图8所示是接合面仿沿机构的构成的截面图。
[0063]该图所示的接合面仿沿机构38被固定在夹紧机构34的上面侧，并包括了具有凸球面75的球面构件76、具有接受球面构件76的凹球面77的轴承构件79和具有接受轴承构件79的凹球面的承受构件78。球面构件76借助于具有气浮机构的轴承构件79，其凸球面75能够沿着轴承构件79的凹球面77自由地移动。通过该移动，当液滴喷出头23与喷头单元底板21抵接时，两者间的平行度就会自动地大致完全吻合。对轴承构件79的凹球面77的供气是通过供气口 74来的压缩空气来进行后构成气浮机构的。
[0064]另外，接合面仿沿机构38中的锁定机构的构成如下。也就是说，贯穿球面构件76和轴承构件79以及承受构件78地设置有圆筒70和收容于其中的活塞71。然后，通过将空气供给到该气缸机构的锁定口 72里，活塞71被移向上方后，球面构件76的位置和姿势就借助于活塞71相对于承受构件78来被锁定了。通过将空气供给到自由口 73里，活塞71被移向下方后使得锁定得到解除，球面构件76就自由地沿着承受构件78 了。这时，框架构件I是通过真空口 82由真空泵(未图示)来被真空吸引后保持为真空吸附。
[0065]同样地，液滴喷出头23是通过真空口 83由真空泵(未图示)来被真空吸引后保持为真空吸附。通过真空泵(未图示)，真空口 81能够通过真空吸附来保持球面构件76的凸球面75和轴承构件79的凹球面77。能够以比前述的锁定机构弱的保持力来进行锁定。采用接合面仿沿机构38的锁定机构在前述气缸机构的情况和真空吸附机构的情况中都使用的情况下，可以适用任何一种情况。
[0066]接着，对于仿沿和保持机构的动作进行说明，但首先是对保持喷头单元底板21和液滴喷出头23的夹紧机构34的平行度进行调整的动作作说明。如图8所示地，是在将空气供给到接合面仿沿机构38中的自由口 73里后使得球面构件76相对于承受构件78为自由状态，并在该状态下使得第二保持机构上升后将第二零件按压到第一零件中。然后，通过接合面仿沿机构38来使得液滴喷出头23沿着喷头单元底板21，也就是说，液滴喷出头23和喷头单元底板21之间的平行度被仿形为大致完全地吻合。通过上述仿沿动作，空气被供给到锁定口 72里，在上述平行度被调整的状态下，球面构件76相对于轴承构件79就能够暂时锁定了。由于球面构件76通过夹紧机构34使得液滴喷出头23被吸附保持，通过球面构件76的锁定，喷头单元底板21和液滴喷出头23之间的平行度就以被调整的状态来得到维持了。
[0067]图9所示是配置在本实施方式中的光学检测装置100、200及其光路上的各种构件的配置的斜视图。
[0068]在光学检测装置100、200中分别设有CXD照相机50。在CXD照相机50受光的光路上，配置有作为分光镜的半反光镜43a、43b或玻璃板60等。在玻璃板60中设置有显示液滴喷出头23的基准位置的基准标记。液滴喷出头23的基准位置是通过形成在液滴喷出头23的喷嘴板4上的喷嘴对准标记18a、18b来显示的。半反光镜43a、43b是用于将反映被设置在液滴喷出头23的喷嘴板4中的喷嘴对准标记18a、18b的光和反映被设置在玻璃板60中的基准标记的光的双方向CCD照相机50引导的光学机构。
[0069]图10所示是玻璃板60的固定部的斜视图。
[0070]玻璃板60被固定在玻璃板固定底座44之上。该玻璃板固定底座44借助于玻璃板连结块64和XY Θ平台37的上面底座(Θ方向移动部)连结，并通过图6所示XY Θ平台37来移动。两个半反光镜43a、43b也被固定在玻璃板固定底座44中，并通过XY Θ平台37来移动。
[0071]图11所示是设有基准标记的玻璃板的斜视图。
[0072]这是在SUS基材上张贴石英玻璃后的构成，并由在石英玻璃上对掩膜图案进行曝光和转印后的反射用铬膜来制作的。在图11所示基准标记61的一例中，是由外径为500 μπκ内径为490 μπι的环状的形状和线宽度为5 μπι的十字线所构成的两个基准标记61a、61b，各自的间隔是以±1 μπι以内的精度来配置的。玻璃板60的配置以及姿势位置的调整是通过图10所示姿势位置调整机构62来进行的。如图10所示地，玻璃板60的位置是通过姿势位置调整机构62的6处的夹紧螺母63来进行左右、上下、前后的位置的调整后被固定的。
[0073]两个光学检测装置100、200分别检测被设置在喷嘴板4的长边方向(X方向)的两端里的喷嘴对准标记18a、18b，和被设置在作为喷嘴对准标记18的调整基准的玻璃板60长边方向的两端里的基准标记61a、61b。电就是说，第一光学检测装置100通过C⑶照相机50a来同时对喷嘴对准标记18a和基准标记61a进行摄影，第二光学检测装置200通过CXD照相机50b来同时对喷嘴对准标记18b和基准标记61b进行摄影。另外，光学检测装置100、200除了 CCD照相机50a、50b以外还具有同轴反射照明51a、5lb。
[0074]这里，对于光学检测装置100、200的CXD照相机50受光时的光的光路进行说明。
[0075]图12所示是用于调整第一光学检测装置100的CXD照相机的位置的手动三轴平台53a、53b、53c的概要侧面图。这里，虽然是对第一光学检测装置100进行说明，但第二光学检测装置200也是完全相同的。
[0076]CXD照相机50的位置能够通过使用手动三轴平台53a、53b、53c来调整。如图12所示，作为手动三轴平台53c的调整方向，X方向是喷嘴对准标记的间距方向。另外，作为手动三轴平台53a的调整方向，Y方向是照相机的深度方向，作为手动三轴平台53b的调整方向，Z方向是将照相机高度在上下方向上调整的方向。
[0077]来自于第一光学检测装置100的同轴反射照明51的照明光沿着CXD照相机50a的光轴射出后，通过半反光镜43被分叉为两个光路L1、L2。光路LI是原样不动地朝着半反光镜43直线前进，并在前进到设有基准标记61的玻璃板60后反射，再次通过半反光镜43后返回到CCD照相机50里的光路。光路L2是被半反光镜43折曲90度后前进到被安置在喷头单元底板21上的液滴喷出头23的喷嘴对准标记18a、18b后反射，再次通过半反光镜43后返回到CXD照相机50里的光路。光路L2在后记的光轴调整时，还用于检测靠模件64的调整目标标记47。半反光镜43被配置为使得这样的光路L1、L2的光在CXD照相机50聚焦，并构成了一种双焦点检测光学系统。另外，在CCD照相机50中安装了高倍率(X6倍)的机器视觉镜头(Machine Vis1n Lens)，能够对基准标记61、喷嘴对准标记18以及调整目标标记47分别扩大后检测。
[0078]<预先调整处理 > 接着，对于采用本实施方式所涉及的组装装置在喷头单元底板21中进行各液滴喷出头23的定位的对准处理之前所执行的预先调整处理进行说明。
[0079]组装装置的预先调整处理是通过将图13所示的靠模件64固定到喷头单元底板21上，并对半反光镜43和玻璃板60的位置调整后的固定来进行的。在靠模件64中设置有作为喷嘴对准标记18a、18b的调整目标位置的调整目标标记47a、47b。靠模件64是在SUS基材上张贴石英玻璃后的构成，并通过在石英玻璃上对掩膜图案进行曝光和转印后的反射用铬膜来制作调整目标标记47a、47b。在图13所示调整目标标记47的一例中，是由直径为80 μπι的实心形状和十字线构成，，并且十字线的线宽度为5 μπι的两个调整目标标记47a、47b，各自的间隔是以±lym以内的精度来配置的。该间隔与基准标记61a、61b之间的间距的尺寸相同。
[0080]在组装装置的预先调整处理中，对于半反光镜43和玻璃板60的位置是通过靠模件64的调整目标标记47和玻璃板60的基准标记61由CXD照相机50取得的图像来调整后使得位置符合的。由此，玻璃板60的基准标记61的位置就被调整到对应于喷头单元底板21上的靠模件64的调整目标标记47的位置里。由于靠模件64的调整目标标记47所示的是位于喷嘴孔11里的喷嘴对准标记18中从喷头单元底板21的外形基准开始的结合理想位置，所以，玻璃板60的基准标记61的位置作为之后的液滴喷出头23的对准时的基准位置被适当地调整。
[0081]以下，对于组装装置的预先调整处理中使得靠模件64的调整目标标记47的位置和玻璃板60的基准标记的位置对准的步骤作详细说明。
[0082]图14 (a) - (c)所示是两个CXD照相机的检测图像。
[0083]首先，将玻璃板60配置在事先确定的设计位置里。然后，使用手动三轴平台53a(Y方向调整用)、53b (Z方向调整用)、53c (X方向调整用)来将CXD照相机50a、50b的位置调整为使得玻璃板60的基准标记61的光路LI的检测图像分别在图像中央对焦。其结果是，通过CXD照相机50a、50b摄影的检测图像会变成例如图14(a)的那样。
[0084]接着，将靠模件64固定到预先设置在喷头单元底板21上的设计位置里。接着，一边将该喷头单元底板21碰触到作为组装装置的定位构件的基准销27、28、29里，一边来固定到组装装置的单元底座固定台25上。然后，调整玻璃板60对玻璃板固定底座44的安装高度和姿势，以使得靠模件64的调整目标标记47a、47b的Y方向位置和玻璃板60的基准标记61a、61b的Y方向位置相一致。更进一步地，半反光镜43a、43b相对于玻璃板固定底座44也是一边调整Y方向的位置，一边固定到玻璃板固定底座44上的。
[0085]这时，为了使得调整目标标记47a、47b的检测图像在CXD照相机50中对焦，是使用手动三轴平台53a来移动作为CXD照相机50a、50b的深度方向的照相机Y轴的位置的。如此，在进行CXD照相机50a、50b对作为CXD照相机50a、50b的深度方向的Y轴方向的位置调整时，作为光路LI的检测图像的玻璃板60的基准标记61a、61b的对焦就会偏离。因此，是采用姿势位置调整机构62来对玻璃板60的前后方向(射入到玻璃板60中的光的光轴方向)的位置进行微调整的。其结果是，通过CCD照相机50a、50b摄影的检测图像会变成例如图14(b)的那样。
[0086]接着，使用手动三轴平台53b(Z方向调整用)、53c(X方向调整用)来调整后使得作为光路L2的检测图像的靠模件64的调整目标标记47a、47b的位置位于检测图像的中央。
[0087]更进一步地，使用姿势位置调整机构62来对玻璃板60的X方向的位置微调整后固定，以使得作为光路LI的检测图像的玻璃板60的基准标记61a、61b的图像的位置位于中心位置。由此，通过CXD照相机50a、50b摄影的检测图像就如图14(c)所示地，调整目标标记47a、47b的图像的位置和玻璃板60的基准标记61a、61b的图像的位置就分别位于中心了。
[0088]<对准处理 > 接着，对于采用这种经过预先调整处理后的组装装置在喷头单元底板21中进行各液滴喷出头23的定位的对准处理进行说明。
[0089]还有，在以下的说明中，对于接着对准处理进行的接合处理也一