专利名称：用于有机发光显示屏制作中的对板技术的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于有机发光显示屏制作中的对板技术。
有机电致发光器件具有自发光、视角宽、高效率、低能耗、成本低等优点，因此非常适合用来制作平面显示器，经过十几年的发展，有机电致发光显示屏已经逐步走向了商业化。目前用来制作矩阵寻址的有机电致发光显示屏的比较常用的方法是掩模蒸镀方法，此方法中的对板步骤通常是在真空室内进行的，非常难以完成，特别是当有机发光显示屏象素的分辨率达到一毫米三条线时，要在真空室内通过移动掩模板来完成对板，要求移动掩模板的精度在0．13毫米以内，这是极为困难的，这需要在真空室内添加微动设备，显微设备，使整套设备变的极为昂贵，并且在高真空状态下隔着真空室壁使真空室内的掩膜板精确移动即费时又费力，还不容易对准，成品率低。
本发明的目的是提供一种在真空室外对板的技术，解决在真空室内对板所带来的困难。
为达到上述目的，本发明的技术方案是首先直接将基板置于真空室内，在真空条件下，利用掩模蒸镀的方法在基板上蒸镀上一层金属条。之后从真空室内取出基板，将光刻好的镀有锡铟氧化物(一种透明的导电物质)的导电玻璃固定在基板上，通过显微镜和微动装置使需要搭接金属电极的锡铟氧化物条和基板上的金属电极条搭接好，从而完成在真空室外对板的流程，然后将基板置于真空室内，在真空条件下蒸镀完有机薄膜，轮到蒸镀金属电极时，将蒸镀金属电极的掩模板还置于上次蒸镀的固定位置，使蒸镀金属电极的掩模板和基板的相对位置保持不变，这样蒸镀在锡铟氧化物导电玻璃上的金属电极和基板上的金属电极的位置完全吻合，从而和作为引线的锡铟氧化物条很好地搭接上了。
采用真空室外对板技术后，由于是在真空室外操作，不需要在真空室内添加移动掩模板的装置和显微设备，降低了设备成本，并且可以在显微镜下利用微动装置对板，解决了高精度对板的难题，并且简单易行，缩短了工作时间，提高了产品的成品率。
下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细说明。
图1是用来固定锡铟氧化物导电玻璃的基板。
图2是没有固定锡铟氧化物导电玻璃在真空室内蒸镀完金属电极后的基板。
图3是光刻好的锡铟氧化物导电玻璃。
图4是将图3所示的光刻好的锡铟氧化物导电玻璃固定在图2所示的基板上。
图5是利用掩模蒸镀方法在锡铟氧化物导电玻璃上蒸镀上一层有机薄膜。
图6是利用掩模技术继续蒸镀上金属电极。
将图1所示的基板置于真空室内，在真空条件下利用掩模蒸镀的方法在基板上蒸镀上一层金属条如图2所示，图2中的金属条1的大小、尺寸、间距以及金属条的个数根据需要制作的器件的大小和分辨率来确定。然后从真空室取出基板。
图3为光刻好的锡铟氧化物导电玻璃，1是锡铟氧化物条，其大小、尺寸、间距以及个数由需要制作的器件的大小和分辨率来确定，2是玻璃衬底。
将图3所示的光刻好的锡铟氧化物导电玻璃根据预先蒸镀在基板上的金属电极的位置固定在图2所示的基板上，使锡铟氧化物条2与金属电极条1对齐，这一步是在真空室外显微镜下完成的，是我们的真空室外对板技术的关键步骤，如图4所示。
之后利用掩模蒸镀方法在真空条件下在锡铟氧化物导电玻璃上蒸镀上一层有机薄膜，如图5所示，其中1是压在纵向锡铟氧化物条上的有机薄膜。
然后利用掩模技术继续蒸镀上金属电极，将蒸镀金属电极的掩模板还置于上次蒸镀的固定位置，使蒸镀金属电极的掩模板和基板的相对位置保持不变，金属电极和作为引线的两侧的锡铟氧化物条就会搭接上，利用封装技术将金属电极和有机薄膜与空气隔绝，有机发光显示器件就做好了，如图6所示，使金属电极和两侧的锡铟氧化物条搭接的技术就是对板技术。
只要是预先在基板上蒸镀上金属电极或是其它能够在基板上留下痕迹的材料，然后在真空室外根据预先蒸镀上的金属或是其它材料的位置进行对板的技术均属于本发明的保护范围之内。
权利要求
1．一种用于有机发光显示屏制作中的对板技术，其特征在于预先在基板上蒸镀上金属电极，然后在真空室外根据预先蒸镀上的金属电极的位置进行对板。
2．根据权利要求1所述的对板技术，其特征在于预先蒸镀在基板上的金属电极条的尺寸大小以及金属电极条的个数根据需要制作的器件的大小和分辨率来确定。
全文摘要
本发明公开了一种在有机电致发光显示器件制作过程中的真空室外的对板技术,它是在基板上预先蒸镀上金属电极,然后在真空室外根据预先蒸镀上的金属电极的位置进行对板,这样只要真空室内的金属掩模板的位置保持不变,蒸镀出的金属电极的位置就和基板上预先蒸镀的金属电极的位置吻合。
文档编号G09F9/30GK1289997SQ00131359
公开日2001年4月4日 申请日期2000年11月1日 优先权日2000年11月1日
发明者李峰, 赵毅, 杨开霞, 刘式墉 申请人:吉林大学