液滴排出装置和排出检查方法与流程

本发明涉及向工件排出功能液的液滴而进行描绘的液滴排出装置和排出检查方法。

背景技术：

以来，作为使用功能液而在工件上进行描绘的装置，已知将该功能液制成液滴而排出的喷墨方式的液滴排出装置。液滴排出装置广泛用于制造例如有机el装置、彩色滤光片、液晶显示装置、等离子体显示器(pdp装置)、电子发射装置(fed装置、sed装置)等电光装置(平板显示器：fpd)时等。

在液滴排出装置中，要求功能液的排出位置具有正确性。因此，出于检查修正功能液的排出的目的，在进行描绘之前将功能液排出在检查用介质上，由拍摄装置拍摄该所排出的功能液，基于拍摄结果，修正排出条件，由此来调节功能液的排出量等(参照专利文献1)。

作为检查用介质，在专利文献2的液滴排出装置中，使用的是通过膜涂而抑制液滴的渗透的介质。另外，在专利文献3的液滴排出装置中，使用以所滴注的功能液滴形成规定的接触角的方式进行了表面处理的检查基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－204411号公报

专利文献2：日本专利5131450号公报

专利文献3：日本特开2005－119139号公报

技术实现要素：

发明想要解决的技术问题

但是，如专利文献2或3所示，当使用抑制了液滴的渗透的介质即憎液性的介质作为检查用介质时，因该介质带电，功能液滴大多会发生滴注位置偏离。因此，当使用憎液性的介质作为检查用介质时，不能基于介质上的液滴的拍摄结果而适当调节液滴的排出状态。

通过使用具有渗透性的介质而不是憎液性的介质作为检查用介质，能够消除上述滴注位置偏离的问题。但是，由于渗透性因功能液的溶质或溶剂的种类而不同，因此滴注且渗透在介质上之后的功能液滴的状态会因功能液的溶质或溶剂的种类而不同。因此，每一种功能液等，都需要调节所滴注的功能液滴的拍摄结果等。因此，在使用新功能液的情况下，往往也需要装置的改造或条件的微调，相应地要花费时间。

专利文献1～3关于这方面也没有任何公开。

本发明是鉴于这一点而完成的，其目的在于，提供一种向工件排出液滴的液滴排出装置，其无需每一种功能液都进行调节，能够基于滴注到检查用介质上的功能液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。

用于解决技术问题的技术方案

为了实现上述目的，提供了一种液滴排出装置，其特征在于，包括：向工件排出功能液的液滴的液滴排出头；由检查用介质的具有憎液性的表面接受来自该液滴排出头的检查排出的排出检查单元；和对检查排出到上述检查用介质的表面上的上述液滴进行拍摄的拍摄部，上述液滴排出装置还包括：对上述检查用介质的具有憎液性的表面进行除电的除电单元，在进行上述液滴的检查排出之前，通过上述除电单元对上述检查用介质的上述表面进行除电。

上述液滴排出装置优选还包括防止由检查排出到上述检查用介质的表面上的液滴引起的污染的防污染单元。

上述防污染单元例如从上述检查用介质的表面除去上述检查排出的液滴。

上述检查用介质优选在由上述拍摄部进行的拍摄后被回收，上述防污染单元覆盖上述检查用介质的被回收了的部分。

上述检查用介质优选以上述表面成为内侧的方式卷绕于卷轴。

上述液滴排出装置优选还包括表面处理单元，其在上述除电单元的除电前进行表面处理以使得上述检查用介质的表面具有憎液性。

本发明的另一方面提供一种液滴排出装置，其特征在于，包括：向工件排出功能液的液滴的液滴排出头；由检查用介质的具有憎液性的表面接受来自该液滴排出头的检查排出的排出检查单元；和对检查排出到上述检查用介质的表面上的上述液滴进行拍摄的拍摄部，上述液滴排出装置还包括：防止由检查排出到上述检查用介质的表面上的液滴引起的污染的防污染单元。

本发明的另一方面提供一种液滴排出装置，其特征在于，包括：向工件排出功能液的液滴的液滴排出头；由检查用介质的具有憎液性的表面接受来自该液滴排出头的检查排出的排出检查单元；和对检查排出到上述检查用介质的表面上的上述液滴进行拍摄的拍摄部，上述液滴排出装置还包括：表面处理单元，其进行表面处理以使得上述检查用介质的表面具有憎液性。

本发明的另一方面提供一种排出检查方法，其特征在于：从液滴排出头向检查用介质的具有憎液性的表面进行功能液的液滴的检查排出，由拍摄部拍摄该检查排出的液滴，基于拍摄结果，检查上述液滴排出头的排出不良，上述排出检查方法包括：由除电单元对上述检查用介质的具有憎液性的表面进行除电的步骤；和从上述液滴排出头向除电后的上述检查用介质的具有憎液性的表面排出上述液滴的步骤。

发明效果

根据本发明，在向工件排出液滴的液滴排出装置中，无需每一种功能液都进行调节，能够基于滴注到检查用介质上的功能液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。

附图说明

图1是表示第一实施方式的液滴排出装置的一个例子的概略结构的意侧视图。

图2是图1的液滴排出装置的示意俯视图。

图3是表示排出检查单元的概略结构的示意主视图。

图4是第一实施方式的液滴排出装置的处理动作的说明图。

图5是第一实施方式的液滴排出装置的处理动作的说明图。

图6是第一实施方式的液滴排出装置的处理动作的说明图。

图7是第一实施方式的液滴排出装置的处理动作的说明图。

图8是对除电单元的另一配置例进行说明的示意主视图。

图9是第二实施方式的液滴排出装置的结构例的说明图，是表示液滴除去单元的概略结构的示意主视图。

图10是表示液滴除去单元的另一个例子的概略俯视图。

图11是表示液滴除去单元的另一个例子的概略主视图。

图12是表示液滴除去单元的另一个例子的概略主视图。

图13是表示第三实施方式的液滴排出装置的结构例的说明图。

图14是表示第三实施方式的变形例的液滴排出装置的结构的说明图。

图15是第三实施方式的另一变形例的液滴排出装置的结构的说明图。

图16是第四实施方式的液滴排出装置的结构例的说明图，是表示表面处理单元的概略结构的示意主视图。

附图标记说明

1…液滴排出装置

2…检查膜

23…保持架

24…喷头

30…拍摄单元

31…排出检查照相机

40…工件载台

50…排出检查单元

52、120…检查膜

70…维护单元

80…除电单元

90…液滴除去单元

100…防液滴落下单元

110…表面处理单元

150…控制部。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，本发明不局限于以下所示的实施方式。另外，在本说明书和附图中，在实质上具有相同功能结构的元件上附带相同的附图标记，省略重复说明。

＜1.第一实施方式＞

首先，参照图1和图2对本发明第一实施方式的液滴排出装置的结构进行说明。图1是表示本实施方式的液滴排出装置的一个例子的概略结构的示意侧视图。图2是图1的液滴排出装置的示意俯视图。此外，在下述中，将工件的主扫描方向设为x轴方向，将垂直于主扫描方向的副扫描方向设为y轴方向，将与x轴方向和y轴方向垂直的竖直方向设为z轴方向，将绕z轴方向的转动方向设为θ方向。z轴方向为竖直方向。

如图1和图2所示，液滴排出装置1具有：沿主扫描方向(x轴方向)延伸并使工件w沿主扫描方向移动的x轴工作台10；和以横跨x轴工作台10的方式架设且沿副扫描方向(y轴方向)延伸的一对y轴工作台11、11。在x轴工作台10的上表面设置有沿x轴方向延伸的一对x轴导轨12、12，在各x轴导轨12上设置有x轴直线电机(未图示)。在各y轴工作台11的上面设置有沿y轴方向延伸的y轴导轨13，在该y轴导轨13上设置有y轴直线电机(未图示)。

在一对y轴工作台11、11上设置有保持架单元20和拍摄单元30。在x轴工作台10上设置有工件载台40和排出检查单元50。在x轴工作台10的外侧(y轴负向侧)且在一对y轴工作台11、11之间设置有维护单元70。进而，在排出检查单元50的大致上侧(大致z轴正向侧)且在一对x轴导轨12之间设置有除电单元80。

在y轴工作台11上设置有多个例如10个保持架单元20。各保持架单元20具有保持架板21、保持架转动机构22、保持架23、喷头(液滴排出头)24。

保持架板21安装于y轴导轨13，通过设置于该y轴导轨13的y轴直线电机，在y轴方向上自由移动。此外，也能够使多个保持架板21作为一体而沿y轴方向移动。

在保持架板21的下表面中央设置有保持架转动机构22，在该保持架转动机构22的下端部，可自由拆卸地安装有保持架23。保持架23通过保持架转动机构22，在θ方向上自由转动。此外，在工件载台40上设置有拍摄保持架23的保持架校准照相机(未图示)。而且，基于由保持架校准照相机拍摄的图像，通过保持架转动机构22，修正保持架23的θ方向位置。

在保持架23的下面设置有多个喷头24。在本实施方式中，例如，在x轴方向上设置有3个，在y轴方向上设置有2个，即设置有合计6个喷头24。在喷头24的下表面即喷嘴面上形成有多个排出喷嘴(未图示)，从该排出喷嘴排出功能液的液滴。

拍摄单元30具有作为拍摄部的排出检查照相机31。排出检查照相机31相对于保持架23配置在x轴正向侧、即排出检查单元50侧。

排出检查照相机31对检查排出到了排出检查单元50的后述的检查膜52上的液滴进行拍摄。排出检查照相机31由一对y轴工作台11、11中的设置于x轴正向侧的y轴工作台11的侧面的基座32支承。在基座32上设置有使排出检查照相机31移动的移动机构(未图示)，排出检查照相机31在y轴方向上自由移动。而且，在排出检查单元50被引导到了排出检查照相机31的沿y轴方向移动的轨迹的正下方时，排出检查照相机31通过沿y轴方向移动，能够对滴注在配置于排出检查单元50的检查膜52上的液滴进行拍摄。

工件载台40是例如真空吸附载台，吸附载置工件w。工件载台40由设置于该工件载台40的下表面侧的载台转动机构41沿θ方向转动自如地支承。此外，在y轴工作台11的x轴负方向侧且在工件载台40的上方，设置有拍摄工件载台40上的工件w的校准标记的工件校准照相机(未图示)。而且，基于由工件校准照相机拍摄的图像，通过载台转动机构41，修正载置于工件载台40的工件w的θ方向位置。

工件载台40和载台转动机构41由设置于载台转动机构41的下面侧的第一x轴滑块42支承。第一x轴滑块42安装于x轴导轨12，通过设置于该x轴导轨12的x轴直线电机，在x轴方向上自由移动。而且，工件载台40(工件w)也通过第一x轴滑块42，沿着x轴导轨12在x轴方向上自由移动。

排出检查单元50是接受来自喷头24的检查排出的单元。

图3是表示排出检查单元50的概略结构的示意主视图。

在排出检查单元50上设置有沿y轴方向延伸的检查台51。在检查台51的上表面配置有作为检查用介质的检查膜52。检查膜52预卷绕于供给轴53，从供给轴53向y轴正向侧倒出，由卷轴54卷绕。供给轴53和卷轴54分别由轴支部55、55轴支。

检查膜52其表面(上表面)具有憎液性，在检查台51被引导到了喷头24的正下方时，从喷头24排出的液滴就滴注在具有憎液性的表面上。

返回到图1和图2的说明。

排出检查单元50搭载于第二x轴滑块60。第二x轴滑块60安装于x轴导轨12，通过设置于该x轴导轨12的x轴直线电机，在x轴方向上自由移动。而且，排出检查单元50也通过第二x轴滑块60，沿着x轴导轨12在x轴方向上自由移动。

维护单元70进行喷头24的维护，消除该喷头24的排出不良。

除电单元80是对排出检查单元50的检查膜52的表面进行除电的单元。除电单元80例如由液滴排出装置1的未图示的壳体支承。除电单元80优选为非接触式除电的单元，例如可由负离子发生器或软x射线式光电负离子发生器构成。除电单元80在向检查膜52检查排出之前，对检查膜52的表面进行除电。检查膜52每进行一次排出检查，都将上次的排出检查所使用的部分卷绕，且将未使用部分送出。在该送出完成之后，在检查排出前，进行除电单元80的除电。

在以上的液滴排出装置1上设置有控制部150。控制部150例如是计算机，具有数据储存部(未图示)。在数据储存部储存有用于控制例如向工件w排出的液滴且在该工件w上描绘规定图案的描绘数据(位图数据)等。另外，控制部150具有程序储存部(未图示)。在程序储存部储存有控制液滴排出装置1的各种处理的程序和控制驱动系的动作的程序等。

此外，上述数据或上述程序记录于例如计算机可读取的硬盘(hd)、软盘(fd)、光盘(cd)、磁盘(mo)、存储卡等可读取到计算机内的存储介质，也可以从其存储介质安装在控制部150。

接着，对使用以上那样构成的液滴排出装置1进行的工件处理进行说明。在以下说明中，在x轴工作台10上，将比y轴工作台11更靠x轴负向侧的区域称为搬入搬出区a1，将一对y轴工作台11、11间的区域称为处理区a2，将比y轴工作台11更靠x轴正向侧的区域称为待机区a3。

首先，将工件载台40配置在搬入搬出区a1，且将通过搬运机构(未图示)而搬入液滴排出装置1的工件w载置在该工件载台40上。接下来，由工件校准照相机拍摄工件载台40上的工件w的校准标记w3。然后，基于所该拍摄的图像，通过载台转动机构41，修正载置于工件载台40的工件w的θ方向位置，进行工件w的校准(步骤s1)。

其后，通过x轴滑块42，将工件载台40从搬入搬出区a1移动至处理区a2。在处理区a2，从该喷头24向移动到喷头24的下方的工件w排出液滴。进而，如图4所示，以工件w的整个面穿过喷头24的下方的方式进一步将工件载台40移动至待机区a3侧。然后，使工件w在x轴方向上进行往复运动，并且使保持架单元20适当地沿y轴方向移动，在工件w上描绘规定的图案(步骤s2)。

其后，如图5所示，使工件载台40从待机区a3移动至搬入搬出区a1。

当工件载台40移动至搬入搬出区a1时，将描绘处理结束后的工件w从液滴排出装置1搬出。接下来，将下一个工件w搬入液滴排出装置1，进行上述的步骤s1的工件w的校准(步骤s3)。

在这样进行步骤s3的工件w的搬入搬出期间或者在搬出之前，如图5所示，通过除电单元80，对排出检查单元50的检查膜52进行除电。其后，如图6所示，通过第二x轴滑块60，使排出检查单元50从待机区a3移动至处理区a2。在处理区a2，将排出检查单元50的检查膜52配置在喷头24的下方，从喷头24向检查膜52的表面检查排出液滴(步骤s4)。

其后，如图7所示，使排出检查单元50移动至x轴正向侧，将排出检查单元50的检查膜52配置在排出检查照相机31的下方。

然后，使排出检查照相机31适当地沿y轴方向移动，通过该排出检查照相机31，对检查排出到检查膜52的液滴进行拍摄。所拍摄的图像被输出到控制部150，在控制部150，基于所拍摄的图像，检查喷头24的排出喷嘴的排出不良，基于检查结果，调节排出状态(步骤s5)。在该检查结果中，例如，在判定为液滴的脱离喷嘴和弧形滴落的排出不良的情况下，通过维护单元70进行喷头24的维护。另外，例如在判定为液滴的滴点直径或位置不良的情况下，修正位图数据，对来自喷头24的液滴的排出进行反馈控制。

如上所述，对各工件w进行步骤s1～s5，结束一系列的工件处理。此外，在对第一个工件w进行步骤s1～s3的描绘处理之前，优选进行步骤s4、s5的检查排出处理和排出状态调节处理。

根据以上的第一实施方式，在步骤s4中从喷头24向检查膜52检查排出液滴之前，对检查膜52的具有憎液性的表面进行除电。因此，滴注到检查膜52的表面的液滴不会因静电力而偏离滴注位置。因而，在第一实施方式的液滴排出装置1中，能够基于所滴注的液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。另外，在具有憎液性的膜中，与渗透性的膜相比，在功能液的种类间不会产生拍摄结果的差异，所以不需要一种功能液调节一次。

图8是对除电单元80的另一配置例进行说明的示意主视图。

图2等例子的除电单元80沿着检查膜52的延伸方向(y轴方向)延伸，在x轴方向视时，配置在与保持架单元20即保持架23重叠的位置。但是，除电单元80的位置不局限于这个例子。例如，如图8所示，除电单元80的位置也可以在x轴方向视时为不与保持架23重叠的位置，且相对于保持架23为y轴方向负侧，即关于检查膜52的卷绕方向，相对于保持架23为上游侧的位置。

检查片52例如，在排出检查的起始时，将上次的排出检查所使用的部分卷绕，且将未使用部分送出。本例的除电单元80的除电在上述送出时进行。

图1等的除电单元80在短时间内对检查膜52的表面进行除电这方面很优异，图8的除电单元80在能够设为小型方面很优异。

此外，除电单元既可以与排出检查单元可一体移动，也可以固定。

＜2.第二实施方式＞

接着，参照图9对本发明第二实施方式的液滴排出装置的结构进行说明。图9是表示本实施方式的液滴排出装置具有的后述的液滴除去单元的一个例子的概略结构的示意主视图。

在检查膜为亲液性的情况下，因为液滴会渗透，所以既不会产生液滴的溶剂向液滴排出装置内扩散的问题，又不会产生液滴从卷绕有液滴的检查膜垂落而污染液滴排出装置内的问题。但是，在检查膜为憎液性的情况下，因为检查排出到检查膜上的液滴不会在短时间内固化，所以易产生上述那种问题。

因此，如图9所示，第二实施方式的液滴排出装置除与第一实施方式的同样地相对于排出检查单元50设置有除电单元80以外，还相对于排出检查单元50设置有作为防污染单元的液滴除去单元90。

液滴除去单元90是在拍摄后对检查排出到检查膜52上的液滴进行除去的单元。液滴除去单元90具有喷射管91和两个吸引管92、92，喷射管91夹在两个吸引管92、92之间。喷射管91与压缩空气的供给源(未图示)连接，吸引管92、92分别与泵(未图示)连接。在液滴除去单元90中，从喷射管91喷出压缩空气，吹走检查膜52上的液滴，由吸引管92吸引所吹走的液滴，由此来除去检查膜52上的液滴。在该除去后，检查膜52卷绕于卷轴54。

根据以上的第二实施方式，因为检查膜52以在该膜52的表面不存在液滴的状态进行卷绕即回收，所以能够防止液滴排出装置内被污染。

此外，液滴除去单元90的位置在x轴方向视时为不与保持架单元20重叠的位置，且相对于保持架23为y轴方向正侧，即，关于检查膜52的卷绕方向，相对于保持架23为下游侧的位置。

图10是表示液滴除去单元90的另一个例子的概略俯视图。

在图9的液滴除去单元90中，构成该单元90的喷射管91和吸引管92、92全都位于检查膜52的上侧(z轴方向正侧)。

与此相对，图10的液滴除去单元90具有：位于检查膜52的上侧(z轴方向正侧)的风刀93；和位于检查膜52的侧方外侧(x轴方向负侧)且位于检查膜52的下侧(z轴方向负侧)的回收容器94。风刀93与压缩空气的供给源(未图示)连接，回收容器94与泵(未图示)连接。

在本例的液滴除去单元90中，从风刀93喷出压缩空气，将检查膜52上的液滴吹到该膜52的侧方，由上侧开口的回收容器94回收所吹走的液滴。由此，能够除去检查膜52上的液滴的溶剂。因此，在具有本例的液滴除去单元90的液滴排出装置中，因为检查膜52以在该膜52的表面固化有液滴的状态进行卷绕，所以能够防止液滴排出装置内被污染。

图11是表示液滴除去单元90的另一个例子的概略主视图。

图9等的液滴除去单元90通过喷射压缩空气，除去检查膜52上的液滴。

与此相对，图11的液滴除去单元90具有与检查膜52的表面接触的接触舌片95，另外，具有吸引口位于该接触舌片95的下部附近的吸引管96。在该液滴除去单元90中，通过该接触舌片95，从检查膜52的表面剥离液滴，由吸引管96吸引所剥离的液滴。由此，能够除去检查膜52上的液滴。在具有本例的液滴除去单元90的液滴排出装置中，因为检查膜52以在该膜52的表面不存在液滴的状态进行卷绕，所以能够防止液滴排出装置内被污染。

图12是表示液滴除去单元90的另一个例子的概略主视图。

图9等的除去单元90通过吹走等，除去检查膜52上的液滴。

与此相对，图12的液滴除去单元90在检查膜52的下侧具有加热器97。该液滴除去单元90通过加热器97，使检查膜52上的液滴蒸发。由此，能够除去检查膜52上的液滴。在具有本例的液滴除去单元90的液滴排出装置中，因为检查膜52以在该膜52的表面不存在液滴的状态进行卷绕，所以能够防止液滴排出装置内被污染。

此外，在具有图3的液滴除去单元90的液滴除去装置中，检查膜52在最下游侧(y轴方向正侧)的保持架23的下部穿过之后，立即卷绕。与此相对，具有图12的液滴除去单元90的液滴除去装置在最下游侧的保持架23的下部具有中继轴56，供给轴53、中继轴56和卷轴54依次在y向上排列，供给轴53－中继轴56间的距离和中继轴56－卷轴54间的距离大致相同。加热器97例如以延伸的方式设置于中继轴56和卷轴54之间。在本例中，检查膜52在该加热器97的上部穿过以后再进行卷绕。

具体而言，在具有本例的液滴除去单元90的液滴除去装置中，在检查排出和拍摄结束以后，检查膜52以检查膜2上的检查排出了液滴的部分位于加热器97上的方式卷绕相应的规定距离。其后，通过加热器97，对检查膜52进行加热，使所检查排出的液滴蒸发。检查膜2的液滴蒸发后的部分在下次检查排出时再卷绕于卷轴54。

此外，液滴除去单元的例子不局限于图9～图12的例子，例如，也可以使由吸取液滴的多孔质材料构成的辊与检查膜52抵接，将所检查排出的液滴转印除去于上述辊，还可以使擦拭液滴的擦拭材料与检查膜52抵接，以擦拭所检查排出的液滴的方式除去。

另外，在使用图10的例子以外的液滴除去单元的情况下，除去了所检查排出的液滴以后的检查膜也可以不卷绕，而是返回到原始位置(供给轴53的位置)，再利用于检查排出。

此外，液滴除去单元既可以与排出检查单元可一体移动，也可以固定。

＜3.第三实施方式＞

接着，参照图13对本发明第三实施方式的液滴排出装置的结构进行说明。图13的(a)是表示本实施方式的液滴排出装置具有的后述的防液滴落下单元的一个例子的示意俯视图，图13的(b)是构成上述防液滴落下单元的一方的罩的主视图。

第三实施方式的液滴排出装置与第一实施方式的同样，包括除电单元，并且如图13所示，相对于排出检查单元50设置有作为防污染单元的防液滴落下单元100。

防液滴落下单元100是防止检查排出到检查膜52上的液滴从检查膜52落下的单元。防液滴落下单元100具有覆盖卷绕于卷轴54的检查膜52的一端的罩101和覆盖另一端的罩102。防液滴落下单元100因为即使在卷绕了检查排出有液滴的检查膜52时液滴从该检查膜52的两端渗出，该液滴也会落在罩101、102内，所以能够防止液滴落在液滴排出装置的底等而污染该装置。

此外，如图13的(b)所示，在罩101上设置有不阻碍检查膜52向卷轴54卷绕的缝隙101a。同样，在罩101上也设置有缝隙101b。

另外，在本例子中，由两个罩101、102覆盖卷绕于卷轴54的检查膜52的两端，即，检查膜中的所回收的部分的两端。也可以取而代之地，由一个罩覆盖卷绕于卷轴54的检查膜52的整体。

也可以并用第三实施方式的结构和第二实施方式的结构。通过并用，能够更可靠地防止液滴排出装置的污染。

＜4.第三实施方式的变形例＞

接着，参照图14对本发明第三实施方式的变形例的液滴排出装置的结构进行说明。图14是对本例的液滴排出装置的卷轴进行说明的示意主视图。

在本例的液滴排出装置中，虽然省略了图示，但相对于卷绕在卷轴54上的检查膜52设置有图13所示的防液滴落下单元。

在图13等例子的液滴排出装置中，卷轴54位于被搬运的检查膜52的下方，该检查膜52以检查膜52的表面即检查排出液滴的面成为外侧的方式卷绕于卷轴54。

与此相对，在图14的例子的液滴排出装置中，卷轴54位于被搬运的检查膜52的上方，该检查膜52以检查膜52的表面成为内侧的方式从卷轴54的下方进行卷绕。因此，在卷绕检查膜52的过程中，因为所检查排出的液滴不会从检查膜52落下，所以能够更可靠地防止液滴排出装置被污染。

图15是对另一变形例的液滴排出装置的卷轴进行说明的示意主视图。

用于以检查膜52的表面成为内侧的方式从卷轴54的下方卷绕该检查膜52的结构不局限于图14的例子，也可以如图15那样。

在图15的例子的液滴排出装置中，设置有将检查膜52的行进方向变更为下方的变更辊57，卷轴54位于变更辊57更下方。通过设置该变更辊57，能够以检查膜52的表面成为内侧的方式将该检查膜52卷绕于卷轴54。

另外，在本例的液滴排出装置中，卷轴54配置在变更辊57的下方的位置，且配置在卷绕于该卷轴54的检查膜52的y向负侧端(内侧端)成为比变更辊57的y向正侧端(外侧端)更靠y向正侧的位置。

因此，在卷绕检查膜52的过程中，因为所检查排出的液滴不会从检查膜52落下，所以能够更可靠地防止液滴排出装置被污染。

＜5.第四实施方式＞

接着，参照图16对本发明第四实施方式的液滴排出装置的结构进行说明。图16是表示本实施方式的液滴排出装置具有的后述的表面处理单元的一个例子的概略结构的示意主视图。

第四实施方式的液滴排出装置也与第一实施方式的液滴排出装置同样，如图16所示，包括除电单元80。

在图1的第一实施方式的液滴排出装置等中，使用以表面显示憎液性的方式预先进行了处理的检查膜52。

与此相对，如图16所示，第四实施方式的液滴排出装置相对于排出检查单元50设置有表面处理单元110。而且，在向由聚苯乙烯树脂等亲液性材料构成的检查膜120检查排出前，通过表面处理单元110，对该检查膜120的表面进行表面处理，由此，检查膜120的表面具有憎液性。

在使用以表面显示憎液性的方式预先进行了处理的检查膜的情况下，难以进行憎液性的质量管理，为了得到均匀的质量，成本会升高。但是，在本实施方式的液滴排出装置中，因为在检查排出之前，对检查膜120进行表面处理，该检查膜120的表面具有憎液性，所以容易进行斥液层的质量管理，能够降低成本。

此外，表面处理单元110为遥控型大气压等离子体处理装置，将在液滴排出装置外产生的等离子体导入表面处理单元110，进行表面处理。等离子体气体例如可使用氟系气体。

表面处理单元110具有导入等离子体的处理室111，在处理室111的周围设置有用于防止等离子体向液滴排出装置内漏出的隔壁室112。在隔壁室112内填充有例如氮(n2)气，隔壁室112相对于处理室111为正压。

该表面处理单元110相对于除电单元80配置在y轴方向负侧的位置，即关于检查膜52的卷绕方向，相对于除电单元80配置在上游侧的位置。因此，在除电单元80的检查膜120的表面的除电之前，能够将该表面斥液化。

表面处理单元110优选与排出检查单元50可一体移动。

此外，在以上的例子中，采用的是远程式，即，从外部将等离子体导入到处理室内111的型式，但也可以在表面处理单元110的处理室111内产生。

＜6.参考例1＞

参考例1的液滴排出装置不具有除电单元，而是具有图9～图15例示的作为防污染单元的液滴除去单元和/或防液滴落下单元。由此，在向具有憎液性的检查膜检查排出了液滴的情况下，在卷绕检查膜时，能够防止液滴排出装置被污染。具体而言，因为通过具有液滴除去单元，能够在检查后从检查膜的表面除去液滴，且以在该表面不存在液滴的状态卷绕检查膜，所以能够防止液滴排出装置内被污染。另外，因为通过具有防液滴落下单元，在卷绕了检查排出有液滴的检查膜时，即使从该检查膜的两端渗出液滴，该液滴也会落在防液滴落下单元内，所以能够防止液滴落在液滴排出装置的底等而污染该装置。

＜7.参考例2＞

参考例2的液滴排出装置不具有除电单元，而是具有图16例示的表面处理单元。通过具有表面处理单元，能够解决以下课题。即，在使用以表面显示憎液性的方式预先进行了处理的检查膜的情况下，存在难以进行憎液性的质量管理，为得到均匀的质量而成本升高之类的课题。通过具有表面处理单元，能够在检查排出之前对检查膜进行表面处理，能够使该检查膜的表面具有憎液性，所以容易进行斥液层的质量管理，能够降低成本。

以上那样构成的液滴排出装置可应用于特开2016－77966号公报记载的形成有机发光二极管的有机el层的基板处理系统。具体而言，可在该基板处理系统的涂布装置上应用上述液滴排出装置中的任一种。

本发明对向基板上排出功能液的液滴的技术有用。