一种用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统及其使用方法与流程

本发明属于显示面板制造相关，更具体地，涉及一种用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统及其使用方法。

背景技术：

1、如今信息显示技术在人们社会活动和日常生活中的作用日益剧增，各种信息系统终端设备与人之间的交互都需要通过信息显示来实现。显示面板产业已经成为了光电产业的龙头，特别是oled、mini led等细分市场的需求均有很大的增长潜能。

2、具体而言，oled显示屏是利用有机电自发光二极管制成的显示屏。由于同时具备自发光有机电激发光二极管，不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异之特性，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。

3、不同于标准的液晶显示器，oled像素是由电流源所驱动。喷墨印刷方法主要是使用溶剂将oled有机材料融化，然后将材料直接喷印在基板表面形成r(红)、g(绿)、b(蓝)有机发光层。例如，高分辨率彩色主动式矩阵有机发光二极管(amoled)显示器需要采用主动式矩阵背板，此背板使用主动式开关进行各像素的开关。液晶显示器非晶硅制程已臻成熟，可供应低成本的主动式矩阵背板，并且可用于oled。许多公司正针对软性显示器开发有机薄膜晶体管(otft)背板制程，此一制程也可用于oled显示器，以实现全彩软性显示器的推出。

4、与蒸镀小分子原理相同，oled器件的阴极一般也是通过真空蒸镀工艺制作，而用到的蒸镀设备和掩模板比较昂贵。用喷墨打印技术制备阴极，可大幅度降低成本，最大的难题在于大面积均匀成膜。在全印刷工艺制备oled显示屏的研究中，关键是可印刷阴极墨水的开发和大面积成膜技术的实现。其难度主要在于：第一、必须保证阴极材料与有机功能层的亲和性，确保印刷的阴极能稳定成膜；第二、必须保证印刷图案的精细度，确保显示图像的高分辨率；第三、必须避免阴极胶浆对底层的破坏；第四、还必须保证载流子的有效注入，以确保高亮度、高效率的显示性能。

5、相关技术中用于显示面板上的玻璃基板干式清洗设备主要采用了超声波清洗、等离子清洗等干式清洗工艺。超声波清洗和等离子清洗清洗时，玻璃基板被带动沿一个方向运动，即可使得玻璃基板的表面全部被清理。

6、由于清洗头的尺寸受限，面对中大尺寸的玻璃基板时，清洗头的清洗范围的长度无法覆盖中大尺寸玻璃基板的宽度，因此完成一次玻璃基板清洗后，还需重新调整玻璃基板固定位置，而对第一次清洗过程中未清洗到的位置进行清洗。因此，现有的干式清洗设备，难以满足中大尺寸的玻璃基板的清洗要求，强行清洗中大尺寸玻璃基板时，效率极低。

技术实现思路

1、针对现有技术的以上缺陷或需求，本发明的目的在于提供一种用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统及其使用方法，以解决相关技术中难以满足中大尺寸的玻璃基板的清洗要求的技术问题。

2、第一方面，提供了一种用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统，包括：

3、机台，所述机台包括清洗腔室；

4、基板运动组件，所述基板运动组件设于所述清洗腔室内，所述基板运动组件包括x轴运动单元和吸附组件，所述x轴运动单元与所述吸附组件驱动连接，以带动所述吸附组件在x轴方向运动，所述吸附组件用于吸附固定玻璃基板；

5、清洗组件，所述清洗组件设于所述清洗腔室内，所述清洗组件包括十字滑台和清洗件，所述十字滑台与所述清洗件驱动连接，以带动所述清洗件在y轴和z轴方向运动，且所述清洗件在所述吸附组件的上方运动；

6、风机过滤组件，所述风机过滤组件与机台连接，且所述风机过滤组件的过滤口连通至所述清洗腔室的内部。

7、一些实施例中，该用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统还包括成像定位组件，所述成像定位组件设于所述清洗腔室内，所述成像定位组件用于检测所述玻璃基板的位置。

8、一些实施例中，该用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统还包括超声波检测组件，所述超声波检测组件设于所述清洗腔室内，所述超声波检测组件用于至少对所述玻璃基板的四角处进行破损检测。

9、一些实施例中，所述风机过滤组件包括循环风机、过滤网和风量控制器，所述循环风机的过滤口与所述清洗腔室连通，所述过滤网设于所述循环风机的过滤口处，所述风量控制器与所述循环风机电连接。

10、一些实施例中，该用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统还包括风量调节传感模组，所述风量调节传感模组包括：

11、气体流量监测模块，所述气体流量监测模块设于所述风机过滤组件的过滤口处，且用于监测所述风机过滤组件的过滤口处的气体流量，所述气体流量监测模块与所述风机过滤组件电连接；

12、温度传感模块，所述温度传感模块设于所述清洗腔室内部，且用于监测所述清洗腔室内的温度，所述温度传感模块与所述风机过滤组件电连接；其中，

13、根据所述气体流量监测模块和所述温度传感模块监测的数值，适应性调整所述风机过滤组件的风速。

14、一些实施例中，该用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统还包括真空监测调压模块，所述真空监测调压模块包括：

15、压力调节件，所述压力调节件与吸附组件连接，以调节所述吸附组件的吸附气体的压力；

16、真空监测件，所述真空监测件用于监测所述吸附组件与所述玻璃基板的之间的真空状态，所述真空监测件与所述吸附组件电连接，以反馈调节所述吸附组件。

17、一些实施例中，该用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统还包括除静电模块，所述除静电模块与所述十字滑台的驱动端连接，且用于给清洗完成后的所述玻璃基板除静电。

18、一些实施例中，该用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统还包括自动门模块，所述自动门模块包括：

19、门体，所述清洗腔室留有与腔室外部连通的接料通道，所述门体设于所述接料通道处，且适于开启或者遮挡所述接料通道。

20、一些实施例中，所述清洗件包括等离子清洗单元和超声波清洗单元。

21、本技术提供的技术方案带来的有益效果包括：

22、本技术实施例提供了一种用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统，玻璃基板由吸附组件吸附固定，且在x轴运动单元的带动下在x轴方向上间隔运动，清洗件在十字滑台的带动下，先下降靠近玻璃基板，且间隔在y轴方向运动。清洗过程中，玻璃基板在x轴方向运动时，清洗件维持不动，以对玻璃基板的部分进行清洗，随后，清洗件在y轴方向上运动一定距离，玻璃基板再次在x轴上运动，以对玻璃基板的其余位置进行清洗，多次操作，即可完整清洗玻璃基板。通过移动清洗件的方式，使得清洗系统不受玻璃基板尺寸的限制，适用于各种尺寸的玻璃基板的清洗，可确保适用于各类高标准的溶液流平及固化成膜工艺，因而尤其适用于譬如柔性oled显示面板之类的制造应用场合。其次，对清洗件的清洗范围要求小，节省了该清洗系统搭建的成本。

23、另外，在清洗过程中，风机过滤组件持续给清洗腔室提供洁净气流，维持清洗腔室内环境的洁净度，提高了玻璃基板的清洗质量。

24、第二方面，提供了一种用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统使用方法，基于如上述所述的用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统，包括如下步骤：

25、使玻璃基板吸附组件上，并由吸附组件吸附固定玻璃基板；

26、定位玻璃基板的位置；

27、风机过滤组件开启；

28、十字滑台带动清洗件在z轴方向下降至与玻璃基板之间留有清洗工艺高度；

29、使清洗件和玻璃基板依次间隔运动，以清洗玻璃基板；

30、判断玻璃基板是否清洗完毕；

31、对玻璃基板进行除静电后下料。

32、本技术另一实施例提供了一种用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统使用方法，由于该用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统使用方法基于上述用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统，因此，该用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统使用方法的有益效果与上述用于喷墨打印的玻璃基板干式清洗系统的有益效果一致，在此不再赘述。