本发明涉及液体喷射头以及液体喷射装置。
背景技术：
一直以来，作为对记录纸等被记录介质吐出液滴状的墨水，以对被记录介质记录图像、字符的装置，存在具备喷墨头(液体喷射头)的喷墨打印机(液体喷射装置)。
例如，在专利文献1中，公开了在喷嘴孔排列两列的两列类型的喷墨头中，将泵室排列在内侧，从外侧导入墨水并将墨水送回外侧的构成。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：美国专利第8091987号说明书。
技术实现要素：
发明要解决的问题
然而，如果是将泵室排列在内侧，从外侧导入墨水并将墨水送回外侧的构成，那么需要两组墨水的流路，因而存在喷墨头的厚度变厚，重量增加的可能性。
本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供能够减薄厚度以谋求轻量化的液体喷射头以及液体喷射装置。
用于解决问题的方案
本发明的一个方式所涉及的液体喷射头的特征在于具备：一对促动器板，其中沿第一方向延伸的多个通道在与所述第一方向正交的第二方向上隔开间隔并列设置，并且在与所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向上相向配置；返回板，其配置在所述一对促动器板中的所述通道的开口端侧，并且形成有与所述通道连通的循环路径；以及流路板，其配置在所述一对促动器板之间，并且供液体流入的入口流路和连通于所述循环路径的出口流路以沿所述第一方向排列的方式形成。
根据该构成，通过具备配置在一对促动器板之间，并且供墨水流入的入口流路和与循环路径连通的出口流路以沿第一方向并列的方式形成的流路板，能够在一对促动器板之间包括液体的流路。因此，与从外侧导入液体并将液体送回外侧的构成相比较，不需要两组液体的流路，能够尽可能地减薄液体喷射头的厚度(液体喷射头的第三方向的长度)。因而，能够提供能够减薄厚度以谋求轻量化的液体喷射头。
在上述液体喷射头中，所述入口流路还可以包含入口液体贮藏部，所述入口液体贮藏部在使所述液体流入所述通道之前暂时地贮藏所述液体并且沿所述第二方向延伸。
根据该构成，通过存在沿第二方向延伸的入口液体贮藏部，能够通过液体传递热量，因而促动器板的温度容易变得均一化。
在上述液体喷射头中，所述出口流路还可以包含出口液体贮藏部，所述出口液体贮藏部暂时地贮藏从所述循环路径流出的液体并且沿所述第二方向延伸。
根据该构成，通过存在沿第二方向延伸的出口液体贮藏部，能够通过液体传递热量，因而促动器板的温度容易变得均一化。
在上述液体喷射头中，所述入口流路还可以在所述流路板的所述第二方向的一端面处开口。
根据该构成，与使入口流路在流路板的第一方向的一端面处开口的情况相比较，能够在液体的流入侧缩短液体喷射头的第一方向长度。另外，与使入口流路在流路板的第三方向的一端面处开口的情况相比较，能够在液体的流入侧缩短液体喷射头的厚度(液体喷射头的第三方向长度)。
在上述液体喷射头中，所述出口流路还可以在所述流路板的所述第二方向的另一端面处开口。
根据该构成，与使出口流路在流路板的第一方向的一端面处开口的情况相比较，能够在液体的流出侧缩短液体喷射头的第一方向长度。另外，与使出口流路在流路板的第三方向的一端面处开口的情况相比较，能够在液体的流出侧缩短液体喷射头的厚度(液体喷射头的第三方向长度)。
在上述液体喷射头中，在将用与液体的流动方向正交的面切断所述通道之中与所述返回板相向的部分时的截面积作为通道侧流路截面积，将用与液体的流动方向正交的面切断所述循环路径时的截面积作为循环路径侧流路截面积时，所述循环路径侧流路截面积比所述通道侧流路截面积小也可。
根据该构成，与循环路径侧流路截面积比通道侧流路截面积大的情况相比较，能够抑制在液体喷射时等产生的通道内的压力波动经由流路变为压力波并传播至其他通道的所谓的串扰(来自循环路径侧的串扰)。因而，能够获得优秀的液体喷射性能(印字稳定性)。
在上述液体喷射头中，在所述流路板，设有入口流路分隔壁，所述入口流路分隔壁将所述入口流路分隔为所述第三方向上的所述一对促动器板的一侧和另一侧也可。
根据该构成，由于液体喷射时等产生的通道内的压力波动被入口流路分隔壁遮挡，故能够抑制在各促动器板之间，所述压力波动经由流路变为压力波传播至其他通道等的所谓串扰。因而，能够获得优秀的液体喷射性能(印字稳定性)。
在上述液体喷射头中，在所述流路板，设有出口流路分隔壁，所述出口流路分隔壁将所述入口流路分隔为所述第三方向上的所述一对促动器板的一侧和另一侧也可。
根据该构成，由于液体喷射时等产生的通道内的压力波动被出口流路分隔壁遮挡，故能够抑制在各促动器板之间，所述压力波动经由流路变为压力波传播至其他通道等的所谓串扰。因而，能够获得优秀的液体喷射性能(印字稳定性)。
在上述液体喷射头中，在所述流路板之中，形成所述入口流路的入口流路形成部件还可以由具有所述促动器板以上的导热率的材料形成。
根据该构成，能够缓和各促动器板之间之中，与流路板的入口流路形成部件在第三方向上重叠的部分的温度不均，以谋求液体温度的均一化。由此，能够谋求液体的喷射速度的均一化，以提高印字稳定性。
在上述液体喷射头中，在所述流路板之中，形成所述出口流路的出口流路形成部件还可以由具有所述促动器板以上的导热率的材料形成。
根据该构成，能够缓和各促动器板之间之中，与流路板的出口流路形成部件在第三方向上重叠的部分的温度不均，以谋求液体温度的均一化。由此，能够谋求液体的喷射速度的均一化，以提高印字稳定性。
在上述液体喷射头中，所述流路板还可以由同一部件一体地形成。
根据该构成，与通过多个部件的组合形成流路板41的情况相比较，能够削减流路板的制作工时。此外，与通过多个部件的组合形成流路板的情况相比较，能够提高流路板的尺寸精度。
在上述液体喷射头中，还可以还具备一对盖板，所述一对盖板层叠于所述促动器板之中所述第三方向上的促动器板侧第一主面以堵塞所述多个通道，并且在之间隔着所述流路板沿所述第三方向相向配置，并且，形成有沿所述第三方向贯穿并且与所述通道连通的液体供给路径。
根据该构成，在还具备一对盖板的构成中，能够在一对促动器板之间包括含有液体供给路径的液体的流路。因此，与从外侧导入液体并将液体送回外侧的构成相比较，能够尽可能地减薄液体喷射头的厚度(液体喷射头的第三方向长度)。
在上述液体喷射头中，所述盖板还可以由具有所述促动器板以上且所述流路板以下的导热率的材料形成。
根据该构成，能够缓和各促动器板之间之中，与盖板在第三方向上重叠的部分的温度不均，以谋求液体温度的均一化。由此，能够谋求液体的喷射速度的均一化，以提高印字稳定性。
在上述液体喷射头中，还可以将所述盖板的与所述第三方向的所述流路板的一侧为相反侧的盖板侧第一主面作为供外部布线连接的连接面。
根据该构成，与将盖板的第三方向的流路板的一侧的盖板侧第二主面作为连接面的情况相比较，能够在连接面容易地进行外部布线和电极端子的连接作业。
在上述液体喷射头中，还可以在所述盖板，设有尾部，所述尾部在所述促动器板和所述盖板的层叠状态下，与所述盖板之中，所述促动器板的所述第一方向的一端面相比向外侧延伸，并且具有所述连接面，所述流路板之中与所述尾部在所述第三方向上重叠的部分作为实心部件
根据该构成，与将流路板之中与盖板的尾部在第三方向上重叠的部分作为中空部件的情况相比较，在流路板和盖板的连接时，能够避免因连接时的部件退避导致的压接不良。
在上述液体喷射头中，所述盖板的与所述第三方向的所述流路板的一侧为相反侧的盖板侧第一主面作为供外部布线连接的连接面，在所述盖板，设有尾部，所述尾部在所述促动器板和所述盖板的层叠状态下，与所述盖板之中，所述促动器板的所述第一方向的一端面相比向外侧延伸，并且具有所述连接面，所述流路板之中与所述尾部在所述第三方向上重叠的部分作为实心部件。
根据该构成，与将盖板的第三方向的流路板的一侧的盖板侧第二主面作为连接面的情况相比较，能够在连接面容易地进行外部布线和电极端子的连接作业。此外，与将流路板之中与盖板的尾部在第三方向上重叠的部分作为中空部件的情况相比较，在流路板和盖板的连接时，能够避免因连接时的部件退避导致的压接不良。
本发明的一个方式所涉及的液体喷射装置的特征在于，具备：上述液体喷射头；和使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动的移动机构。
根据该构成，在具备上述两列类型的液体喷射头的液体喷射装置中，能够减薄液体喷射头的厚度以谋求轻量化。
发明效果
根据本发明，提供能够减薄厚度以谋求轻量化的液体喷射头以及液体喷射装置。
附图说明
图1是实施方式所涉及的喷墨打印机的概要构成图；
图2是实施方式所涉及的喷墨头以及墨水循环手段的概要构成图；
图3是实施方式所涉及的喷墨头的分解立体图；
图4是实施方式所涉及的喷墨头的截面图；
图5是实施方式所涉及的喷墨头的截面图；
图6是包含图5的vi-vi截面的图；
图7是实施方式所涉及的头芯片的分解立体图；
图8是实施方式所涉及的盖板的立体图；
图9是用于说明晶圆准备工序的工序图；
图10是用于说明实施方式所涉及的掩模图案形成工序的工序图；
图11是用于说明实施方式所涉及的通道形成工序的工序图；
图12是用于说明实施方式所涉及的通道形成工序的工序图；
图13是用于说明实施方式所涉及的催化剂赋予工序的工序图；
图14是用于说明实施方式所涉及的掩模除去工序的工序图；
图15是用于说明实施方式所涉及的镀敷工序的工序图；
图16是用于说明实施方式所涉及的被膜除去工序的工序图；
图17是用于说明盖板制作工序的工序图(平面图)；
图18是包含图17的xviii-xviii截面的图；
图19是用于说明实施方式所涉及的公共布线形成工序以及个别布线形成工序的图；
图20是包含图19的xx-xx截面的图；
图21是用于说明实施方式所涉及的流路板制作工序的图；
图22是包含图4的xxii-xxii截面的图，是用于说明各种板接合工序的工序图；
图23是实施方式的第一变形例所涉及的头芯片的分解立体图；
图24是实施方式的第二变形例所涉及的喷墨头的截面图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明所涉及的实施方式。在实施方式中，作为含有具备本发明的液体喷射头(以下，简称为“头芯片”)的液体喷射头的液体喷射装置的一例，举利用墨水(液体)对被记录介质进行记录的喷墨打印机(以下，简称为“打印机”)为例进行说明。此外，在以下的说明中使用的附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适当变更了各部件的比例尺。
<打印机>
图1是打印机1的概要构成图。
如图1所示，本实施方式的打印机1具备一对运送手段2、3、墨水储罐4、喷墨头5(液体喷射头)、墨水循环手段6、以及扫描手段7。此外，在以下的说明中，根据需要利用x、y、z的正交坐标系来进行说明。x方向是被记录介质p(例如，纸等)的运送方向。y方向是扫描手段7的扫描方向。z方向是与x方向以及y方向正交的上下方向。
运送手段2、3沿x方向运送被记录介质p。具体而言，运送手段2具备沿y方向延伸设置的栅格辊(gridroller)11、与栅格辊11平行地延伸设置的夹送辊(pinchroller)12、以及使栅格辊11绕轴旋转的马达等驱动机构(未图示)。运送手段3具备沿y方向延伸设置的栅格辊13、与栅格辊13平行地延伸设置的夹送辊14、以及使栅格辊13绕轴旋转的驱动机构(未图示)。
墨水储罐4沿单方向设置有多个。在实施方式中，多个墨水储罐4是分别容纳黄、洋红、青、黑这四色墨水的墨水储罐4y、4m、4c、4k。在实施方式中，墨水储罐4y、4m、4c、4k沿x方向排列配置。
如图2所示，墨水循环手段6使墨水在墨水储罐4与喷墨头5之间循环。具体而言，墨水循环手段6具有包括墨水供给管21以及墨水排出管22的循环流路23、连接于墨水供给管21的加压泵24、以及连接于墨水排出管22的吸引泵25。例如，墨水供给管21及墨水排出管22由具有能够跟随与支撑喷墨头5的扫描手段7的动作的可挠性的柔性软管构成。
加压泵24对墨水供给管21内加压，通过墨水供给管21对喷墨头5送出墨水。由此，相对于喷墨头5，墨水供给管21侧为正压。
吸引泵25对墨水排出管22内减压，通过墨水排出管22内从喷墨头5吸引墨水。由此，相对于喷墨头5，墨水排出管22侧为负压。而且，墨水能够通过加压泵24及吸引泵25的驱动而通过循环流路23在喷墨头5与墨水储罐4之间循环。
如图1所示，扫描手段7使喷墨头5沿y方向往复扫描。具体而言，扫描手段7具备沿y方向延伸设置的一对导轨31、32、被一对导轨31、32以能够移动的方式支撑的滑架33、以及使滑架33沿y方向移动的驱动机构34。此外，运送手段2、3及扫描手段7作为使喷墨头5和被记录介质p相对移动的移动机构起作用。
驱动机构34配置在x方向上的导轨31、32之间。驱动机构34具备在y方向上隔开间隔地配置的一对滑轮35、36、卷绕于一对滑轮35、36之间的无接头带37、以及使一个滑轮35进行旋转驱动的驱动马达38。
滑架33连结于无接头带37。在滑架33搭载有多个喷墨头5。在实施方式中，多个喷墨头5是分别吐出黄、洋红、青、黑这四色墨水的喷墨头5y、5m、5c、5k。在实施方式中，喷墨头5y、5m、5c、5k沿y方向排列配置。
<喷墨头>
如图3所示，喷墨头5具备一对头芯片40a、40b、流路板41、入口歧管42、出口歧管(未图示)、返回板43、以及喷嘴板44(喷射板)。喷墨头5是从吐出通道54中的通道延伸方向的前端部吐出墨水的所谓边射类型之中，使墨水在与墨水储罐4之间循环的循环式(边射循环式)的喷墨头。
<头芯片>
一对头芯片40a、40b是第一头芯片40a以及第二头芯片40b。以下，以第一头芯片40a为中心进行说明。在第二头芯片40b中，对于与第一头芯片40a同样的构成，附以相同附图标记并省略其详细说明。
第一头芯片40a具备促动器板51、以及盖板52。
<促动器板>
促动器板51的外形构成在x方向上较长且在z方向上较短的矩形板状。在实施方式中，促动器板51是将极化方向在厚度方向(y方向)上不同的两片压电基板层叠的，所谓的人字纹(chevron)类型的层叠基板(参照图6)。例如，压电基板优选地使用包括pzt(钛酸锆酸铅)等的陶瓷基板。
在促动器板51的y方向上的第一主面(促动器板侧第一主面)，形成有多个通道54、55。在实施方式中，促动器板侧第一主面是促动器板51的y方向内侧面51f1(以下称为“ap侧y方向内侧面51f1”)。在此，y方向内侧的是指喷墨头5的y方向中心侧(在y方向上流路板41一侧)。在实施方式中，促动器板侧第二主面是促动器板51的y方向外侧面(在图中用符号51f2表示)。
各通道54、55形成为沿着z方向(第一方向)的直线状。各通道54、55沿着x方向(第二方向)隔开间隔交替地形成。各通道54、55之间由促动器板51形成的驱动壁56分别分隔。一个通道54是填充墨水的吐出通道54(喷射通道)。另一个通道55是不填充墨水的非吐出通道55(非喷射通道)。
吐出通道54的上端部在促动器板51内终止。吐出通道54的下端部在促动器板51的下端面处开口。
图4是包含第一头芯片40a中的吐出通道54的截面的图。
如图4所示，吐出通道54具有位于下端部的延伸部54a、以及从延伸部54a在上方相连的切起部54b。
延伸部54a的槽深沿z方向整体相同。切起部54b的槽深随着去往上方而逐渐变浅。
如图3所示，非吐出通道55的上端部在促动器板51的上端面处开口。非吐出通道55的下端部在促动器板51的下端面处开口。
图5是包含第一头芯片40a中的非吐出通道55的截面的图。
如图5所示，非吐出通道55具有位于下端部的延伸部55a、以及从延伸部55a在上方相连的切起部55b。
延伸部55a的槽深沿z方向整体相同。非吐出通道55中的延伸部55a的z方向长度比吐出通道54中的延伸部54a(参照图4)的z方向长度长。切起部55b的槽深随着去往上方而逐渐变浅。非吐出通道55中的切起部55b的梯度与吐出通道54中的切起部54b(参照图4)的梯度实质上相同。即，在吐出通道54以及非吐出通道55中，虽然因延伸部54a、55a的z方向长度的差异引起的梯度开始位置不同，但梯度自身(斜度，曲率)实质上相同。
如图4所示，在吐出通道54的内表面，形成有公共电极61。公共电极61在吐出通道54的内表面整体形成。即，公共电极61形成于延伸部54a的内表面整体，以及切起部54b的内表面整体。
在促动器板51之中，在相对于吐出通道54位于上方的部分51e(以下，称为“ap侧尾部51e”)的y方向内侧面，形成有促动器板侧公共焊盘62(以下，称为“ap侧公共焊盘62”)。ap侧公共焊盘62从公共电极61的上端延伸到ap侧尾部51e的y方向内侧面形成。即，ap侧公共焊盘62的下端部与吐出通道52内的公共电极61连接。ap侧公共焊盘62的上端部在ap侧尾部51e的y方向内侧面上终止。ap侧公共焊盘62连接于公共电极61。如图3所示，ap侧公共焊盘62在ap侧尾部51e(参照图7)的y方向内侧面上沿x方向隔开间隔配置有多个。
如图5所示，在非吐出通道55的内表面，形成有个别电极63。如图6所示，个别电极63在非吐出通道55的内表面之中，个别地形成于在y方向上相向的内侧面。从而，在各个个别电极63之中，在同一非吐出通道55内相向的个别电极63彼此在非吐出通道55的底面处电气地分离。个别电极63遍布非吐出通道55的内侧面整体(y方向以及z方向整体)形成。
如图5所示，在ap侧尾部51e的y方向内侧面，形成有促动器板侧个别布线64(以下称为揂p侧个别布线64)。”如图3所示，ap侧个别布线64将在ap侧尾部51e(参照图7)的y方向内侧面之中，与ap侧公共布线62相比位于上方的部沿x方向延伸。ap侧个别布线64将隔着吐出通道54相向的个别电极63彼此连接。
<盖板>
如图3所示，盖板52的外形构成在x方向上较长且在z方向上较短的矩形板状。盖板52的较长方向的长度与促动器板51的较长方向的长度实质上相同。另一方面，盖板52的较短方向的长度比促动器板51的较短方向的长度长。在盖板52之中，与ap侧y方向内侧面51f1相向的第一主面(盖板侧第一主面)接合于ap侧y方向内侧面51f1。在实施方式中，盖板侧第一主面是盖板52的y方向内侧面52f1(以下称为“cp侧y方向内外侧面52f1”)。在此，y方向外侧的是指与喷墨头5的y方向中心侧相反的一侧(在y方向上与流路板41侧相反的一侧)。在实施方式中，盖板侧第二主面是盖板52的y方向内侧面52f2(以下称为“cp侧y方向内内侧面52f2”)。
盖板52由具有绝缘性，并且具有促动器板51以上的导热率的材料形成。例如，在通过pzt形成促动器板51的情况下，盖板52优选由pzt或硅形成。由此，能够缓和促动器板51中的温度不均，以谋求墨水温度的均一化。由此，能够谋求墨水的吐出速度的均一化，以提高印字稳定性。在实施方式中，盖板52由具有流路板41以下的导热率的材料形成。
在盖板52，形成有沿y方向(第三方向)贯穿盖板52，并且连通于吐出通道54的液体供给路径70。液体供给路径70包含将盖板52在y方向内侧开口的公共墨水室71、连接于公共墨水室71并且在y方向外侧开口且沿x方向隔开间隔配置的多个狭缝72。公共墨水室71通过狭缝72个别地连通于各吐出通道54内。另一方面，公共墨水室71未连通于非吐出通道55。
如图4所示，公共墨水室71形成于cp侧y方向内侧面52f2。公共墨水室71在z方向上配置在与吐出通道54的切起部54b实质上相同的位置。公共墨水室71形成为朝cp侧y方向外侧面52f1侧凹陷，并且沿x方向延伸的槽状。墨水通过流路板41流入公共墨水室71。
狭缝72形成在cp侧y方向外侧面52f1。狭缝72在y方向上配置在与公共墨水室71相向的位置。狭缝72连通于公共墨水室71和吐出通道54。狭缝72的x方向宽度与吐出通道54的x方向宽度实质上相同。
在盖板52中，在液体供给路径70的内表面形成有公共电极65(以下，称为“液体供给路径内电极65”)。即，液体供给路径内电极65形成于公共墨水室71整体、以及狭缝72的整体。
如图7所示，在cp侧y方向外侧面52f1中的狭缝72的周围，形成有盖板侧公共焊盘66(以下，称为“cp侧公共焊盘66”)。如图4所示，cp侧公共焊盘66从液体供给路径内电极65的上端朝cp侧y方向外侧面52f1的上方延伸而形成。即，cp侧公共焊盘66的下端部连接于狭缝内的液体供给路径内电极65。cp侧公共焊盘66的上端部在cp侧y方向外侧面52f1上终止。cp侧公共焊盘66连接于液体供给路径内电极65。cp侧公共焊盘66在cp侧y方向外侧面52f1上沿x方向隔开间隔配置有多个(参照图7)。
cp侧公共焊盘66在y方向上与ap侧公共焊盘62相向。如图7所示，cp侧公共焊盘66配置在将促动器板51和盖板52接合时与的ap侧公共焊盘62对应的位置。即，在促动器板51和盖板52的接合时，cp侧公共焊盘66和ap侧公共焊盘62电连接。
如图4所示，在cp侧y方向内侧面52f2中的公共墨水室71周围，形成有公共引出布线67。如图3所示，在盖板52的上端，形成有朝盖板52的z方向内侧凹陷，并且沿x方向隔开间隔配置的多个凹部73。在图3中，示出了沿x方向实质上隔开等间隔配置的四个凹部73。
如图4所示，公共引出布线67在从cp侧y方向内侧面52f2中的公共墨水室71的上端在cp侧y方向内侧面52f2上向上延伸之后，经过盖板52上端的凹部73，被引出到cp侧y方向外侧面52f1的上端部。换言之，公共引出布线67被引出到盖板52之中，相对于促动器板51位于上方的部分52e(以下称为“cp侧尾部52e”)的y方向外侧面。由此，在多个吐出通道54的内表面形成的公共电极61经过ap侧公共焊盘62、cp侧公共焊盘66、液体供给路径内电极65以及公共引出布线67，在公共端子68中与柔性基板45(外部布线)电连接。在实施方式中，公共引出布线67以及液体供给路径内电极65构成将公共电极61和柔性基板45连接的连接布线60。在连接布线60之中，公共引出布线67在盖板52上沿x方向分割形成在至少三个以上的多个部位。
如图7所示，公共引出布线67具备在cp侧尾部52e的y方向外侧面沿x方向分割形成在至少三个以上的多个部位的公共端子68。在实施方式中，公共端子68在cp侧尾部52e的y方向外侧面沿x方向隔开间隔配置有四个。相邻的两个公共端子68的间隔实质上为等间隔。
在盖板52，形成有盖板个别布线69(以下，称为“cp侧个别布线69”)。cp侧个别布线69在cp侧y方向外侧面52f1的上端部处沿x方向分割形成。cp侧个别布线69具备配置在与将促动器板51和盖板52接合时的ap侧个别布线64对应的位置的盖板侧个别焊盘69a(以下称为“cp侧个别焊盘69a”)、以及在从cp侧个别焊盘69a以越为上侧则越位于x方向外侧的方式倾斜之后，向上方直线状地延伸形成的个别端子69b。
即，在促动器板51和盖板52的接合时，cp侧个别焊盘69a和ap侧个别布线64电连接。cp侧个别焊盘69a在x方向上隔开间隔地配置有多个。相邻的两个cp侧个别焊盘69a的间隔(排列间距)实质上为等间隔。个别cp侧个别焊盘69a和多个cp侧公共焊盘66在z方向上分别一对一地相向。换言之，各cp侧个别焊盘69a和各cp侧公共焊盘66在z方向上以排列在一条直线上的方式配置。
个别端子69b延伸到cp侧尾部52e的y方向外侧面的上端。由此，在多个非吐出通道55的内表面形成的个别电极63经过ap侧个别布线64以及cp侧个别焊盘69a，在个别端子69b处与柔性基板45(参照图5)电连接。在实施方式中，cp侧尾部52e的y方向外侧面为供柔性基板45连接的连接面。
个别端子69b在x方向上隔开间隔配置有多个。相邻的两个别端子69b的间隔(排列间距)实质上为等间隔。多个个别端子69b配置在沿x方向排列的多个公共端子68(公共端子组)之间。个别端子69b的排列间距和公共端子68的排列间距实质上为等间隔。
<一对促动器板的配置关系>
如图3所示，各头芯片40a、40b在使各cp侧y方向内侧面52f2彼此在y方向上相向的状态下，沿y方向隔开间隔地配置。
第二头芯片40b的吐出通道54及非吐出通道55相对于第一头芯片40a的吐出通道54及非吐出通道55的排列间距沿x方向错开半个间距地排列。即，各头芯片40a、40b的吐出通道54彼此以及非吐出通道55彼此排列为交错状。
即，如图4所示，第一头芯片40a的吐出通道54、以及第二头芯片40b的非吐出通道55在y方向上相向。如图5所示，第一头芯片40a的非吐出通道55、以及第二头芯片40b的非吐出通道54在y方向上相向。各头芯片40a、40b的通道54、55的间距能够适当地变更。
<流路板>
流路板41被夹持在第一头芯片40a和第二头芯片40b的y方向之间。流路板41由同一部件一体地形成。如图3所示，流路板41的外形构成在x方向上较长且在z方向上较短的矩形板状。从y方向看，流路板41的外形与盖板52的外形实质上相同。
在流路板41的y方向上的第一主面41f1(朝向第一头芯片40a侧的面)，接合有第一头芯片40a中的cp侧y方向内侧面52f2。在流路板41的y方向上的第二主面41f2(朝向第二头芯片40b侧的面)，接合有第二头芯片40b中的cp侧y方向内侧面52f2。
流路板41由具有绝缘性，并且具有盖板52以上的导热率的材料形成。例如，在通过硅形成盖板52的情况下，流路板41优选由硅或碳形成。由此，在各头芯片40a、40b之间，能够缓和盖板52处的温度不均。因此，在各头芯片40a、40b之间，能够缓和促动器板51中的温度不均，以谋求墨水温度的均一化。由此，能够谋求墨水的吐出速度的均一化，以提高印字稳定性。
在流路板41的各主面41f1、41f2，形成有与公共墨水室71个别地连通的入口流路74、以及与返回板43的循环路径76个别地连通的出口流路75。在流路板41中，入口流路74和出口流路75以沿z方向排列的方式形成。在流路板41之中，形成入口流路74的部分(入口流路形成部件)由具有促动器板51以上的导热率的材料形成。在流路板41之中，形成出口流路75的部分(出口流路形成部件)由具有促动器板51以上的导热率的材料形成。在实施方式中，流路板4由相同的部件一体地形成，且由具有盖板52以上的导热率的材料形成。
各入口流路74从流路板41的各主面41f1、41f2朝y方向的内侧凹陷。各入口流路74的x方向的一端部在流路板41的x方向的一端面处开口。各入口流路74在从流路板41的x方向的一端面以越为x方向的另一端侧则越位于下方的方式倾斜之后，朝x方向的另一端侧屈曲并直线状地延伸。如图4所示，入口流路74的z方向宽度比公共墨水室71的z方向宽度大。此外，入口流路74的z方向宽度还可以为公共墨水室71的z方向宽度以下。
各入口流路74包含在使墨水流入公共墨水室71之前暂时地贮藏墨水的入口液体贮藏部74s。如图3所示，入口液体贮藏部74s将上下宽度维持为一定地在流路板41的上下中央部上沿x方向直线状地延伸。
如图4所示，各入口流路74在第一头芯片40a和第二头芯片40b的y方向之间，沿y方向隔开间隔地配置。即，在流路板41中，各入口流路74的y方向之间的部分由壁部件分隔。换言之，在流路板41，设有将入口流路74分隔为y方向上的第一头芯片40a侧和第二头芯片40b侧的入口流路分隔壁41a。由此，由于墨水吐出时等产生的通道内的压力波动被入口流路分隔壁41a(壁部件)遮挡，故能够抑制在各头芯片40a、40b之间，所述压力波动经由流路变为压力波传播至其他通道等的所谓串扰。因而，能够获得优秀的吐出性能(印字稳定性)。
如图3所示，出口流路75从流路板41的各主面41f1、41f2朝y方向的内侧凹陷，并且从流路板41的下端面朝上方凹陷。各出口流路75的一端部在流路板41的x方向的另一端面处开口。各出口流路75在从流路板41的x方向的另一端面朝下方曲柄状地屈曲之后，朝x方向的一端侧直线状地延伸。如图4所示，出口流路75的z方向宽度比入口流路74的z方向宽度小。出口流路75的y方向深度与入口流路74的y方向深度实质上相同。
出口流路75在流路板41的x方向的另一端面处连接于未图示的出口歧管。出口歧管连接于墨水排出管22(参照图1)。
各出口流路75包含暂时地贮藏从循环路径76流出的墨水的出口液体贮藏部75s。如图3所示，出口液体贮藏部75s将上下宽度维持为一定地在流路板41的下端部上沿x方向直线状地延伸。
如图4所示，各出口流路75在第一头芯片40a和第二头芯片40b的y方向之间，沿y方向隔开间隔地配置。即，在流路板41中，各出口流路75的y方向之间的部分由壁部件分隔。换言之，在流路板41，设有将出口流路75分隔为y方向上的第一头芯片40a侧和第二头芯片40b侧的出口流路分隔壁41b。由此，由于墨水吐出时等产生的通道内的压力波动被出口流路分隔壁41b(壁部件)遮挡，故能够抑制在各头芯片40a、40b之间，所述压力波动经由流路变为压力波传播至其他通道等的所谓串扰。因而，能够获得优秀的吐出性能(印字稳定性)。
在图4的截面视图中，在流路板41之中，与cp侧尾部52e在y方向上重叠的部分，未形成入口流路74以及出口流路75。即，流路板41之中，与cp侧尾部52e在y方向上重叠的部分为实心部件41c。由此，与将流路板41之中与cp侧尾部52e在y方向上重叠的部分作为中空部件的情况相比较，在流路板41和盖板52的连接时，能够避免因连接时的部件退避导致的压接不良。
<入口歧管>
如图3所示，入口歧管42与各头芯片40a、40b以及流路板41的x方向的一端面一起接合。在入口歧管42，形成有与各入口流路74连通的供给路径77。供给路径77从入口歧管42的x方向内断面朝x方向外侧凹陷。供给路径77与各入口流路74一起连通。入口歧管42连接于墨水供给管21(参照图1)。
<返回板>
返回板43的外形构成在x方向上较长且在z方向上较短的矩形板状。返回板43与各头芯片40a、40b以及流路板41的下端面一起接合。换言之，返回板43配置在第一头芯片40a和第二头芯片40b中的吐出通道54的开口端侧。返回板43是介于第一头芯片40a和第二头芯片40b中的吐出通道54的开口端、以及喷嘴板44的上端之间的间隔板。在返回板43，形成有将各头芯片40a、40b的吐出通道54和出口流路75之间连接的多个循环路径76。多个循环路径76包含第一循环路径76a以及第二循环路径76b。多个循环路径76沿z方向贯穿返回板43。
如图4所示，第一循环路径76a与第一头芯片40a的吐出通道54在x方向上位于实质上相同的位置。第一循环路径76a与第一头芯片40a的吐出通道54的排列间距对应地在x方向上隔开间隔形成有多个。
第一循环路径76a沿y方向延伸。第一循环路径76a中的y方向内侧端部与第一头芯片40a中的cp侧y方向内侧面52f2相比位于y方向的内侧。第一循环路径76a中的y方向的内侧端部与出口流路75内连通。第一循环路径76a中的y方向的外侧端部与第一头芯片40a的吐出通道54内个别地连通。
以下，将用与墨水的流动方向正交的面切断第一头芯片40a的吐出通道54之中与返回板43相向的部分时的截面积称为“通道侧流路截面积”。在此，第一头芯片40a的吐出通道54之中与返回板43相向的部分是指吐出通道54与第一循环路径76a接触的部分(边界部分)。即，通道侧流路截面积是指在墨水的流动方向上，第一头芯片40a的吐出通道54的下游端的开口面积。
以下，将用与墨水的流动方向正交的面切断第一循环路径76a时的截面积称为“循环路径侧流路截面积”。即，循环路径侧流路截面积是指在用与自身的延伸方向正交的面切断第一循环路径76时的截面积。
在实施方式中，循环路径侧流路截面积比通道侧流路截面积小。由此，与循环路径侧流路截面积比通道侧流路截面积大的情况相比较，能够抑制在墨水吐出时等产生的通道内的压力波动经由流路变为压力波并传播至其他通道的所谓的串扰(来自循环路径76侧的串扰)。因而，能够获得优秀的吐出性能(印字稳定性)。
如图5所示，第二循环路径76b与第二头芯片40b的吐出通道54在x方向上位于实质上相同的位置。第二循环路径76b与第二头芯片40b的吐出通道54的排列间距对应地在x方向上隔开间隔形成有多个。
第二循环路径76b沿y方向延伸。第二循环路径76b中的y方向内侧端部与第二头芯片40b中的cp侧y方向内侧面52f2相比位于y方向的内侧。第二循环路径76b中的y方向的内侧端部与出口流路75内连通。第二循环路径76b中的y方向的外侧端部与第二头芯片40b的吐出通道54内个别地连通。
<喷嘴板>
如图3所示，喷嘴板44的外形构成在x方向上较长且在y方向上较短的矩形板状。喷嘴板44的外形与返回板43的外形实质上相同。喷嘴板44接合于返回板43的下端面。在喷嘴板44，形成有沿z方向贯穿喷嘴板44的多个喷嘴孔78(喷射孔)。多个喷嘴孔78包含第一喷嘴孔78a以及第二喷嘴孔78b。多个喷嘴孔78沿z方向贯穿喷嘴板44。
如图4所示，第一喷嘴孔78a分别形成在喷嘴板44之中，与返回板43的各第一循环路径76a在z方向上相向的部分。即，第一喷嘴孔78a按照与第一循环路径76a相同的间距，在x方向上隔开间隔排列在一条直线上。第一喷嘴孔78a在第一循环路径76a中的y方向的外端部处与第一循环路径76a内连通。由此，各第一喷嘴孔78a经由第一循环路径76a分别连通于第一头芯片40a的对应的吐出通道54。
如图5所示，第二喷嘴孔78b分别形成在喷嘴板44之中，与返回板43的各第二循环路径76b在z方向上相向的部分。即，第二喷嘴孔78b按照与第二循环路径76b相同的间距，在x方向上隔开间隔排列在一条直线上。第二喷嘴孔78b在第二循环路径76b中的y方向的外端部处与第二循环路径76b内连通。由此，各第二喷嘴孔78b经由第二循环路径76b分别连通于第二头芯片40b的对应的吐出通道54。
另一方面，各非吐出通道55与喷嘴孔78a、78b未连通，由返回板43从下方覆盖。
<打印机的工作方法>
接着，说明利用打印机1，对被记录介质p记录字符、图形等的情况下的打印机1的工作方法。
此外，作为初始状态，设在图1所示的四个油墨储罐4充分地封入有各不相同的颜色的油墨。另外，墨水储罐4内的墨水为经由墨水循环手段6填充于喷墨头5内的状态。
如图1所示，如果在初始状态下使打印机1工作，则通过运送手段2、3的栅格辊11、13旋转，在这些栅格辊11、13及夹送辊12、14之间朝运送方向(x方向)运送被记录介质p。另外，在被记录介质p的运送的同时，驱动马达38使滑轮35、36旋转以使无接头带37移动。由此，滑架33一边被导轨31、32引导，一边沿y方向往复移动。
而且，在滑架33的往复移动期间，通过各喷墨头5对被记录介质p适当地吐出四色墨水，能够对被记录介质p进行字符、图像等的记录。
在此，说明各喷墨头5的动作。
在本实施方式那样的边射类型之中，在纵循环式的喷墨头5中，首先通过使图2所示的加压泵24及吸引泵25工作，从而使墨水在循环流路23内流通。在该情况下，在墨水供给管21中流通的墨水通过图3所示的入口歧管42的供给路径77，流入流路板41的各入口流路74内。流入各入口流路74内的墨水在通过了各公共墨水室71之后，通过狭缝72供给到各吐出通道54内。流入各吐出通道54内的墨水通过返回板43的循环路径76在出口流路75内集合，之后通过未图示的出口歧管排出到图2所示的墨水排出管22。排出到墨水排出管22的墨水在回到墨水储罐4之后，再次供给到墨水供给管21。由此，使墨水在喷墨头5与墨水储罐4之间循环。
而且，若通过滑架33(参照图1)开始往复移动，则经由柔性印刷基板45对各电极61、63施加驱动电压。此时，将个别电极63作为驱动电位vdd，将公共电极61作为基准电位gnd在各电极61、63之间施加驱动电压。于是，在限定吐出通道54的两个驱动壁56产生厚度滑移变形，这两个驱动壁56以向非吐出通道55侧突出的方式变形。即，由于本实施方式的促动器板51是沿厚度方向(y方向)进行了分级处理的两片压电基板层叠的，故通过施加驱动电压，将驱动壁56中的y方向的中间位置作为中心v字状地屈曲变形。由此，吐出通道54好像膨胀一样地变形。
如果通过两个驱动壁56的变形，吐出通道54的容积增大，那么公共墨水室71内的墨水通过狭缝72被引导到吐出通道54内。然后，被诱导到吐出通道54内部的墨水成为压力波而传播到吐出通道54内部，在该压力波到达喷嘴孔78的定时，使对各电极61、63之间施加的驱动电压为零。
由此，驱动壁56复原，暂时增大的吐出通道54的容积恢复原来的容积。通过该动作，吐出通道54内部的压力增加，墨水被加压。其结果，能够使墨水从喷嘴孔78吐出。此时，墨水在通过喷嘴孔78时变为液滴状的墨水滴并被吐出。由此，能够如上所述地对被记录介质p记录字符、图像等。
此外，喷墨头5的工作方法不限于上述内容。例如，还可以以通常状态的驱动壁56朝吐出通道54的内侧变形，吐出通道54好像向内侧凹陷一样的方式构成。该情况能够通过使施加在各电极61、63之间的电压为与上述电压正负相反的电压，或者不改变电压的正负，而是使促动器板51的极化方向相反来实现。另外，还可以在使得以吐出通道54向外侧膨胀的方式变形之后，使得以吐出通道54向内侧凹陷的方式变形，以提高吐出时的墨水的加压力。
<喷墨头的制造方法>
接着，说明喷墨头5的制造方法。本实施方式的喷墨头5的制造方法包含头芯片制作工序、流路板制作工序、各种板接合工序、返回板等接合工序。此外，头芯片制作工序关于各头芯片40a、40b都能够通过同样的方法来进行。因而，在以下的说明中，对第一头芯片40a中的头芯片制作工序进行说明。
<头芯片制作工序>
实施方式的头芯片制作工序作为促动器板侧的工序，包含晶圆准备工序、掩模图案形成工序、通道形成工序以及电极形成工序。
如图9所示，在晶圆准备工序中，首先将沿厚度方向(y方向)进行了极化处理的两片压电晶圆110a、110b在使极化方向相反的情况下层叠。由此，形成人字纹类型的促动器晶圆110。
之后，对促动器晶圆110的表面(一个压电晶圆110a)进行研磨。此外，虽在在本实施方式中，对将厚度相等的压电晶圆110a、110b贴合的情况进行了说明，但是还可以预先将厚度不同的压电晶圆110a、110b贴合。
如图10所示，在掩模图案形成工序中，形成在电极形成工序中使用的掩模图案111。具体而言，在将安装胶带112粘贴在促动器晶圆110的背面之后，将感光性干膜等掩模材料粘贴在促动器晶圆110的表面。之后，使用光刻(photolithography)技术对掩模材料进行图案形成，从而除去掩模材料之中位于上述ap侧公共焊盘62以及ap侧个别布线64(参照图7)的形成区域的部分掩模材料。由此，在促动器晶圆110的表面上，形成至少ap侧公共焊盘62以及ap侧个别布线64的形成区域开口的掩模图案111。在该情况下，掩模图案111覆盖促动器晶圆110之中ap侧公共焊盘62以及ap侧个别布线64的形成区域以外的部分。此外，掩模材料还可以通过涂布等形成在促动器晶圆110的表面。
如图11所示，在通道形成工序中，通过未图示的切割刀片等，对促动器晶圆110的表面进行切削加工。具体而言，如图12所示，在促动器晶圆110的表面上，以多个通道54、55沿x方向隔开间隔平行地排列的方式形成。在该情况下，在促动器晶圆110的表面之中，对于每个掩模图案111，对各通道54、55的形成区域进行切削。
此外，关于上述掩模图案形成工序以及通道形成工序，如果能够将掩模图案111形成为期望的形状，则工序的顺序也可以相反。另外，在上述掩模图案形成工序中，还可以预先除去位于吐出通道54以及非吐出通道55的形成区域的部分的掩模材料。
电极形成工序包含脱脂工序、蚀刻工序、脱铅工序、催化剂赋予工序、掩模除去工序、镀敷工序、以及镀敷被膜除去工序。
在脱脂工序中，除去附着于促动器晶圆110的油脂等脏污。
在蚀刻工序中，通过氟化铵溶液等来对促动器晶圆110进行蚀刻。由此，提高通过镀敷工序形成的镀敷被膜和促动器晶圆110的紧贴力。
在脱铅工序中，在通过pzt形成促动器晶圆110的情况下，除去促动器晶圆110表面的铅。由此，抑制促动器晶圆110的表面处的铅的催化剂抑制效果。
例如，催化剂赋予工序通过敏化剂活化剂法进行。如图13所示，在敏化剂活化剂法中，首先使其浸渍于氯化亚锡(塩化第1錫)水溶液，以进行使氯化亚锡吸附于促动器晶圆110的敏化处理。接着，通过水洗等轻微地洗净促动器晶圆110。之后，使促动器晶圆110浸渍于氯化钯水溶液，以使氯化钯吸附于促动器晶圆110。于是，通过在吸附于促动器晶圆110的氯化钯、和在上述敏化处理中吸附的氯化亚锡之间发生氧化还原反应，作为催化剂113析出金属钯(活化处理)。此外，催化剂赋予工序还可以进行多次。
此外，催化剂赋予工序还可以通过上述敏化剂活化剂法以外的方法进行。例如，催化剂赋予工序还可以通过催化加速剂法进行。在催化加速剂法中，将促动器晶圆110浸渍于锡和钯的胶体溶液。接着，将促动器晶圆110浸渍于酸性溶液(例如盐酸溶液)以活性化，使得金属钯析出于促动器晶圆110的表面。
接着，如图14所示，在掩模除去工序中，通过举离等除去在促动器晶圆110的表面形成的掩模图案111。此外，催化剂113之中赋予在掩模图案111上的部分被与掩模图案111一同除去。即，在本实施方式中，在促动器晶圆110之中，仅在从掩模图案1111露出的部分(各通道54、55的内表面、以及ap侧公共焊盘62以及ap侧个别布线64的形成区域等)残留有催化剂113。此外，淹没除去工序还可以在镀敷工序之后进行。
如图15所示，在镀敷工序中，将促动器晶圆110浸渍于镀敷液。于是，在促动器晶圆110之中，在被赋予了催化剂113的部分析出金属被膜114。此外，作为在镀敷工序中使用的金属电极，例如优选ni(镍)、co(钴)、cu(铜)、au(金)等，特别优选使用ni。
如图16所示，在镀敷被膜除去工序中，在金属被膜114(参照图15)之中，除去位于非吐出通道55底面的部分。具体而言，在朝非吐出通道55的底面照射激光光l的状态下，沿z方向扫描激光光l。于是，选择性地除去在金属被膜114(参照图15)之中，被照射激光光l的部分。由此，金属被膜114(参照图15)在非吐出通道55的底面处分离。由此，在促动器晶圆110之中，通道54、55的内表面分别形成有公共电极61以及个别电极63。另外，在促动器晶圆110的表面，形成与对应的公共电极61以及个别电极63连接的ap侧公共焊盘62以及ap侧个别布线64(参照图7)。
此外，还可以代替激光光l使用切割器。另外，在镀敷被膜除去工序中，不限于除去金属被膜114之中位于非吐出通道55底面的部分。例如，在催化剂除去工序中，还可以除去催化剂113之中位于非吐出通道55底面的部分。具体而言，在催化剂除去工序中，还可以在朝非吐出通道55的底面照射激光光l的状态下，沿z方向扫描激光光l，以选择性地除去催化剂113之中被照射激光光l的部分。
之后，剥离安装胶带112，利用切割器等使促动器晶圆110单片化，完成上述促动器板51(参照图5)。
实施方式的头芯片制作工序作为盖板侧的工序，包含公共墨水室形成工序、狭缝形成工序、凹部形成工序以及电极和布线形成工序。
如图17所示，在供给墨水形成工序中，对盖晶圆120从表面侧通过未图示的掩模进行喷砂等，以形成公共墨水室71。
接着，如图18所示，在狭缝形成工序中，对盖晶圆120从背面侧通过未图示的掩模进行喷砂等，以形成与公共墨水室71内个别地连通的狭缝72。
在凹部形成工序中，如图17所示，对盖晶圆120从表面侧或背面侧通过未图示的掩模进行喷砂等，以形成用于形成凹部73(参照图7)的狭缝121。之后，利用切割器等沿狭缝121的轴线将盖晶圆120单片化，从而对盖晶圆120形成凹部73。由此，完成形成了凹部73的盖板52(参照图3)。
此外，公共墨水室形成工序、狭缝形成工序以及凹部形成工序这些各个工序不限于喷砂，还以通过切割、切削等来进行。
接着，如图19所示，在电极和布线形成工序中，在盖板52，形成液体供给路径内电极65、cp侧公共焊盘66、公共引出布线67以及cp侧个别布线69等各种电极和布线。
具体而言，在电极和布线形成工序中，如图20所示，首先在盖板52的所有面(包含表面、背面以及上端面、以及凹部73的形成面)，形成各种电极以及各种布线(液体供给路径内电极65、cp侧公共焊盘66、公共引出布线67、以及cp侧个别布线69)的形成区域开口的未图示的掩模。之后，对盖板52的所有面通过无电解镀敷等形成电极材料的膜。由此，通过掩模的开口在盖板52的所有面形成成为各种电极以及各种布线的电极材料的膜。此外，作为掩模，例如能够使用感光性干膜等。另外，电极和布线形成工序不限于镀敷，还可以通过蒸镀等进行。
在电极和布线形成工序的结束之后，从盖板52的所有面除去掩模。
然后，将各促动器板51和各盖板52彼此接合，以制作各头芯片40a、40b。具体而言，将各ap侧y方向内侧面51f1粘贴于各cp侧y方向外侧面52f1。
<流路板制作工序>
实施方式的流路板制作工序包含流路形成工序以及单片化工序。
如图21所示，在流路形成工序(表面侧流路形成工序)中，对流路晶圆130从表面侧通过未图示的掩模进行喷砂等，以形成入口流路74以及出口流路75。
此外，在流路形成工序(背面侧流路形成工序)中，对流路晶圆130从背面侧通过未图示的掩模进行喷砂等，以形成入口流路74以及出口流路75。此外，流路形成工序的各工序不限于喷砂，还以通过切割、切削等来进行。
之后，在单片化工序中，利用切割器等沿着出口流路75中的x方向直线部的轴线(假想线d)将流路晶圆130单片化。由此，流路板41(参照图3)完成。
<各种板接合工序>
接着，如图22所示，在各种板接合工序中，将各头芯片40a、40b中的盖板42和流路板41接合。具体而言，将流路板41的y方向外侧面(各主面41f1、41f2)粘贴于各头芯片40a、40b中的cp侧y方向内侧面52f2。
由此，制作板接合体5a。
此外，还可以在将所有的板在晶圆状态下贴合之后进行芯片分割(单片化)。
<返回板等接合工序>
接着，相对于板接合体5a接合返回板43以及喷嘴板44。之后，相对于cp侧尾部52e安装柔性基板45(参照图4)。
通过以上，本实施方式的喷墨头5完成。
如以上所说明的那样，本实施方式所涉及的喷墨头5具备：一对促动器板51，其沿z方向延伸的多个通道54、55在x方向上隔开间隔并列设置，并且在y方向上相向配置；返回板43，其配置在一对促动器板51中的通道54、55的开口端侧，并且形成有与通道54、55连通的循环路径76；以及流路板41，其配置在一对促动器板51之间，并且供墨水流入的入口流路74和连通于循环路径76的出口流路75以沿z方向排列的方式形成。
根据本实施方式，通过具备配置在一对促动器板51之间，并且供墨水流入的入口流路74和与循环路径76连通的出口流路75以沿z方向并列的方式形成的流路板41，能够在一对促动器板51之间包括墨水的流路。因此，与从外侧导入墨水并将墨水送回外侧的构成相比较，不需要两组墨水的流路，能够尽可能地减薄喷墨头5的厚度(喷墨头5的y方向长度)。因而，能够提供能够减薄厚度以谋求轻量化的喷墨头5。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，入口流路74包含在使墨水流入公共墨水室71之前暂时地贮藏墨水并且沿x方向延伸的入口液体贮藏部74s。
根据本实施方式，通过存在沿x方向延伸的入口液体贮藏部74s，能够通过墨水传递热量，因而促动器板51的温度容易变得均一化。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，出口流路75包含暂时地贮藏从循环路径76流出的墨水并且沿x方向延伸的出口液体贮藏部75s。
根据本实施方式，通过存在沿x方向延伸的出口液体贮藏部75s，能够通过墨水传递热量，因而促动器板51的温度容易变得均一化。在本实施方式中，通过存在入口液体贮藏部74s以及出口液体贮藏部75s(两个液体贮藏部74s、75s)，与仅存在入口液体贮藏部74s或出口液体贮藏部75s中的任一者的情况相比较，促动器板51容易均一化。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，入口流路74在流路板41的x方向的一端面处开口。
根据本实施方式，与使入口流路74在流路板41的z方向的一端面开口的情况相比较，能够在墨水的流入侧缩短喷墨头5的z方向长度。另外，与使入口流路74在流路板41的y方向的一端面开口的情况相比较，能够在墨水的流入侧缩短喷墨头5的厚度。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，出口流路75在流路板41的x方向的另一端面处开口。
根据本实施方式，与使出口流路75在流路板41的z方向的一端面开口的情况相比较，能够在墨水的流出侧缩短喷墨头5的z方向长度。另外，与使出口流路75在流路板41的y方向的一端面开口的情况相比较，能够在墨水的流出侧缩短喷墨头5的厚度。在本实施方式中，入口流路74在流路板41的x方向的一端面处开口，并且，出口流路75在流路板41的x方向的另一端面处开口，因而在缩短喷墨头5的z方向的长度以及喷墨头5的厚度方面的实际益处大。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，将用与墨水的流动方向正交的面切断通道54、55之中与返回板43相向的部分时的截面积作为通道侧流路截面积，将用与墨水的流动方向正交的面切断循环路径76时的截面积作为循环路径侧流路截面积时，循环路径侧流路截面积比通道侧流路截面积小。
根据本实施方式，与循环路径侧流路截面积比通道侧流路截面积大的情况相比较，能够抑制在墨水吐出时等产生的通道内的压力波动经由流路变为压力波并传播至其他通道的所谓的串扰(来自循环路径76侧的串扰)。因而，能够获得优秀的吐出性能(印字稳定性)。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，在流路板41，设有将入口流路74分隔为y方向上的一对促动器板51的一侧和另一侧的入口流路分隔壁41a。
根据本实施方式，由于墨水吐出时等产生的通道内的压力波动被入口流路分隔壁41a遮挡，故能够抑制在各头芯片51之间，所述压力波动经由流路变为压力波传播至其他通道等的所谓串扰。因而，能够获得优秀的吐出性能(印字稳定性)。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，在流路板41，设有将出口流路75分隔为y方向上的一对促动器板51的一侧和另一侧的出口流路分隔壁41b。
根据本实施方式，由于墨水吐出时等产生的通道内的压力波动被出口流路分隔壁41b遮挡，故能够抑制在各头芯片51之间，所述压力波动经由流路变为压力波传播至其他通道等的所谓串扰。因而，能够获得优秀的吐出性能(印字稳定性)。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，在流路板41之中，形成入口流路74的入口流路形成部件由具有促动器板51以上的导热率的材料形成。
根据本实施方式，能够缓和各促动器板51之间之中，与流路板41的入口流路形成部件在y方向上重叠的部分的温度不均，以谋求墨水温度的均一化。由此，能够谋求墨水的吐出速度的均一化，以提高印字稳定性。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，在流路板41之中，形成出口流路75的出口流路形成部件由具有促动器板51以上的导热率的材料形成。
根据本实施方式，能够缓和各促动器板51之间之中，与流路板41的出口流路形成部件在y方向上重叠的部分的温度不均，以谋求墨水温度的均一化。由此，能够谋求墨水的吐出速度的均一化，以提高印字稳定性。
另外，在本实施方式中，在喷墨头中，流路板41由同一部件一体地形成。
根据本实施方式，与通过多个部件的组合形成流路板41的情况相比较，能够削减流路板41的制作工时。此外，与通过多个部件的组合形成流路板41的情况相比较，能够提高流路板41的尺寸精度。在本实施方式中，通过流路板41整体由具有促动器板51以上的导热率的材料形成，能够缓和各促动器板51之间之中，与流路板41在y方向上重叠的部分的温度不均，以谋求墨水温度的均一化。由此，能够谋求墨水的吐出速度的均一化，以进一步提高印字稳定性。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，还具备一对盖板52，这一对盖板52层叠于ap侧y方向内侧面51f1以堵塞多个通道54、55，并且在之间隔着流路板41沿y方向相向配置，并且，形成有沿y方向贯穿并且与通道54、55连通的液体供给路径70。
根据本实施方式，在还具备一对盖板52的构成中，能够在一对促动器板51之间包括含有液体供给路径70的墨水的流路。因此，与从外侧导入墨水并将墨水送回外侧的构成相比较，能够尽可能地减薄喷墨头5的厚度。
另外，在实施方式中，在喷墨头5中，盖板52由具有促动器板51以上且流路板41以下的导热率的材料形成。
根据本实施方式，能够缓和各促动器板51之间之中，与盖板52在y方向上重叠的部分的温度不均，以谋求墨水温度的均一化。由此，能够谋求墨水的吐出速度的均一化，以提高印字稳定性。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，cp侧y方向外侧面52f1作为供柔性基板45连接的连接面。
根据本实施方式，与将cp侧y方向内侧面52f2作为连接面的情况相比较，能够在连接面处容易地进行柔性基板45和电极端子(公共端子68以及个别端子69b)的连接作业。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，在盖板52，在促动器板51和盖板52的层叠状态下，在盖板52之中，设有促动器板51的z方向的一端面相比向外侧延伸，并且具有所述连接面的cp侧尾部52e，在流路板41之中，将与cp侧尾部52e在y方向上重叠的部分作为实心部件41c。
根据本实施方式，与将流路板41之中与cp侧尾部52e在y方向上重叠的部分作为中空部件的情况相比较，在流路板41和盖板52的连接时，能够避免因连接时的部件退避导致的压接不良。例如，在流路板41和盖板52的连接时，能够避免流路板41的开裂或缺口等。
另外，在本实施方式中，在喷墨头5中，cp侧y方向外侧面52f1作为供柔性基板45连接的连接面，在盖板52，在促动器板51和盖板52的层叠状态下，在盖板52之中，与设有促动器板51的z方向的一端面相比向外侧延伸，并且具有所述连接面的cp侧尾部52e，在流路板41之中，将与cp侧尾部52e在y方向上重叠的部分作为实心部件41c。
根据本实施方式，与将cp侧y方向内侧面52f2作为连接面的情况相比较，能够在连接面处容易地进行柔性基板45和电极端子(公共端子68以及个别端子69b)的连接作业。此外，与将流路板41之中与cp侧尾部52e在y方向上重叠的部分作为中空部件的情况相比较，在流路板41和盖板52的连接时，能够避免因连接时的部件退避导致的压接不良。例如，在流路板41和盖板52的连接时，能够避免流路板41的开裂或缺口等。
本实施方式所涉及的打印机1具备上述喷墨头5、以及使喷墨头5和被记录介质p相对地移动的移动机构2、3、7。
根据本实施方式，在具备上述两列类型的喷墨头5的打印机1中，能够减薄喷墨头5的厚度以谋求轻量化。通过减薄喷墨头5的厚度，变得容易移动喷墨头5，因而能够提高便利性。通过使喷墨头5轻量化，降低了马达等驱动源的动力，因而能够实现低消耗电力化以及马达的小型化等，以谋求低成本化。
此外，本发明的技术范围并不限于上述实施方式，能够在不脱离本发明主旨的范围内加以各种变更。
例如，虽然在上述实施方式中，作为液体喷射装置的一例，举喷墨打印机1为例进行了说明，但不限于打印机。例如，还可以是传真机、按需印刷机等。
虽然在上述实施方式中，对喷嘴孔78排列两列的两列类型的喷墨头进行了说明，但不限于此。例如，也可以采用喷嘴孔为三列以上的喷墨头5，还可以采用喷嘴孔为一列的喷墨头5。
虽然在上述实施方式中，对吐出通道54和非吐出通道55交替排列的构成进行了说明，但不仅限于该构成。例如，还可以将本发明适用于从全部通道依次吐出墨水的，所谓三循环方式的喷墨头。
虽然在上述实施方式中，对作为促动器板使用人字纹类型的构成进行了说明，但不限于此。即，还可以使用单极类型(极化方向在厚度方向上为单方向)的促动器板。
虽然在上述实施方式中，对入口流路74在流路板41的x方向的一端面处开口的构成进行了说明，但不仅限于该构成。例如，还可以使入口流路74在流路板41的z方向的一端面处开口，还可以使入口流路74在流路板41的y方向的一端面处开口。
虽然在上述实施方式中，对出口流路75在流路板41的x方向的另一端面处开口的构成进行了说明，但不仅限于该构成。例如，还可以使出口流路75在流路板41的z方向的一端面处开口，还可以使出口流路75在流路板41的y方向的一端面处开口。
虽然在上述实施方式中，对循环路径侧流路截面积比通道侧流路截面积小的构成进行了说明，但不仅限于该构成。例如，还可以使循环路径侧流路截面积为通道侧流路截面积以上的大小。
虽然在上述实施方式中，对将cp侧y方向外侧面52f1作为柔性基板45的连接面的构成进行了说明，但不仅限于该构成。例如，还可以将cp侧y方向内侧面52f2作为连接面。
虽然在上述实施方式中，对将流路板41之中与cp侧尾部52e在y方向上重叠的部分作为实心部件41c的构成进行了说明，但不仅限于该构成。例如，还可以将流路板41之中与cp侧尾部52e在y方向上重叠的部分为中空部件。
虽然在上述实施方式中，对流路板41由同一部件一体地形成的构成进行了说明，但不仅限于该构成。例如，流路板41还可以由多个部件的组合形成。
在以下的变形例中，对于与上述实施方式同样的构成，附以相同附图标记并省略其详细说明。
<第一变形例>
例如，如图23所示，在cp侧y方向外侧面52f1，还可以形成有与多个cp侧公共焊盘66连接的横穿公共电极80。横穿公共电极80在cp侧y方向外侧面52f1之中狭缝72与cp侧个别焊盘69a之间的部分上沿x方向延伸。横穿公共电极80在cp侧y方向外侧面52f1处沿x方向带状地形成。横穿公共电极80在cp侧y方向外侧面52f1上连接于多个cp侧公共焊盘66的上端部。另一方面，横穿公共电极80在cp侧y方向外侧面52f1上未抵接于cp侧个别焊盘69a。
在ap侧尾部51e的y方向内侧面，还可以形成有横穿公共电极80的退避槽81(以下称为电极退避槽81)。”电极退避槽81在ap侧尾部51e的y方向内侧面之中ap侧公共焊盘62与ap侧个别布线64之间的部分上沿x方向延伸。电极退避槽81在y方向上与横穿公共电极80相向。电极退避槽81配置在将促动器板51和盖板52接合时的与横穿公共电极80对应的位置。即，在促动器板51和盖板52的接合时，横穿公共电极80配置在电极退避槽81内。
在本变形例中，在cp侧y方向外侧面52f1上，形成有与多个cp侧公共焊盘66连接，并且沿x方向延伸的横穿公共电极80。
根据本变形例，由于能够通过横穿公共电极80来预备地连接多个cp侧公共焊盘66，因而与多个cp侧公共焊盘66仅连接于液体供给路径内电极65的情况相比较，能够提高多个cp侧公共焊盘66的电连接的可靠性。
另外，在本变形例中，在ap侧尾部51e的y方向内侧面，形成有沿x方向延伸，并且在y方向上与横穿公共电极80相向的电极退避槽81。
根据本变形例，在促动器板51和盖板52的接合时，能够将横穿公共电极80容纳在电极退避槽81内，因而能够避免促动器板51侧的电极(例如，ap侧个别布线64)和横穿公共电极80短路的情况。
<第二变形例>
例如，如图24所示，代替实施方式的凹部73(参照图4)，在盖板52的上端部，形成沿y方向贯穿，并且沿x方向隔开间隔配置的多个贯穿孔90也可。
公共引出布线67在从cp侧y方向内侧面52f2中的公共墨水室71的上端在cp侧y方向内侧面52f2上向上方延伸之后，经过盖板52上端的贯穿孔90，被引出到cp侧y方向外侧面52f1的上端部。换言之，公共引出布线67被经由贯穿孔90内的贯穿电极91引出到cp侧尾部52e的y方向外侧面。由此，在多个吐出通道54的内表面形成的公共电极61经过ap侧公共焊盘62、cp侧公共焊盘66、液体供给路径内电极65以及公共引出布线67，在公共端子68中与柔性基板45电连接。
例如，贯穿电极91通过蒸镀等仅形成在贯穿孔90的内周面。此外，贯穿电极91还可以通过导电膏等而填充在贯穿孔90内。
在本变形例中，在cp侧尾部52e的上端部，形成有沿y方向贯穿盖板52，并且沿x方向隔开间隔地配置的多个贯穿孔90，公共引出布线67经由贯穿孔90将液体供给路径内电极65与柔性基板45连接。
根据本变形例，与经由凹部73(参照图4)将公共引出布线67连接于贯穿孔内电极65和柔性基板45的情况相比较，能够利用贯穿孔形成部(壁部)保护公共引出布线67，因而能够避免公共引出布线67在贯穿孔90内损伤。
另外，在不脱离本发明主旨的范围内，能够适当地将上述实施方式中的构成要素替换为公知的构成要素，另外，还可以将上述各变形例适当地组合。
符号说明
1喷墨打印机(液体喷射装置)
2运送手段(移动机构)
3运送手段(移动机构)
5、5k、5c、5m、5y喷墨头(液体喷射头)
7扫描手段(移动机构)
41流路板
41a入口流路分隔壁
41b出口流路分隔壁
41c实心部件
43返回板
45柔性基板(外部布线)
51促动器板
51f1ap侧y方向内侧面(促动器板侧第一主面)
52盖板
52f1cp侧y方向外侧面(盖板侧第一主面)
52f2cp侧y方向内侧面(盖板侧第二主面)
52ecp侧尾部(盖板之中，与促动器板的第一方向的一端面相比向外侧延伸的尾部)。
54吐出通道(喷射通道)
55非吐出通道(非喷射通道)
70液体供给路径
74入口流路
74s入口液体贮藏部
75出口流路
75s出口液体贮藏部
76循环路径
p被记录介质。