技术特征：
1.一种流体喷射器，包括：喷嘴层，其具有外表面和内表面以及在所述内表面和外表面之间延伸的喷嘴，所述喷嘴在内表面具有入口以接收流体，并且在外表面具有用于喷射流体的出口；主体，所述喷嘴层的内表面固定到该主体上，所述主体包括泵送室、返回通道和将所述泵送室连接到喷嘴的入口的第一通道；第二通道，其将所述喷嘴的入口流体地连接到所述返回通道；致动器，其配置成使流体流出所述泵送室，使得所述致动器的致动导致流体从喷嘴喷射；以及膜，其形成为横跨并部分地阻挡所述第一通道和第二通道中的至少一个，所述膜具有至少一个穿过其中的孔，使得在所述流体喷射器的操作中，流体流过所述膜中的至少一个孔。2.根据权利要求1所述的流体喷射器，其中，所述膜和孔配置成使得当流体从所述喷嘴喷射时所述通道具有第一阻抗，而当流体未从所述喷嘴喷射时所述通道具有第二阻抗。3.根据权利要求2所述的流体喷射器，其中，所述第一阻抗大于所述第二阻抗。4.根据权利要求2所述的流体喷射器，其中，所述膜配置成使得第二通道在所述喷嘴的共振频率处或附近具有最大阻抗。5.根据权利要求1所述的流体喷射器，其中，所述膜形成为横跨所述第二通道。6.根据权利要求5所述的流体喷射器，其中，所述第二通道包括在所述喷嘴的入口与所述膜之间的第一部分和在所述膜与所述返回通道之间的第二部分，其中，所述第一部分和第二部分由所述膜分开，且穿过所述膜的孔将所述第一部分流体地连接到第二部分。7.根据权利要求6所述的流体喷射器，其中，所述第一部分位于所述膜的远离所述外表面的一侧上，且所述第二部分位于所述膜的靠近所述外表面的一侧上。8.根据权利要求7所述的流体喷射器，其中，所述第一部分位于所述主体中，且所述第二部分位于所述喷嘴层中。9.根据权利要求1所述的流体喷射器，其中，所述膜具有穿过其中的多个孔。10.根据权利要求9所述的流体喷射器，其中，所述多个孔在所述膜上均匀地隔开。11.根据权利要求1所述的流体喷射器，其中，所述膜由氧化物形成。12.根据权利要求1所述的流体喷射器，其中，所述膜的厚度在约0.5μm和约5μm之间。13.根据权利要求1所述的流体喷射器，其中，所述膜由聚合物形成。14.根据权利要求13所述的流体喷射器，其中，所述膜的厚度在约10μm和约30μm之间。15.一种流体喷射器，包括：基板，其包括：喷嘴，具有在所述基板的外表面中的开口；流动路径，包括从泵送室到所述喷嘴的第一部分和从喷嘴到返回通道的第二部分；以及致动器，配置为使流体流出所述泵送室，使得所述致动器的致动导致流体从喷嘴喷出；和膜，其形成为横跨所述流动路径的第二部分，其中，所述膜具有至少一个穿过其中的孔，并且在操作中，流体流过所述膜中的至少一个孔，并且其中，所述膜配置为向流动路径提供阻抗，这取决于流动路径中流体的振荡频率。16.根据权利要求15所述的流体喷射器，其中，所述膜配置成在所述喷嘴的共振频率处或附近为所述流动路径提供最大阻抗。
17.根据权利要求15所述的流体喷射器，其中，所述膜比所述流动路径的壁更柔韧。18.根据权利要求15所述的流体喷射器，其中，所述膜基本平行于所述外表面延伸。19.一种流体喷射方法，包括：从流体喷射器的喷嘴喷射流体；和用来自流动路径的流体重新填充喷嘴，其中，形成为横跨所述流动路径的膜在流体从喷嘴喷射时为流动路径提供第一阻抗，而在流体未从喷嘴喷射时提供第二阻抗，并且其中，所述第一阻抗大于所述第二阻抗。20.一种制造流体喷射器的方法，包括：在喷嘴层中形成喷嘴，所述喷嘴层具有第一表面，其中所述喷嘴具有用于喷射流体的出口开口；在所述喷嘴层的第二表面上形成膜，所述第二表面在所述喷嘴层的远离第一表面的一侧上；形成穿过所述膜的至少一个孔；以及将所述膜的远离所述喷嘴层的一侧附接到具有泵送室和返回通道的晶片，使得所述膜中的至少一个孔在所述泵送室和喷嘴之间的通道或在所述喷嘴和返回通道之间的第二通道中提供收缩。