这个供液支箱162中切断压力之后，供应到从供液支箱162分支的各液滴喷头20(参照图11后面要详细叙述)。
喷头主体44由具有喷嘴面45的喷嘴形成面46和连接喷嘴形成面46长方体形状的双联泵47所构成。液滴喷头20是使喷头主体44凸出在支输送架29的下表面，喷头主体44的下表面即平行对峙工件W的喷嘴面45上互相平行形成两根喷嘴列48。各喷嘴列48延长在近似主扫描方向，比如180个喷嘴49等距离排列而构成。通过泵47的作用，液滴喷头20从喷嘴49点状喷出功能液滴。
十二个液滴喷头20是各列六个分两列隔一定间隔布置在主扫描方向(X轴方向)上。另外，为了确保功能液滴对工件W的充分的涂敷密度，各液滴喷头20按规定的倾斜角度倾斜布置。进而，一列的液滴喷头20和另一列液滴喷头20在副扫描方向(Y轴方向)互相错位布置，在副扫描方向上各液滴喷头20的喷嘴49连续(部分重叠)。
保养机构3是维护处理液滴喷头20，使液滴喷头20适当喷出功能液的机构，如图4所示，包括布置在台座11的一对冲洗箱71、布置在机座12一侧的吸引部件72和靠近吸引部件72布置的摩擦部件73。
一对的冲洗箱71是接收多个液滴喷头20的冲洗(预备喷出从所有喷嘴49的功能液滴的舍弃喷出)的部件，夹住吸引固定台子27固定在X轴台子25上。在绘图动作中，利用X轴台子25，冲洗箱71和主扫描时的工件W一起向液滴喷头20(喷头部件21)移动，从靠近冲洗箱71的液滴喷头20按顺序(各列)定期进行冲洗。在各个冲洗箱71接收的功能液通过图外面的废液管子积存在废液箱149(参照图3)。
吸引部件72放置在机座12的公用机座18上，并且，通过固定公用机座18的移动台17在X轴方向可以滑动自由地构成。吸引部件72是从液滴喷头20强制吸引功能液的部件，在液滴喷头20内部排除增加粘度的功能液的清理时，或在喷头部件21(的液滴喷头20)开始填充功能液时使用。
如图7和图11所示，吸引部件72由对应于十二个液滴喷头20的组合十二个帽81的帽部件82、支持帽部件82的支持部件83、通过支持部件83升降帽部件82的升降机构84、通过帽81吸引功能液的吸引泵85和连接各帽81与的吸引泵85的吸引用管子部件86所构成。由吸引泵85所被吸引的功能液由管子部件86和回收用管子148引入到再利用箱147。
如图9所示，帽81由帽主体91、铺设在帽主体91底部的吸收材料92、形成在帽主体91底部的小孔93、安装在帽主体91上端周围的密封圈94、把帽主体91固定在机座板95的帽孔96和，在帽主体91底面一侧向大气开放的大气开放阀97所构成。
密封圈94可以密接在液滴喷头20的喷嘴面45周围部的结构，密封其部位。小孔93连通L字型接头98并连接在吸引用管子部件86。借助于密封圈94把帽81密接在液滴喷头20的状态，使吸引泵85动作，则，通过小孔93液滴喷头20上作用负压，液滴喷头20中吸引功能液。被吸引的功能液从吸收材料92通过管子部件86引入到再利用箱147。
大气开放阀97利用弹簧101被压在上方的关闭一侧，在开放一侧设有操作部102。通过后面要叙述的操作板125下降操作部102而克服弹簧101打开大气开放阀97，把盖主体91从底面侧开放大气，大气开放阀97的开阀，在功能液吸引动作最终阶段进行打开，也可以吸引含在吸收材料92的功能液(后面要详细叙述)。
如图11所示，吸引用管子部件86由连接在吸引泵85的吸引管子111、连接在各帽81的多个(十二根)吸引分支管子112、用于连接吸引管子111和吸引分支管子112的头部管子113所构成。即，利用吸引管子111和吸引分支管子112形成连接帽81和吸引泵85的功能液流路。在各吸引分支管子112上，帽81一侧开始依次设有检测有无功能液的液体传感器116、检测吸引分支管子112内部压力的压力传感器117、关闭吸引分支管子112的吸引用开闭阀118。
如图8所示，支持部件83包括上端具有支持帽部件82的支持板121的支持部件主体122、上下方向滑动自由地支承支持部件主体122的立柱123。一对汽缸124固定在支持板121的长度方向两侧下表面，由这个一对汽缸124来升降操作板125。配合在各帽81的大气开放阀97的操作部102的挂钩126安装在操作板125，伴随操作板125的升降，挂钩126使操作部102升降而开闭上述大气开放阀97。
升降机构84(接·离机构)包括空气汽缸组成的两个升降汽缸131、133即竖立设在立柱123的底座部的下部升降汽缸131和由下部升降汽缸131升降的升降板132上竖立设置的上部升降汽缸133。在支持板121上面联接上部升降汽缸133的活塞杆。两个升降汽缸131、133的行程不同，选择动作两个升降汽缸131、133的方法，可以自由转换帽部件82的上升位置为比较高的第一位置、比较低的第二位置。帽部件82位于第一位置时，各帽81密接在各液滴喷头20；帽部件82位于第二位置时，各液滴喷头20与各帽81之间产生微小的间隙。
从液滴喷头20中吸引功能液时，利用移动台17，把吸引部件72移动到给定的Y轴方向位置的同时，利用X·Y移动机构23把液滴喷头20移动到移动后的吸引部件72位置。这里，驱动升降机构84，帽部件82上升到第一位置，把帽81密接在喷嘴面45，以封闭液滴喷头20。在这个状态下，驱动吸引泵85的方法，总括进行十二个液滴喷头20的功能液吸引。
另外，帽部件82的第二位置中，可以使吸引部件72作为预冲洗箱71的功能，进而如后面要叙述的，在向液滴喷头20(最初)填充功能液时也具有接收功能液的功能。
如图1、图3和图4所示，摩擦接触部件73邻接吸引部件72放置在公用底座18。摩擦接触部件73是利用摩擦板(省略图示)擦掉由于液滴雾的附着而弄脏的各液滴喷头20的喷嘴面45的部件，这个擦掉处理基本上在液滴喷头20的吸引处理后进行。
例如，如果结束液滴喷头20的清理(吸引)，由移动台17移动摩擦接触部件73，以靠近液滴喷头20的位置。然后，摩擦接触部件73伸出轮子形状的摩擦板，使其摩擦接触液滴喷头20的喷嘴面45擦喷嘴面45，擦干净后，卷回摩擦板。
如图3和图11所示，液体供应回收机构4由向喷头部件21的各液滴喷头20供应功能液的功能液供给系统141和回收吸引部件72所吸引的功能液回收系统142所构成。如图11所示，功能液回收系统142包括积存被吸引功能液的再利用箱147和连接在吸引泵85并把被吸引的功能液引入到再利用箱147的回收用管子148。再利用箱147和功能液供给系统141的主箱161或上述的废液箱149一起容纳在大容纳室14内。
如图11所示，功能液供给系统141具有积存大容量(3L)功能液的主箱161、把从主箱161的功能液供应到各液滴喷头20的供液支箱162(功能液积存部)、用管子连接主箱161和供液支箱162的第一供应管163和用管子连接供液支箱162和各液滴喷头20的第二供应管164(供应管路)。
通过从空气供应机构5引入的压缩气体(惰性气体)，主箱161把积存的功能液通过第一供应管163压力输送到供液支箱162。由于受到液滴喷头20的泵作用(液滴喷出)，积存在供液支箱162的功能液，传播第二供应管164而向液滴喷头20供应。
如图1所示，供液支箱162固定在机座12的箱子底座16上。并且，如图10所示，供液支箱162包括两侧具有液位窗171的并积存功能液的箱子主体172、靠近两液位窗171的检测功能液液位(水位)的液位检测器173、放置箱子主体172的底座174和通过底座174支持箱子主体172的箱子立柱175。
在位于箱子主体172上面的盖180上，系连一根第一供应管163的同时，设有第二供应管164用六个供液用接头181和连接空气供应机构5的第二空气供应管203(后面要叙述)用的一个加压用接头182。并且，如图11所示，第二空气供应管203上设有带大气开放孔的三通阀205，箱子主体172内构成为通过大气开放的方法可以切断从空气供应机构5的压力。另一方面，第一供应管163上设有用于调整来自主箱161的功能液输送的液位调节阀183。
为了液滴喷头20的喷嘴面45与箱子主体172内功能液液面之间的高度差(水头值)在规定范围之内(比如25mm±0.5mm)，设置了液位检测器173。即，根据液位检测器173的检测结果适宜开闭控制液位调节阀183(定时控制)，调整箱子主体172的积存功能液的液位总是在上述规定的管理范围之内。
由此，可以防止从液滴喷头20喷嘴49的液滴下垂，且利用液滴喷头20的泵作用，即，以泵部47内的压电元件的泵驱动而高精度喷出液滴。另外，图11中的符号184和液位检测器173同样，也是检测功能液液面的上限传感器，考虑液位检测器173错误动作(检测错误)，作为安全用而设置的。
如图10和图11所示，第二供应管164其一端通过供液用接头181连接在供液支箱162，另一端通过T字型接头185分支之后，通过上述的管子接头51连接在液滴喷头20。即，连接在供液支箱162的六根第二供应管164形成有应对应十二个液滴喷头20的通过六个T字型接头185各自分两支合计十二根第二分支管186。然后，各第二分支管186在液滴喷头20之前进而分支为两个，通过两个管子接头51连接在液滴喷头20的两个连接针41(参照图5、图6A、图6B)。
第二分支管186上，从T字型接头185一侧依次设有关闭功能液流路用供应阀188(开闭阀)、检测有无功能液的液体检测传感器187。为了尽可能缩短液滴喷头20之间的通路长度，供应阀188接近液滴喷头20安装在第二分支管186上。具体地，合计十二个供应阀188和合计六个的T字型接头185等作为组件固定在固定主输送架22的输送架板60上(参照图1)。供应阀188是平常为打开的阀(常开式)，后面要叙述的功能液初期填充作业时，才关闭。另外，液体检测传感器187也主要在功能液的初期填充作业时，才使用。
为了驱动上述的吸引部件72的升降机构84，空气供应机构5作为空气供应的驱动系统空气供给机构功能之外，还具有向液体供应回收机构4(的主箱161或供液支箱162)供应压缩空气，压力输送功能液的加压送液机构的功能。
如图11所示，作为加压送液机构的空气供应机构5包括供应压缩氮(N2)等惰性气体的压缩空气的气泵201(压缩空气供给源)、连接气泵201和主箱161的第一空气供应管202、连接气泵201和供液支箱162的第二空气供应管203(加压用管路)。通过第一空气供应管202传来的压缩空气，主箱161被加压，而通过第二空气供应管203，供液支箱162被加压。
第一空气供应管202和第二空气供应管203上设有对应于压缩空气各自供应目标，把压力保持在规定的一定压力的调节器204。在第二空气供应管203上，从供液支箱162一侧依次设有带有大气开放孔的三通阀205(加压一侧开闭阀)和压力控制器206。压力控制器206不仅适当减压从调节器204输送过来的压缩空气之后，输送到供液支箱162，还开闭控制三通阀205的方法，可以调节向供液支箱162的加压力。
虽然后面要详细叙述，除了主箱161以外，在供液支箱162上也可以引入压缩空气的结构，以便可以稳定进行液滴喷头20的初期填充作业。
另外，用铝结构的主箱161和供液支箱162分别容纳在加压箱子后，通过加压箱子分别加压主箱161和供液支箱162的方法来替代本实施方式，也是可以的。比如，在供液支箱162上设置通气孔，该孔连通于加压箱子内部，使加压箱子和供液支箱162内部压力保持同压。然后，气泵201的压缩空气供应到加压箱子的方法，加压供液支箱162内部。
控制机构包括具有CPU而控制各个机构的控制部，控制部存储控制程序和控制数据的同时，具有各种控制处理用作业区域。于是，控制机构连接上述的各种机构，整体控制液滴喷出装置1，液滴喷出装置1进行绘图作业或初期填充作业。
比如，对工件W进行绘图作业时，控制机构分别控制多个液滴喷头20的喷出驱动的同时，利用X·Y移动机构23控制工件W和喷头部件21相对移动动作。另外，在绘图作业中，控制液体供应回收机构4或空气供应机构5，基本上进行大气开放状态的供液支箱162内部功能液液位管理的同时，利用保养机构3的吸引机构72或摩擦部件73来进行液滴喷头20的吸引处理或摩擦处理。
这里，作为控制机构的一例，结合图11说明液滴喷头20喷头内部流路里填充功能液的填充作业(以下称初期填充作业)。
原来在新设液滴喷出装置1或更换喷头部件21等时，进行初期填充作业，此时，因为液滴喷头20的喷头内部流路是空的，不仅利用液滴喷头20泵作用，还有必要(从供液支箱162内部)强制输送功能液。另外，还应防止液滴喷头20的不良喷出的最终完全排除喷头内部流路气泡的必要。
因此，本实施方式的初期填充作业中，利用上述的加压送液机构5(空气供应机构)，加压输送功能液到液滴喷头20后，利用吸引部件72，以吸引液滴喷头20。即，以加压送液机构5和吸引部件72为主体构成本发明的液滴喷头的功能液填充装置。于是，在初期填充作业时，把液滴喷头20(喷头部件21)移动到吸引部件72正上方，功能液的加压送液阶段是使帽部件82上升到上述的第二位置状态下进行，功能液吸引阶段是在将帽部件82上升到上述的第一位置、使帽81密接在液滴喷头20的状态下进行。
图12是表示初期填充作业的处理流程大概的流程图。如图12和图11所示，首先在步骤1中，驱动加压送液机构5。即，切换三通阀205，开放关闭的第二空气供应管203，从气泵201向供液支箱162供应压缩空气。由此，把供液支箱162内部功能液通过第二供应管164和第二分支管186加压输送到液滴喷头20。此时，第二供应管164等中的功能液流速最好是应防止产生气泡的比较低的50mm/s加压输送为好。
如果液体检测传感器187中检测出功能液(步骤2)，其功能液检测信号传送到控制机构，由控制机构的定时管理结束加压送液(步骤3)。具体地，检测出功能液后，功能液填充在液滴喷头20的喷头内部流路，经过功能液从液滴喷头20的喷嘴49中渗出的充分时间后，把三通阀205切换到大气开放孔，关闭第二空气供应管203的同时，使供液支箱162内部压力开放大气。另外，由上述的第二位置的帽81容纳从液滴喷头20渗出的(排出)功能液而不会飞散在外部。
在停止加压送液动作(加压送液机构5的驱动)的后续的时间中，封闭供应阀188而关闭第二分支管186(步骤4)，驱动升降机构84，把帽81移动到上述的第一位置而密接在液滴喷头20(步骤5)。接着，开放吸引用开闭阀118的同时，驱动吸引泵85，开始吸引动作(步骤6)。由此，通过帽81在液滴喷头20作用负压，从液滴喷头20中吸引功能液，但是，此时，由于吸引的减压效果(80kPa)，喷头内部流路中滞留的气泡被扩大，和功能液一起从喷嘴49顺利排出。
具体地，在结束步骤3时刻，假设气泡滞留在喷头内部流路，由于吸引动作，压力传感器117检测出规定压力(80kPa以下)时，由于减压效果，气泡在喷头内部流路内扩大(步骤7)。然后，接收压力传感器117所传送压力检测信号的控制机构打开被关闭状态的供应阀188而打开第二分支管186时，由于继续的吸引动作，残留气泡和功能液一起从喷头内部流路吸引排出到喷嘴49(步骤8)。另外，此时，比较高的1000mm/s以下流速来吸引功能液，可以适当排出残留气泡。
然后，利用控制机构的定时管理，关闭吸引用开闭阀118而结束吸引动作(步骤9)的方法，大体上结束喷头内部流路内的功能液填充。
这样，初期填充作业中，在最初，因为利用加压送液机构5的正压，尽可能不产生气泡而可以把功能液输送到液滴喷头20。另外，最终利用吸引部件72的负压的方法，利用减压效果来可以扩大喷头内部流路的残留气泡，和功能液一起，从液滴喷头20的喷嘴49中适当、且可靠排出残留气泡。
另外，步骤1时刻开始，把帽81移动到上述的第一位置，帽81密接在液滴喷头20的方法，也可以省略步骤5。另外，吸引动作中(步骤8和步骤9之间)多次开闭供应阀188，也是可以的。根据这些，因为喷头内部流路上产生一时的脉动，连喷头内部流路执拗滞留的气泡也可以适宜排出。
另外，由于功能液流路中的流路阻力的不同，在多个液滴喷头20之间填充所要的时间不均匀。此时，步骤2～4的处理流程中，对各液体检测传感器187封闭对应的供应阀188的方法，不会出现已经填充功能液的液滴喷头20白白下垂无用的液滴。即，按照功能液到达液体检测传感器187的顺序封闭对应的供应阀188的方法，可以减少功能液的消耗量。
步骤10以后是表示其后的处理，表示液滴喷头20接近摩擦处理为止的流程。首先，在步骤10、步骤11中，和步骤1同样，切换三通阀205而把压缩空气供应到供液支箱162，在控制机构的定时管理下，向液滴喷头20加压输送功能液。由于这个一时的加压送液动作，稳定液滴喷头20的功能液弯液面。
接着，打开帽81的大气开放阀97(参照图9)(步骤12)，开放吸引用开闭阀118的同时，驱动吸引泵85，再度进行吸引动作(步骤13)。然后，在控制机构的定时管理下，关闭吸引用开闭阀118结束吸引动作(步骤14)。由此，即使是帽81密接在液滴喷头20的状态，因为大气开放阀97打开而底面一侧通大气，液滴喷头20的功能液的弯液面不会受到影响，有效吸引含在吸收材料92的功能液。
然后，帽81离开液滴喷头20(步骤15)，把液滴喷头20(喷头部件21)靠近到摩擦部件73的正上方，进行摩擦处理(步骤16)。通过摩擦处理，功能液的填充而污染的液滴喷头20喷嘴面45被擦干净，液滴喷头20处于绘图作业待机状态。
下面，说明初期填充作业的第二个实施例。虽然没有特意图示，但是如果结合图12对第二实施例说明不同于第一实施例的点在于，在上述步骤3中不结束加压送液而继续加压送液的状态，进行上述的步骤4～7。由此，由于步骤8中的供应阀188的开放，加压送液动作和吸引动作相继，从喷头内部流路更高速同时排出残留气泡和功能液。另外，因为结束上述步骤9之后，也继续加压送液动作，可以很快进行上述步骤10和步骤11。
但是，帽81不带大气开放阀97情形时，在帽81离开时，存在排出到帽81的残留气泡向液滴喷头20逆流的情形。
因此，作为第三实施例，在上述的步骤9的吸引动作结束之前，使帽81离开。即，在最终阶段，一边继续吸引驱动，一边离开液滴喷头20的方法，可以有效防止接触帽81密接时的残留气泡的逆流。并且，进行上述的步骤10、步骤11后，驱动吸引的方法(删除上述的步骤12)，离开液滴喷头20而上面侧已经通大气的帽81，从其吸引部件92吸引功能液，液滴喷头20转移到后续的摩擦处理(删除步骤15)。
下面，利用本实施方式液滴喷出装置1制造的作为电光学装置(平面板显示器)，以彩色滤光器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子显示器(PDP装置)、电子放出装置(FED装置、SED装置)、特别是形成在这些显示装置的有源矩阵基板为例，说明起结构和制造方法。另外，所谓有源矩阵基板是薄膜晶体管和薄膜晶体管上形成电连接的源线、数据线的基板。
首先，说明液晶显示装置或有机EL装置上安装的彩色滤光器的制造方法。图13是表示彩色滤光器制造工序的流程图，图14是按照工序顺序表示本实施方式彩色滤光器500(滤光器基板500A)的模式断面图。
如图14A所示，首先在黑底形成工序(步骤S17)中，基板(W)501上形成黑底502。黑底502是由金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体或树脂黑来制作。为了形成金属薄膜的黑底502，可以利用溅射法或蒸鍍法。另外，由树脂薄膜形成黑底502时，可以利用凹版印刷法、光刻法、热复制法。
接着，堤岸形成工序(步骤S18)中，在黑底502上重叠的形状形成堤岸503。即，首先如图14B所示，覆盖基板501和黑底502，形成由底片型透明感光性树脂制作的保护层504。然后，在其上面进行矩阵模型形成的膜片505被覆状态的暴光处理。
进而，如图14C所示，进一步进行抗蚀层504的未暴光部分的蚀刻处理的方法，图案形成抗蚀层504，从而形成堤岸503。另外，树脂黑来制作黑底时，黑底和堤岸的兼用成为可能。
该堤岸503和其下面的黑底502成为划分各像素区域507a的划区隔壁507b，在以后的着色层形成工序中，形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时，由液滴喷头41规定功能液滴喷着区域。
经过以上的黑底形成工序和堤岸形成工序，获得上述的滤光器主体500A。
另外，本实施方式中，作为堤岸503的材料利用了涂膜表面为疏液(疏水)性的树脂材料。并且，基板(玻璃基板)501的表面为亲液(亲水)性的，因此，在后面要叙述的着色层形成工序中，可以提高像素区域507a内的，即被堤岸503(划区隔壁507b)所包围部分的液滴喷着位置精度。
其次，如图14D所示，在着色层形成工序(步骤S19)中，利用液滴喷头20把功能液滴喷着到被划区隔壁507b所包围的像素区域507a内。这时，利用液滴喷头20引入R·G·B三色的功能液(滤光材料)，进行功能液滴的喷出。另外，作为R·G·B三色排列，有带状、镶嵌型和三角形排列。
然后，经过干燥处理(加热等的处理)来固定功能液，形成三色的着色层508R、508G、508B。形成了着色层508R、508G、508B之后，转移到保护膜形成工序(步骤S20)，如图14E所示，形成覆盖基板501、划区隔壁507b和着色层508R、508G、508B的保护膜509。
即，在基板501的形成有着色层508R、508G、508B的全部面上，喷出保护膜用涂敷液之后，经过干燥处理来形成保护膜509。
然后，形成保护膜509之后，彩色滤光器500转移到后续工序的成为透明电极的ITO(铟锡氧化物)等的粘膜工序。
图15是利用上述彩色滤光器500的作为液晶显示装置一例的无源阵列型液晶装置(液晶装置)的表示大体结构的主要部分剖面图。该液晶装置520上附加安装液晶驱动用IC、背照灯、支撑体等的附加零件的方法，可以获得最终产品的透射型液晶显示装置。另外，彩色滤光器500是如同图15所示的滤光器，因此，对应部位附以相同的符号，省略其说明。
该液晶装置520大体上由彩色滤光器500、玻璃基板等组成的对置基板521和夹持在其间的STN(超级双绞向列)液晶组合物制作的液晶层522所组成，把彩色滤光器500布置在图中的上方(观测者一侧)。
另外，虽然图中未示，对置基板521和彩色滤光器500的外面(相反于液晶层522的面)分别设有偏光板，另外，位于对置基板521一侧的偏光板的外侧设有背照灯。
彩色滤光器500的保护膜509(液晶层一侧)上按规定间隔形成多个图15中左右方向的细长方形状的第一电极523，覆盖该第一电极523的相反于彩色滤光器500的面而形成第一定向膜524。
另一方面，对置基板521中的面对彩色滤光器500的面上，在垂直于彩色滤光器500的第一电极523方向上，按规定间隔形成多个细长形状的第二电极526，以覆盖该第二电极526的液晶层522一侧的面而形成第二定向膜527。这些第一电极523和第二电极526是由ITO(铟锡氧化物)等的透明导电材料制作。
设在液晶层522的垫片528是为了保持液晶层522一定厚度(单元间隔)的部件。另外，密封件529是为了防止液晶层522内部的液晶组合物向外漏出的部件。另外，第一电极523的一端部是作为引出的配电线延伸到密封件529的外侧。
于是，第一电极523与第二电极526交叉的部分为像素，使彩色滤光器500的着色层508R、508G、508B位于成为该像素部分的结构。通常的制造工序中，在彩色滤光器500上进行第一电极523的图像和第一定向膜524的涂敷而制作彩色滤光器500一侧的部分，并且，在对置基板521上另外单独进行第二电极526的图像和第二定向膜527的涂敷而制作对置基板521一侧的部分。然后，在对置基板521一侧的部分里制作垫片528和密封件529，在这个状态，粘合彩色滤光器500一侧的部分。接着，从密封件529的注入口注入构成液晶层522的液晶之后，封闭注入口。再后，层叠两个偏光板和背照灯。
实施方式的液滴喷出装置1涂敷上述的构成单元间隔的垫片材料(功能液)的同时，在对置基板521的部分粘合彩色滤光器500一侧的部分之前，在由密封件529所包围的区域内，可以均匀地涂敷液晶(功能液)。另外，利用液滴喷头20进行上述密封件529的印刷成为可能。还有，利用液滴喷头20进行第一定向膜524和第二定向膜527的涂敷成为可能。
图16是采用本实施方式中制造的彩色滤光器500的液晶装置第二例大体结构的主要部分剖面图。
该液晶装置530大不相同于上述的液晶装置520的点是彩色滤光器500布置在图中的下面(相反于观察者一侧)。
该液晶装置530大体上由彩色滤光器500、玻璃基板等组成的对置基板531和夹持在其间的由STN液晶组合物制作的液晶层532所构成。另外，虽然图中未示，在对置基板531和彩色滤光器500的外面，分别设有偏光板。
在彩色滤光器500的保护膜509上(液晶层532一侧)，按规定间隔形成多个图中往里方向的细长形状的第一电极533，以覆盖该第一电极533的液晶层532一侧面而形成第一定向膜534。
在对置基板531中的面对彩色滤光器500的面上，垂直于彩色滤光器500一侧的第一电极533方向延伸，按规定间隔形成多个细长形状的第二电极536，覆盖该第二电极536的液晶层532一侧的面而形成第二定向膜537。
在液晶层532上设有为了保持液晶层532一定厚度的垫片538和为了防止液晶层532内部的液晶组合物向外漏出的密封件539。
于是，和上述的液晶装置520同样，第一电极533与第二电极536交叉的部分为像素，使彩色滤光器500的着色层508R、508G、508B位于成为该像素的位置。
图17是采用本发明彩色滤光器500的液晶装置来构成液晶装置的第三例中，表示透射型TFT(薄膜晶体管)型液晶装置大体结构的分解立体图。
该液晶装置550是把彩色滤光器500布置在图中上面(观测者一侧)的装置。
该液晶装置550是由彩色滤光器500、面向彩色滤光器500布置的对置基板551、夹持在这些之间的图中未示的液晶层、布置在彩色滤光器500上面一侧的(观测者一侧)偏光板555和布置在对置基板551下表面的偏光板(图中未示)所构成。
彩色滤光器500的保护膜509的表面(对置基板551一侧的面)上形成液晶驱动用电极556。该电极556是由ITO等的透明导电材料制作，覆盖后面要叙述的像素电极560形成区域全部的全面电极。另外，覆盖该电极556的像素电极另一侧面的状态，设有定向膜557。
面向对置基板551的彩色滤光器500的面上形成绝缘层558，在该绝缘层558上面，以互相垂直状态，形成扫描线561和信号线562。于是，包围在这些扫描线561和信号线562区域内，形成像素电极560。另外，实际的液晶装置中，在像素电极560上面设有定向膜，但省略了图示。
另外，像素电极560的缺口部、扫描线561和信号线562所包围的部分里装有具备源电极、漏电极、半导体和栅电极的薄膜晶体管而构成。于是，对扫描线561和信号线562施加信号的方法，使薄膜晶体管开·关，从而可以进行像素电极560的通电控制。
另外，上述各实施方式的液晶装置520、530、550是透射型的结构，但是，设置反射层或半透射反射层，也可以作成反射型液晶装置或半透射反射型液晶装置。
下面，图18是有机EL装置的显示区域(以下简称显示装置600)主要部分的剖面图。
该显示装置600大体上是在基板(W)601上，层叠电路元件部602、发光元件部603和阴极604状态而构成的。
在该显示装置600中，从发光元件部603向基板601一侧发出的光，透射电路元件部602和基板601而向观测者一侧射出的同时，从发光元件部603向基板601的相反一侧发出的光，由阴极604反射之后，透射电路元件部602和基板601，向观测者一侧射出。
电路元件部602和基板601之间，形成由硅氧化膜而成的基底保护膜606，该基底保护膜606上(发光元件部603一侧)形成多结晶硅的岛状半导体膜607。该半导体膜607的左右区域上，利用高浓度阳离子打入配合法分别形成源区域607a和漏区域607b。并且没有打入阳离子的中央部位成为通道区域607c。
另外，在电路元件部602上，形成覆盖基底保护膜606和半导体膜607的透明的栅绝缘膜608，在栅绝缘膜608上的对应于半导体膜607通道区域607c位置上形成如Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极609。该栅电极609和栅绝缘膜608上形成透明的第一层间绝缘膜611a、第二层间绝缘膜611b。另外，穿过第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b形成分别连通半导体膜607的源区域607a和漏区域607b的触点孔612a、612b。
于是，在第二层间绝缘膜611b上，由ITO制作的透明的像素电极613按规定形状形成图案，这个像素电极613通过触点孔612a连接在源区域607a。
另外，在第一层间绝缘膜611a上，布置电源线614，这个电源线614通过触点孔612b连接在漏区域607b。
这样，在电路元件部602上，分别形成连接在各个像素电极613的驱动用薄膜晶体管615。
上述的发光元件部603大体上由多个像素电极613上的各自层叠的功能层617、各像素电极613和功能层617之间具备的划分功能层617的堤岸部618所构成。
这些像素电极613、功能层617和布置在功能层617上的阴极604来构成发光元件。另外，像素电极613在俯视图上近似矩形形成图案，各像素电极613之间形成堤岸部618。
堤岸部618是由如SiO、SiO2、TiO2等无机材料形成的无机物堤岸部618a(第一堤岸层)和层叠在这个无机物堤岸部618a的由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优越的抗蚀剂形成的断面台子形状的有机物堤岸部618b(第二堤岸层)所构成。该堤岸部618的一部分搭在像素电极613边缘部位的状态而形成。
于是，各堤岸部618之间形成面对像素电极613往上逐渐扩大的开口部619。
上述的功能层617是在开口部619内部，在像素电极613上，层叠状态形成的空穴注入/输送层617a和这个空穴注入/输送层617a上形成的发光层617b所构成。另外，还可以形成邻接在这个发光层617b的起另外作用的另一功能层。比如，形成电子输送层等成为可能。
空穴注入/输送层617a具有从像素电极613一侧，输送空穴之后，注入到发光层617b的功能。这个空穴注入/输送层617a是喷出空穴注入/输送层形成材料所含第一组合物(功能液)来形成的。作为空穴注入/输送层形成材料可以利用聚乙烯二氧化硫吩等的聚硫吩衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物。
发光层617b是发红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)光的层，利用喷出包含发光层形成材料(发光材料)的第二组合物(功能液)的方法来形成。作为第二组合物的溶剂(非极性溶剂)最好是利用不溶空穴注入/输送层617a的众所周知的物质，利用这样的非极性溶剂作为发光层617b的第二组合物的方法，不会再溶解空穴注入/输送层617a而可以形成发光层617b。
于是，在发光层617b中，从空穴注入/输送层617a注入的空穴和从阴极604注入的电子在发光层中重新结合而发光。
阴极604是全面覆盖发光元件部603的状态来形成，和像素电极613成对，使功能层617通电的作用。另外，在这个阴极604上面布置图中未示的封闭部件。
下面，结合图19～图23说明上述显示装置600的制造工序。
如图19所示，这个显示装置600是经过堤岸部形成工序(步骤S21)、表面处理工序(步骤S22)、空穴注入/输送层形成工序(步骤S23)、发光层形成工序(步骤S24)和对置电极形成工序(步骤S25)来制造的。另外，制造工序不限于例示的工序，可以根据需要增减一些工序。
首先，如图20所示，在堤岸部形成工序(步骤S21)中，在第二层间绝缘膜611b上，形成无机物堤岸部618a。该无机物堤岸部618a是在形成位置上形成无机物膜之后，把这个无机物膜用光刻技术来形成图案而形成。此时，无机物堤岸部618a的一部分和像素电极613边缘部重叠。
形成无机物堤岸部618a之后，如图21所示，在无机物堤岸部618a上形成有机物堤岸部618b。这个有机物堤岸部618b也和无机物堤岸部618a同样，利用光刻技术来形成图案的。
这样形成堤岸部618。另外，伴随这些，在各堤岸部618之间，形成面对像素电极613上方开口的开口部619。这个开口部619就规定像素区域。
表面处理工序(步骤S22)中，进行亲液化处理和疏液化处理。实施亲液化处理区域是无机物堤岸部618a的第一层叠部618aa和像素电极613的电极面613a，这些区域是利用氧为处理气体的等离子处理来进行亲液性表面处理。这个等离子处理兼有清洗作为像素电极613的ITO的作用。
另外，疏液化处理实施在有机物堤岸部618b的壁面618s和有机物堤岸部618b上面618t，比如，四氟化甲烷为处理气体的等离子处理来进行表面氟化处理(处理成疏液性)。
通过进行这种表面处理，利用液滴喷头20形成功能层617时，把功能液滴更可靠地喷着到像素区域，另外，可以防止从开口部619溢出喷到像素区域的功能液滴。
这样，经过以上的工序获得显示装置主体600A。这个显示装置主体600A放置在液滴喷出装置1的吸引固定台子27上，进行如下的空穴注入/输送层形成工序(步骤S23)和发光层形成工序(步骤S24)。
如图22所示，在空穴注入/输送层形成工序(步骤S23)中，液滴喷头20向作为像素区域的各开口部619内喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组合物。然后，如图23所示，进行干燥处理和热处理，蒸发包含在第一组合物中的极性溶剂，在像素电极(电极面613a)613上形成空穴注入/输送层617a。
下面，说明发光层形成工序(步骤S24)。如上所述，这个发光层形成工序中，为了防止空穴注入/输送层617a重新溶解，作为形成发光层时所使用的第二组合物，利用不溶空穴注入/输送层617a的非极性溶剂。
可是，另一方面，空穴注入/输送层617a对非极性溶剂的化合性低，因此，即使是包含非极性溶剂的第二组合物喷着在空穴注入/输送层617a上面，空穴注入/输送层617a和发光层617b不能密接或着有可能不能均匀涂敷发光层617b。
因此，为了提高空穴注入/输送层617a表面的对非极性溶剂和发光层形成材料的亲和性，形成发光层之前，最好是进行表面处理(表面改善质处理)。这个表面处理是在空穴注入/输送层617a上涂敷相同于形成发光层时所使用第二组合物的非极性溶剂或类似于这些溶剂的表面改质材料之后，干燥这些的方法来进行的。
实施这样的处理之后，空穴注入/输送层617a表面容易溶合于非极性溶剂，在以后的工序中，在空穴注入/输送层617a上可以均匀涂敷包含发光层形成材料的第二组合物。
然后，如图24所示，包含对应各颜色中的任何一种(图24中为蓝色(B))颜色发光层形成材料的第二组合物，作为功能液打入像素区域(开口部619)内部。打入到像素区域的第二组合物在空穴注入/输送层617a上扩展，充满开口部619内。另外，万一第二组合物偏离像素区域而喷着在堤岸部618的上面618t时，因为这个上面618t已经实施了上述的疏液处理，第二组合物容易滚进开口部619内部。
然后，进行干燥工序的方法，干燥处理喷出后的第二组合物而蒸发包含在第二组合物的非极性溶剂，如图25所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。这个图的情况是形成对应于蓝色(B)的发光层617b。
同样，如图26所示，利用液滴喷头20按顺序进行如同上述对应于蓝色(B)的发光层617b的工序，形成对应于其他颜色(红色(R)和绿色(G))的发光层617b。另外，发光层617b的形成顺序不限于例示的顺序，任何顺序形成都可以。比如，对应于发光层形成材料决定形成顺序也是可能的。另外，作为R·G·B三色排列，有带状、镶嵌型和三角形排列。
这样，在像素电极613上形成功能层617即空穴注入/输送层617a和发光层617b。然后转移到对置电极形成工序(步骤S25)。
如图27所示，在对置电极形成工序(步骤S25)中，在发光层617b和有机物堤岸部618b的全表面上，利用蒸鍍法、溅射法、CVD法形成阴极604(对置电极)。这个阴极604在本实施方式中是例如钙层和铝层的层叠而构成的。
这个阴极604上面适当设置作为电极的Ai膜、Ag膜或为防止其氧化的SiO2、SiN等的保护层。
这样形成阴极604之后，实施利用封闭部件来封闭这个阴极604上面的封闭处理等的其他处理，获得显示装置600。
下面，图28是等离子型显示装置(PDP装置以下称显示装置700)的主要部分的分解立体图。该图是切去一部分状态表示显示装置700的。
这个显示装置700大体上包括互相面对布置的第一基板701、第二基板702，和其间形成的放电显示部703。放电显示部703由多个放电室705所构成。这些放电室705中的红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B布置成使三个放电室组成一组来构成一个像素。
第一基板701的上面上，按规定间隔形成格纹状地址电极706，覆盖这个地址电极706和第一基板701上面而形成电介体层707。电介体层707的上面，竖立设有位于各地址电极706之间，且沿着各地址电极706的隔壁708。这个隔壁708包括如图所示的延伸到地址电极706宽度方向两侧的部分和图中未示的垂直于地址电极706方向延伸的部分。
于是，由这个隔壁708所划分的区域就成为放电室705。
在放电室705内部布置荧光体709。荧光体709是发红(R)、绿(G)、蓝(B)色中任一色的荧光，红色放电室705R的底部布置红色荧光体709R、绿色放电室705G的底部布置绿色荧光体709G、蓝色放电室705B的底部布置蓝色荧光体709B。
在第二基板702的图中下侧的面，垂直于上述的地址电极706方向，隔规定间隔形成格纹状的多个显示电极711。然后，覆盖这些，形成电介体层712和MgO等制作的保护膜713。
使地址电极706与显示电极711互相垂直的状态，面向粘合第一基板701和第二基板702。另外，上述地址电极706和显示电极711连接在图中未示的交流电源。
于是，使各个电极706、711通电的方法，可以在放电显示部703内的荧光体709激励发光，彩色显示成为可能。
在本实施方式中，上述的地址电极706、显示电极711和荧光体709可以利用图1所示的液滴喷出装置1来形成。下面，第一基板701中的地址电极706形成工序为例进行说明。
此时，把第一基板701装在液滴喷出装置1的吸引固定台子27的状态，进行如下的工序。
首先，含有导电膜配线形成用形成材料的液体材料工(功能液)作为功能液滴，通过液滴喷头20喷着在地址电极形成区域。这个液体材料是作为导电膜配线形成用形成材料把金属等的导电性微粒子分散在分散介质中的液体材料。这个导电性微粒子可以利用含有金、银、铜、钯或镍等的金属微粒子或导电性聚合物等。
如果结束作为补充对象的所有地址电极形成区域的液体材料的补充，则，干燥处理喷出后的液体材料，蒸发包含在液体材料中的分散介质而形成地址电极706。
上述中，虽然是以形成地址电极706为例说明，但是，经过上述各个工序也可以形成上述的显示电极711和荧光体709。
形成显示电极711时，和形成地址电极706同样，含有导电膜配线形成用形成材料的液体材料(功能液)作为功能液滴喷着在显示电极形成区域。
另外，形成荧光体709时，液滴喷头20把作为液滴含有对应于各颜色(R、G、B)荧光材料的液体材料(功能液)喷着在对应颜色的放电室705内。
下面，图29是电子放出装置(FED装置以下称显示装置800)的主要部分的剖面图。另外，该图是表示显示装置800一部分的剖面图。
这个显示装置800大体上包括互相面向布置的第一基板801、第二基板802和其间形成的电场放出显示部803而构成。电场放出显示部803是由矩阵状布置的多个电子放出部805所构成。
第一基板801上面形成有构成阴极806的互相垂直地形成的第一元件电极806a和第二元件电极806b。另外，在第一元件电极806a和第二元件电极806b所划分的部分里，有形成间隙808的导电性膜807。即，由第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807来构成多个电子放出部805。导电性膜807，例如由氧化钯(PdO)制作，而间隙808是形成导电性膜807之后，成形法来制作。
在第二基板802的下面，形成有阳极809与阴极806对峙。在阳极809下表面，形成格子状堤岸部811，这个堤岸部811所包围的向下开口的各个开口部812上对应于电子放出部805而布置荧光体813。荧光体813是发出红(R)、绿(G)、蓝(B)任意色荧光的物质，在各个开口部812上按上述规定的模型布置红色荧光体813R、绿色荧光体813G和蓝色荧光体813B。
于是，这样构成的第一基板801和第二基板802是保持微小间隙而粘合的。这个显示装置800中，通过导电性膜(间隙808)807，从作为阴极的第一元件电极806a或第二元件电极806b飞出的电子碰撞在作为阳极的阳极电极809上所形成的荧光体813，使其激励发光，彩色显示成为可能。
这时，也和其他的实施方式同样，可以利用液滴喷出装置1来形成第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807和阳极809的同时，利用液滴喷出装置1来形成各颜色的荧光体813R、813G、813B。
第一元件电极806a、第二元件电极806b、以及导电性膜807具有图30A所示的平面形状，形成这些膜时，如图30B所示，预先留出第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807的制作部分，形成堤岸部BB(光刻法)。接着，由堤岸部BB所构成的沟部分里形成第一元件电极806a、第二元件电极806b(液滴喷出装置1的喷墨法)，干燥其溶剂而形成膜之后，形成导电性膜807(液滴喷出装置1的喷墨法)。然后，形成导电性膜807之后，去掉堤岸部BB(磨光剥离处理)，转移到上述的成形法。另外，和上述的有机EL装置的情形同样，最好是进行第一基板801、第二基板802的亲液化处理和对堤岸部811、BB的疏液化处理。
另外，作为其他的电光学装置，可以考虑金属配电线的形成、透镜形成、抗蚀膜形成以及光扩散体形成等的装置。上述的液滴喷出装置1利用在各种电光学装置(设备)的制造上，可以有效制造各种电光学装置。
根据本发明的液滴喷头的功能液填充方法及其装置，因为最初利用正压，把功能液可以不产生气泡而加压输送到液滴喷头，而且因为最终利用了负压，膨胀喷头内部流路内滞留的残留气泡，可以液滴喷头的喷嘴中，和功能液一起恰当排出。从而，可以有效排出喷头内部流路的气泡，向液滴喷头可以可靠填充功能液。
根据本发明的液滴喷头装置，因为具备上述的功能液填充装置，可以防止液滴喷头的所谓漏点，可以稳定进行液滴喷头的功能液滴的喷出，对工件可以进行良好的绘图。
根据本发明的电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械，因为利用上述的液滴喷出装置，在作为工件的基板上形成功能液滴的成膜部，所以可以提高电光学装置的成品率，可以提供可靠度高的电子器械。
权利要求
1.一种功能液填充装置，是把功能液填充在液滴喷头的喷头内部流路的液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于包括加压输送功能液的方法来填充上述液滴喷头的喷头内部流路的加压送液工序和，上述加压送液工序之后从上述液滴喷头的喷嘴吸引功能液的吸引工序。
2.根据权利要求1所述的液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于上述加压送液工序中的各部分的功能液流速相对低于上述吸引工序中的流速。
3.根据权利要求1所述的液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于上述吸引工序是在吸引帽密接在上述液滴喷头的状态进行，上述加压送液工序是在上述吸引帽可以接收从上述喷嘴所排出功能液的状态下进行。
4.根据权利要求1所述的液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于上述吸引工序是在吸引帽密接在上述液滴喷头的状态下进行，并且，在最后阶段一边继续吸引，一边使该吸引帽离开。
5.根据权利要求1所述的液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于上述吸引工序之后，还包括把功能液一时加压输送到上述液滴喷头的一时加压送液工序。
6.一种液滴喷头的功能液填充装置，是把功能液积存部内的功能液填充在液滴喷头的喷头内部流路的向液滴喷头的功能液填充装置，包括加压上述功能液积存部，并通过供应管路，把该功能液积存部内的功能液加压输送到上述液滴喷头的加压送液机构；通过密接在上述液滴喷头的帽，从该液滴喷头的喷嘴吸引功能液的吸引机构、控制上述加压送液机构和上述吸引机构的控制机构；其特征在于上述控制机构驱动上述加压送液机构来向上述液滴喷头的喷头内部流路填充功能液之后，驱动上述吸引机构来从上述液滴喷头吸引功能液。
7.根据权利要求6所述的向液滴喷头的功能液填充装置，其特征在于上述控制机构是在停止上述加压送液机构的驱动之后，才开始驱动上述吸引机构。
8.根据权利要求7所述的向液滴喷头的功能液填充装置，其特征在于上述加压送液机构具有向上述功能液积存部供应压缩空气的压缩空气供应源、连接上述压缩空气供应源与上述功能液积存部的耐压管路、设在上述耐压管路并由上述控制机构来控制开闭的加压一侧开闭阀；上述加压送液机构的驱动和停止驱动是由开和闭上述加压一侧开闭阀来进行的。
9.根据权利要求6所述的液滴喷头的功能液填充装置，其特征在于还包括设在上述供应管路并由上述控制机构来控制开闭的开闭阀，上述控制机构是在上述吸引机构开始驱动之前是关闭上述开闭阀，在该开闭阀关闭之后才开始驱动该吸引机构，在该吸引机构驱动中打开该开闭阀。
10.根据权利要求9所述的向液滴喷头的功能液填充装置，其特征在于上述控制机构在上述吸引机构的继续驱动中多次开闭上述开闭阀。
11.根据权利要求9所述的向液滴喷头的功能液填充装置，其特征在于上述开闭阀设在接近上述液滴喷头的上述供应管路上。
12.根据权利要求6所述的液滴喷头的功能液填充装置，其特征在于上述控制机构控制上述加压送液机构和上述吸引机构，以便上述加压送液机构的功能液的流速相对小于上述吸引机构的功能液流速。
13.根据权利要求6所述的液滴喷头的功能液填充装置，其特征在于上述的帽兼有接收由于上述加压送液机构驱动而从上述液滴喷头喷嘴所排出的功能液的容器。
14.根据权利要求13所述的向液滴喷头的功能液填充装置，其特征在于上述吸引机构还具有相对于上述液滴喷头接·离上述帽的接离机构，上述控制机构在最后阶段，一边继续驱动上述吸引机构，一边由上述接离机构使上述帽离开上述液滴喷头。
15.根据权利要求6所述的向液滴喷头的功能液填充装置，其特征在于上述控制机构是在停止上述吸引机构驱动之后，一时驱动上述加压送液机构。
16.一种液滴喷出装置，其特征在于具备根据权利要求6所述的向液滴喷头的功能液填充装置和对工件相对扫描而从喷嘴喷出功能液滴的液滴喷头。
17.根据权利要求16所述的液滴喷出装置，其特征在于向上述液滴喷头的功能液填充装置还具备积存向上述功能液积存部供应的功能液并使上述功能液积存部具有支箱功能的主箱；上述加压送液机构兼有从上述主箱把功能液供应到上述功能液积存部的供应机构。
18.一种电光学装置，其特征在于利用根据权利要求16所述的液滴喷出装置，在作为上述工件的基板上具有从上述液滴喷头喷出的功能液所形成的成膜部。
19.一种电光学装置的制造方法，其特征在于利用根据权利要求16所述的液滴喷出装置，从上述液滴喷头喷出功能液，以在成为上述工件的基板上形成成膜部。
20.一种电子器械，其特征在于装有根据权利要求18所述的电光学装置。
全文摘要
可以有效排出喷头内部流路的气泡、可以向液滴喷头可靠填充功能液的、液滴喷头的功能液填充方法中，加压输送功能液而填充液滴喷头(20)的喷头内部流路之后，从液滴喷头(20)的喷嘴中吸引功能液。
文档编号B41J2/19GK1502474SQ200310118058
公开日2004年6月9日 申请日期2003年11月24日 优先权日2002年11月26日
发明者中村真一 申请人:精工爱普生株式会社