专利名称：衬垫设置方法、电光器件的制造方法
技术领域：
本发明涉及衬垫的设置方法和电光器件的制造方法，特别是涉及将衬垫设置在规定位置的技术。
背景技术：
作为液晶器件，存在下侧基板与上侧基板在各自基板的边缘部经密封材料以规定的间隔贴附，在这一对基板间封入液晶层的结构。在这种液晶器件中，在各基板之间设置了为在基板面内使这些基板间隔均匀的多个球形衬垫。作为将这种衬垫设置在基板上的方法，已知有使用喷墨装置的方法。这时，必须有喷墨用的溶剂，而作为这种溶剂，例如在特许文献1中公开了使用水和异丙醇的混合液的例子。
特开2002-72218号公报一般说来，在使用喷墨装置将衬垫和溶剂的混合液喷射到基板表面，在基板的规定位置上设置衬垫的场合，理想的情况是从喷墨喷嘴喷出的溶剂和衬垫的混合液以接近于球形的状态向基板滴下，到达基板时作为1个液滴在基板表面扩展。但是，当利用以在上述特许文献1中公开的溶剂，特别是以水为中心的溶剂时，由于粘度低，往往不能够从喷墨喷嘴稳定地喷出衬垫和溶剂的混合液。
具体地说，从喷墨喷嘴喷出的液滴由于粘度低，不一定凝集为1个液滴，往往分成多个液滴滴在基板表面，即使作为1个液滴到达基板表面，也往往在到达基板的同时，分成多个液滴飞散。这时，难以将衬垫设置在目标位置，可能会发生衬垫设置位置分散，从而在液晶器件中发生盒厚不匀，产生显示不良。
还有，借助于在溶剂滴下后使之蒸发，将衬垫设置在规定位置，但在这种场合，当溶剂的沸点低时，蒸发速度就会过快，最终往往发生衬垫的设置部位分散。另外，在极端的情形下，溶剂在基板表面沸腾，往往发生衬垫在基板上飞散等不良情形。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而进行的，其目的在于提供可以更加正确地将衬垫设置在规定位置的衬垫设置方法，以及采用该衬垫设置方法的电光器件的制造方法。
为了解决上述课题，本发明的衬垫设置方法是用液滴喷射装置将衬垫设置在电光器件用基板上的规定位置的方法，其特征在于，包括用上述液滴喷射装置将液滴喷射到上述电光器件用基板上的工序，该液滴是将衬垫悬浮在沸点为150℃～250℃，粘度为10mPa·s～40mPa·s的溶剂中的液滴。
当采取利用这种液滴喷射装置的衬垫设置方法时，由于使衬垫悬浮的溶剂的沸点定为150℃～250℃，所以液滴滴下后溶液的蒸发速度不过快，上述的衬垫设置位置难以发生分散，同时还难以发生溶剂在滴下的过程中在基板表面蒸发等不良情况，因而能够将衬垫正确地设置在规定位置。另外，由于溶剂的粘度定为10mPa·s～40mPa·s，所以1个液滴不会在滴下的过程中分成多个，而是以凝集的球形状态滴下，另外，还难以发生在到达基板的同时，飞散成多个液滴的不良情况，能够可靠地实现衬垫的定点配置。
另外，在溶剂的沸点不到150℃时，溶剂的蒸发速度过快，往往发生衬垫的设置位置分散。另一方面，若使溶剂的沸点超过250℃，则无益地增加了用于使溶剂蒸发的加热温度或加热时间，往往有电光器件用基板变形等不良情况发生，特别是在附加有使电光物质取向的取向膜时，该取向膜往往发生取向混乱。另外，在溶剂的沸点不到180℃时，虽然极少见，但有液滴不凝集成1个点的情形，因此，溶剂的沸点最好在180℃～250℃。
另外，在溶剂的粘度定为不到10mPa·s时，往往发生液滴在滴下的过程中分散为数个，或因与基板碰撞而飞散成数个等不良情况。另一方面，若假定溶剂的粘度超过40mPa·s，往往难以从液滴喷射装置的喷出口稳定地喷出液滴，也往往发生液滴滞留在喷出口的端部等不良情况。另外，在溶剂的粘度不到20mPa·s的场合，在液滴到达基板后，虽然极少见，但也有在基板上飞散成数个的情形，另外，在溶剂的粘度超过35mPa·s时，虽然极少见，但也有液滴不能喷出的情形，因此，溶剂的粘度最好定为20mPa·s～35mPa·s。
在本发明的衬垫设置方法中，可以在滴下液滴后，将电光器件用基板加热至60℃～150℃使溶剂蒸发。
作为溶剂，由于使用了沸点为150℃～250℃的溶剂，所以当将加热温度设定在60℃～150℃时，可以使蒸发速度适当，能够防止或抑制衬垫的设置位置发生分散，若使加热温度低于60℃，则加热时间往往过长，若使加热温度高于150℃，则特别是在附加有使电光物质取向的取向膜时，该取向膜往往发生取向混乱。另外，蒸发工序中的基板加热温度最好定为90℃～140℃。
另外，在喷射液滴的工序中，能够将该液滴只滴至电光器件用基板的非像素区。在本发明的衬垫设置方法中，虽然由于使用液滴喷射装置，能将衬垫设置在任意位置，但特别是在电光器件中最好是将衬垫设置在像素之间的非像素区(黑矩阵)内，这时，可以减小例如在衬垫周围会发生的液晶取向不良对显示的影响。
作为在本发明中使用的溶剂，可以使用不含水的溶剂。含水时导致粘度减小，并且沸点在100℃左右，因而衬垫的设置位置往往发生分散。具体而言，作为本发明中能使用的溶剂，可以列举出从1-壬醇、3，5，5-三甲基-1-己醇、1-癸醇、1-十二烷醇、1，2-乙二醇、2-丁烯-1，4-二醇、2-甲基-2，4-戊二醇、苯酚、2-吡咯烷酮、2-苯氧基乙醇、2，2’-二羟基二乙醚、2-(2-甲氧基乙氧基)乙醇之中选择的1种溶剂，或将从中选择的2种以上的溶剂进行混合的溶剂。
其次，本发明的电光器件的制造方法是在一对基板之间夹持电光物质而成的电光器件的制造方法，其特征在于，包括利用上述的衬垫设置方法，在一对基板之中的至少一方设置衬垫的工序。按照这一方法，在电光器件中可以将衬垫设置在规定位置，特别是可以在面内均匀地设置衬垫，因此，可以防止或抑制基板间隔在面内变得不均匀这样的不良情况的发生，从而难以发生与此相伴随的显示不良。
另外，作为本发明中可以使用的液滴喷射装置，例如可以例示出具有设置了能够根据所输入的驱动波形而伸缩的振子和借助于该振子喷出液滴的喷射部的液滴喷头，一边相对于喷射对象物移动该液滴喷头，一边借助于上述驱动波形驱动喷射部而使液滴喷出的液滴喷射装置，具体而言，即喷墨装置。
图1是示出喷墨喷嘴之一例的概略斜视图。
图2是图1的喷墨喷嘴的概略剖面图。
图3是示出采取应用了本发明的衬垫设置方法的方法制造的液晶显示器件的一个实施形态的剖面示意图。
图4是示出图3的液晶显示器件中衬垫的设置位置的平面示意图。
具体实施例方式
下面参照附图对本发明的实施形态进行说明。
在本实施形态中，利用喷墨装置可以任意设定喷出的液滴的喷射位置和喷射次数，可以将规定量的散布有衬垫的溶液喷射到电光器件用基板上的规定位置。将散布有衬垫的溶液喷射到电光器件用基板上后，通过使散布有衬垫的溶液中的溶剂自然蒸发或加热蒸发，使规定个数的衬垫设置在电光器件用基板上的规定位置上。
图1和图2是在本实施形态中使用的喷墨装置中的喷墨喷嘴300的斜视图和剖面图。如图1所示，喷墨喷嘴300具有例如不锈钢制的喷嘴板310和振动板320，两者经间壁构件(贮器板)330相结合。在喷嘴板310与振动板320之间，借助于间壁构件330形成多个空间340和贮液器350。各空间340和贮液器350的内部充满散布有衬垫的溶液，各空间340和贮液器350通过供给口360相连通。另外。在喷嘴板310上设置了用于从空间340喷射散布有衬垫的溶液的喷嘴孔370。另一方面，在振动板320上形成了向贮液器350供给散布有衬垫的溶液的孔380。
另外，如图2所示，压电元件390被结合在振动板320的与空间340相向的面相反一侧的面上。该压电元件390位于一对电极400之间，通电时压电元件390发生弯曲，向外侧突出，与压电元件390结合的振动板320也成为一体地同时向外侧弯曲。据此，空间340的容积增大。因此，与在空间340内增大的容积部分相当的散布有衬垫的溶液从贮液器350经供给口360流入。然后，在解除对压电元件390的通电时，压电元件390和振动板320都恢复至原来的形状。据此，空间340也恢复到原来的容积，因而空间340内部的散布有衬垫的溶液的压力上升，散布有衬垫的溶液的液滴410从喷嘴孔370向电光器件用基板喷射。
利用具有这样的喷墨喷嘴300的喷墨装置，可以控制散布有衬垫的溶液的滴下位置，在本实施形态中，将散布有衬垫的溶液只滴在电光器件用基板的非像素区。在将散布有衬垫的溶液滴在电光器件用基板上后加热该基板，使溶剂蒸发，可以将衬垫设置在基板的规定位置上。
在本实施形态的场合，作为上述散布有衬垫的溶液的溶剂，使用了沸点为150℃～250℃，粘度为10mPa·s～40mPa·s的溶剂，具体而言，使用了非水系溶剂，例如1-十二烷醇、1，2-乙二醇、2-丁烯-1，4-二醇、2-甲基-2，4-戊二醇、苯酚、2-吡咯烷酮、2-苯氧基乙醇、2，2’-二羟基二乙醚、2-(2-甲氧基乙氧基)乙醇，或它们的混合溶剂。
这些溶剂在常温下难以蒸发，例如通过加热至60℃～150℃左右，可以对基板不过分加热而以适当的蒸发速度进行蒸发。另外，由于具有比较高的粘度，所以从喷嘴孔370喷出的液滴410在滴下的过程中不分散成数个，而仍以1个球形液滴滴下，进而在打到基板上时，也几乎不飞散成数个，能够可靠地将1个液滴滴至规定的位置。
使用以上这样的喷墨装置的衬垫设置方法，可以用作各种电光器件用的衬垫设置方法，但在本实施形态中，在设置液晶显示器件用的衬垫时采用了这种方法。下面对应用本发明的衬垫设置方法的液晶显示器件的结构进行说明。
图3是示出用应用了上述衬垫设置方法的方法制造的液晶显示器件的一种实施形态的剖面示意图，图4是示出衬垫的设置位置的平面示意图。另外，在本实施形态中，为了将各层、各构件绘成在图面上可识别程度的大小，在各图中对各层、各构件采用了不同的比例尺。
液晶显示器件200具有在相向配置的上基板101与下基板102之间，隔着衬垫125(参照图4)夹持了液晶层104，用密封材料105将该液晶层104密封的液晶面板100；以及在该液晶面板100的背面一侧(图的下侧)设置的背光源(照明装置)130。在液晶面板100的上基板101的内表面一侧(液晶层104一侧)形成了滤色层111、在滤色层111的各色之间形成的遮光膜110、覆盖这些滤色层111和遮光膜110的平坦化膜112、共用电极113、取向膜115，在上基板101的外表面一侧(图的上表面一侧)形成了偏振层119。
另一方面，在液晶面板100的下基板102的内表面一侧(液晶层104侧)设置了在基板面内排列成矩阵状的像素电极120、在该像素电极120的上层形成的取向膜116，另外，在下基板102的外表面一侧设置了偏振层129。
在液晶显示器件200中，在上基板101与下基板102之间设置了如上所述的衬垫125，如图4所示，衬垫125被对应地定位在在各色滤色层111之间形成的遮光膜110的形成区上。换言之，只在各像素电极120的边界区域，即非像素区设置衬垫125。因此，几乎不发生由衬垫25引起的对显示的不良情况(例如衬垫周围的光漏泄等)。另外，在制造液晶显示器件200时，对一对基板之中的一块，预先形成电极和取向膜，用上述喷墨装置在其上滴下散布有衬垫的溶液，在将溶剂蒸发后，将液晶夹在它与另一块基板之间，并密封各基板。
(实施例)下面对本发明的实施例进行说明。
〔第1实施例〕使用具有图1和图2所示的喷墨喷嘴300的喷墨装置进行衬垫设置。
在本实施例中，设喷嘴的直径为20μm，一次的液滴喷射量为约20皮升，并且设该喷嘴300与基板(下侧基板102)之间的距离为800μm，在表1所示的各种溶剂中散布衬垫，调查了喷出时从该喷嘴300的喷射状态、液滴到达基板后的形状等。为了调查聚丙烯乙二醇的粘度与喷射状态的关系，使用改变了平均分子量的样品，未进行衬垫配置状态的确认。另外，在喷射后使基板在150℃下干燥3分钟，对溶剂蒸发后的衬垫配置状态进行了调查。另外，基板是图3所示的与下基板102有关的基板，是形成了电极和取向膜(膜厚500)的基板，所使用的衬垫是直径为3.75μm的树脂制球形衬垫。
在表1中，液滴喷射特性栏中的×表示打到基板后液滴飞散，或者液滴不能充分喷出，另外，该液滴喷射特性栏中的△表示在极少数情况下打到基板后液滴飞散，还有，该液滴喷射特性栏中的○表示打到基板后不发生飞散而稳定地喷射。另一方面，衬垫配置状态栏中的×表示不能将衬垫集中到目标位置，配置状态栏中的△表示在极少数情况下衬垫不能集中到目标位置，配置状态栏中的○表示能够将衬垫集中到目标的1个点上。
如表1所示，在用粘度不足10mPa·s的1-丁醇、2-甲基-1-戊醇、2-庚醇、3-庚醇、1-辛醇作为溶剂的场合，液滴到达基板后该液滴就飞散，与此相随，衬垫也在基板上飞散，其结果是不能将衬垫散布在规定位置。另外，特别是在用粘度低的1-丁醇、2-甲基-1-戊醇、2-庚醇的场合，液滴往往在滴下的过程中分散，不能滴至规定的位置。另外，在使用粘度虽在10mPa·s以上，但不足20mPa·s的溶剂的场合，在极少数情况下液滴往往在打到基板后飞散。
另外，在用粘度超过40mPa·s的1，2-丙二醇、聚丙烯乙二醇(平均分子量550、750)作为溶剂的场合，液滴不能稳定地从喷嘴喷出，往往滞留在喷嘴端部。另外，在使用了粘度虽在40mPa·s以下，但超过35mPa·s的溶剂的场合，在极少数情况下液滴往往不能稳定地喷射。
另一方面，在用沸点不足150℃的2-甲基-1-戊醇作为溶剂的场合，溶剂的蒸发速度快，不能将所有的衬垫集中到规定位置。可以认为这是由于虽然通过对基板加热使溶剂缓慢蒸发，最后集中在1点而蒸发干净，但是，当在1个液滴中存在多个衬垫时，尽管随着基板表面上的液滴减小，衬垫也在被包含于液滴中的状态下而集中，不过因溶剂的蒸发速度过快，各衬垫不能集中到1点的缘故。另外，在溶剂的沸点虽在150℃以上，但不足180℃的场合，在极少数情况下衬垫往往不能集中到1点。
另外，用沸点超过250℃的1-十二烷醇时，蒸发速度过慢，在本实施例的过热条件下，不能使溶剂充分地蒸发。另外，当进行过度加热时，虽然能使溶剂蒸发，但加热往往对基板产生影响，特别是往往发生取向膜的取向性变坏。
由以上结果可知，在衬垫的设置工序中使用喷墨装置的场合，作为喷墨用溶剂，粘度为10mPa·s～40mPa·s，沸点为150℃～250℃时，在不对含有取向膜的基板产生损伤的前提下使稳定的液滴喷射以及衬垫的定点配置成为可能，另外，可以知道，最好使用粘度为20mPa·s～35mPa·s，沸点为180℃～250℃的溶剂，果若如此，可以使液滴喷射特性更加稳定，并且能够使衬垫配置的确切性更加提高。
〔第2实施例〕使用具有图1和图2所示的喷墨喷嘴300的喷墨装置进行衬垫设置。
在本实施例中，设喷嘴的直径为20μm，一次的液滴喷射量为约20皮升，并且设该喷嘴300与基板(下侧基板102)之间的距离为800μm，在表1所示的各种溶剂中散布衬垫，调查了喷出时从该喷嘴300的喷射状态、液滴到达基板后的形状等。为了调查聚丙烯乙二醇的粘度与喷射状态的关系，使用改变了平均分子量的样品，未进行衬垫配置状态的确认。另外，在喷射后使基板在60℃下干燥3分钟，对溶剂蒸发后的衬垫配置状态进行了调查。另外，基板是图3所示的与下基板102有关的基板，是形成了电极和取向膜(膜厚500)的基板，所使用的衬垫是直径为6.0μm的树脂制球形衬垫。
另外，表2中的关于液滴喷射特性和衬垫配置状态的结果(×、△、○)意味着与表1有相同的内容。
如表2所示，在用粘度不足10mPa·s的1-丁醇、2-甲基-1-戊醇、2-庚醇、3-庚醇、1-辛醇作为溶剂的场合，液滴到达基板后该液滴就飞散，与此相随，衬垫也在基板上飞散，其结果是不能将衬垫散布到规定位置。另外，特别是在用粘度低的1-丁醇、2-甲基-1-戊醇、2-庚醇的场合，液滴往往在滴下的过程中分散，不能滴至规定位置。另外，在使用粘度虽在10mPa·s以上，但不足20mPa·s的溶剂的场合，在极少数情况下液滴往往在打到基板后飞散。
另外，在用粘度超过40mPa·s的1，2-丙二醇、聚丙烯乙二醇(平均分子量550、750)作为溶剂的场合，液滴不能稳定地从喷嘴喷出，往往滞留在喷嘴端部。另外，在使用了粘度虽在40mPa·s以下，但超过35mPa·s的溶剂的场合，在极少数情况下液滴往往不能稳定地喷射。
另一方面，在用沸点不足150℃的2-甲基-1-戊醇作为溶剂的场合，虽然由于加热温度低达60℃，能够将多个衬垫集中于1点，但是，这时因粘度低，往往发生液滴飞散等不能使衬垫配置在规定位置。另外，在用沸点为118℃的1-丁醇的场合，尽管加热温度低达60℃，但蒸发速度仍然过快，不能将衬垫集中于1点。另外，在溶剂的沸点虽在150℃以上，但不足180℃的场合，在极少数情况下衬垫往往不能集中到1点。
另外，用沸点超过250℃的1-十二烷醇时，蒸发速度过慢，在本实施例的过热条件下，不能使溶剂充分地蒸发。另外，当进行过度加热时，虽然能使溶剂蒸发，但加热往往对基板产生影响，特别是往往发生取向膜的取向性变坏。
由以上结果可知，在衬垫的设置工序中使用喷墨装置的场合，作为喷墨用溶剂，粘度为10mPa·s～40mPa·s，沸点为150℃～250℃时，在不对含有取向膜的基板产生损伤的前提下使稳定的液滴喷射以及衬垫的定点配置成为可能，另外，可以知道，最好使用粘度为20mPa·s～35mPa·s，沸点为180℃～250℃的溶剂，果若如此，可以使液滴喷射特性更加稳定，并且能够使衬垫配置的确切性更加提高。
〔第3实施例〕使用具有图1和图2所示的喷墨喷嘴300的喷墨装置进行衬垫的设置。
在本实施例中，设喷嘴的直径为12μm，一次的液滴喷射量为约4皮升，并且设该喷嘴300与基板(下侧基板102)之间的距离为800μm，在表1所示的各种溶剂中散布衬垫，调查了喷出时从该喷嘴300的喷射状态、液滴到达基板后的形状等。另外，在喷射后使基板在150℃下干燥3分钟，对溶剂蒸发后的衬垫配置状态进行了调查。为了调查聚丙烯乙二醇的粘度与喷射状态的关系，使用改变了平均分子量的样品，未进行衬垫配置状态的确认。另外，基板是图3所示的与下基板102有关的基板，是形成了电极和取向膜(膜厚500)的基板，所使用的衬垫是直径为3.75μm的树脂制球形衬垫。
表3中的关于液滴喷射特性和衬垫配置状态的结果(×、△、○)意味着与表1有相同的内容。
如表3所示，在用粘度不足10mPa·s的1-丁醇、2-甲基-1-戊醇、2-庚醇、3-庚醇、1-辛醇作为溶剂的场合，液滴到达基板后该液滴就飞散，与此相随，衬垫也在基板上飞散，其结果是不能将衬垫散布到规定位置。另外，特别是在用粘度低的1-丁醇、2-甲基-1-戊醇、2-庚醇的场合，液滴往往在滴下的过程中分散，不能滴至规定的位置。另外，在使用粘度虽在10mPa·s以上，但不足20mPa·s的溶剂的场合，在极少数情况下液滴往往在打到基板后飞散。
另外，在用粘度超过40mPa·s的1，2-丙二醇、聚丙烯乙二醇(平均分子量550、750)作为溶剂的场合，液滴不能稳定地从喷嘴喷出，往往滞留在喷嘴端部。另外，在使用了粘度虽在40mPa·s以下，但超过35mPa·s的溶剂的场合，在极少数情况下液滴往往不能稳定地喷射。
另一方面，在用沸点不足150℃的2-甲基-1-戊醇作为溶剂的场合，溶剂的蒸发速度快，不能将所有的衬垫集中至规定的位置。另外，用沸点超过250℃的1-十二烷醇时，蒸发速度过慢，在本实施例的过热条件下，不能使溶剂充分地蒸发。另外，当进行过度加热时，虽然能使溶剂蒸发，但加热往往对基板产生影响，特别是往往发生取向膜的取向性变坏。另外，在溶剂的沸点虽在150℃以上，但不足180℃的场合，在极少数情况下衬垫往往不能集中到1点。
由以上结果可知，在衬垫的设置工序中使用喷墨装置的场合，不管喷嘴直径和喷射如何，作为喷墨用溶剂，以使用粘度为10mPa·s～40mPa·s，沸点为150℃～250℃的溶剂为宜，在不对含有取向膜的基板产生损伤的前提下使稳定的液滴喷射以及衬垫的定点配置成为可能，另外，可以知道，最好使用粘度为20mPa·s～35mPa·s，沸点为180℃～250℃的溶剂，果若如此，可以使液滴喷射特性更加稳定，并且能够使衬垫配置的确切性更加提高。另外，喷嘴与基板的距离不一定是800μm，可以在500μm～2mm之间。还有，对所使用的衬垫的直径没有特别的限制，但最好是喷嘴直径的约1/4～1/3。
〔第4实施例〕在与第1实施例相同的条件下，利用具有喷墨喷嘴300的喷墨装置，将如表4所示采用2，2’-二羟基二乙醚(粘度30.0mPa·s，沸点245℃)、3，5，5-三甲基-1-己醇(粘度11.1mPa·s，沸点194℃)作为溶剂的散布有衬垫的溶液滴在基板上。之后，在表4所示的各加热温度下加热3分钟后，对衬垫的配置状态和基板上的取向膜的取向状态进行了分析。
在使基板的加热温度为60℃、150℃的场合，能够将衬垫设置在规定位置，另外，基板上的取向膜也不会发生取向不良。另一方面，在使基板的加热温度为50℃的场合，溶剂的蒸发速度过慢，当用粘度为11.1mPa·s的3，5，5-三甲基-1-己醇时，利用50℃下的加热，粘度更加降低，除溶剂蒸发以外，溶剂还在基板上扩展，往往与相邻的滴液接触，以致衬垫的配置位置发生偏离。另外，在使基板的加热温度为160℃的场合，取向膜的取向往往发生混乱。由以上所述可知，散布有衬垫的溶液滴下后的基板加热温度最好为约60～150℃。
如以上所述，按照本发明，由于在对电光器件用基板设置衬垫的方法中使用了液滴喷射装置，作为使衬垫散布的溶剂采用了沸点为150℃～250℃、粘度为10mPa·s～40mPa·s的溶剂，所以能够正确地将衬垫设置到规定的位置上。
权利要求
1.一种衬垫设置方法，它是用液滴喷射装置将衬垫设置在电光器件用基板上的规定位置的方法，其特征在于包括用上述液滴喷射装置将液滴喷射到上述电光器件用基板上的工序，该液滴是将衬垫悬浮在沸点为150℃～250℃，粘度为10mPa·s～40mPa·s的溶剂中的液滴。
2.一种衬垫设置方法，它是用液滴喷射装置将衬垫设置在电光器件用基板上的规定位置的方法，其特征在于包括用上述液滴喷射装置将液滴喷射到上述电光器件用基板上的工序，该液滴是将衬垫悬浮在沸点为180℃～250℃，粘度为20mPa·s～35mPa·s的溶剂中的液滴。
3.如权利要求1或2所述的衬垫设置方法，其特征在于包括在将上述液滴滴下后，将上述电光器件用基板加热至60℃～150℃，使上述溶剂蒸发的工序。
4.如权利要求1至3的任何一项中所述的衬垫设置方法，其特征在于在喷射上述液滴的工序中，仅在上述电光器件用基板的非像素区滴下上述液滴。
5.如权利要求1至4的任何一项中所述的衬垫设置方法，其特征在于作为上述溶剂使用不含水的溶剂。
6.如权利要求1至5的任何一项中所述的衬垫设置方法，其特征在于作为上述溶剂使用从1-壬醇、3，5，5-三甲基-1-己醇、1-癸醇、1-十二烷醇、1，2-乙二醇、2-丁烯-1，4-二醇、2-甲基-2，4-戊二醇、苯酚、2-吡咯烷酮、2-苯氧基乙醇、2，2’-二羟基二乙醚、2-(2-甲氧基乙氧基)乙醇之中选择的1种溶剂，或将从中选择的2种以上的溶剂进行混合的溶剂。
7.一种电光器件的制造方法，它是在一对基板之间夹持电光物质而成的电光器件的制造方法，其特征在于包括利用权利要求1至6的任何一种方法，在上述基板的至少一方设置衬垫的工序。
全文摘要
本发明的课题是，提供可以更加正确地将衬垫设置在规定位置的衬垫设置方法，以及采用该衬垫设置方法的电光器件的制造方法。本发明的衬垫设置方法是用液滴喷射装置将衬垫125设置在电光器件用基板上的规定位置的方法，其特征在于，包括用液滴喷射装置将液滴喷射到电光器件用基板上的工序，作为该液滴，采用了将衬垫悬浮在沸点为150℃～250℃，粘度为10mPa·s～40mPa·s的溶剂中的液滴。
文档编号G02F1/13GK1470921SQ0314720
公开日2004年1月28日 申请日期2003年7月9日 优先权日2002年7月10日
发明者百濑洋一 申请人:精工爱普生株式会社