专利名称：制作铁电存储器件的方法
默令贓
本发Bj^及一禾怫m电^^件^^法，其中^m^fm^电^ii单元 的p辆j,劍转敝限定微^^^薄膜的图案化的^^被图案働层中，(^与 期树侧繊鹏s^M^a麟—和第j且顿，以便繊电械单織限敏
第1敏及与第电t鹏^Xtf司6^f^才料中，由此可以^g存储单^rt及化
扰态，mt将适当的i^頃與剤诸单殆sgM^敏^e;u^mi!Ma极4m
态，其中，i^Wf牛形成，織船。
背景狱
3fi^3W价^M易弯曲的^i^ift息^^^禾沐示志的需^^Wfe，伊投口 皿中^^的防伪^^，微礎。这种剤it^件产品应当iEi:并易于与^^印刷 娥誠^bS相敏鹏当由不鋭且艘,斗来构成，并且需要最少的处 理步骤。为了ffi^中^ffl， M的Ji^种^^l件应^W坚固并且不易于穀iJ W^ 、 ^^柳其它环鄉駒向。在够綱中，觀的是剤i^:种械 器件中6^息育激电写入、读出、,瞎写入。
一种已证^^:的时间周期内可S^的观誌6t^f诸单元^T^W^材
料的。尽 * ^关^^^ 电^^^1#^，但其中的多数都是涉M 微电薄膜称或特淋寸底的，创l、挪需要^^鹏的M^法，通常过于昂贵并
且不翻T3^W^]鹏贓。雜，美国彌申请2画0209,420A1鹏 一种用 ,电 单元6^法，其中^t及^l的。i^^OT高温下真空中 金属的蒸发作用。另外，其衬底限制在硅片上。这种公开在美国专利申请 2004/0209,420Al、国际公布^P伸ifW098/58383禾0WO02/43071中的用，^
储单溯^m呈tW^向^^i^細織禾,鹏法，鹏方髓要 3(xrc—4(xrc范围内的高温，i^尤导致了基于聚^t)的^^于纸,寸底盼M^ 重的退化，因此导致餅翻jm
^^来，基于在特定的铁电聚溯中以有微才禾4^为剤^)质ra^J禾嘅 件BI鹏股tH创正。在tt^i^趣的慰陛^z:^m性衬紅并且易于简辨吠，,mrn^件。*m涉彪^a^^i件，在剤i^本身中不需要 有源电子元件。#^存储单元麟以％#^繊，其中^fi^/质伊收微^^
位h对电助司，并_§313±将敏^ ^电 ^微测嶙的导体来访问游
储单元。；§#可以位于#( ^啲外围^(蚊附娥中。 ^^种鹏，每 个^ 件可以包含从賴^^ 单^13,柳,中的几丽个单 元。 一幽tf^元体m^嘮同的p转鹏伊洳图i—3戶标。
帝，^^在:^tffl的i^中帝跑g^^^具有决定性的M意义。招见
存的关于基于有t/l^fil^fW^中， ^注于用 ^例如5 ^禾睥元电
鹏^/的印砂鹏。
美国锅胂请2003/030，746Al么^|^种^ (牛，该激，:^"第1胖口
第二侧,一^f,^i膜，其中戶;^^一^^^/膜^^n^Mij;第
一針电导体絲雄目并W^至'FM^—特顿鋤层的戶;MmHllh
(^m二針电导体，辭预目并^m至驴;^一特w^层的f^
二侧并^^hS相正^tW^至iB^—多个电导体上，其中电荷停留^^M有
Ifl^l让。戶腰求的是导电图案可以魏墨印刷让的，但没^IS其它的印刷肢 术。另外，所m^^^mOT了^^M啲特Ei^^)层并Mi停留在
繊l让的电荷来写入信息，并且该^^t^失性的；信息在不供电时就会丢失。
国际公布彌申ifWO02OT06Al么VM中电子条舰马，繊剤诸了电可读 制邻马的条鹏顿各，其中谢^W由聚^I印刷^S^被限定的；以鹏口，其 ^^至1]^:鹏顿各上以允许条舰马读取掛方问剤诸在该条 顿各中舰邻马。尽 t^是印刷J^f^，顿万印刷的电子^#不;^ 敏才料的，也不是可窮的。
印界仿法审i腊有机电子e^在i^iif^t和公司6WW,了。多 ^ 了4糊有树浙斗的特顿14^势贴力能^l件。^^^鹏晶條的印刷已 经^Gamier^A^^的[GamiCT， F., R Hajlaoui^ et al., "All"polymer field^effect transistor realized by printing techniques", Science, Vol. 265, pp. 1684^1686 (1994)中公布了。 ^j ^ 中，鹏了怎祥舰印鹏机导柳特柳料鄉職M^鹏。而且， 齊尔这种器件可以{顿不同的导喊^*^腊，伊投P^S、鄹比咯禾骤嫩。
^t写到，滅姬BS鹏e^l31印刷M^M^^t才料中律l腊。这种驗出高电
繊出6^^f抖寺点对例如弯曲舰曲附鹏p工是不鹏的。这种以繊em^
^有喊性制牛，开启了通向大鹏、^^w电彌TOm ，在i^m 中用于印刷 乎改离了機的対,卿仿法，但臓舰一濯电预 懲M^不鹏舰^^鹏斗。
更^t的印驗法附顿泡OHebne^AM[Hebner & al., "Ink-jet printing of doped polymers for organic light emitting devices", Allied Physics L^tos 72(5),印， 519-521(1998)]中樹随。储齊尔'喷墨印刷用于離繊图鋤^6W^^ 膜。具有fl^, 6 (C6) 、 l繊,47 (C47) 1^M罗红,鹏种聚 乙;IW^ (PVK)鹏发出的光与M^繊,雕溯殿鹏。具有低魏 極的^T^t也^iM^墨印滞im^只^^C6 ^PVK^i腊。 "^JW 臓娜皮印刷以形成范鹏150-200拜大小0^，并具有40—7Qnm的厚度。 在公布舰法中只铺源鄉层是被印刷的，而^1敏MM物理真空旅肪法 娜只的。
舰印刷方法律隨的其它器件由Andersson等人顿为"Active Matrix Displays Based cm AllOrganic Hedrodiemical Smart Pixels Printed chi Papef5' [P. Andasson^ & al., "Active Matrix Delays Based cm AlK)^ganic Electrochemical Smart Pixels Printed can Paper", Adv. Materials 14(20)， pp. l俳画(2002)〗敝章中樹躂。储印刷导顿 ^i^以形成i^t、娜器^^^件。印刷的层JiM^加印届i鹏减去
PEDOTPSS的印刷也B^在带鹏于M传麟的换能器中4顿了。这已由 Nilsscm等人的[D.Nilssoj^ & al.， "An alkffganic sensOT~(ransistOT based cm a novel dectrodiemical IransducCT coicq3t pinted electrodiemical sotsots m p^or." Saisas and Actuators, B 86， pp. 193-197,(2002)鹏了。
另一种利用印刷技术制造电子器件的方法由Huang等人的[Z Huang & al., "Selective deposition of conducting potymas cm hydroxyl-teiminated surfeces with printed monolayers of afl^lsiloxanes as tarplates." Langmuir, Vol.13, pp. 6480 6484 (1997愤随
了。自组装的单^ 层被印刷以用m^只导电的聚^i^糊，。i^it^导电 的聚，自身^^皮印刷。
美国锅ii^No. 6,686" 1 (Asakawa， ^fil^Sdko Epson Corp.)么^^种1T-1C ,电# (牛。喷墨印刷用于流I^机铁电薄膜1M^铁电^^顶部献及。 另夕卜，美国专利申请号No. 2004AX)14247A1 (Natori等人，,给Seiko Epson
Corp.)涉及一禾ra^gP车寻;W^Wf^P转iJ，其中作为陶^Bin^,甜才 料售鄉13 墨印刷鹏姘辦后形成图案。
驗，美国辨(J申if^No. 2002/0142491A1 (SWmoda等人，mt^Sdko^son Corp.)涉观e薩鄉特^^fW鹏舰，其中繊^fil材料禾嗽电噼 翻顶部顿以喷墨印席防絲印刷。
可以看出现有狱中关滩电^fW^印刷局限"BSl喷墨印席im^赚献才
料从而 1^散化的电介质,电电織。在一些瞎况下铁柳料的喷墨 印刷是与條照鹏版禾鹏'JM^成图毅目齢的，这种 #有麵吏铁柳 料自身的印刷断具有附if可^^S^化。招^"种瞎况下，在帝微^ 中所
需要6^鹏,成图案的不同的方法，姆见有柳万 ^,鹏魏^^ 高昂肛艺鋭，财,以穷JWttl:的^^。
因此需要一禾幗单艘鹏隨可觀的非易失性剤^^m^法，使该器件能 够容易地与磁标志或鹏卿JM^^bW:身相敏而且，这禾幗单便 宜6^ft息^^领會嫩ii^靳鴻的繊,。
本发明的主要目的繊判W^、 MtS^腊^tK牛胁法，駄^iiffi
衬底范围内游只导扭才料柳^tn/m^才料(牛親i^^^^，)的图割，薄膜
来鹏# 件，臓衬/^^，但不限于，刚f4^鹏式附蔬，标叙鹏 材料。
本发明^ft^目的^f并JS^5^幹MR辦才料。
i^目的^fr^辦ttiE禾Ptt^将M^^本发明W^^穷见，i^"法的 imiE^fet^飾步骤a)将第一印刷JS7Wito至瞎一印届i隨中，并将第一印刷 ^MD頃附底，以便在其上印界i傑一敏媚，从而形職^a电极，b)将第二印
布ijM/鹏口至瞎二印布i驢，并将第二印砂^mij口至瞎一賴媚，并在其上印刷
图案化的棘图案化繊诸林料层，贩c)将第三印界i膨幽至瞎三印刷臓， 并将第三印刷MMti暖'im^层，并且在其上印刷傑二制鹏，由化步賜)，b) 和c)的一个或多个中的印刷ffijl喷墨印刷、丝网印刷、柔M印刷(flexogram printing) 、 M&印刷、静电印刷、软平版印刷、'm印刷M^印刷，與扭"Kt
更多繊nt^;将^ff附/Al^禾腰求中变得显而易见。
—种印刷工貌以用于剤i^f牛中的所有图案或层，或者可以《顿两种鞭多
种不同的印布i江艺的组合。
为了旨鹏进行高速印刷，所有印刷的图^1的千謝间必领尽可慰顿。为 此，本发明的另一方面^f顿印刷衝K細于导电敏及图案^&m于可裕M^ 间内千燥,^^i层或图案，允许 印砂]# (牛。另外，^u中其它的
鹏靴学要鹏MMf寺印刷,料;tt续现，以鹏共一种可行的，嬾的 印屈江艺。
剤繊牛可以在^M^IM^，識印刷J^^才料上。可舰，魏 膨卿鹏鹏i^^h^繊^h。
本发ej^在TM^^性^i例和实例并参考以下附图的讨论中更详细ifea 4 述，在图中-
图l添出了单一糊单溯"il^j， 图lb—d^出了(5转弹^]实例， 图2a—b示出了^gp车寻址的单^p转U,贩 图3示出了^gP车寻址单元WSS顿。
TM鍋于,本发明鹏细iM^—些相鄉定。
术语"穷掌件"，力0 ^:发明中洲顿的，指的是一种'自穷對才料"，以便与 可以S^^^掌件^h但其本身不是自穷拿的'层"相区分。它也包含樹可必变的处 ^盱印布胜 #(牛±^层或驟& ^占附的层。
术语"图案，，^ ^*发明中所4顿的，指的^~种非,的层,它可以，、
肪形、圆中糊H中形域倒喊柳随丰;im
术语"层'，女,^^发明中洲顿的，指的a^涉及伊咖穷對糊实^M 怖wm
术语"機印布iJX艺'，女P^^发明中洲顿的，^S但不局限^f^墨印刷、 凹版印刷、丝网印刷、^S印刷、MS印刷、epi己印刷、照相,印刷j，辦職
鹏虹艺。
术语"导^^激'，女0 ^:发明中洲顿的，指的是有W^^)，创l、惧有 凍)-共驗电子織(仔牧口，双键，芳香环鄉^f^H键)并且它们的导
电特性不受环境因素例如相对湿度的影响。
术语"透明盼'，如在提示本发明中洲顿的，指的具有传播至少70%的入射光而不扩散它的性质。
术语"柔性"，如在提示本发明中所使用的，指的是能够遵循弯曲物体例如鼓的曲率而不会被损坏。
PEDOT，如在提示本发明中所使用的，(3， 4一乙^=^ )。
PSS， 如在提示本发明中所使用的，表示 (苯乙懒鎩)赚(石棘乙烯)。
为了帮助理解本发明，这里将简要描述一些示意性存储单元结构以及形状，这
是因为它们特殊的相关性将有助于实现本发明。
所讨论的存储单元由一对电极构成，它们邻近大量的电可极化的存储物质，其典型地采用铁电的形式，并且典型地采用如图la,以平行板电容器的结构。
这种简单的结构与传统的存储器技术形成强烈的对比，并且在低成本制造方面的价值是引人注目的，在传统的存储技术中，需要一个或多个晶体管或其它的特电
的元件与敏单湖关联。在下面，上面所提到的基于简单结构的存储器件被称为“无源存储器件”。
多个存储单元可以在公共衬底上并排设置，每个单元具有如图1a所示的一般结构，其其中^h单湖电访问JMM^iMt献及中^^^^^势鹏。 取决于鋼，^^fit单元的大小、^t、空f曰T^布和^ii^g可以被； 一些 实例如图lb—d戶际。图lb示出了3蚊单元的附iJ， ^h单^^有繊i齡电极 的^ 。 ffilg^^的^^T以有，形式，伊放n^t公辩寸底,鹏垫
上。图lc示出了梱鹏皿， <砂万有的底部敏 %^￡~^以便陶疏^^
度。图ld是变型，其中^h单^a在导^^面上，其形成了m^单元中的公瓶
部电极，并且其中^h单^^^自B^te^a的顶部献及。这f^B与图lc
戶;f^j糊以，购图ib所示的相比，需要较少的连接电路。
本文中的衬底典是柔性的，尽管它不总是牌这种弯曲的状态。它们可以是电绝缘的，例如是纸张、塑料箔、玻璃、木板、 ^樹可^^材茅卿复合材
料。可替换地，创i'诃以是导电的，例如^c有用以防ih^mn^^凃层的織箔。
在给定衬底Jh^體的存储单元可以由夕卜部电路通过衬底上的机械接触焊垫来访问。可榭射也，衬底上可以组合有源电路，或者在衬底本身上就具有有源电路。如果衬底是柔性的，则电路将位于基于硅(非晶的，晶的)或者有机材料(聚合物
魂,)的薄M^柳料中。
^^^1:剤诺单，瞎况下，如图2a—b戶;f^a5柯寻址6^单对转i將 樹共一种对與虫单^^于写入、读出^^^f^电访问,单紧凑6^g。
这种剤繊fmsi被称为^gp機件，这是因为在寻鹏作中TOOT预娇
储单元开和关的开关晶膽。辭上，这种剤繊牛具有荆f^r型献M^—图 案2，该图敏于衬底1 ^h并由铁Wfit浙^:局层3所鶴，戶;M铁电^t才 料也f^^^， ^±$1/共另一 職4,其包含雕^<^型敏及，但
其方向与第一 1^，隨于形^iE^jwa^。铁棚诸材料舰以作
为非^^也鹏图魏顿。第—顿图案嫩呵以被iA^鹏轲寻址鹏诸
器f糊雜而第二电极图駒被认为是它^t^在鄉o^a^'、司^m
在剤诸材料层,车中職新诸单元5。 ^# 件#^鄉车的顿3^目
鹏的針剤诸单元。
i
^S^^)S^J^Ali^^面是它ff皿了如图3 f^^M^部J^！ 叠剤娜例糊几会。这1B^J以辦^1非常大0W^密度，并且可以在
小占輕间J^赃小懒只中穷鹏^W^肯叻。
电极可以是导蜮特电,才料，其通常可iM31T泛6^糊七学的手服 固才^^相働B。导电的和肖电辦才料可以被悬浮^ 以形，水，伊拔瞎于
导^S (例女n^^^斗)、导^kSM、导^M^4fc^、碳黑、肖电6^
氧,呐在导电鹏丰/l^t/ (娜R^^、 PEDOT)。
^fn单元中^^^t才料通常是有机铁^t才料，例女o^m的聚^，如聚偏氟乙
烯(po一ylidene fluoride) (PYDF)、赫共微臓(偏氟乙膝三氟乙烯) (poly(vinylidaiefluoride"trifluorethylene)) (PVDF誦TrFE)。其他实例是具;^虽极化 e^J^Mj聚溯，女0^條乙烯(polyvinylidene cyanide) (PVCN)。可以4顿共 繊、三^^^t^混^t)(仔故晦聚甲基丙J^甲酉驴MMA) ^a，TM料^;化。 ^^本发明，两个敏廳，iM媳图案化的电t^I以及铁电^t层，3CT^ 统的印励JXS^实现，包括但不限 墨印刷、凹版印刷、丝网印刷、te^印觚
,唰、印记印刷、照相凹版印刷贩辦nm)^虹艺。可iW剤繊柳所
有图^lf顿一种印界扛艺，也可以4顿两中颇多种不同的印界江艺的组合。
印刷的图案的最小尺寸数驴;OTf的印刷工艺的限制，还啦含印刷,鞭的最
小尺寸，^:^X面印刷中，印刷附鞭^^前印刷的图案的顶部te印刷的图^^6^ftt间的最小距离。最小实际尺寸也由用于写AI喊出信息的电子控制 单^t^^。信息,A^喊出JiM引^^i^件与适当的电子控审弹^ra虫 来实5MJ，其中该电子鄉俾，于驱辦P^溯M^单MJ^态。为了简41^ 條电子控鹏赴的定位，^Jf鶴要足够大并且被浙了明显的距离，以便 最樣电子控鹏赴^# (糊辆准。
在^§本发明^# 1糊带腊中，要求在制及、！3^布线、焊體中4顿的 印刷恃甜才购标,理禾W^要求相f拾，以^J见可印布胜。鄉决于^^f中 情况下麟的印布'江艺，^i常繊减、溶度鄉激争性，贩与赫、毒性 等相关的问题。洲OT,鹏千激争W^i^发性糊艮;^o鹏'Jin:艺中能 謝寻6^M。 ^#在高容釘艺中、伊放0^,糊豕舒琳礎的审赔中是丰
预是鹏本发明 ^鄉例鹏 ^0 趣
，一^S例中，铁Wfi^W^^^^吓串'^^骤。
赂衬底W^m繊糊层。,^^J层来鶴200mm直^mr日片。 柩 仲，鹏総来自有鹏IJW^偏氟乙膝三氟乙烯(PVDF-TiFe) 51^磁^1。 Wa^M户中在12(TC下热Jl火20^中层厚度。^f形成的 衬ah,碟一献廳。
il3i^衬驗面上喷墨印刷J^船肿包含REDOT-PSS (聚乙^^1 -鄹銶乙烯),孚鹏导顿^M体。喷墨印刷由Xaa]jetAB鹏i鹏印厢鹏 誠。印席,率为200dpi，并且印刷M^0.1m/s。形^i"最/J^iE^寸为170拜 的底部敏及图案。在印厢i战，底部敏^^ *5±在100"下退火2併中。
織一敏媚的顶部印刷跌^^I层。1^1Ji^偏氟乙膝三氟乙烯 (PVDF-TrFe)共繊。它纖于竊'MS^ 1.07,00ml,鹏乙酯中。溶液M
臓,^^麟有1::繊:其适^ 微墨印刷。、^ :被印
刷至iJf^一敏MjM/^i:。来自XaagetAB的喷墨印称關^t行印刷。印刷MS 是0.1m/s，印刷J^Jf率是200dpi。在印刷卜层^，将雜10CTC下进行15秒,啲 干燥，以^^翻。然后与第1^^l层—样，印W二铁^^J层，并 也^^S^相同^B1W。 ^tfc方法^3只110nm的总厚度。
在女鹏成嫩 ±^碟二献媳。雜離滅鹏糊顶部顿。
il3ffi衬綜耻喷墨印刷J^船K中包含PEDOT-PSS悬m^导W^ 液体。喷墨印刷^XaajjetAB戶賴i,印刷]^^誠。印刷J^Kf率为200dpi，并且印 刷M^0.1nys。形鹏有最d^W^寸为170nm的底部电极图案。在印称战， 底部 ^ 1:在就下退火2併中。
附寻到繊棚W^鄉娜户中^S就下退火20併中。
实例2
鶴二鄉例中，首先两层(底部电极禾嗽柳诸层)娜实例1戶/i1^0^ >繊隨。顶部敏Sl在i^l例中M31不同鹏墨印砂仿^im {|^包含不 同的导El^^^才料。W厶^(t墨印席l肌，HPdeskJet980cxi，用于印布顺部电极，
其中由导电的^^M体来榭戈柳帆中原配的聊im^。在^M例中，导顿
，液体是商处可用的SPanipol Qyl瞎的名为PanipotW的^K航它包含聚 繊刺吏化爐才料呈鹏导电性舰衡熟但仍旧是可鹏盼溶液。顶部电极
图^M预的M7j^来印刷
—Pan^x)l-W ( 10%溶液)10克 一PSSH (5%溶液)5克 一表面活性齐OZonylFS"300 (30%溶液)0.4克 —去离子水15克
印布i战对m^行千^W，将^t勵0^户中在驗100。C下干燥30併中。 所印刷的图案包含具 :径0.5111111的顶部电^^。 趣
输三^M例中，铁繊由柔M印刷(flexoprinting)来^IRo底誠W页部电 丰廳由上面实例1所 ^^繊1腊。^^部敏BM^， S^4寸底以湖/嗽 ^^m材料。繊棚诸材料包含共^t^偏氟乙膝三氟乙烯(P，-TrFe)， 其具有VDF: TiFe单体的75 : 25的摩尔比率，并溶解于丙二醇甲醚醋酸酯 (prq))denegjycolmonomdhylelheracetate) (PGMEA)中。
離^^W^W00ml 10g翻。I^MMS^3ll^W为止。 W^職IEX細于印砂跌柳斗。紅具J^"种鹏PnntCoatlnstrumentsLtd生 产^RK ESlPROOF^t工具。j顿具有 LS木BSZ于9pm妳S 度的网im (anilox roller)，将聚^)层印刷胜衬肚。聚^l^液!娜咗网鄉的顶部，并招顿
刮刀(doctorblading) ;tB， ^ti^te^^^面上^H，iJiM^h。粘性 ,嬗在网^^刀^Ji，舰将^&A4塑料透mt^W繊繊，然后 招麯:^鹏/^hl^i^部敏及。从而， ^^^ 離合衬底。 俯靜J6^^fe^働P^:户中在135'C下退火5併中。顶部制及臓上面的实例 l所^^J^繊i腊。女nitt^ 形^^^J成印刷嫩Wft^件。
实例4
綠四^M例中，铁^MM^凃^3只。第j,在 ^例中的底部甜及 娜^IW l中戶; 6^ 隨。
^，赂衬底以用于游嫩喊
^m材料。繊电剤诸材料包含共 氟乙膝三氟乙烯(PVDF-TrFe)， 欺柳F: TrFe单働70: 30的摩尔瞎,并離于丙Zj享甲醚繊旨(PGMEA) 中。,6^MJ^S^则lg翻。
1^席的聚^ 为止。 然后溶漱劍0.45Mm孑献小的过滤S6m鹏以》# 紅具C^OasOhlsan
牛趣30-6070")戶瀨出^M气，将聚^^ ^至喊部电1赚面;^±。氮气的
压力被纖'J3巴(bar) 0鼓,衞駒产生了激跟，雜然J^^h在5(TC 下干燥30秒。平iffl^TO^被650A， ^A有的最小—^:范围为550-790A。
为了从凝仲完^fl喿繊，#^高结晶度，呢寻到的m^t働q^户中在離
120。C下退火20併中。
顶部电禾^ 丄面^i例i戶;imm^娜'腊。如顺万形^^t^成印刷 的铁*# 件。
实例5
織五实施例中，铁^MM^i^^l5游只。第l,在该^M例中的底部 电丰M^M i中所^6^^隨。赂衬底,于源嫩
顿^mt才料。繊糊樹樹包含共W^偏氟乙膝三氟乙烯(PVDF-TrFe)， ^:^VDF: TrFe单鹏70: 30的摩尔比率，并繊于丙Zj享^l^繊旨(PGMEA) 中。離^^^WS^100ml5g凝lJ。 MtMS^有的聚^M 为止。 然蔬游劍0.45Mm^g小断鹏小舰滤^m ^ ±纖鹏 在衬驗面上鹏。该瀨妨辦,一禾條，1^条戀嫌薄线，以用于粒在 表面上纖働可控的溶液鹏度。斑機^JiR^PrintCoatingLtd所 ^名为 KBar,條。这种^^繊鹏寸驗面上，然后濰條^ 胸， ^体向前，并在该条的后面遗留下控带M^的駒妳鹏。 f鹏的厚麟由凃
i^上臓的窗，啲。在i^^仲4婉的翻于6cm3/m2 :度6<]^ 。涂 驗髓衬/^ffi以烦0.5m/sa^M^动。戶膽到的^W^围S^中被干 燥，,舰磡娜户中^Jt匿下退火20溯。顶部献^lh面鄉U 所^^J^繊i腊。女Pitt^^fiSM(糊碟卿J繊Wf^l件。
正鹏M6^:人员将容易鄉的鹏本发日BI^—种用种麟定的无 ^1寻址臓电# (鹏法，其細,法彻職條了传统的鹏瞎预 m^成像并以嫩呢成甜B^图案化，而同时通常^a^^^^W机铁甜才 料盼薄膜^^法。ffi^M^J，方法中，在己M只^WIW^电新诸层上游只 并形鹏部制鹏图案已证实是非常,的，这是因为对^f^层鹏害駒向是由提
供顶部电WMaii^m由于本发明敏基于印布'江魏实现铁^ 件，W:肖^^I方法和^K^才料之间的不兼容性。鹏本发明所执棚印 滞防法已被证明是非常灵活6^r法，它为广泛<糊适当辦#111(共了机会。而且， fetmi^3层图案化时，印刷鹏S^teffi于源P^^层，例如电禾廳。有益 地，印席何顿于大、小娜莫的面积J:,并且f^^卖^^弑^^作中M^: 面禾l^成的图案。3m^易与全局层的^f以、力艰莫的J^相^。另一方面，本 发明允许同时印刷小嫩莫^E，因此育嫩，至俾一， 的^， ^^完
全相同^^^:的多个小嫩莫铁电^fiOT^A^^上。雜，ig^本发明航
法6W^方SM共了一种与传统鄉见W^r法相比，具， ^、動鹏M3^电
权利要求
1、一种制造铁电存储器件的方法，其中该存储器件包括铁电存储单元阵列，该阵列被限定在铁电聚合物薄膜的图案化的或未图案化的层中；以及与其相对侧的铁电层接触设置的第一和第二组电极，使得该铁电存储单元被限定在第一组电极与第二组电极的交叉之间的存储材料中，由此能够设置该存储单元的极化状态，通过将适当的电压施加到与存储单元相接触的电极来切换并检测一组极化状态，其中，该存储器件形成于绝缘衬底上，并且其中所述方法的特征在于包含连续的步骤a)将第一印刷墨水施加到第一印刷装置，并将该第一印刷装置施加到衬底，以便在其上印刷第一电极层，从而形成第一组电极，b)将第二印刷墨水施加到第二印刷装置，并将该第二印刷装置施加到第一电极层，并在其上印刷图案化的或未图案化的存储材料层，以及c)将第三印刷墨水施加到第三印刷装置，并将该第三印刷装置施加到存储层，并且在其上印刷第二电极装置，由此步骤a)，b)和c)的一个或多个中的印刷通过喷墨印刷、丝网印刷、柔性版印刷、胶版印刷、静电印刷、软平版印刷、激光印刷或喷蜡印刷，单独地或者组合地来执行。
2、 ^5l禾腰求1 ^X^法，欺^ffi在于在步跑)一c)中的M^颇^W吏用相同的印布蝶置。
3、 t^^禾腰求irHJ^法，期ME在于在步跑)一c)中^^h^HOT不同 的印刷展置。
4、 Wt又禾腰求l e^J^法，欺fffi在于将相同的印刷敷鹏为第一禾睇三印 刷亂
5、 ^W傻求1齢法，期鞭在于第一禾瞎二印鹏K包含导献才料。
6、 鹏权禾鹏5,法，期鞭在于鹏鹏斗鹏为规导柳料。
7、 職权禾腰求5,法，欺鞭在于鹏柳料麟为导电有,斗。
8、 職权禾腰求7舰法，期鞭在于麟电有鹏斗鹏为导^m
9、 t^禾腰求8齢法，欺鞭在于鹏顿^ #为激 (PPy)、 鄹tt^f行生物、1^$、 ^K飾行生物、聚(S^和聚嫩附行生物中^"种， 斜魁 #^也。
10、 鹏又禾腰求9齢法，期鞭在 ^(3，4一乙#=^ ) (PEDOT) 作为聚斷糊胜物。
11、 根据权利要求1的方法，其特征在于第二印刷墨水包含有机铁材料。
12、 根据权利要求11的方法，其特征在于将有机铁材料选择为低聚物，共聚物或三元共聚物中的一种，或其混合物或合成物。
13、 根据权利要求11的方法，其特征在于将有机铁材料选择为有机铁电材料。
14、 ^禾鹏1齢法，期鞭在于^1>第一敏廳禾,层力、鹏共 未图案働功能( ^0
15、 ^W展求14胁法，^E在于将繊^1離为由鍋、鍋 氧微、有机敲辦才料或导^^溯中^~种或它们6^餚喊。
16、 ^禾腰求15,法，^E在于将该导顿^W为PEDOT。
17、 |^§权禾1展求14 0<1^法，^E在于))^g功能tWJl材料麟四印砂嚜 7 倒印刷臓，并将该印刷^l^頃im^微)中印刷麟—制娠，并将功 能Kl印刷至i]i^m—敏S^^i:。
18、 ^禾腰求17 6<1^法，^iE在于将第四印称Jl7K働倒印刷隨，并 将该印勒，鹏働頃庇步驟)中印刷W^f^层，并将J加胜^印刷至'Ji^
19、 ^禾展求1 fi^"法，期ME在于M^驟)禾fc)至d^次，由雌 二敏廳形^^# ,一电鹏魏势 ]# 件。全文摘要
在制造铁电存储器件的方法中，该存储器件包括夹在第一和第二组电极之间的存储层，该存储层以及这两组电极都采用适当的印刷方法在该存储器件中实现。
文档编号H01L21/70GK101199021SQ200680021249
公开日2008年6月11日 申请日期2006年6月8日 优先权日2005年6月14日
发明者G·I·莱斯塔德, G·古斯塔夫森, P·迪雷克勒夫 申请人:薄膜电子有限公司