专利名称：电子切换自锁微磁继电器及器件的操作方法
技术领域：
本发明涉及继电器。更确切地说，本发明涉及低功耗的自锁微磁继电器和制作与操作微磁继电器的方法。
背景技术：
继电器通常是电子控制的两种状态的器件，该器件断开或闭合电子接触从而影响电子线路中器件的操作。换言之，继电器典型地，起到触发或不触发电器、光学或其它设备部分的切换的作用。继电器通常用于包括电子通信、无线电频率(RF)通讯、便携式电子产品、消费类和工业类电子产品、航空航天和其它系统的许多应用中。
虽然早期的继电器为机械或固态器件，但在微电子机械系统(MEMS)技术和微电子生产中的最新发展已使微静电继电器和微磁继电器成为可能。这种微磁继电器通常包括激励电枢来形成或断开电子接触的电磁铁。当磁铁去除激励时，弹簧或其它机械力通常使电枢恢复到静态位置。这样的继电器通常呈现许多明显的缺点，这是因为，它们通常只能呈现一个单一的稳定输出(比如，静止状态)，并且它们不是自锁的(比如，当电源从继电器撤走时它们不保持恒定的输出)。此外，传统微磁继电器所需要的弹簧长时间下来会退化或断裂。
在Taglor等人1998年12月8日申请的美国专利号5,847,631中描述了另一种微磁继电器，在这里通过参考文献完整地结合了这种继电器。在该文献中所披露的继电器包括了产生磁场的永磁铁和电磁铁，该电磁铁能间歇地对抗着由永磁铁所产生的磁场。虽然该继电器意味着具有双稳态，但继电器需要在电磁铁中损耗功率以维持至少一个输出状态。此外，产生对抗磁场所需要的功率是相当大的，从而使该继电器难以适合在航空航天、可携式电子产品和其它需要低功率损耗的场合中使用。
因此，需要一种不需要功率来维持状态的双稳态自锁继电器。这类的继电器也应该是可靠的、设计简单的、低成本并且容易制造的。
发明内容
根据本发明的不同实施例，适合于制成呈现断开状态和闭合状态的继电器。继电器采用对磁场敏感的悬臂梁来操作，使得悬臂梁呈现出对应于继电器开路状态的第一状态和对应继电器闭合状态的第二状态。可提供第一磁场来感应悬臂梁中的磁矩，而具有第二磁场的悬臂梁可在第一状态和第二状态之间切换，该第二磁场可由——比如，在继电器的基片上形成的导体——产生。
附图简述本发明上述及其它特征和优点将在下文结合附图对举例实施例的详细描述中得到描述，其中，使用相同的标号来表示在类似视图中的相同或类似的部分，以及
图1A是自锁继电器典型实施例的侧视图；图1B是自锁继电器典型实施例的俯视图；图2A-H是显示制造自锁继电器典型技术的侧视图；图3A是自锁继电器第二实施例的侧视图；图3B是自锁继电器第二实施例的俯视图；图3C是适用于自锁继电器第二实施例的典型悬臂梁的立体图；图4A是自锁继电器第三实施例的侧视图；图4B是自锁继电器第三实施例的俯视图；图4C和图4D是适用于自锁继电器第三实施例的典型悬臂梁的立体图；以及图5是自锁继电器第四实施例的侧视图。
典型实施例的详细描述应该理解的是这里示出和描述的特定应用只是本发明的例子，绝对不是用于限制本发明的范围。的确，为了简洁，传统电子、制造、MEMS技术和其它系统的其它功能(以及系统单一工作部件的元件)在这里都不再进行详细地描述。另外，为了简洁的目的，下文也经常将本发明描述成属于在电器或电子系统中使用的微电子机械继电器。应该理解的是也可使用许多其它的制造技术来生产这里描述的继电器，而这里描述的技术也可在机械继电器、光学继电器或其它开关器件中使用。此外，该技术适合于在电器系统、光学系统、消费电子产品、工业电子产品、无线电话系统、航空航天应用或任何其它应用场合。另外，应该理解的是这里所作的空间描述仅仅是为了描绘的目的，实际的自锁继电器可以采用任何方向或方式的空间排列。这些继电器的阵列也可采用适当的方式相互连接以及与适当的器件相互连接来形成。
自锁继电器图1A和图1B分别显示了自锁继电器的侧视图和俯视图。参考图1A和图1B，典型的自锁继电器100一般都包括磁铁102、基片104、罩住导体114的绝缘层106、触点108和采用台阶层110固定上述基片的悬臂112。
磁铁102可以是任何类型的磁铁，诸如永磁铁、电磁铁或任何其它能够产生磁场H0134的磁铁，以下将作更全面描述。在典型实施例中，磁铁102采用了加里福尼亚Fremont Dexter磁铁技术公司出品型号为59-P09213T001的磁铁，当然也可以使用任何类型的磁铁。可以任何方式来产生任意数量级的磁场134，诸如从大约1奥斯特到104奥斯特或更高。在图1所示的典型实施例中，所产生的磁场H0134可近似平行Z轴并具有大约为370奥斯特的数量级，当然其它的实施例对磁场134会采用不同的方向和数量级。在不同的实施例中，单一的磁铁102可与共用同一基片104的多个继电器100结合使用。
基片104由诸如硅、砷化镓、玻璃、塑料、金属或其它基片材料之类的任何类型的基片材料制成。在不同的实施例中，基片104可用绝缘材料(诸如氧化物)涂层并平面化或使之平整化。在不同的实施例中，多个自锁继电器100可共用一块单一的基片104。另外，其它器件(诸如晶体管、二极管或其它电子器件)可采用诸如传统的集成电路生产技术与一个或多个继电器100一起制成在基片104上。另外，磁铁102也可用作为基片，将以下讨论的附加元件直接在磁铁102上制成。在这类实施例中，可不需要分离的基片104。
绝缘层106由诸如氧化物或另一种绝缘体之类的任何材料制成。在典型实施例中，绝缘层由Probimide7510材料形成。绝缘层106适用于罩住导体114。在图1A和图1B显示了导体114，它是两个端点126和128都设置了线圈图案内的单一导体。导体114的另一实施例采用了单一或多个设置在任何合适图案内的导电段，该合适图案可包括例如蜿蜒图案、螺旋形图案、无规则图案或任何其它图案。导体114由诸如金、银、铜、铝、金属或类似能够导电的任何材料形成。因为导体114导电，便在导体114的周围产生磁场，正如以下所作的更全面的描述。
悬臂112是能够受磁场力影响的任何电枢、延伸、露头或构件。在图1A所示的实施例中，悬臂112一般都包括磁铁层118和导电层120。磁铁层118可由导磁合金(诸如NiFe合金)或任何其它磁敏材料制成。导电层120可由金、银、铜、铝、金属或任何其它导电材料形成。在不同的实施例中，悬臂112具有对应于继电器100是“开路”还是“闭合”的两种状态，正如以下所作的更全面的描述。在许多实施例中，当导电层120将台阶层110与触点相连接时，继电器100被称之为“闭合”。相反地，当悬臂112不与触点108电接触时，继电器被称之为“开路”。因为可物理移动悬臂112使之与触点108进行接触和不接触，所以悬臂112的不同实施例都可灵活应用，使得悬臂112可适当地弯曲。可通过改变悬臂(或其不同的元件层)的厚度、通过悬臂上形成图案或形成小孔或切口、或通过使用增加灵活性的材料来获得灵活性。另外，悬臂112也可制成绞链的排列，正如以下参照图3所描述的。虽然悬臂112的尺寸当然可以根据不同的应用作大幅度的改变，但是适用于在微磁继电器100中所使用的典型悬臂112在长度上可为10-1000微米的数量级，在厚度上可为1-40微米的数量级，在宽度上可为2-600微米的数量级。例如，根据图1所示实施例的典型悬臂可具有大约为600微米×10微米×50微米的尺寸、或1000微米×600微米×25微米尺寸、或任何其它合适的尺寸。
触点108和台阶层110可适当地设置在绝缘层106上。在不同的实施例中，台阶层110支撑着绝缘层106上的悬臂112，形成了可为真空或可充满空气或另一种气体或诸如油之类液体的缝隙116。虽然缝隙116的大小可根据不同的应用有较宽范围的变化，但是典型的缝隙116可为1-100微米的数量级，例如，大约20微米。当继电器100处于闭合状态时，触点108可以接受悬臂112，正如以下所描述的。触点108和台阶层110可由诸如金、金合金、银、铜、铝、金属或类似的任何导电材料形成。在不同的实施例中，触点108和台阶层110由类似的导电材料制成，当悬臂112形成台阶层110和触点108之间的回路时，继电器就被称之为“闭合”。其它的实施例使用不同的触点108和台阶层110的形成方法，正如下文结合图3和图4讨论的内容。在某些实施例中，悬臂112可以是不导电，台阶层110也可由诸如Probimide材料、氧化物、或任何其它材料之类的不导电材料形成。另外一个实施例可以不需要台阶层110，只要能在绝缘层106上支撑着悬臂112。
操作原理在本发明较宽的方面，磁铁102产生在悬臂112内引起磁化(m)的磁场H0126。磁化根据磁化的方向会适当地在悬臂112上产生了迫使悬臂112向着触点108或背离触点108的力矩，从而将继电器100设置成断开或闭合的状态。悬臂112内的磁化方向可由导体114所产生的第二磁场外适当地调节，正如下文所作的更全面的描述。
进一步参考图1A和图1B，磁场H0134可由主要在平行于Z轴的方向上的磁铁102提供，使得该磁场与悬臂112的主要尺寸(比如长度)相垂直。悬臂112是由软磁性材料所构成的，磁场134可适当地引起悬臂112的磁化。因为悬臂112的几何形状，所以将悬臂112中的磁化适当地对准悬臂的长轴，该长轴为图1中悬臂112的长度(平行于X轴)。
悬臂112中磁化的方向主要取决于施加的磁场134和悬臂112的长轴之间的角度(α)。特别地，当角度(α)小于90度时，悬臂112中的磁矩(m)从悬臂112的端点130指向端点132。磁矩和磁场H0134之间的互相作用，在悬臂112的端点130的周围产生适当的逆时针方向上的向上移动端点132的力矩，从而断开台阶层110和触点108之间的回路。相反地，当角度(α)大于90度时，悬臂112的磁矩(m)从端点132指向端点130，在端点130周围生成了顺时针的力矩。该顺时针力矩向下移动端点132，以完成台阶层110和触点108之间的回路。因为悬臂112的磁化(m)不会变化，只要悬臂112的长轴和施加的磁场134之间的角度(α)不发生变化，施加的力矩就会一直保持到再施加外部的干扰。悬臂或止动装置(诸如触点)的弹性力矩平衡了施加的磁矩，因此继电器100呈现出对应悬臂112向上和向下位置的两个稳定状态(从而分别对应继电器100的断开和闭合状态)。
切换可由任何适当的切换技术完成。在典型实施例中，切换是通过产生第二磁场来完成的，该磁场具有一个沿着悬臂112长轴的分量，该磁场分量的强度足够影响悬臂112的磁化(m)。在图1所示的实施例中，第二磁场的相关分量是沿着X轴磁场的分量。因为主要考虑的是沿着悬臂112长轴的第二磁场的强度，所以第二磁场的总数量级通常大大小于磁场134的数量级(虽然在不同实施例中当然可使用任何强度的磁场)。典型的第二磁场可为20奥斯特的数量级，但在其它实施例中可使用更强或更弱的磁场。
第二磁场也可通过，诸如电子控制的电磁铁之类的磁铁来产生。另一种方式是，第二磁场可通过在导体114内通电来产生。当电流流过导体114时，根据“右手定则”产生磁场。例如，从导体114的端点126流向端点128(图1B)的电流通常含产生“进入”所示线圈中心的磁场，对应图1A中的磁场箭头122。相反地，图1中从端点128流向端点126的电流就会产生流“出”所示线圈中心的磁场，对应图1A中虚线磁场箭头124。磁场也可以图1A所示的方式形成围绕导体114的环路，在悬臂112之上的磁场施加一个水平的(X)分量。
通过改变电流方向或流过导体114的电流脉冲，即可根据需要改变第二磁场的方向。通过改变第二磁场的方向，可以影响悬臂112的磁化，继电器100也可适当地转换断开或闭合的状态。比如说，当第二磁场是以磁场箭头122的方向时，悬臂112的磁化方向将指向端点130。该磁化可绕端点130周围产生的顺时针的力矩，力矩使悬臂112处于“向下”的状态，该状态正适合于闭合继电器100。相反地，当第二磁场是以虚线磁场箭头124的方向时，悬臂112的磁化指向端点132，产生逆时针力矩，该力矩将悬臂112处于“向上”的状态，该状态正适合于断开继电器100。因此，悬臂112的“向上”或“向下”状态(也对应继电器100的“断开”或“闭合”状态)可通过控制流过导体114的电流来调节。另外，由于在没有外部干扰的情况下悬臂112的磁化保持恒定，第二磁场可根据需要以“脉冲”的形式或者其它间歇的方式施加以切换继电器。当继电器不需要状态的变化，可去除加在导体114上的电源，由此产生了在静态下没有功率损耗的双稳态自锁继电器100。这类继电器非常适合于航天、航空、便携式电子产品以及类似的应用。
生产自锁继电器图2是几张显示生产自锁继电器100典型技术的侧视图。可以理解的是，这里所包含的工艺只是提供许多适用于生产自锁继电器100的技术中的一个例子。
典型的生产工艺一般是从制备基片102开始，该基片可能需要可选择的绝缘层。正如以上所讨论的，可使用任何基片材料来生产自锁继电器100，因此如果使用了绝缘基片，绝缘层就不是必要的。在包括绝缘层的实施例中，该绝缘层可以是厚度上为1000埃数量级的二氧化硅(SiO2)或其它绝缘材料。其次，适用于绝缘材料的材料选择和绝缘层的厚度可根据特定的应用进行变化。
参考图2A，导体114一般可在基片104上制成。导体114可采用诸如沉积(例如电子束沉积)、蒸发、电镀或无电电镀、或类似之类的任意技术来制成。在不同的实施例中，可将导体114制成类似于图1所示的线圈图案。另外，也可将导体114制成为线形、螺旋形、圆形、蜿蜒状、无规则或其它的图案。绝缘层106可采用旋转或其它方式涂覆在基片104和导体114上，正如图2B所示。绝缘层106可作为光致抗蚀剂、二氧化硅、Probimide-7510材料或任何其它能与上层器件相互电气隔离的绝缘材料来使用。在不同的实施例中，绝缘材料的表面是采用诸如化学机械平面化(CMP)之类的任何技术进行平面化的。
接触引脚108和110可采用诸如光刻、蚀刻或类似的任何技术在绝缘层106上制成(图2C)。引脚108和110可通过在绝缘层106上沉积一层或更多层导电材料来制成，并随后采用诸如湿法腐蚀方法制成的图案。在典型的实施例中，引脚108和110一般包括了第一层铬(以提高对绝缘层106的粘附)和第二层金、银、铜、铝或其它导电材料。可采用电镀或无电电镀的方法对触点添加附加的金属层，以提高触点的可靠性并降低电阻。
参考图2D，接触引脚108和110可适当地采用光致抗蚀剂、铝、铜或其它材料覆盖从而形成牺牲层202。覆盖悬臂底部区域的牺牲层202中的开口206取决于光刻、蚀刻或其它工艺。正如图2E所示，随后，采用沉积溅射或其它方法在牺牲层202的上层设置一层或更多层的材料且延伸至开口206来形成悬臂112。在典型的实施例中，可在牺牲层202上设置铬或其它金属的基层204，以增加粘附，并且也可以形成一层或更多层的导电层120。层204和120可采用诸如沉积随后再采用化学或机械蚀刻的方法来形成。层120还可采用电镀或无电镀的方法添加另一导体层(诸如金、金合金，等等)来增厚。如图2F所示，可采用电镀其它方法，在导电层120上设置透磁合金(比如NiFe透磁合金)层118来进一步形成。透磁合金层118的厚度可通过改变电镀电流和电镀时间来控制。举例来说，在60分钟的时间里以每平方厘米0.02安培进行电镀，会产生厚度约为20微米的典型的透磁合金层。在不同的实施例中，可在悬臂112上电镀一层附加的透磁合金层306(如图3所示)，以便提高悬臂112对磁场的响应。
参考图2G，举例来说，可通过湿式或干式(比如，氧等离子体)释放法将牺牲层除去，从而在悬臂112和绝缘层106之间产生缝隙116。在不同的实施例中，粘结层204可适当地采用微机械蚀刻或另一种技术除去，从而形成继电器100(图2H)。随后，将继电器100切成块、与磁铁102封装在一起(如图1所示)或进行其它适当的处理。应该理解的是，永磁铁102也可直接在基片上制成、设置在悬臂上，或者直接在永磁铁基片上形成线圈和悬臂。
自锁继电器另一个的实施例图3和图4公开了自锁继电器100的另一个实施例。图3A和图3B分别显示出了包括绞链悬臂112的自锁继电器的另一个实施例的侧视图和俯视图。立体图3A和图3B是图1A和图1B所示的立体图在X-Y平面内旋转了90度后的视图，以便于更好地显示绞链悬臂的详细结构。参考图3A和图3B，绞链悬臂112适当地包括一个或更多索302和304，这些索支撑绝缘层106上的磁敏构件306。构件306与由导电材料所构成的索302和304比较起来相对较厚(大约为50微米的数量级)。如同上述结合图1所讨论的继电器100一样，带绞链悬臂的继电器100可响应诸如由磁铁102和导体114所产生的磁场。在不同的实施例中，当继电器处于“闭合”状态时，索302和304中的一个或全部与接触引脚108电气连接。当然，可使用任何数量的索。例如，可制作一个单独的索以支撑构件306的整个重量。另外，索可位于构件306上任何一点。虽然图3只显示了接近构件306中心的索302和304，但是索也可位于接近触点108的构件306的端点，从而提高由诸如磁铁102所产生的扭矩。
图3C是适用于图3A和图3B所示实施例的典型悬臂112的立体图。悬臂112适当地包括与导电层120相耦合的构件306。孔310和/或312也可在导电层120中形成从而可提高悬臂112的灵活性，且可选择的触点凸块308也可在导电层120的表面上制成，以便于与触点108相接触。索302和304(未在图3C中示出)可粘附或者采用其它方法形成于悬臂112的任何适当位置(诸如导电层120的中心或导电层120的任一边)。另外，索也可由非导电材料制成，且悬臂112可在两个分离的导体之间提供导通路径，该分离导体可与处于闭合状态的悬臂同时接触，正如以下所讨论的。
图4A和图4B分别是自锁继电器100另一个实施例的侧视图和俯视图。如图所示，悬臂112的不同实施例可以不直接从台阶层110向触点108导电。在这类的实施例中，导电元件402可粘附在悬臂112上，以便于当继电器100处于“闭合”状态时适当地在触点108和408之间提供电气接触。图4C和图4D是悬臂112另一典型实施例的立体图。在这类的实施例中，悬臂112可包括磁敏部分118，该部分通过绝缘层410与导电部分402分离，该导电层可以是诸如电解质绝缘体。可选择的接触片308也可在所示的导电部分402上制成。当悬臂112处于对应继电器100“闭合”状态的状态时，电流就会适当地在接触引脚108和408之间按照箭头412所示的路径流动。
图5是继电器100另一个实施例的侧视图。参考图5，继电器100可包括上述(比如，参照图1)的磁铁102、基片104和悬臂112。代替(或除了)在基片104上制成的导体114，还可在第二基片504上制成导体114正如所示的。第二基片504可以是诸如塑料、玻璃、硅或类似之类的任何类型的基片。如上述的实施例一样，导体114可适当地采用绝缘层506来涂覆。为了制成继电器100，可在基片104和504上制成不同的元件，随后将这些基片适当地对准并固定。两块基片104和504(以及在上面所制成的不同元件)通过隔板彼此分离，例如，图5中所示的隔板510和512，它们可由任何材料形成。
继续参考图5，触点108可在绝缘层106上制成，正如以上的讨论的。另外，触点508也可在第二基片504上制成，如图5所示(当然，可再次制成悬臂112，使得悬臂112的导电部分与触点508相接触)。在其它的实施例中，都可提供触点108和508，从而当悬臂112与触点108时，继电器100处于第一状态，当悬臂112与触点508接触时，继电器100处于第二状态，以及/或者当悬臂112即不与触点108也不与触点508接触时，继电器就处于第三状态。当然，图5所示的继电器100的总布局可与上述的任何技术和布置相结合，以产生继电器100新的实施例。
应该理解的是，在不脱离本发明范围的条件下可生成许多其它的实施例。例如，可通过添加附加的触点108生成双投继电器，当悬臂处于其断开状态时，该附加的触点108与悬臂112接触。相类似地，可通过改变不同元件的布局(例如，接触片108、110和悬臂112)来制成不同外形和几何形状的继电器100。
在以下权利要求中所有元件的相应结构、材料、动作和等价物旨在包括可与其它特别要求的要求元件相结合完成功能的任何结构、材料或动作。另外，在任何方法权利要求中所列举的步骤可以任何顺序执行。本发明的范围应该由所附的权利要求以及它们的法律等效物，而不是由以上所给的例子定义。
权利要求
1.一种操作具有断开状态和闭合状态的继电器的方法，其特征在于，所述的方法包括步骤提供对磁场敏感的绞链悬臂，所述的悬臂具有对应所述继电器的所述断开状态的第一状态和对应所述继电器的所述闭合状态的第二状态；提供第一磁场，在所述的悬臂中引起磁力矩；以及，采用第二磁场在所述的第一状态和所述的第二状态之间切换所述的悬臂。
2.权利要求1的方法，其特征在于，所述的切换步骤包含采用所述的第二磁场重新校准所述悬臂的磁化，从而调节所述磁力矩方向的步骤。
3.权利要求2的方法，其特征在于，还包含通过向导体通电产生所述的第二磁场的步骤。
4.权利要求3的方法，其特征在于，所述第二磁场的方向是所述电流方向的作用。
5.权利要求4的方法，其特征在于，当所述的电流以第一方向流动时，所述的第二磁场将所述的继电器设置为所述的断开状态。
6.权利要求5的方法，其特征在于，当所述的电流以第二方向流动时，所述的第二磁场将所述的继电器设置为所述的闭合状态。
7.权利要求6的方法，其特征在于，所述的悬臂由所述的第一磁场维持在所述的第一位置和所述的第二位置。
8.权利要求1的方法，其特征在于，所述的悬臂由所述的第一磁场维持在所述的第一位置和所述的第二位置。
9.一种具有断开和闭合状态的继电器，其特征在于，所述的继电器包括绞链悬臂，具有分别对应所述继电器的所述断开和闭合状态的第一和第二状态；磁铁，配置以提供第一磁场，使得所述的第一磁场能将所述的悬臂维持在所述的第一和第二状态中的一种状态；以及导体，配置以提供电流流过所述导体产生作用的第二磁场，从而所述的第二磁场使得所述的悬臂在所述的第一和第二状态之间切换。
10.权利要求9的继电器，其特征在于，所述的第二磁场在所述的悬臂中感应出力矩，从而当所述的电流以第一方向流过所述导体时，所述的悬臂置于第一状态。
11.权利要求9的继电器，其特征在于，当所述的电流以第一方向流过所述导体时，所述的悬臂置于第一状态。
12.权利要求11的继电器，其特征在于，当所述的电流以第二方向流过所述导体时，所述的悬臂置于第二状态。
13.权利要求9的继电器，其特征在于，所述的导体和所述的悬臂在基片上制成。
14.权利要求13的继电器，其特征在于，在接近于所述的基片上提供所述的磁铁。
15.权利要求9的继电器，其特征在于，所述的导体在第一基片上制成，所述的悬臂在第二基片上制成，其中，将所述的第一和第二基片固定在彼此接近的位置上，从而使所述的第二磁场在所述的悬臂中引起力矩。
16.权利要求9的继电器，其特征在于，所述的第二磁场包括与所述第一磁场相平行的第一分量以及与所述磁场相垂直的第二分量。
17.权利要求16的继电器，其特征在于，所述第二磁场的所述第二分量影响所述悬臂中磁化的方向，从而在所述的第一和第二状态之间切换所述的悬臂。
18.一种在基片上制成继电器的方法，所述的继电器具有断开和闭合的状态，该方法包括步骤在所述的基片上制成导体；采用绝缘层对所述的导体和所述的基片进行涂覆；制成至少一个触点；提供与所述触点可切换连接的响应磁场的绞链悬臂，当所述的悬臂与所述的触点处于电气连接时，所述的继电器处于所述的闭合状态，其中，可将所述的悬臂设置成响应磁场，其中，设置所述的悬臂，从而通过由流过所述导体的电流产生的第二磁场分别在所述继电器的所述断开和闭合状态之间切换。
19.权利要求18的方法，其特征在于，所述的第二磁场在所述的悬臂中感应力矩，以致于当所述的电流以第一方向流过所述导体时，所述的悬臂置于第一状态。
20.一种采用权利要求18的方法生产的继电器。
21.一种采用权利要求19的方法生产的继电器。
22.权利要求18的方法，其特征在于，所述的悬臂在接近于所述基片的第二基片上制成。
23.权利要求22的方法，其特征在于，所述的触点在所述的第二基片上制成。
24.一种采用权利要求22的方法生产的继电器。
25.一种采用权利要求23的方法生产的继电器。
26.权利要求19的方法，其特征在于，所述的导体在所述的绝缘材料上制成。
27.权利要求19的方法，其特征在于，所述的悬臂在接近于所述基片的第二基片上制成。
28.权利要求27的方法，其特征在于，所述的触点在所述的第二基片上制成。
29.一种采用权利要求26的方法生产的继电器。
30.一种采用权利要求27的方法生产的继电器。
全文摘要
根据本发明的不同实施例，可适当地制成呈现断开状态和闭合状态的继电器(100)。通过提供对磁场灵敏的悬臂(112)来操作继电器(100)，该悬臂呈现出对应继电器断开状态的第一状态和对应继电器闭合状态的第二状态。所提供的第一磁场在悬臂(112)中感应磁矩，悬臂可通过第二磁场在第一状态和第二状态之间切换，第二磁场可由，例如，在与继电器连成一体的基片上所制成的导体产生。
文档编号G02B6/35GK1419702SQ01807026
公开日2003年5月21日 申请日期2001年1月26日 优先权日2000年2月2日
发明者阮梅春, 申军 申请人:亚利桑那州立大学