一种光罩盒外挂标签盒的制作方法

本实用新型涉及一种标签盒，更具体的说，是涉及一种光罩盒外挂标签盒。

背景技术：

在现有半导体超大规模集成电路晶圆生产工艺中，电路图掩膜版(Mask或Reticle)的使用是必要的且相当之重要。在大型晶圆制造工厂中通常有数以万计甚至几十万片光罩掩膜版，这么多掩膜版的有序管理使用对管理者来说是极大的挑战。为保护掩膜版在生产中的顺利流通使用，需要把掩膜版装到光罩盒(mask POD)内便于运送及使用。大型晶圆厂内有需要配置几千上万个光罩盒。对这些光罩盒的及时快速正确识别对生产相当重要。现在业内解决方案有使用电子标签，电子标签相当昂贵，阻止其广泛应用。现在通行的做法是在光罩盒外表面贴上纸质标签纸，标签纸上印有条形码及光罩的名称等信息。光罩盒内光罩倒换之后，需要把旧的标签揭掉重新贴新的相应标签。长期如此使用之后造成光罩盒外残胶。这些残胶会造成掩膜版的沾污以及释放有害气体造成二次污染，最后会导致晶圆良率的降低。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种光罩盒外挂标签盒，可以固定于光罩盒的侧面和上表面，操作人员可以根据光罩盒内不同的光罩信息方便的打开标签盒合扣更换标签盒内的纸质标签，可以避免纸质标签多次揭帖造成的残胶污染问题以及标签边角翘曲造成的6S缺陷。

本实用新型的目的可通过以下技术方案实现。

本实用新型的一种光罩盒外挂标签盒，包括相互连接的前面板和后面板，所述前面板底部和后面板底部采用软连接方式连接，所述前面板顶部和后面板顶部以合扣方式连接，所述前面板顶部软连接有固定板，所述固定板设置有螺栓孔，所述前面板左右两侧下端对称设置有第一固定件，所述第一固定件自底部向上开设有凹槽。

所述前面板顶部对称设置有第一肩板。

所述前面板内侧设置有标签固定槽。

本实用新型的目的还可通过以下技术方案实现。

本实用新型的一种光罩盒外挂标签盒，包括相互连接的前面板和后面板，所述前面板底部和后面板底部采用软连接方式连接，所述前面板顶部和后面板顶部以合扣方式连接，所述后面板顶部软连接有第一固定扣，所述后面板左右两侧上端对称设置有第一卡扣，所述后面板左右两侧下端对称设置有第二固定件，所述第二固定件自底部向上开设有凹槽。

所述前面板顶部对称设置有第一肩板。

所述前面板内侧设置有标签固定槽。

本实用新型的目的可通过以下技术方案实现。

本实用新型的一种光罩盒外挂标签盒，包括相互连接的前面板和后面板，所述前面板底部和后面板底部采用软连接方式连接，所述前面板顶部和后面板顶部以合扣方式连接，所述前面板左右两侧对称设置有第二卡扣，所述前面板顶部软连接有第三固定扣。

所述后面板顶部对称设置有第二肩板。

本实用新型的目的可通过以下技术方案实现。

本实用新型的一种光罩盒外挂标签盒，包括相互连接的前面板和后面板，所述前面板底部和后面板底部采用软连接方式连接，所述前面板顶部和后面板顶部以合扣方式连接，所述后面板顶部软连接有第二固定扣，所述后面板左右两侧对称设置有第三卡扣。

所述后面板顶部对称设置有第二肩板。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案所带来的有益效果是：

(1)本实用新型可以避免纸质标签多次揭帖造成的残胶污染问题以及标签边角翘曲造成的6S缺陷；

(2)本实用新型易拆装，可多次重复使用，使用简单方便；

(3)本实用新型可一次模具成型，制作简单。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的展开图；

图2是本实用新型实施例二的展开图；

图3是本实用新型中实施例一和实施例二采用的模型展开图；

图4是本实用新型实施例三的展开图；

图5是本实用新型实施例四的展开图；

图6是本实用新型中实施例三和实施例四采用的模型展开图。

附图标记:1前面板；2后面板；3固定板；4螺栓孔；5第一肩板；6第二肩板；7标签固定槽；8第一固定件；9第二固定件；10第一固定扣；11第二固定扣；12第一卡扣；13第二卡扣；14第三卡扣；15第三固定扣。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

依据现在半导体晶圆厂内广泛使用的两种光罩盒：一种是雅士利(Asyst)外形(包括家登公司)的基本款光罩盒；另一种是美商英特格(Entegris)的RSP系列光罩盒。本实用新型根据不同用途为光罩盒量身定做放置标签纸的标签盒，分别设计适用于以上两种光罩盒的立式标签盒和横式标签盒，这两种标签盒可以一次模具成型，然后修剪成适用不同盒子的标签盒。

实施例一：

如图1所示，本实用新型的一种光罩盒外挂标签盒，包括相互连接的前面板1和后面板2，所述前面板1底部和后面板2底部采用软连接方式连接(如铰链连接)，所述前面板1顶部和后面板2顶部以合扣方式连接。所述前面板1顶部软连接有固定板3，所述固定板3设置有螺栓孔4，所述前面板1左右两侧下端对称固定设置有第一固定件8，所述第一固定件8自底部向上开设有凹槽。所述前面板1顶部对称设置有第一肩板5，便于前面板1和后面板2进行打开，更换标签。所述前面板1内侧设置有标签固定槽7，当前面板1和后面板2之间放置的标签较小时，小标签固定于标签固定槽7内；当前面板1和后面板2之间放置的标签较大时，大标签压紧于标签固定槽7和后面板2之间。

使用时，将标签放置于前面板1和后面板2之间，通过合扣锁紧前面板1和后面板2，将固定板3通过螺栓与光罩盒的平衡板固定连接，将前面板1左右两侧的第一固定件8分别与光罩盒下部的卡槽固定连接，实现标签盒的固定，便于区分光罩盒。

实施例二：

如图2所示，本实用新型的一种光罩盒外挂标签盒，包括相互连接的前面板1和后面板2，所述前面板1底部和后面板2底部采用软连接方式连接(如铰链连接)，所述前面板1顶部和后面板2顶部以合扣方式连接。所述后面板2顶部软连接有第一固定扣10，所述后面板2左右两侧上端对称设置有第一卡扣12，所述后面板2左右两侧下端对称设置有第二固定件9，所述第二固定件9自底部向上开设有凹槽。所述前面板1顶部对称设置有第一肩板5，便于前面板1和后面板2进行打开，更换标签。所述前面板1内侧设置有标签固定槽7，当前面板1和后面板2之间放置的标签较小时，小标签固定于标签固定槽7内；当前面板1和后面板2之间放置的标签较大时，大标签压紧于标签固定槽7和后面板2之间。

使用时，将标签放置于前面板1和后面板2之间，通过合扣锁紧前面板1和后面板2，将后面板2扣于标签牌部位前端面，所述后面板2顶部的第一固定扣10与光罩盒上部的凹槽进行卡扣连接，所述后面板2左右两侧的第一卡扣12与标签牌部位的两侧进行固定连接，所述后面板2左右两侧的第二固定件9分别与光罩盒下部的卡槽固定连接，实现标签盒的固定，便于区分光罩盒。

上述实施例一和实施例二中的标签盒整体采用高透光聚丙烯材料制作，可以满足肉眼识别和条形码扫描枪识别。上述实施例一和实施例二中的标签盒用一套模具一次成型，如图3所示，使用时把不需要的部件去掉即可。

将图3中的第一固定扣10、第一卡扣12和第二固定件9全部修剪掉，其余部件保留，便成为放置于光罩盒侧面的立式标签盒，如图2所示，这款可用于Asyst和家登基本款的光罩盒。将图1中的固定板3和第一固定件8全部修剪掉，其余部件保留，便成为放置于光罩盒侧面的立式标签盒，如图3所示，这款可用于Entegris RSP系列款的光罩盒。

实施例三：

如图4所示，本实用新型的一种光罩盒外挂标签盒，包括相互连接的前面板1和后面板2，所述前面板1底部和后面板2底部采用软连接方式连接(如铰链连接)，所述前面板1顶部和后面板2顶部以合扣方式连接。所述前面板1左右两侧对称设置有第二卡扣13，所述前面板1顶部软连接有第三固定扣15，所述后面板2顶部对称设置有第二肩板6，便于前面板1和后面板2进行打开，更换标签。

使用时，将标签放置于前面板1和后面板2之间，通过合扣锁紧前面板1和后面板2，将后面板2放置于标签牌部位上端，通过前面板1左右两侧的第二卡扣13和顶部的第三卡扣15实现标签盒的固定，便于区分光罩盒。

实施例四：

如图5所示，本实用新型的一种光罩盒外挂标签盒，包括相互连接的前面板1和后面板2，所述前面板1底部和后面板2底部采用软连接方式连接(如铰链连接)，所述前面板1顶部和后面板2顶部以合扣方式连接。所述后面板2顶部软连接有第二固定扣11，所述后面板2左右两侧对称设置有第三卡扣14，所述后面板2顶部对称设置有第二肩板6，便于前面板1和后面板2进行打开，更换标签。

使用时，将标签放置于前面板1和后面板2之间，通过合扣锁紧前面板1和后面板2，将后面板2套接与标签牌部位的侧面，所述后面板2顶部的第二固定扣10固定于标签牌部位的内圆上，所述后面板2左右两侧的第三卡扣14与标签牌部位的两侧进行固定连接，实现标签盒的固定，便于区分光罩盒。

上述实施例三和实施例四中的标签盒整体采用高透光聚丙烯材料制作，可以满足肉眼识别和条形码扫描枪识别。本实施例三和实施例四中的标签盒用一套模具一次成型，如图6所示，使用时把不需要的部件去掉即可。

将图6中的第二固定扣11和第三卡扣14全部修剪掉，其余部件保留，便成为放置于光罩盒上面的横式标签盒，如图4所示，这款可用于Integris款的光罩盒。将图6中的第二卡扣13和第三固定扣15全部修剪掉，其余部件保留，便成为放置于光罩盒侧面的立式标签盒，如图5所示，这款可用于Asyst和家登基本款的光罩盒。

尽管上面结合附图对本实用新型的功能及工作过程进行了描述，但本实用新型并不局限于上述的具体功能和工作过程，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可以做出很多形式，这些均属于本实用新型的保护之内。