写入喷头单元的组装装置及写入喷头单元的组装方法_5

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温度中的光轴来被同时摄影。因此,无论是写入喷头的摄像图像还是基准标记的摄像图像,会同样地受到摄影时的环境温度的影响。在本方式中,因为是采用如此摄影后的图像来进行调整,摄影时的环境温度导致的影响被抵消,从而不会产生调整误差。由此,就如上述实施方式所说明地,能够以高的精度来将写入喷头定位到喷头保持构件中。
[0119]另外,根据本方式,是使得对应于进行调整的写入喷头的喷嘴对准标记18等的对准标记和基准标记61同时摄影后来进行调整的。也就是说,采用的是对应于进行调整的一个写入喷头的大小的基准标记。另一方面,在专利文献I的组装装置中,作为显示写入喷头的基准位置的构件,采用的是将喷头保持构件的位置和各写入喷头的基本位置进行图案形成后的对准掩模。对准掩模是对应于喷头保持构件的大小来制作的,因为比写入喷头的大小要大,所以造价就高。更进一步地,对于喷头保持构件的大小或搭载的写入喷头的数量为不同的种类的情况,还存在有不能进行组装的课题。在方式A的组装装置中,还能够解决这些课题。
[0120](方式B)
[0121]根据方式A,所述调整机构设有对在喷头保持构件中被临时安装状态下的写入喷头进行把持的夹紧机构34等的把持机构和使得喷头保持构件作微小移动的XY Θ平台37等的对准机构,并根据从通过摄影机构对与写入喷头对应的喷嘴对准标记18等的对准标记和基准标记同时摄影的图像来计算得到的位置偏差量,在由把持机构把持写入喷头的状态下,通过对准机构使得喷头保持构件微小移动后来调整喷头保持构件和写入喷头的相对位置。
[0122]由此,就能够比较容易地实现上述的调整。
[0123](方式C)
[0124]根据方式B,其特征在于:将所述摄影机构、所述基准标记以及所述光学机构一体地配置在所述对准机构上。
[0125]由此,就如上述实施方式所说明地,摄影机构、基准标记、光学机构在对准机构上成为一体,并且其位置关系从最初的光学调整后的阶段开始就没有变化。
[0126](方式D)
[0127]根据方式A至C中的任何一个,在写入喷头的写入面的长边方向的两端部里分别设置有喷嘴对准标记18a、18b,并设有两个CCD照相机50a、50b等的摄影机构来对分别与喷嘴对准标记18a、18b对准的两个基准标记6la、6Ib同时在视野内摄影。
[0128]由此,就如上述实施方式所说明地,通过设置两个摄影机构,相对于一个写入喷头就能够根据采用两个对准标记来同时得到的摄像图像进行对准,从而能够进行更高精度的定位。
[0129](SSe)
[0130]根据方式A至D中的任何一个,基准标记是由在SUS基材上张贴石英玻璃并在石英玻璃上对掩膜图案进行曝光和转印后的反射用铬膜构成的玻璃板60等来制作的。
[0131]由此,就如上述实施方式所说明地,作为基准标记因为只要有反射面即可,所以就能够非常低价地制作基准标记。另外,因为是由反射用铬膜来制作的,就能够通过同轴反射光学系统来检测,由于不需要从背面来射入透射光,装置的布置就变得简洁,并能够抑制装置成本。
[0132](方式F)
[0133]根据方式A至E中的任何一个,光学机构在摄影机构的光轴的途中配置有半反光镜43等的分光镜。
[0134]由此,就如上述实施方式所说明地,能够通过分光镜来分割同轴反射照明51的光轴,并使得第一光学路径能够简单地与基准标记61a、61b对焦。因此,就能够以同一摄影机构来对通过摄影机构摄影时被配置在与写入喷头的喷嘴对准标记18a、18b的配置位置为不同方向上的基准标记61a、61b进行摄影。
[0135](方式G)
[0136]根据方式A至F中的任何一个,在通过所述调整机构调整的位置处,设有固定处理机构35来进行将所述写入喷头固定到所述喷头保持构件中的固定处理。
[0137]由此,就能够在以高精度来定位的状态下,将写入喷头固定到喷头保持构件中。
[0138](方式H)
[0139]根据方式G,设有在所述固定处理机构35进行固定处理时将所述写入喷头加压到所述喷头保持构件上的加压致动器39等的加压机构。
[0140]由此,就如上述实施方式所说明地,能够将通过加压机构被加压到喷头保持构件中的状态下的写入喷头通过固定处理机构来固定到喷头保持构件中。
[0141](方式I)
[0142]根据方式H,在所述加压机构和所述写入喷头之间设有接合面仿沿机构38等的接合面仿形机构,在通过加压构件将所述写入喷头加压到所述喷头保持构件上时,使得所述写入喷头和所述喷头保持构件被固定的面为平行。
[0143]由此,就如上述实施方式所说明地,在加压接合时能够获得写入喷头和喷头保持构件的固定面的平行度。
[0144](方式J)
[0145]根据方式A至I中的任何一个,包括使得对多个的写入喷头为临时安装状态下的喷头保持构件移动的XY平台30等的保持构件移动机构,并通过所述保持构件移动机构使得所述喷头保持构件以各写入喷头所被配置的间隔来移动,并且相对于各写入喷头来通过所述调整机构依次进行调整。
[0146]由此,就如上述实施方式所说明地,能够对多个的写入喷头依次进行精密地定位。
[0147](方式K)
[0148]根据方式J,所述保持构件移动机构至少具有基准销27、28、29等的三处的位置确定构件,并且,喷头保持构件是以通过所述位置确定构件来定位的状态被固定在保持构件移动机构上的。
[0149]由此,就如上述实施方式所说明地,能够容易地以高精度使得喷头保持构件相对于保持构件移动机构来定位和固定。
[0150](方式L)
[0151]一种写入喷头单元的组装方法,其包括:摄影步骤,其对在喷头单元底板21等的喷头保持构件中被临时安装状态下的多个的液滴喷出头23等的写入喷头进行摄影;调整步骤,其使用对写入喷头摄影后的摄影图像来调整写入喷头和喷头保持构件的相对位置,摄影步骤将显示被设置在与写入喷头为不同方向上的写入喷头的基准位置的基准标记和写入喷头以相同视野来同时进行摄影,调整步骤根据同时摄影的写入喷头和基准标记的图像来进行调整。
[0152]由此,就如上述实施方式所说明地,能够以高的精度来将写入喷头定位到喷头保持构件中。
【主权项】
1.一种写入喷头单元的组装装置,其包括: 摄影机构,其对在喷头保持构件中被临时安装状态下的写入喷头进行摄影; 调整机构,其使用由该摄影机构对该写入喷头摄影后的图像来调整该喷头保持构件和该写入喷头的相对位置, 其特征在于包括有将基准标记和该写入喷头以相同视野在该摄影机构中成像的光学机构,所述基准标记用于显示相对于所述摄影机构为设置在与所述写入喷头不同方向上的所述写入喷头的基准位置,并且,所述调整机构是使用由所述摄影机构对所述写入喷头和所述基准标记同时摄影后的图像来进行调整的。
2.根据权利要求1所述的写入喷头单元的组装装置,其特征在于: 设有对在所述喷头保持构件中被临时安装状态下的写入喷头进行把持的把持机构,并根据从通过所述摄影机构对与所述写入喷头对应的对准标记和所述基准标记同时摄影的图像来计算得到的位置偏差量,在由所述把持机构把持所述写入喷头的状态下,通过所述调整机构移动所述喷头保持构件后来调整所述喷头保持构件和所述写入喷头的相对位置。
3.根据权利要求2所述的写入喷头单元的组装装置,其特征在于: 将所述摄影机构、所述基准标记以及所述光学机构一体地配置在所述调整机构上。
4.根据权利要求1至3中任何一项所述的写入喷头单元的组装装置,其特征在于: 在所述写入喷头的写入面的长边方向的两端部里分别设置有对准标记,并设有两个所述摄影机构来对分别与所述对准标记对准的两个所述基准标记同时在视野内摄影。
5.根据权利要求1至4中任何一项所述的写入喷头单元的组装装置,其特征在于: 所述基准标记是由在SUS基材上张贴石英玻璃并在该石英玻璃上对掩膜图案进行曝光和转印后的反射用铬膜来制作的。
6.根据权利要求1至5中任何一项所述的写入喷头单元的组装装置,其特征在于: 所述光学机构在所述摄影机构的光轴的途中配置有分光镜。
7.根据权利要求1至6中任何一项所述的写入喷头单元的组装装置,其特征在于: 在通过所述调整机构调整的位置处,设有固定处理机构来进行将所述写入喷头固定到所述喷头保持构件中的固定处理。
8.根据权利要求7所述的写入喷头单元的组装装置,其特征在于包括: 在所述固定处理机构进行固定处理对将所述写入喷头加压到所述喷头保持构件上的加压机构。
9.根据权利要求8所述的写入喷头单元的组装装置,其特征在于: 在所述加压机构和所述写入喷头之间设有接合面仿形机构,在通过所述加压构件将所述写入喷头加压到所述喷头保持构件上时,使得所述写入喷头和所述喷头保持构件被固定的面为平行。
10.根据权利要求1至9中任何一项所述的写入喷头单元的组装装置,其特征在于: 包括使得对多个的所述写入喷头为临时安装状态下的所述喷头保持构件移动的保持构件移动机构,并通过所述保持构件移动机构使得所述喷头保持构件以各写入喷头所被配置的间隔来移动,并且相对于各写入喷头来通过所述调整机构依次进行调整。
11.根据权利要求10所述的写入喷头单元的组装装置,其特征在于包括: 所述保持构件移动机构至少具有三处的位置确定构件,并且,所述喷头保持构件是以通过所述位置确定构件来定位的状态被固定在所述保持构件移动机构上的。
12.—种写入喷头单元的组装方法,其包括: 摄影步骤,其对在喷头保持构件中被临时安装状态下的写入喷头进行摄影; 调整步骤,其使用对所述写入喷头摄影后的摄影图像来调整所述写入喷头和所述喷头保持构件的相对位置, 其特征在于, 所述摄影步骤将显示被设置在与所述写入喷头为不同方向上的所述写入喷头的基准位置的基准标记和所述写入喷头以相同视野来同时进行摄影, 所述调整步骤根据同时摄影的所述写入喷头和所述基准标记的图像来进行调整。
【专利摘要】本发明提供一种写入喷头单元的组装装置和方法,以高的位置精度来将写入喷头定位到喷头保持构件的规定位置里。包括有摄影机构(50),其对在喷头保持构件(21)中被临时安装状态下的写入喷头(23)进行摄影;调整机构(37),其使用由该摄影机构对该写入喷头摄影后的图像来调整该喷头保持构件和该写入喷头的相对位置,并包括有将基准标记(60)和该写入喷头以相同视野在该摄影机构中成像的光学机构(43),所述基准标记用于显示相对于所述摄影机构为设置在与所述写入喷头不同方向上的所述写入喷头的基准位置,并且,所述调整机构是使用由所述摄影机构对所述写入喷头和所述基准标记同时摄影后的图像来进行调整的。
【IPC分类】B41J2-145
【公开号】CN104802519
【申请号】CN201510042014
【发明人】吉川浩史
【申请人】株式会社理光
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年1月27日
【公告号】US20150209922
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