收纳体移动装置和部件供给装置的制作方法

1.本发明涉及一种收纳体移动装置和部件供给装置，该收纳体移动装置将收纳有部件的收纳体向用于供给部件的位置(供给位置)移动，该部件供给装置在收纳体通过该收纳体移动装置而被配置于供给位置时，将收纳于收纳体的部件从收纳体取出并向其他装置供给。


背景技术：

2.以往，已知有使用设有图案开口的模板(stencil)在基板的表面印刷焊料膏剂等膏剂的丝网印刷装置。在这样的丝网印刷装置中，通常，当基板的品种改变时，模板也被更换。一般来说，作业者通过手动作业对模板进行更换。另一方面，例如在专利文献1中公开了通过具有模板更换部来自动地更换模板的丝网印刷装置，该模板更换部构成为使收纳有模板的收纳体在框体内升降自如。
3.在先技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开平5-299812号公报


技术实现要素：

6.本发明的第一收纳体移动装置使收纳有部件的收纳体向用于供给部件的供给位置移动。该收纳体移动装置具有框体、收纳体移动机构、第一物体检测部、第二物体检测部和安全控制部。在框体设置有能够收纳收纳体的内部空间和能够相对于该内部空间取放收纳体的入口。在该内部空间的远离入口的位置设定有作业空间。收纳体移动机构使搬入的收纳体在入口附近与作业空间之间移动。第一物体检测部对通过入口的物体进行检测。第二物体检测部对在内部空间中从入口附近向作业空间移动的物体进行检测。在收纳体通过入口时，安全控制部使基于第一物体检测部的检测无效，并且若第二物体检测部检测到从入口附近向作业空间移动的物体，则安全控制部停止向收纳体移动机构供给动力用电力。除了在收纳体通过入口时以外，安全控制部使基于第二物体检测部的检测无效，并且若第一物体检测部检测到通过入口的物体，则安全控制部停止向所述收纳体移动机构供给动力用电力。
7.本发明的第二收纳体移动装置也使收纳有部件的收纳体向用于供给部件的供给位置移动。该收纳体移动装置具有框体、收纳体移动机构、第一物体检测部、第二物体检测部和安全控制部。在框体设置有能够收纳收纳体的内部空间和能够相对于该内部空间取放收纳体的入口。在该内部空间的远离入口的位置设定有作业空间。收纳体移动机构使搬入的收纳体在入口附近与作业空间之间移动。第一物体检测部对通过入口的物体进行检测。第二物体检测部对在内部空间中从入口附近向作业空间移动的物体进行检测。在收纳体停止在能够从入口搬入或搬出的位置时，安全控制部使基于第一物体检测部的检测无效，并且若第二物体检测部检测到从入口附近向作业空间移动的物体，则安全控制部停止向收纳
体移动机构供给动力用电力。在收纳体移动机构工作时，安全控制部使基于第二物体检测部的检测无效，并且若第一物体检测部检测到通过入口的物体，则安全控制部停止向收纳体移动机构供给动力用电力。
8.本发明的部件供给装置具有上述任一个收纳体移动装置和部件移动机构。部件移动机构接受通过收纳体移动装置将收纳体配置于供给位置的信息，将部件从收纳体取出。
9.根据本发明，在使收纳体在框体的内部升降的结构中，能够确保对收纳体相对于框体进行取放的作业者的安全。
附图说明
10.图1是本发明的实施方式的包含作为部件供给装置的模板更换部的丝网印刷装置的立体图。
11.图2是图1所示的丝网印刷装置的透视立体图。
12.图3是图1所示的丝网印刷装置的透视侧视图。
13.图4是图3所示的丝网印刷装置的印刷部的透视侧视图。
14.图5是图4所示的印刷部的局部剖面侧视图。
15.图6是图4所示的印刷部的局部俯视图。
16.图7是图4所示的印刷部的局部俯视图。
17.图8是图1所示的丝网印刷装置所使用的模板的一例的俯视图。
18.图9是图4所示的印刷部的局部仰视图。
19.图10是图5的局部放大图。
20.图11是图4的局部放大图。
21.图12是示出图2所示的丝网印刷装置将模板设置于印刷部的过程的仰视图。
22.图13是图4所示的印刷部的俯视图。
23.图14是图4所示的印刷部的侧视图。
24.图15是示出图2所示的丝网印刷装置向从收纳体拉出的模板的上表面吹送气体的状况的立体图。
25.图16是图1所示的模板更换部的立体图。
26.图17是图16所示的模板更换部的透视立体图。
27.图18是图16所示的模板更换部在框体的内部移动的收纳体的立体图。
28.图19是图16所示的模板更换部的透视侧视图。
29.图20是图16所示的模板更换部的透视立体图。
30.图21是示出图1所示的丝网印刷装置的控制系统的功能框图。
31.图22是示出图2所示的丝网印刷装置将模板设置于模板设置位置的过程的俯视图。
32.图23是接续图22示出丝网印刷装置将模板设置于模板设置位置的过程的俯视图。
33.图24是接续图23示出丝网印刷装置将模板设置于模板设置位置的过程的俯视图。
34.图25是接续图24示出丝网印刷装置将模板设置于模板设置位置的过程的俯视图。
35.图26是示出图3所示的丝网印刷装置通过模板保持部将模板固定于模板引导件的步骤的侧视图。
36.图27是示出图4所示的印刷部利用印刷头进行刮涂的步骤的侧视图。
37.图28是示出利用图4所示的印刷部所具有的下表面清洁器进行模板的下表面的清洁的步骤的侧视图。
38.图29是示出利用图28所示的下表面清洁器对模板的下表面进行清洁的状况的立体图。
39.图30是示出利用图4所示的印刷部所具有的刮片单元铲起残留于模板的上表面的膏剂的动作的步骤的侧视图。
40.图31是示出利用图4所示的印刷部所具有的上表面清洁器和下表面清洁器对模板的上下两面进行清洁的步骤的侧视图。
具体实施方式
41.在说明本发明的实施方式之前，对完成本发明的构思的背景进行简单说明。更换用的模板、被回收的模板需要作业者进入装置来进行搬运。但是，在专利文献1记载的丝网印刷装置中，对安全的考虑是不充分的。
42.本发明提供一种能够确保作业者的安全的收纳体移动装置和部件供给装置。
43.以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1、图2及图3示出了本发明的实施方式的丝网印刷装置1。丝网印刷装置1在作为图2、图3所示的印刷对象物的基板kb的上表面印刷焊料膏剂等膏剂pst。
44.丝网印刷装置1具有印刷部2和模板更换部3。模板更换部3与印刷部2相邻。需要说明的是，在以下的说明中，y轴从模板更换部3朝向印刷部2，有时将y轴的负侧表达为“后”，将y轴的正侧表达为“前”。x轴在水平面内与y轴正交。x轴与基板kb的搬运方向相反地延伸。z轴从下向上延伸，且与x轴、y轴正交。
45.图4、图5示出印刷部2。如图2～图4所示，印刷部2具有被印刷部罩2k覆盖的基台11和配置在基台11上的基板搬运保持部12。如图5所示，基板搬运保持部12具有第一输送机12a、第二输送机12b、第三输送机12c、基板保持部12d和多级工作台12e。第一输送机12a、第二输送机12b及第三输送机12c依次沿着x轴反向排列，按照第一输送机12a、第二输送机12b、第三输送机12c的顺序交接并搬运基板kb。
46.基板保持部12d与第二输送机12b一起构成单元。基板保持部12d将第二输送机12b从第一输送机12a接收到的基板kb支承为从第二输送机12b抬起的状态，并夹紧基板kb的两侧而保持。多级工作台12e设置在基台11上，使包含第二输送机12b和基板保持部12d的单元整体相对于基台11在水平面内移动和上下移动。
47.如图2、图3及图4所示，在基板搬运保持部12的上方设置有模板引导件13。图6是示出模板引导件13的俯视图。模板引导件13具有x轴引导部13b和一对y轴引导部13a。y轴引导部13a分别以沿着y轴延伸并沿着x轴对置的方式平行地配置。x轴引导部13b在一对y轴引导部13a的y轴正侧的端部(前端部)之间沿着x轴延伸。y轴引导部13a的端部是与模板更换部3相反的一侧的端部。y轴引导部13a各自的截面为l字状。即，y轴引导部13a具有水平部13h和形成于水平部13h的外侧且相对于水平部13h垂直的垂直部13v。另一方面，x轴引导部13b仅由与y轴引导部13a各自的水平部13h连接的水平部构成。
48.如图2、图3及图4所示，在模板引导件13的上方配置有模板保持部14。图7是将模板
保持部14与模板引导件13一起示出的俯视图。模板保持部14在俯视下具有矩形形状，且具有一对y轴边和一对x轴边。在图7中位于左右的y轴边位于模板引导件13的一对y轴引导部13a的上方。在图7中位于下方的x轴边位于x轴引导部13b的上方。在模板引导件13上的规定的位置(模板设置位置)设置有图8所示的矩形的模板15。模板保持部14与模板引导件13一起夹持并按压模板15的四边。需要说明的是，在图7中，模板设置位置是指模板引导件13与模板保持部14之间的位置，是模板引导件13的前端的位置。
49.图8是模板15的俯视图。模板15由矩形的金属板构成。在模板15的中央部，根据形成于基板kb的表面的电极图案(未图示)的配置而设置有图案开口15k。在模板15的四边(周边部)设置有沿厚度方向贯通模板15的多个卡合孔15h。卡合孔15h分别沿着模板15的四边排列设置。
50.如图3所示，模板引导件13的y轴引导部13a延伸至模板更换部3的附近位置。y轴引导部13a成为模板15的、在模板设置位置与模板更换部3之间移动的移动路径。如图6所示，由台阶形成的引导件13g分别在一对y轴引导部13a的上表面沿着y轴延伸。引导件13g对在模板设置位置与模板更换部3之间移动的模板15的左右的侧面进行引导。
51.图9是示出对模板保持部14与模板引导件13一起从下方观察到的状态的平面图。在模板保持部14的下表面以向下方突出的方式设置有多个卡合突起14t。卡合突起14t沿着模板保持部14的形状(四边)而配置。模板保持部14的沿着y轴排列的卡合突起14t的列分别由沿着y轴延伸的连结部件14k连结。模板保持部14的沿着x轴排列的卡合突起14t的列分别由沿着x轴延伸的连结部件14k连结。
52.如上述那样，在模板保持部14的沿着y轴的两边分别沿着y轴排列有多个卡合突起14t。即，在这两边分别设置有卡合突起14t的列。另外，在模板保持部14的沿着x轴的两边也分别沿着x轴排列有多个卡合突起14t。即，在这两边也分别设置有卡合突起14t的列。图10是图5的局部放大图。在模板保持部14各自的内部设置有张力施加工作缸(以下称为工作缸)14a。当工作缸14a使连结部件14k沿水平移动时，卡合突起14t的列以远离模板保持部14的中央部的方式移动。具体而言，模板保持部14的沿着y轴排列的两个卡合突起14t的列向x轴的彼此相反的方向移动。另外，模板保持部14的沿着x轴排列的两个卡合突起14t的列向y轴的彼此相反的方向移动。
53.图11是图4的局部放大侧视图。由图6、图7及图11可知，在模板保持部14的上方设置有两个模板保持部升降工作缸(以下称为升降工作缸)31和四个模板保持部按压工作缸(以下称为按压工作缸)32。如图11所示，升降工作缸31和按压工作缸32分别固定于模板引导件13的y轴引导部13a所具有的垂直部13v。如图6、图7所示，升降工作缸31分别设置于模板保持部14的沿着y轴的边的中央部的上方，按压工作缸32分别设置于模板保持部14的四角或其附近的上方。
54.如图11所示，作为升降工作缸31的输出轴的升降杆31r的下端固定于模板保持部14。升降杆31r结合在模板保持部14的y轴上的中间位置。通过使两个升降工作缸31的升降杆31r同步工作，从而使模板保持部14在维持水平姿态的状态下在模板引导件13的上方升降。通过各按压工作缸32使作为输出轴的按压杆32r工作，从而将模板保持部14的四角向下方按压。
55.在模板15位于模板设置位置的状态下，设置于模板保持部14的下表面的多个卡合
突起14t从上方分别嵌入设置于模板15的多个卡合孔15h。模板保持部14被升降工作缸31和按压工作缸32向模板引导件13推压。因此，模板15的四边中的三边被模板引导件13和模板保持部14夹持。
56.这样，在模板15的三边被模板引导件13和模板保持部14夹持的状态下，图10所示的工作缸14a分别如图12的箭头ts所示那样，使卡合突起14t的列分别向远离模板保持部14的中央部的方向移动。由此，对模板15施加将模板15向外侧拉伸的面内张力，模板15被保持为平面状态。需要说明的是，如图6、图7、图9、图10所示，在模板引导件13的两个y轴引导部13a的水平部13h和x轴引导部13b分别设置有槽13m。卡合突起14t分别位于槽13m内，如图10所示，不与模板引导件13干涉。
57.图13是印刷部2的俯视图。如图3、图4及图13所示，在模板保持部14的上方设置有印刷头16、刮片单元17、上表面清洁器18和吹送部19。如图3、图4所示，在模板保持部14的下方设置有模板移动机构21、相机22和下表面清洁器23。
58.图14是图4的放大图。如图5、图11、图13及图14所示，印刷头16具有刮板基座41、两个刮板42和升降驱动部43。刮板基座41沿着x轴延伸并能够沿着y轴移动。刮板42分别设置于刮板基座41的下方。升降驱动部43设置于刮板基座41的上表面。如图13及图14所示，两个刮板42沿着y轴对置地配置。升降驱动部43使两个刮板42在刮板基座41的下方分别升降。
59.如图13所示，刮板基座41具有沿着x轴延伸的形状。刮板基座41的两端部由两个刮板基座引导件44支承。刮板基座引导件44分别以沿着y轴延伸并沿着x轴对置的方式平行地配置。在刮板基座引导件44中的一方的外侧设置有沿着y轴延伸的刮板基座移动滚珠丝杠(以下称为丝杠)45。即，丝杠45设置于刮板基座引导件44中的一方的、x轴上的外侧。丝杠45与设置于刮板基座41的刮板基座螺母(以下称为螺母)46螺合。在丝杠45连结有刮板基座驱动马达(以下称为第一马达)47，在第一马达47工作而使丝杠45旋转时，刮板基座41借助螺母46沿着y轴移动。
60.刮片单元17作为回收模板15上的膏剂pst的膏剂回收部发挥功能。如图11、图13及图14所示，刮片单元17具有刮片基座51、刮片升降工作缸(以下称为升降工作缸)52、刮片保持部53和刮片54。刮片基座51沿着x轴延伸，升降工作缸52设置于刮片基座51。升降工作缸52使刮片保持部53升降。刮片保持部53对刮片54进行保持。刮片基座51的两端部与刮板基座41同样，分别由两个刮板基座引导件44支承。如图11、图14所示，在刮板基座41设置有刮片单元连结部(以下称为第一连结部)41r。如图14所示，刮片基座51通过第一连结部41r与刮板基座41连结。刮片基座51在与刮板基座41连结的状态下与刮板基座41成为一体而沿着y轴移动。例如，第一连结部41r具有电磁铁，刮片基座51至少在与第一连结部41r抵接的部位具有磁性体即可。在使升降工作缸52工作而使刮片保持部53升降时，刮片54进行升降。
61.上表面清洁器18对由刮片单元17回收了膏剂pst之后的模板15的上表面进行清洁。上表面清洁器18安装于刮板基座41。因此，上表面清洁器18与刮板基座41成为一体而沿着y轴移动，与印刷头16一起相对于设置于模板设置位置的模板15移动。在刮板基座41设置有上表面清洁器升降部18k。上表面清洁器18经由上表面清洁器升降部18k安装于刮板基座41。通过上表面清洁器升降部18k工作，上表面清洁器18相对于刮板基座41升降。
62.上表面清洁器18具有送出清洁纸pr的送出辊r1和卷绕从送出辊r1送出的清洁纸pr的卷绕辊r2。在从送出辊r1到卷绕辊r2的位置，使吸引口朝向下方的吸嘴部nz从上方推
压于清洁纸pr而施加张力。被吸嘴部nz的吸引口推压的部分作为膏剂pst的擦拭面发挥功能。吸嘴部nz隔着清洁纸pr从吸引口吸引空气，并吸引附着于模板15的上表面的膏剂。
63.吹送部19作为对被膏剂pst污染之前的模板15的上表面进行清洁的、使用前模板清洁器发挥功能。即，吹送部19对使用前或者向模板15供给最初的膏剂pst之前的模板15的上表面进行清洁。如图15所示，吹送部19具有在模板15的移动路径的上方相对于模板15的移动方向(y轴)交叉的沿着x轴延伸的管状部19p和与管状部19p的一端相连的阀部19v。管状部19p以跨越两个y轴引导部13a的方式在两个y轴引导部13a设置于与安装模板保持部14的位置相反的一侧。
64.如图11、图12及图13所示，在吹送部19的下侧以沿着x轴排列的方式设置有多个喷出孔19n。经由阀部19v向管状部19p供给高压气体，如图15所示，从多个喷出孔19n朝向下方喷射高压气体。需要说明的是，作为使用前模板清洁器，除了向模板15的上表面吹送气体的结构(吹风)以外，也可以是吸引模板15的上表面的结构、刷洗或者擦拭模板15的上表面的结构等。因此，作为使用前模板清洁器，也可以使用上表面清洁器18。
65.模板移动机构21使模板15在模板更换部3所具有的后述的收纳体72与模板设置位置之间移动。详细而言，模板移动机构21从收纳体72拉出模板15并使其向模板设置位置移动，并使模板15从模板设置位置返回到收纳体72。如图4、图7及图11所示，模板移动机构21具有移动基座61、升降致动器62和拉出板63。移动基座61沿着x轴延伸。升降致动器62设置于移动基座61。升降致动器62使拉出板63升降。
66.如图7所示，移动基座61的两端部分别由两个移动基座引导件64支承。移动基座引导件64以沿着y轴延伸并沿着x轴对置的方式平行地配置。另外，在两个移动基座引导件64中的一方的外侧(x轴上的外侧)设置有沿着y轴延伸的移动基座移动滚珠丝杠(以下称为丝杠)65。丝杠65与设置于移动基座61的移动基座螺母(以下称为螺母)66螺合。在丝杠65连结有移动基座驱动马达(以下称为第二马达)67，在第二马达67工作而使丝杠65旋转时，移动基座61借助螺母66沿着y轴移动。
67.如图7、图15所示，两个模板移动用卡合突起63t沿着x轴排列设置于拉出板63的上表面。如图7所示，在拉出板63的上表面还设置有用于吸附模板15的下表面的吸附开口63k。在模板移动机构21中，通过移动基座61沿着y轴移动而使拉出板63沿着y轴移动。另外，通过升降致动器62使拉出板63升降而使拉出板63沿着z轴移动。
68.如图7、图11所示，相机22安装于构成模板移动机构21的移动基座61的前端部。因此，相机22与模板移动机构21成为一体而沿着y轴移动。另外，相机22能够使移动基座61沿着x轴移动。因此，相机22通过基于模板移动机构21的沿着y轴的移动、和相机22自身的沿着x轴的移动而在xy面内移动。
69.如图5、图7所示，相机22包括将拍摄光轴朝向下方的下方拍摄相机22a和将拍摄光轴朝向上方的上方拍摄相机22b。下方拍摄相机22a从上方对设置于基板kb的上表面的对位标记(未图示)进行拍摄。上方拍摄相机22b从下方对在设置于模板设置位置的模板15的下表面设置的对位标记(未图示)进行拍摄。
70.如图14所示，下表面清洁器23通过未图示的清洁器引导件在模板引导件13的下方的区域沿着y轴移动。下表面清洁器23具有移动基座连结部(以下称为第二连结部)23r。下表面清洁器23能够通过第二连结部23r与图11所示的模板移动机构21的移动基座61连结。
下表面清洁器23在与移动基座61连结的状态下，与移动基座61成为一体而沿着y轴移动。第二连结部23r例如也可以与第一连结部41r同样地构成。
71.下表面清洁器23具有与上表面清洁器18相同的构成要素。即，如图14所示，下表面清洁器23具有送出清洁纸pr的送出辊r1和卷绕从送出辊r1送出的清洁纸pr的卷绕辊r2。在从送出辊r1到卷绕辊r2的位置，使吸引口朝向上方的吸嘴部nz从下方推压于清洁纸pr而施加张力。被吸嘴部nz的吸引口推压的部分作为膏剂pst的擦拭面发挥功能。吸嘴部nz隔着清洁纸pr从吸引口吸引空气，并吸引附着于模板15的下表面的膏剂。在下表面清洁器23中，与上表面清洁器18不同，被吸嘴部nz推压的清洁纸pr的上表面是膏剂pst的擦拭面。
72.下表面清洁器23在未利用移动基座61沿着y轴移动时，如图2所示，在模板设置位置的前方的清洁器待机位置处进行待机。下表面清洁器23利用设置于上述的清洁器引导件的下表面清洁器升降部(未图示)而相对于模板引导件13进行升降。即，下表面清洁器23相对于设置在模板设置位置的模板15进行升降。
73.接着，参照图16、图17、对模板更换部3进行说明。图16示出了模板更换部3的外观，图17示出了模板更换部3的框体71的内部。如图2、图3所示，模板更换部3与印刷部2的后部(y轴负侧)相邻。如图16、图17所示，模板更换部3具有框体71、收纳体72、升降机73、作为第一物体检测部的下侧传感器75、作为第二物体检测部的上侧传感器76和触摸面板77。在框体71中设置有能够对收纳体72进行收纳的内部空间sp。在框体71的后表面的下部设置有能够对收纳体72相对于内部空间sp进行取放的入口71a。
74.如图2、图3所示，框体71内的内部空间sp中的、从入口71a向上方分离的区域为作业空间sp1。作业空间sp1的下部的区域为下部空间sp2。即，入口71a设置在能够进入框体71内的内部空间sp的下部空间sp2的位置。
75.如图17所示，在框体71的前表面设置有模板通过开口(以下称为开口)71b。即，开口71b设置在比入口71a高的位置。作业空间sp1经由开口71b与外部(框体71的前方)连通。开口71b具有模板15能够沿着y轴通过的大小。
76.模板移动机构21被收纳于在作业空间sp1配置的收纳体72，将配置于开口71b的高度处的模板15从开口71b向前方拉出而设置于模板设置位置。另外，模板移动机构21将位于模板设置位置的模板15从开口71b收纳至收纳体72。详细而言，模板移动机构21将收纳于收纳体72的搁板部72s的模板15从开口71b向前方拉出而设置于模板设置位置。并且，模板移动机构21使位于模板设置位置的模板15从开口71b返回到收纳体72的搁板部72s。这样，模板更换部3作为将收纳有模板15的收纳体72向用于供给作为部件的模板15的供给位置(例如作业空间sp1)移动的收纳体移动装置发挥功能。另外，模板移动机构21作为接受通过该收纳体移动装置使收纳体72配置于供给位置的信息而将模板15从收纳体72取出的部件移动机构发挥功能。如图15所示，这些收纳体移动装置和部件移动机构构成部件供给装置78。
77.图18是收纳体72的立体图。收纳体72具有沿着y轴前后开口的方形筒状的形状，在内部设置有上下排列的多个搁板部72s。模板15以水平姿态分别载置(收纳)于搁板部72s。在收纳体72中通常收纳有与基板kb的品种对应的多种模板15。这样，收纳体72将模板15收纳为能够插拔。
78.如图17所示，升降机73具有升降体81、升降体支承部82、螺母部83、滚珠丝杠84和升降体升降马达(以下称为第三马达)85。升降体81具有在水平面内扩展的形状，并作为支
承收纳体72的收纳体支承部而发挥功能。升降体支承部82沿着x轴延伸而支承升降体81。螺母部83设置于升降体支承部82的一端。滚珠丝杠84与螺母部83螺合且上下延伸。第三马达85使滚珠丝杠84旋转。当第三马达85工作时，滚珠丝杠84进行旋转。由此，升降体支承部82借助螺母部83上下移动。其结果是，与升降体支承部82连结的升降体81上下移动。这样，在升降机73中，支承收纳体72的升降体81在作业空间sp1和下部空间sp2的范围内进行升降。这样，升降机73作为使从框体71的入口71a搬入的收纳体72在框体71的入口71a的附近与远离入口71a的位置即作业空间sp1之间移动的收纳体移动机构而发挥功能。
79.升降体81根据第三马达85的工作方向、即滚珠丝杠84的旋转方向而上升或下降。如图19的(a)部分中所示，当升降体81在框体71内处于既定的下限位置时，作业者能够从入口71a将收纳体72载置于升降体81的上表面而将收纳体72放置(set)在框体71内。另外，在升降体81处于下限位置时，作业者能够将载置于升降体81的收纳体72从入口71a取出。这样，处于下限位置的升降体81的上表面成为将收纳体72放置在框体71的内部的位置、即“收纳体放置位置”。
80.在升降机73中，如图19的(b)部分中所示，在收纳体72被放置于收纳体放置位置的状态下，升降体81上升。即，升降机73使欲设置于模板设置位置的模板15位于规定的作业高度hs。以下，将欲设置于模板设置位置的模板15称为设置对象模板15p。作业高度hs是指模板移动机构21能够通过开口71b在收纳体72与模板设置位置之间移动的高度。通过使设置对象模板15p位于作业高度hs，模板移动机构21能够使设置对象模板15p在收纳体72与模板设置位置之间移动。图19的(b)部分中示出了使设置对象模板15p位于作业高度hs的状态。需要说明的是，图19的(b)部分中示出了设置对象模板15p载置于收纳体72的下方的搁板部72s的情况下的收纳体72所配置的供给位置。在设置对象模板15p载置于收纳体72的上方的搁板部72s的情况下，收纳体72的位置比图19的(b)部分中所示的位置靠下方，收纳体72配置在横跨作业空间sp1和下部空间sp2的位置。这样，用于向模板移动机构21供给模板15的供给位置根据收纳体72中的设置对象模板15p的高度位置而存在多个。
81.下侧传感器75和上侧传感器76分别包括例如光学地检测物体的区域传感器。如图17、图20所示，下侧传感器75由沿着x轴相互对置地配置的下侧投光部75a和下侧受光部75b构成。如图20的(b)部分中所示，下侧投光部75a沿着x轴发出下侧光l1，下侧受光部75b接收下侧光l1。这样，下侧传感器75通过形成与xz面大致平行的安全光幕(以下称为下侧光幕m1)来检测通过入口71a的物体。另一方面，如图20的(a)部分中所示，上侧传感器76由沿着x轴相互对置地配置的上侧投光部76a和上侧受光部76b构成。上侧投光部76a沿着x轴发出上侧光l2，上侧受光部76b接收上侧光l2。这样，上侧传感器76通过形成与xy面大致平行的安全光幕(以下称为上侧光幕m2)，对在内部空间sp从下部空间sp2向作业空间sp1移动的物体进行检测。作为下侧传感器75、上侧传感器76的检测对象的物体例如是作业者的手。
82.上侧传感器76设置为在放置于收纳体放置位置的收纳体72与模板移动机构21之间形成上侧光幕m2。详细而言，上侧光幕m2形成在划分作业空间sp1和下部空间sp2的高度位置。更详细而言，在比放置于收纳体放置位置的收纳体72的上表面高且比由模板移动机构21移动的模板15的高度低的位置形成上侧光幕m2。另一方面，如图20的(b)部分中所示，下侧传感器75被设置为在覆盖入口71a的位置形成下侧光幕m1。
83.如上所述，框体71的内部空间sp中的、比上侧光幕m2靠上侧的空间是作业空间
sp1，比上侧光幕m2靠下侧的空间是下部空间sp2。收纳体放置位置处于下部空间sp2内。在形成上侧光幕m2的检查光即上侧光l2的至少一部分被遮挡时，检测到物体(具体而言为作业者的手)从下部空间sp2向作业空间sp1进入的情况。另外，在形成下侧光幕m1的检查光即下侧光l1的至少一部分被遮挡时，检测到物体从框体71的外部向下部空间sp2进入的情况。
84.图21是示出丝网印刷装置1的控制系统的功能框图。丝网印刷装置1所具有的控制部90具有基板动作控制部91、模板动作控制部92、印刷控制部93、拍摄控制部94、清洁器控制部95、膏剂回收控制部96和升降机控制部97。基板动作控制部91对基于基板搬运保持部12的基板kb的搬运及保持的动作、和所保持的基板kb相对于模板15的对位动作进行控制。
85.模板动作控制部92对基于模板移动机构21和工作缸14a的模板15的搬运动作和设置动作进行控制。详细而言，模板动作控制部92对基于第二马达67的、移动基座61沿y轴移动的移动动作和基于升降致动器62的、拉出板63的升降动作进行控制。另外，模板动作控制部92对经由吸附开口63k对模板15的下表面的吸附、和基于工作缸14a向位于模板设置位置的模板15施加面内张力的动作进行控制。
86.印刷控制部93对基于印刷头16的印刷动作进行控制。详细而言，对基于第一马达47的、刮板基座41沿y轴移动的移动动作和基于升降驱动部43的、刮板42的升降动作进行控制。
87.拍摄控制部94控制相机22等，对由基板搬运保持部12保持的基板kb和设置于模板设置位置的模板15进行拍摄。详细而言，拍摄控制部94对基于第二马达67的移动基座61沿y轴移动的移动动作、相机22相对于移动基座61沿x轴移动的移动动作、和基于下方拍摄相机22a的、拍摄下方拍摄相机22a的下方区域的拍摄动作进行控制。另外，拍摄控制部94对基于上方拍摄相机22b的、拍摄上方拍摄相机22b的上方区域的拍摄动作进行控制。
88.清洁器控制部95对基于吹送部19的模板15的上表面的清洁动作、基于上表面清洁器18的模板15的上表面的清洁动作、和基于下表面清洁器23的模板15的下表面的清洁动作进行控制。
89.详细而言，清洁器控制部95在基于吹送部19的模板15的上表面的清洁动作中，通过使阀部19v工作，向管状部19p内供给高压空气，使气体从喷出孔19n喷出。
90.在基于上表面清洁器18的模板15的上表面的清洁动作中，清洁器控制部95对基于第一马达47的刮板基座41沿y轴移动的移动动作和基于上表面清洁器升降部18k的上表面清洁器18的升降动作进行控制。并且，清洁器控制部95对上表面清洁器18中的送出辊r1和卷绕辊r2的动作、以及基于吸嘴部nz的空气的吸引动作进行控制。
91.在基于下表面清洁器23的模板15的下表面的清洁动作中，清洁器控制部95对基于第二马达67的移动基座61沿y轴移动的移动动作和基于第二连结部23r的下表面清洁器23与移动基座61连结的连结动作进行控制。并且，清洁器控制部95对下表面清洁器23中的送出辊r1和卷绕辊r2的动作、以及基于吸嘴部nz的空气的吸引动作进行控制。
92.如图21所示，清洁器控制部95具有第一清洁控制部95a、第二清洁控制部95b和第三清洁控制部95c。第一清洁控制部95a控制对欲设置于模板设置位置的模板15进行的清洁。第二清洁控制部95b控制在膏剂pst相对于基板kb的印刷作业的间歇对设置于模板设置位置的模板15进行的通常清洁。另外，第三清洁控制部95c控制在通过模板移动机构21使模板15从模板设置位置向收纳体72移动之前对设置于模板设置位置的模板15进行的清洁。
即，第三清洁控制部95c控制在即将使模板15返回模板更换部3的收纳体72内之前进行的清洁。
93.清洁器控制部95使下表面清洁器23以至少第一动作模式和第二动作模式中的任一模式动作而进行模板15的下表面的清洁。第二动作模式的清洁时间比第一动作模式长。具体而言，与第一动作模式相比，第二动作模式使下表面清洁器23相对于模板15相对地往复的次数多。清洁器控制部95使下表面清洁器23至少以第二模式对返回收纳体72之前的模板15进行清洁。另外，清洁器控制部95在使下表面清洁器23对模板15的下表面进行清洁时，在第二动作模式下，使其以比第一动作模式强的吸引力进行清洁。
94.下表面清洁器23具有向清洁纸pr供给清洗用的液体的未图示的液体供给部。并且，下表面清洁器23能够执行将液体浸入清洁纸pr来进行清洁的湿式清洁、以及在不将液体浸入清洁纸pr的情况下进行清洁的干式清洁。需要说明的是，可以在基于第二动作模式的模板15的清洁中包含湿式清洁。
95.膏剂回收控制部96对基于刮片单元17的模板15的上表面的清洁动作进行控制。详细而言，对基于第一马达47的刮板基座41沿y轴移动的移动动作、基于第一连结部41r的刮片基座51与刮板基座41连结的连结动作、和基于升降工作缸52的刮片54的升降动作进行控制。
96.升降机控制部97对基于升降机73的收纳体72的升降动作进行控制。具体而言，升降机控制部97对第三马达85的动作进行控制。如图21所示，升降机控制部97具有安全控制部97a。
97.安全控制部97a控制下侧传感器75和上侧传感器76的各动作、以及对升降机73和模板移动机构21的电力供给的停止。此时，安全控制部97a基于以下所示的第一运用模式或第二运用模式。需要说明的是，这些第一运用模式和第二运用模式能够任意地切换。
98.在第一运用模式下，原则上，安全控制部97a通过将下侧传感器75常时开启而使物体检测有效，通过将上侧传感器76常时关闭而使物体检测无效。即，安全控制部97a将下侧传感器75和上侧传感器76设为图20的(b)部分中所示的状态。并且，在下侧传感器75检测到物体的情况下，停止向升降机73供给动力用电力，并且通过触摸面板77产生警报声来唤起作业者的注意。但是，在从入口71a取放收纳体72、或从收纳体72取放模板15的情况下，将上侧传感器76设为开启，将下侧传感器75设为关闭。即，安全控制部97a将下侧传感器75和上侧传感器76设为图20的(a)部分中所示的状态。该开启关闭在作业者从触摸面板77、印刷部2的触摸面板(未图示)输入要求的情况下被切换。除此以外，例如，在收纳体72的更换作业中采用了无人搬运系统的情况下，在存在来自该无人搬运系统的收纳体72的更换要求的情况下，该开启关闭被切换。
99.这样，在第一运用模式下，在收纳体72从入口71a被搬入或搬出的情况下，安全控制部97a使基于下侧传感器75的物体检测无效，并且若上侧传感器76检测到物体则停止向升降机73供给动力用电力。另外，安全控制部97a除了在收纳体72从入口71a被搬入或搬出时以外，使基于上侧传感器76的物体检测无效，并且若下侧传感器75检测到物体则停止向升降机73供给动力用电力。即，安全控制部97a在收纳体72通过入口71a时，使基于下侧传感器75的检测无效，并且若上侧传感器76检测到从入口71a向作业空间sp1移动的物体则停止向升降机73供给动力用电力。另外，安全控制部97a除了在收纳体72通过入口71a时以外，使
基于上侧传感器76的检测无效，并且若下侧传感器75检测到通过入口71a的物体则停止向升降机73供给动力用电力。
100.另一方面，在第二运用模式下，考虑现场的作业者的作业性，安全控制部97a在收纳体72位于下部空间sp2而升降机73停止时常时使下侧传感器75为关闭，使上侧传感器76为开启。即，安全控制部97a成为图20的(a)部分中所示的状态。在该运用模式下，作业者可以随时取放收纳体72、模板15。因此，除了在印刷部2在作业空间sp1中进行模板15的取放时以外，升降机73使收纳体72位于下部空间sp2停止并待机。在升降机73工作时，安全控制部97a使下侧传感器75开启，使上侧传感器关闭。即，安全控制部97a使下侧传感器75和上侧传感器76为图20的(a)部分中所示的状态。
101.这样，安全控制部97a在第二运用模式下，当收纳体72在能够从框体71的入口71a搬入或搬出的位置停止时，使基于下侧传感器75的物体检测无效。另外，若上侧传感器76检测到从入口71a向作业空间sp1移动的物体，则安全控制部97a停止向升降机73供给动力用电力。在升降机73工作时，安全控制部97a使基于上侧传感器76的物体检测无效，并且若下侧传感器75检测到通过入口71a的物体则停止向升降机73供给动力用电力。
102.在“使物体检测无效”的处理中，安全控制部97a使区域传感器不投射或不接收光而不进行感测本身。即，安全控制部97a以在下侧传感器75中不投射或不接收下侧光l1、在上侧传感器76中不投射或不接收上侧光l2的方式对这些传感器中的一个进行控制。或者，也可以进行感测，但在控制部90中忽略感测的结果。
103.如图21所示，触摸面板77与控制部90电连接。触摸面板77作为相对于丝网印刷装置1的输入装置及输出装置发挥功能。需要说明的是，也可以分开设置开关等输入装置和显示面板等输出装置来代替触摸面板77。
104.需要说明的是，构成控制部90的基板动作控制部91、模板动作控制部92、印刷控制部93、拍摄控制部94、清洁器控制部95、膏剂回收控制部96、升降机控制部97分别由cpu(中央运算处理装置)或lsi(大规模集成电路)构成。根据需要，也可以包含存储器。它们可以由专用电路构成，也可以通过用从暂时性或非暂时性的存储装置读出的软件来控制通用的硬件而实现。另外，也可以将它们中的两个以上构成为一体。
105.接着，对丝网印刷装置1的动作进行说明。首先，对将运用模式设定为第一运用模式的情况进行说明。作业者在将收纳体72放置于框体71内的下部空间sp2时，预先将在丝网印刷中所需的模板15收纳于收纳体72。即，作业者将所需的模板15载置于收纳体72的搁板部72s。
106.由于运用模式被设定为第一运用模式，因此在作业者将收纳体72放置于收纳体放置位置时，如图20的(b)部分中所示，下侧传感器75为开启，上侧传感器76为关闭。因此，作业者首先对触摸面板77输入开始取放收纳体72的动作的意向。安全控制部97a若检测到向触摸面板77的输入，则切换下侧传感器75和上侧传感器76的开启关闭状态。即，如图20的(a)部分中所示，安全控制部97a将下侧传感器75从开启变为关闭，将上侧传感器76从关闭变为开启。此时，安全控制部97a在将上侧传感器76从关闭切换为开启之后，将下侧传感器75从开启切换为关闭。在下侧传感器75和上侧传感器76的开启关闭状态被切换后，作业者能够在不被下侧传感器75进行物体检测的情况下从入口71a将收纳体72放置在框体71的下部空间sp2内。
107.这样，作业者在向触摸面板77输入后，如图19的(a)部分中所示，将收纳体72放置于下部空间sp2。在放置收纳体72的作业期间，在作业者误将手伸入作业空间sp1内的情况下，上侧传感器76将该动作检测为物体的进入。于是，安全控制部97a停止向模板移动机构21供给动力用电力。因此，确保了作业者的安全。
108.作业者在将收纳体72放置于收纳体放置位置之后，在将手从入口71a撤出后，对触摸面板77输入结束取放收纳体72的动作的意向(放置结束的意向)。安全控制部97a在检测到向触摸面板77的输入后，切换下侧传感器75和上侧传感器76的开启关闭状态。即，如图20的(b)部分中所示，安全控制部97a将下侧传感器75从关闭变为开启，将上侧传感器76从开启变为关闭。此时，安全控制部97a在将下侧传感器75从关闭切换为开启之后，将上侧传感器76从开启切换为关闭。在作业者将放置结束的意向输入到触摸面板77之后，在作业者误将手伸入入口71a的情况下，下侧传感器75将该动作检测为物体的进入。于是，安全控制部97a停止向升降机73供给动力用电力。因此，确保了作业者的安全。
109.在作业者向触摸面板77输入放置结束的意向，且入口71a中的物体检测变成有效后，升降机控制部97使升降机73工作而抬起收纳体72。然后，如图19的(b)部分中所示，升降机控制部97将设置对象模板15p配置于作业高度hs处。此时，由于上侧传感器76关闭，因此即使收纳体72从下部空间sp2移动到作业空间sp1，也不会由上侧传感器76进行物体检测，不限制模板移动机构21的动作。
110.在设置对象模板15p的高度变为作业高度hs时，控制部90控制模板移动机构21，将设置对象模板15p向模板设置位置搬运。具体而言，控制部90首先通过模板动作控制部92使第二马达67工作。在安装于移动基座61的拉出板63的上表面以沿着x轴排列的方式设置有两个模板移动用卡合突起63t，在收纳体72内的设置对象模板15p的前缘设置有多个卡合孔15h。模板动作控制部92使移动基座61朝向模板更换部3移动，将模板移动用卡合突起63t分别配置在对应的卡合孔15h的下方。
111.在模板移动用卡合突起63t配置于卡合孔15h的下方时，如图22所示，控制部90使升降致动器62工作，使模板移动用卡合突起63t从下方分别与对应的卡合孔15h卡合。而且，控制部90用吸附开口63k吸附模板15的下表面，并使第二马达67工作，使移动基座61朝向模板设置位置移动。由此，模板15与移动基座61一起向前方移动。此时，如图15所示，模板15(设置对象模板15p)的左右两边被一对y轴引导部13a的引导件13g引导，因此被笔直地向前方拉出。
112.这样，在模板15被模板移动机构21从收纳体72拉出后，控制部90通过升降机控制部97对升降机73进行控制，如图19的(a)部分中所示，使升降体81下降至下限位置。作业者在确认到升降体81下降至下限位置的情况后，对触摸面板77输入开始取放收纳体72的意向。安全控制部97a在检测到向触摸面板77的输入后，切换下侧传感器75和上侧传感器76的开启关闭状态。即，如图20的(a)部分中所示，安全控制部97a将下侧传感器75从开启变为关闭，将上侧传感器76从关闭变为开启。此时，安全控制部97a在将上侧传感器76从关闭切换为开启后，将下侧传感器75从开启切换为关闭。在下侧传感器75和上侧传感器76的开启关闭状态被切换后，作业者能够在不被下侧传感器75进行物体检测的情况下从入口71a、从框体71的下部空间sp2取出或者更换收纳体72。
113.这样，作业者在向触摸面板77输入后，从下部空间sp2取出收纳体72。该作业期间，
在作业者误将手伸入作业空间sp1内的情况下，上侧传感器76将该动作检测为物体的进入。于是，安全控制部97a停止向模板移动机构21供给动力用电力。因此，确保了作业者的安全。
114.如上所述，在模板15朝向前方拉出的过程中，清洁器控制部95通过第一清洁控制部95a控制吹送部19而对模板15的上表面进行清洁。具体而言，第一清洁控制部95a控制构成吹送部19的阀部19v，如图15所示那样从管状部19p的喷出孔19n喷射高压气体gs。
115.第一清洁控制部95a控制吹送部19，在从模板15开始通过高压气体gs的喷射区域起到结束通过为止的期间，连续喷射高压气体gs。吹送部19的管状部19p在模板15的移动路径(模板设置位置与收纳体72之间)的上方，以相对于模板15的移动方向交叉的方式横向延伸。吹送部19从管状部19p的喷出孔19n对通过模板移动机构21移动的模板15进行清洁。由此，附着于模板15的上表面的垃圾、尘埃等异物被高压气体gs吹散而去除。
116.这样，吹送部19在模板移动机构21从收纳体72拉出模板15并使其向模板设置位置移动的期间向模板15的上表面吹送气体(高压气体gs)。即，丝网印刷装置1具有作为对被膏剂pst污染之前的模板15进行清洁的使用前模板清洁器的吹送部19。吹送部19向模板15的上表面吹送气体而进行清洁，因此即使在从收纳体72拉出的模板15的上表面附着有垃圾、尘埃等异物，气体也会将异物吹散而去除。因此，即使在收纳体72内的模板15的上表面附着有垃圾、尘埃等异物，也能够防止印刷的品质降低。
117.控制部90使移动基座61向前方移动而将收纳体72内的模板15向前方拉出，如图23所示，在移动基座61到达规定的停止位置后，使移动基座61停止。在移动基座61停止在停止位置时，模板15还未到达模板设置位置。控制部90在使移动基座61停止在停止位置后，解除吸附开口63k对模板15的吸附。然后，控制部90使升降致动器62工作而使拉出板63下降，使模板移动用卡合突起63t从卡合孔15h脱离。
118.在模板移动用卡合突起63t从卡合孔15h脱离后，控制部90在将模板15维持在该位置的状态下，使移动基座61从停止位置向后方移动。然后，控制部90将拉出板63定位在如下位置，在该位置，模板移动用卡合突起63t位于模板15的后缘的卡合孔15h的下方。控制部90在对拉出板63进行定位后，使升降致动器62工作，如图24所示，使模板移动用卡合突起63t从下方与卡合孔15h卡合。
119.控制部90在模板移动用卡合突起63t与卡合孔15h卡合后，从吸附开口63k吸附模板15的下表面，并使第二马达67工作，使移动基座61向前方移动。由此，模板15与移动基座61一起向前方移动。然后，如图25及图26的(a)部分中所示，在模板15到达模板设置位置后，控制部90使移动基座61停止。
120.控制部90如上所述在将模板15配置于模板设置位置时，解除吸附开口63k对模板15的吸附，使拉出板63下降。由此，模板移动用卡合突起63t从卡合孔15h向下方脱离。然后，控制部90使第二马达67工作从而使移动基座61向后方移动。
121.在移动基座61向后方移动后，控制部90使两个升降工作缸31工作，如图26的(b)部分中所示，使模板保持部14下降。然后，控制部90使设置于模板保持部14的下表面的多个卡合突起14t从上方嵌入形成于模板15的多个卡合孔15h。
122.在卡合突起14t分别从上方嵌入对应的卡合孔15h后，控制部90使四个按压工作缸32各自的按压杆32r工作，如图26的(c)部分中所示，将模板保持部14的四角向下方按压。由此，按压工作缸32隔着模板保持部14将模板15向模板引导件13的上表面推压。
123.在模板15被向模板引导件13的上表面推压后，控制部90使图10所示的工作缸14a工作。由此，沿着y轴的卡合突起14t的两个列和沿着x轴的卡合突起14t的两个列分别向远离模板保持部14的中央部的方向移动。其结果是，如图26的(d)部分及图12的箭头ts所示，对模板15施加面内张力，使模板15设置于模板设置位置。
124.在模板15设置于模板设置位置时，控制部90控制图5所示的第一输送机12a，从外部搬入基板kb，并将基板kb交接给第二输送机12b。第二输送机12b接收到基板kb后，控制部90控制基板保持部12d以保持基板kb。
125.在基板kb被保持时，控制部90使图7所示的第二马达67工作而使移动基座61沿着y轴移动，并且使相机22在移动基座61上沿着x轴移动。由此，控制部90将相机22配置在基板kb与模板15之间。然后，控制部90利用下方拍摄相机22a拍摄设置于基板kb的上表面的对位标记，并利用上方拍摄相机22b拍摄设置于模板15的下表面的对位标记。控制部90根据这些标记的位置来掌握基板kb与模板15之间的位置偏移。
126.控制部90在掌握了基板kb与模板15之间的位置偏移后，使图5所示的多级工作台12e工作。由此，控制部90使基板保持部12d在水平面内移动以使该位置偏移消除。即，控制部90以基板kb的对位标记与模板15的对位标记在俯视下一致的方式将基板kb相对于模板15进行对位。在基板kb相对于模板15进行对位后，控制部90使多级工作台12e工作，使基板保持部12d上升。
127.在通过使基板保持部12d上升而使基板kb的上表面与模板15的下表面接触后，控制部90利用印刷头16进行刮涂。在基于印刷头16的刮涂中，首先，未图示的膏剂供给部如图27的(a)部分中所示向模板15的上表面供给膏剂pst。或者如后所述由刮片单元17将铲起的膏剂pst放在模板15的上表面。然后，控制部90如图27的(b)部分中所示，使印刷头16所具有的刮板42中的一方向刮板基座41的下方下降。在刮板42的一方的下端与模板15的上表面抵接时，控制部90使刮板42沿着y轴移动。
128.具体而言，控制部90通过使第一马达47工作而使刮板基座41沿着y轴移动，从而如图27的(c)部分中的箭头f所示，使刮板42沿着y轴移动。通过刮涂，刮板42在模板15上滑动，将模板15上的膏剂pst沿着y轴刮拢。其结果是，膏剂pst通过设置于模板15的图案开口15k而涂布于基板kb的上表面的电极图案。
129.如上所述，在将膏剂pst涂布于基板kb后，控制部90通过使多级工作台12e工作，从而将基板kb从模板15向下方分离而使基板kb脱板。在基板kb脱板后，控制部90使第二输送机12b工作而将基板kb交接给第三输送机12c。第三输送机12c将接收到的基板kb向外部搬出。由此，一张基板kb的印刷作业结束。
130.接着，对清洁模板15的动作进行说明。清洁器控制部95在膏剂pst相对于基板kb的印刷作业的间歇进行模板15的表面(下表面)的清洁(通常清洁)。具体而言，第二清洁控制部95b控制下表面清洁器23进行通常清洁。在开始模板15的下表面的清洁时，下表面清洁器23如图4所示配置在模板设置位置的前方的清洁器待机位置。清洁器控制部95首先通过使图7所示的第二马达67工作而使移动基座61沿着y轴移动，使移动基座61接近下表面清洁器23。然后，清洁器控制部95使图14所示的第二连结部23r工作，由此使下表面清洁器23与移动基座61连结。
131.在下表面清洁器23与移动基座61连结时，清洁器控制部95使移动基座61沿着y轴
移动，使下表面清洁器23的吸嘴部nz位于模板15的下方。然后，清洁器控制部95使前述未图示的下表面清洁器升降部工作，由此隔着清洁纸pr使下表面清洁器23的吸嘴部nz与模板15的下表面抵接。
132.在下表面清洁器23的吸嘴部nz隔着清洁纸pr与模板15的下表面抵接时，清洁器控制部95以吸嘴部nz吸引空气的方式进行控制，并且使移动基座61沿着y轴往复移动。具体而言，如图28的(a)部分及图29中所示，清洁器控制部95在使移动基座61沿着y轴向后方移动后，如图28的(b)部分中所示，使移动基座61沿着y轴向前方移动。由此，通过模板15的图案开口15k而附着于模板15的背面的膏剂pst被清洁纸pr擦拭，并被从模板15的背面去除。在通常清洁中，这样的模板15的下表面的清洁在膏剂pst相对于基板kb的印刷作业的间歇进行。详细而言，吸嘴部nz相对于设置于模板设置位置的模板15沿着y轴往复一次或者两次左右。
133.这样，下表面清洁器23使清洁纸pr与模板15的表面(下表面)接触并相对地进行往复移动，由此擦拭附着于模板15的表面(下表面)的膏剂pst。
134.清洁器控制部95按照上述的要领进行通常清洁。除此以外，清洁器控制部95在对要被印刷的全部基板kb执行膏剂pst的刮涂后，对设置于模板设置位置的模板15执行收纳前清洁。具体而言，在收纳前清洁中，第三清洁控制部95c控制下表面清洁器23对模板15进行细致地清洁，并且控制上表面清洁器18对模板15的上表面进行清洁。
135.清洁器控制部95在进行收纳前清洁时，首先，利用刮片单元17铲起残留在模板15的上表面的膏剂pst。在铲起膏剂pst时，清洁器控制部95通过使图13所示的第一马达47工作而使刮板基座41沿着y轴移动，从而使刮板基座41接近刮片单元17。然后，清洁器控制部95使设置于刮板基座41的第一连结部41r工作，从而使刮片单元17与刮板基座41连结。
136.当刮片单元17与刮板基座41连结后，膏剂回收控制部96回收模板15上的膏剂pst。具体而言，膏剂回收控制部96使刮板基座41沿着y轴移动的移动动作与基于升降工作缸52的刮片54沿z轴移动的移动动作联动。由此，膏剂回收控制部96使刮片54铲起模板15上的膏剂pst。具体而言，膏剂回收控制部96首先使升降工作缸52工作，如图30的(a)部分中的箭头d1所示，使刮片54的前端部与模板15的上表面抵接。此时，使刮片54的前端部位于膏剂pst的附近。需要说明的是，膏剂pst的位置可根据在紧前的刮涂中使刮板42停止的位置来识别。
137.在刮片54的前端部与模板15的上表面抵接时，如图30的(b)部分中的箭头d2所示，膏剂回收控制部96使刮板基座41沿着y轴移动以使刮片54进入模板15上的膏剂pst的下方。在刮片54进入膏剂pst的下方后，膏剂回收控制部96使升降工作缸52工作，从而如图30的(c)部分中的箭头d3所示那样使刮片54上升。由此，模板15上的膏剂pst被刮片54铲起。
138.在膏剂回收控制部96使刮片单元17工作而回收膏剂pst后，清洁器控制部95对回收了膏剂pst后的模板15的上表面进行清洁，并且对模板15的下表面进行清洁。具体而言，上表面清洁器18对模板15的上表面进行清洁，下表面清洁器23对模板15的下表面进行清洁。清洁器控制部95首先使图31的(a)部分中所示的上表面清洁器升降部18k工作，从而使上表面清洁器18的吸嘴部nz隔着清洁纸pr与模板15的上表面抵接。
139.在上表面清洁器18的吸嘴部nz隔着清洁纸pr与模板15的上表面抵接时，清洁器控制部95以吸嘴部nz吸引空气的方式进行控制。另外，清洁器控制部95重复图31的(a)部分、
(b)部分中所示的状态，使刮板基座41沿着y轴往复移动。由此，附着于模板15的上表面的膏剂pst被清洁纸pr擦拭，从而从模板15的上表面去除。另一方面，模板15的下表面的清洁步骤与前述的通常清洁的情况相同。
140.这样，丝网印刷装置1具有作为回收模板15上的膏剂pst的膏剂回收部的刮片单元17。在由刮片单元17将残留于模板15的上表面的膏剂pst铲起后，上表面清洁器18对模板15的上表面进行清洁。另外，上表面清洁器18一边使清洁纸pr与模板15的表面(上表面)接触一边相对于模板15相对地往复移动，由此擦拭附着于模板15的表面(上表面)的膏剂pst。
141.这样，在丝网印刷装置1中，利用作为膏剂回收部的刮片单元17对模板15上的膏剂pst进行回收。并且，上表面清洁器18对利用刮片单元17回收了膏剂pst后的模板15的上表面进行清洁。因此，能够以可再使用的状态回收使用完毕的模板15。
142.在上述的收纳前清洁中，清洁器控制部95与通常清洁时相比更细致地进行模板15的下表面的清洁。即，清洁器控制部95使下表面清洁器23在通常清洁中以第一动作模式动作，而在收纳前清洁中以第二动作模式动作。具体而言，使下表面清洁器23相对于模板15的往复次数为8～10次往复等，与通常清洁时相比使相对于模板15的往复次数增多。由此，往复移动的总时间、即膏剂pst的擦拭时间也变长。这样，在丝网印刷装置1中，如果对返回收纳体72之前的模板15花费至少比通常清洁更长的时间进行清洁，则能够以更容易再使用的状态回收使用完毕的模板15。
143.基于上表面清洁器18的模板15的上表面的清洁可以独立于基于下表面清洁器23的模板15的下表面的清洁来进行。但是，从缩短清洁所需的时间的观点出发，优选使基于上表面清洁器18的模板15的上表面的清洁与基于下表面清洁器23的模板15的下表面的清洁同步进行。在该情况下，如图31所示，优选利用上表面清洁器18的吸嘴部nz和下表面清洁器23的吸嘴部nz从上下夹持模板15，利用上下的清洁器同时擦拭附着于模板15的上下两面的膏剂pst。
144.如上所述，清洁器控制部95使下表面清洁器23以至少第一动作模式和第二动作模式中的任一模式动作来进行模板15的下表面的清洁。对于返回收纳体72之前的模板15，清洁器控制部95使下表面清洁器23至少以第二模式进行清洁。需要说明的是，在通常清洁中，也可以细致地(即以第二动作模式)对模板15的下表面进行清洁。但是，若考虑丝网印刷装置1中的生产节拍，则优选在通常清洁时以作业时间短的第一动作模式执行清洁。
145.控制部90的清洁器控制部95在按照上述的要领进行模板15的收纳前清洁时，将模板15收纳于模板更换部3。将模板15收纳于模板更换部3的步骤是与将模板15从模板更换部3拉出并设置于模板设置位置的步骤相反的步骤。在将模板15收纳于模板更换部3时，控制部90使升降机73的升降体81从下限位置上升，将欲使模板15返回的收纳体72的搁板部72s配置在作业高度hs。
146.接着，对模板更换部3被设定为第二运用模式的情况进行说明。在该情况下，在作业者将收纳体72放置于收纳体放置位置时，如图20的(a)部分中所示，下侧传感器75为关闭，上侧传感器76为开启。因此，作业者不用从触摸面板77进行特别的输入操作，就能够从入口71a将收纳体72放置在下部空间sp2内。在放置收纳体72的作业期间，在作业者误将手伸入作业空间sp1内的情况下，上侧传感器76将该动作检测为物体的进入。并且，安全控制部97a停止向模板移动机构21供给动力用电力，因此确保了作业者的安全。
147.作业者在将收纳体72放置于下部空间sp2内后，对触摸面板77输入收纳体72的取放结束的意向。安全控制部97a在检测到向触摸面板77的输入时，切换下侧传感器75和上侧传感器76的开启关闭状态。即，安全控制部97a如图20的(b)部分中所示，将下侧传感器75从关闭变为开启，将上侧传感器76从开启变为关闭。然后，升降机控制部97使升降机73工作，如图19的(b)部分中所示，使收纳体72上升至作业高度hs。
148.在收纳体72上升到作业高度hs并通过模板移动机构21将模板15收纳于收纳体72后，升降机控制部97如图19的(a)部分中所示，使升降体81(即收纳体72)下降至下限位置。在升降机73使收纳体72升降的期间，在作业者误将手伸入入口71a的情况下，下侧传感器75将该动作检测为物体的进入，安全控制部97a停止向升降机73供给动力用电力，因此确保了作业者的安全。
149.在使升降体81下降至下限位置后，安全控制部97a切换下侧传感器75和上侧传感器76的开启关闭状态。即，安全控制部97a如图20的(a)部分中所示，将下侧传感器75从开启变为关闭，将上侧传感器76从关闭变为开启。在切换下侧传感器75和上侧传感器76的开启关闭状态后，作业者能够在不通过下侧传感器75进行物体检测的情况下，从入口71a、从框体71的下部空间sp2取出或者更换收纳体72。
150.这样，在第一运用模式和第二运用模式中的任一模式下，在作业者从框体71的入口71a取放(搬入或搬出)收纳体72的场景下，在作业者将手伸入作业空间sp1内时对升降机73的动力用电力的供给被停止。另一方面，在升降机73在框体71内使收纳体72升降的场景下，在作业者从入口71a将手伸入时停止对升降机73的动力用电力的供给。因此，确保了作业者的安全。检测上述作业者的手的伸入的传感器的开启关闭通过作业者自身从触摸面板77输入作业状况来切换。这样，在使收纳体72在框体71的内部升降的结构中，能够防止作业者的手接触处于运转状态的机构，从而能够确保进行收纳体72向框体71的取放的作业者的安全。
151.至此，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述的内容，能够进行各种变形等。例如，使放置于框体71的内部的收纳体72升降而使收纳体72内的模板15位于规定的作业高度的升降机73的结构不限定于上述的内容，也可以具有其他结构。另外，从收纳体72拉出模板15而使其向模板设置位置移动，并使位于模板设置位置的模板15移动并返回收纳体72的模板移动机构21不一定是上述的结构。另外，在本实施方式中，将模板15作为部件向印刷部供给，但并不限定于此。例如，也可以适用于将磨锉件作为部件向研磨机供给的结构。即，本发明可以适用于产生更换部件的需要的装置。另外，作为收纳体移动装置的模板更换部3是纵型的，在入口71a的附近的下部空间sp2的上方设置有作业空间sp1。但是，入口和作业空间的配置不限定于纵向。也可以根据部件而横向配置。
152.产业上的可利用性
153.根据本发明，在收纳体移动装置及部件供给装置中，能够确保作业者在作业现场等的安全。因此，在供给或者更换部件的装置中是有用的。
154.附图标记说明：
155.1 丝网印刷装置
156.2 印刷部
157.2k 印刷部罩
158.3 模板更换部
159.11 基台
160.12 基板搬运保持部
161.12a 第一输送机
162.12b 第二输送机
163.12c 第三输送机
164.12d 基板保持部
165.12e 多级工作台
166.13 模板引导件
167.13a y轴引导部
168.13b x轴引导部
169.13g 引导件
170.13h 水平部
171.13m 槽
172.13v 垂直部
173.14 模板保持部
174.14a 张力施加工作缸(工作缸)
175.14k 连结部件
176.14t 卡合突起
177.15 模板
178.15h 卡合孔
179.15k 图案开口
180.15p 设置对象模板
181.16 印刷头
182.17 刮片单元
183.18 上表面清洁器
184.18k 上表面清洁器升降部
185.19 吹送部
186.19n 喷出孔
187.19p 管状部
188.19v 阀部
189.21 模板移动机构
190.22 相机
191.22a 下方拍摄相机
192.22b 上方拍摄相机
193.23 下表面清洁器
194.23r 移动基座连结部(第二连结部)
195.31 模板保持部升降工作缸(升降工作缸)
196.31r 升降杆
197.32 模板保持部按压工作缸(按压工作缸)
198.32r 按压杆
199.41 刮板基座
200.41r 刮片单元连结部(第一连结部)
201.42 刮板
202.43 升降驱动部
203.44 刮板基座引导件
204.45 刮板基座移动滚珠丝杠(丝杠)
205.46 刮板基座螺母(螺母)
206.47 刮板基座驱动马达(第一马达)
207.51 刮片基座
208.52 刮片升降工作缸(升降工作缸)
209.53 刮片保持部
210.54 刮片
211.61 移动基座
212.62 升降致动器
213.63 拉出板
214.63k 吸附开口
215.63t 模板移动用卡合突起
216.64 移动基座引导件
217.65 移动基座移动滚珠丝杠(丝杠)
218.66 移动基座螺母(螺母)
219.67 移动基座驱动马达(第二马达)
220.71 框体
221.71a 入口
222.71b 模板通过开口(开口)
223.72 收纳体
224.72s 搁板部
225.73 升降机
226.75 下侧传感器
227.75a 下侧投光部
228.75b 下侧受光部
229.76 上侧传感器
230.76a 上侧投光部
231.76b 上侧受光部
232.77 触摸面板
233.78 部件供给装置
234.81 升降体
235.82 升降体支承部
236.83 螺母部
237.84 滚珠丝杠
238.85 升降体升降马达(第三马达)
239.90 控制部
240.91 基板动作控制部
241.92 模板动作控制部
242.93 印刷控制部
243.94 拍摄控制部
244.95 清洁器控制部
245.95a 第一清洁控制部
246.95b 第二清洁控制部
247.95c 第三清洁控制部
248.96 膏剂回收控制部
249.97 升降机控制部
250.97a 安全控制部
251.gs 高压气体
252.kb 基板
253.l1 下侧光
254.l2 上侧光
255.m1 下侧光幕
256.m2 上侧光幕
257.nz 吸嘴部
258.pr 清洁纸
259.pst 膏剂
260.r1 送出辊
261.r2 卷绕辊
262.sp 内部空间
263.sp1 作业空间
264.sp2 下部空间。