专利名称：彩色阴极射线管的制造方法及其所用的曝光装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及彩色阴极射线管的制造，尤其涉及荧光面形成曝光。
背景技术：
彩色阴极射线管，例如用于彩色电视机、OA设备终端用彩色显示器等的彩色阴极射线管采用这样的结构，即用在内表面具有荧光面的大致矩形的屏板部、收容电子枪的大致筒状的颈部及大致漏斗状的漏斗部形成真空管壳，在该真空管壳内、面向并接近上述荧光面地配置具有许多电子束通过孔的色彩选择电极的荫罩。上述荧光面含有黑色矩阵(BM)膜及点状或条状的许多荧光体像素，上述漏斗与管轴大致同轴地部连接上述颈部和上述屏板部，且在颈部和屏板部的过渡区域外周具有偏转线圈。
该荫罩的构成材料主要使用铝脱氧镇静钢(aluminum killedsteel)，但最近随着彩色阴极射线管的高精细度化，使用的是板厚较薄的荫罩。在采用这样的薄壁荫罩的彩色阴极射线管中，容易产生在其动作中荫罩的一部分发生热变形，电子束点在荧光面上偏离预定位置这样的称为罩拱凸(doming)的现象。
作为其对策，进行荫罩悬架机构的改进，并且还考虑热膨胀率、物理硬度而使用殷钢材料作为上述构成材料。
这样的荫罩是将通过蚀刻在预定位置设置了上述许多电子束通过孔的原板冲压成预定形状，然后进行加压整形，形成具有大致球面状的主面、和与该主面周围相连且相对于主面弯曲大致90度的裙部的形状，来进行使用的。
另外，最近随着平面型彩色电视机和彩色显示器的普及，在这些彩色电视机和彩色显示器所使用的彩色阴极射线管中，也存在荧光屏(屏板玻璃)的外表面平坦化(平面化)的趋势。
图13是说明平面屏板型的荫罩式彩色阴极射线管的结构例的概略剖面图。
在图13中，由在内表面具有荧光面50的屏板部51、收容电子枪61的颈部52、以及连接屏板部51和颈部52的漏斗部53构成真空管壳，所述荧光面50具有由荧光体像素和非发光性光吸收物质层构成的黑色矩阵膜。
屏板部51的外表面大致平坦，其内表面弯曲成凹面状。配置于该内表面的荧光面50，具有通常将红(R)、绿(G)、蓝(B)这3色荧光体分别涂敷成点状或条状而成的荧光体像素、包围该荧光体像素由碳这样的非发光性光吸收物质层构成的黑色矩阵膜、以及成为金属壳层的金属反射膜。
此外，接近荧光面50配置有荫罩54。考虑热膨胀率、物理硬度，该荫罩54由殷钢材料构成。
荫罩54是冲压成型而成的自立形状保持式，其周边焊接于荫罩框57，通过悬置簧片59被直立在屏板部51裙部内壁的柱螺栓销60悬架支承。另外，荫罩框57的靠电子枪61一侧固定有磁屏蔽58。真空管壳的颈部52和漏斗部53的过渡区域外装有偏转线圈55，使从电子枪61射出的3条被调制了的电子束B偏转向水平(X方向)和垂直(Y方向)，使电子束B在荧光面50上进行2维扫描，再现图像。
此外，形成于漏斗部53内表面的内部导电膜62，将由阳极帽(button)导入的高电压施加到形成电子枪61的主透镜的电极和荧光面50的金属反射膜上。63表示增强带，64表示管头，65表示整个彩色阴极射线管。
在这样构成的彩色阴极射线管中，如上所述，屏板部51的外表面大致平坦，内表面弯曲成凹面状。与此相对，荫罩54，荫罩原板是通过冲压成型而整形为预定形状，随着屏板部51的内表面而弯曲。
如此，尽管屏板部51的外表面大致平坦，但之所以使屏板部51的内表面和荫罩54弯曲，是因为基于冲压成型技术的荫罩54的制作方法简单且成本低的缘故。
该荫罩54的曲面形状，是分别沿长轴、沿短轴及沿对角线的曲率半径从荫罩54主面中央向周边逐渐减少的非球面形状。
该非球面状的荫罩曲率，作为其等效曲率半径Re例如可做如下定义。
Re＝(z2+e2)/2z其中，e从荫罩主面中央到任意的周边位置的、在垂直于管轴方向上的距离(mm)。
z在上述任意的周边位置的、在管轴方向上从荫罩主面中央到该位置的落入量(mm)。
这种做法可同时谋求作为彩色阴极射线管的图像的平面感和维持被整形后的荫罩的机械强度。
图14是放大表示图13所示的彩色阴极射线管要部的一部分的剖面示意图。在图14中，设于屏板部51内表面的荧光面50，具有将3色荧光体涂敷成点状或条状而成的三色荧光体像素501、包围该荧光体像素501的黑色矩阵膜502、以及金属反射膜503，面向并接近该荧光面50地配置有荫罩54。
三色荧光体像素501由红(R)色荧光体像素501R、绿(G)色荧光体像素501G及蓝(B)色荧光体像素501B构成。三色荧光体像素501是这样形成的在形成有黑色矩阵膜502的屏板部内表面涂敷各色的荧光体浆料后，从虚线所示的3个光源66G、66B、66R的位置通过荫罩54对应的特定电子束通过孔541分别进行箭头所示的曝光，经过这样的曝光工序，在黑色矩阵膜502的开口部(窗部)分别形成三色荧光体像素。
黑色矩阵膜502，在屏板部内表面涂敷了抗蚀剂的浆料后，对抗蚀剂进行曝光，除去抗蚀剂的感光部位以外的部分。其后，涂敷石墨，除去抗蚀剂的感光部位，从而在黑色矩阵膜形成用于形成荧光体层的开口部。在形成黑色矩阵膜时的曝光工序中，为了形成绿色荧光体开口部、蓝色荧光体开口部及红色荧光体开口部，而改变光源位置进行3次曝光。
图15中示出用于这样的曝光工序的曝光装置的一例。在图15中，67是光源灯，68是灯罩，69是修正透镜，70是修正滤光片，71是壳体。
使用该曝光装置，将在内表面具有荧光面形成用部件的屏板部51内安装有荫罩54的被曝光体放置在上述壳体71的上面。
在该状态下使配置于灯罩68内的光源灯67发光，用透射过修正透镜69、修正滤光片70及荫罩54的光线对上述荧光面形成用部件进行曝光。
在该曝光装置中，作为上述光源灯67提出有在专利文献1中公开的直管式长弧(long arc)型的超高压水银灯、或在专利文献2中公开的短弧(short arc)型水银灯。
专利文献1日本特开2001-312964号公报专利文献2日本特开平10-112289号公报发明内容在屏板部的外表面大致平坦的如图13所示那样的平面屏板型彩色阴极射线管中，中央部和周边部的屏板部厚度不同，发现由此引起的图像变形的产生。该图像变形是发生误射(mislanding)的主要原因之一，存在对制造色彩纯度优良的彩色阴极射线管造成障碍的问题，解决该问题成为本发明的课题。
此外，在荧光面形成作业中，在形成黑色矩阵膜及荧光体像素时需要多次曝光工序，该曝光所需的时间成为妨碍作业效率提高的主要原因，解决该问题也成为当务之急。
为了解决上述问题，在本发明中，在荧光面形成曝光时的曝光光源使用弧长为35mm～60mm的超高压水银灯。
本发明通过使曝光光源的弧长为35mm～60mm，能够谋求黑色矩阵膜开口部尺寸的均匀化，可以制造出色彩纯度优良的彩色阴极射线管。此外，能够缩短曝光时间，提高作业效率。
本发明通过使光源和被曝光面相对位移，能够谋求黑色矩阵膜开口部尺寸的均匀化，可以制造出色彩纯度优良的彩色阴极射线管。
本发明通过使电源单元的输出频率为10kHz～30kHz，能够抑制曝光光源的光输出的变动，能够谋求黑色矩阵膜开口部尺寸的均匀化，可以制造出色彩纯度优良的彩色阴极射线管。
本发明通过使曝光光源的弧长为35mm～60mm，能够抑制荧光体像素尺寸的变动，可以制造出色彩纯度优良的彩色阴极射线管。此外，能够缩短曝光时间，提高作业效率。
本发明通过使光源和被曝光面相对位移，能够抑制荧光体像素尺寸的变动，可以制造出色彩纯度优良的彩色阴极射线管。
本发明通过使对光源的输入频率为10kHz～30kHz，能够抑制曝光光源的光输出的变动，可以谋求荧光体像素的均匀化，可以制造出色彩纯度优良的彩色阴极射线管。
本发明通过使用曝光光源的弧长为35mm～60mm的曝光装置，可以谋求黑色矩阵膜开口部尺寸和荧光体像素的均匀化，可以制造出色彩纯度优良的彩色阴极射线管。此外，能够缩短曝光时间，提高作业效率。
本发明通过使狭缝长度比光源的弧长短，能够谋求黑色矩阵膜开口部尺寸和荧光体像素的均匀化，可以制造出色彩纯度优良的彩色阴极射线管。
本发明通过使用电源单元的输出频率为10kHz～30kHz的曝光装置，能够抑制光输出的变动，能够谋求黑色矩阵膜开口部尺寸和荧光体像素的均匀化，可以制造出色彩纯度优良的彩色阴极射线管。
本发明通过形成为使光源在相同面内位移的结构，能够抑制光输出的变动，能够谋求黑色矩阵膜开口部尺寸和荧光体像素的均匀化，可以制造出色彩纯度优良的彩色阴极射线管。
图1是用于说明本发明的彩色阴极射线管的制造方法的曝光装置的一例的示意俯视图。
图2是图1的A-A线的示意剖面图。
图3是表示本发明的修正透镜-修正滤光片的组合构成例的示意剖面图。
图4A、图4B、图4C表示本发明的单色用局部修正滤光片的例子，图4A、图4C是副光束用局部修正滤光片的示意俯视图，图4B是中央光束用局部修正滤光片的示意俯视图。
图5是表示本发明的共用局部修正滤光片的一例的示意俯视图。
图6是表示本发明的分级滤光片(grading filter)的一例的示意俯视图。
图7是表示用于本发明的彩色阴极射线管的制造方法的曝光光源装置的一例的示意俯视图。
图8是图7的B-B线的示意剖面图。
图9是表示用于本发明的彩色阴极射线管的制造方法的曝光光源装置的水银灯组装体的一例的示意俯视图。
图10是表示用于本发明的彩色阴极射线管的制造方法的电源单元的一例的示意俯视图。
图11是表示用于本发明的彩色阴极射线管的制造方法的曝光光源的光轮廓与照度的关系的图。
图12是用于说明本发明的彩色阴极射线管的制造方法的曝光装置的另一例的示意剖面图。
图13是说明平面型荫罩式彩色阴极射线管的结构的概略结构图。
图14是图13的要部放大剖面图。
图15是表示以往的曝光装置的一例的概略剖面图。
具体实施例方式
以下，参照实施例的附图详细说明本发明的实施方式。
实施例1彩色阴极射线管包括在内表面具有荧光面的屏板部、和面向该屏板部内表面的荧光面配置的、具有许多电子束通过孔的荫罩，该荧光面具有形成有多个开口部的黑色矩阵膜和配置于该黑色矩阵膜开口部的3种荧光体像素。
图1和图2是用于说明本发明的彩色阴极射线管的制造方法的图，图1是表示曝光装置的一例的示意俯视图，图2是图1的A-A线剖面图。在图1和图2中，11是曝光光源装置，其详细情况后面描述。12是分级滤光片，13(13C、13S1、13S2)是单色用局部修正滤光片，14是多色用局部修正滤光片，15是共用修正透镜，16(16C、16S1、16S2)是多个单色用修正透镜，17是荫罩，18是屏极部，19是屏板定位部件，20是突起，21(21C、21S1、21S2)是收容室，22是装置主体。
使用这样的曝光装置形成具有预定图案的荧光面。
外表面大致平坦、周边部厚度比中央部厚度厚的平面屏板型的屏板部18，在其内侧安装了荫罩17的状态下，与装置主体22上的屏板定位部件19的突起20抵接并载置于其上。并且，用来自曝光光源装置11的光线进行曝光。
尤其是黑色矩阵膜的形成工序，由第1荧光体像素用开口部(以下成为孔)的曝光工序、第2荧光体像素用孔的曝光工序、第3荧光体像素用孔的曝光工序构成。
在第1荧光体像素用孔的曝光工序中，在屏板内表面和曝光光源之间配置共用修正透镜15、第1单色用修正透镜16C以进行曝光。
在第2荧光体像素用孔的曝光工序中，在屏板内表面和曝光光源之间配置共用修正透镜15、第2单色用修正透镜16S1以进行曝光。
在第3荧光体像素用孔的曝光工序中，在屏板内表面和曝光光源之间配置共用修正透镜15、第3单色用修正透镜16S2以进行曝光。
共用修正透镜15在第1荧光体像素用孔的曝光工序、第2荧光体像素用孔的曝光工序、第3荧光体像素用孔的曝光工序中共用。
作为共用修正透镜的有效区域的透镜形成部的外形为矩形，该共用修正透镜形成为以共用修正透镜的纵轴(Y轴)为中心左右对称，且以共用修正透镜的横轴(X轴)为中心上下对称。
此外，在第1荧光体像素用孔的曝光工序中，为形成绿色荧光体像素用孔而进行曝光，在第2荧光体像素用孔的曝光工序中，为形成蓝色荧光体像素用孔而进行曝光，在第3荧光体像素用孔的曝光工序中，为形成红色荧光体像素用孔而进行曝光。
在本发明中，在进行该曝光时，组合作为修正透镜在3次曝光中共用的共用透镜15、在3次曝光的每一次使用的单色用修正透镜16(16C、16S1、16S2)、作为修正滤光片的分级滤光片12、恒定透过率修正的在各曝光中分别使用的单色用局部修正滤光片13、以及恒定透过率修正的在3次曝光中共用的共用局部修正滤光片14这些多个修正滤光片，使其介入设置于曝光光源与被曝光体之间进行曝光，形成所希望的图案。其中，上述分级滤光片12的中央和周边的透光率不同、且在3次曝光中共用。
各色用的单色用修正透镜16由中央光束用修正透镜16C、两个副光束用修正透镜16S1、16S2构成，分别与曝光光源11的位置组合而使用。即，在中央光束用曝光中，退避到Y轴方向的收容室21C的中央光束用修正透镜16C从退避位置移动到管轴上附近的预定位置。
移动后，与预先配置于管轴上附近预定位置的共用修正透镜15，分级滤光片12、共用局部修正滤光片14以及单色用局部修正滤光片13C组合以进行曝光，曝光结束后，退避收容到收容室21C待机。
而两个副光束用修正透镜16S1、16S2也在各自的副光束用曝光时分别从各收容室21S1、21S2移动到管轴上附近的预定位置，与预先配置于管轴上附近预定位置的共用修正透镜15、分级滤光片12、共用局部修正滤光片14以及单色用局部修正滤光片13S1、13S2组合以进行曝光，曝光结束后，退避收容到收容室21S1、21S2待机。在进行各自的曝光时改变光源位置，这点与以往技术相同。此外，可以在曝光时使曝光光源在相同面内摆动。
图3至图6表示在本发明的彩色阴极射线管的制造方法中使用的修正透镜和修正滤光片的例子，图3是表示修正透镜-修正滤光片的组合结构例的示意剖面图，图4A、图4B、图4C表示单色用局部修正滤光片，图4A、图4C表示副光束用局部修正滤光片的示意俯视图，图4B表示中央光束用局部修正滤光片的示意俯视图，图5是表示共用局部修正滤光片的示意俯视图，图6是表示分级滤光片的一例的示意俯视图，在上述各图中，与上述附图相同部分标注相同的附图标记。
在图3中，分级滤光片12、共用局部修正滤光片14以及共用修正透镜15被同轴配置，通过中央光束用和副光束用的各自的曝光选择单色用局部修正滤光片13中的任一个和与其成对的单色用修正透镜16中的任一个。
图4A、图4B、图4C表示局部修正滤光片13的修正图案的例子，图4A所示副光束用局部修正滤光片13S1具有半月形的图案13S1p，图4C所示另一副光束用局部修正滤光片13S2具有矩形的图案13S2p。另外，图4B所示中央光束用局部修正滤光片13C具有弓形的图案13Cp。
图5表示共用局部修正滤光片14的修正图案的例子，在X方向两端具有三角形的高透过率的图案14p。
图6表示分级滤光片12的修正图案的例子，由2个分别具有透光率在中央部最低、越往周边部越高的特性的大致同心圆形的图案12Ap、12Bp的分级滤光片12A、12B构成。
图7至图9表示上述的曝光光源装置11的一例的示意图，图7是俯视图，图8是图7的B-B线的剖面图，图9是水银灯组装体的俯视图。
在图7至图9中，111是曝光光源，112是灯保持架，113是水银灯组装体，114是灯壳体，115是罩玻璃，116是光阑板，117是冷却水，118是O形密封环，119是狭缝。
上述曝光光源111由直管式长弧型超高压水银灯构成，使用弧长La为35～60mm的水银灯。在作业效率和被曝光部的尺寸精度方面优选该弧长La为50mm左右。
在该曝光光源111的一端安装灯保持架112构成水银灯组装体113。将该水银灯组装体113配置在灯壳体114的底侧，在其上方组装具有狭缝119的光阑板116、罩玻璃115等，用冷却水117冷却上述曝光光源111。
使该曝光光源111的长度(与管轴平行方向的长度)方向的中心与设于上述光阑板116的狭缝119在与上述曝光光源111的管轴平行方向的长度Ls的中心大致对齐地将该曝光光源组装入灯壳体114中。
该狭缝119的长度Ls和上述弧长La，设定为Ls＜La的关系，特别优选(0.4～0.8)Ls＝La的关系。这是因为不到0.4时，发光效率上浪费较多，相反超过0.8时，曝光时光轮廓的裙形状紊乱，可能使被曝光部的尺寸产生变动，因此最好在上述范围内进行设定。此外，在灯壳体114内用冷却水119对上述曝光光源111进行冷却的结构与以往技术相同。
另外，通过使曝光光源装置11在相同面内摆动可以谋求黑色矩阵膜的开口部形状和荧光体像素形状的均匀化。
图10和图11是用于说明本发明的图，图10表示使曝光光源动作的电源单元的一例的结构，图11是用于说明光轮廓与对曝光光源的输入之间关系的图，在这些附图中，对与上述附图相同的部分标注相同的附图标记。
首先，在图10中，120是电源单元，该电源单元120是使曝光光源111动作的单元，在矩形波电压整流电路121的后级具有升压变压器122，将该升压变压器122的输出作为曝光光源111的输入，由此控制曝光光源111的输出。通过使用该升压变压器122，更容易增大上述输出。
该电源单元120的输出，例如La＝35mm～60mm、Ls＝(0.4～0.8)La，输出频率为10～30kHz，优选为20kHz，输出为4kW或4kW以上程度也是合适的。
若输出频率不到10kHz，可能有损电弧放电的稳定性，另一方面，输出频率超过30kHz时，可能引起光输出的变动。
此外，通过设输出频率为10k～30kHz、优选为20kHz，从而可以使升压变压器122的磁心为铁氧体磁心，能谋求减轻变压器的重量。
接着，在图11中，124～126分别表示曝光光源111的光轮廓，光轮廓124表示对曝光光源111的输入为1kW的情形，光轮廓125表示对曝光光源111的输入为2kW的情形，光轮廓126表示对曝光光源111的输入为4kW的情形。
该图11所示的光轮廓124～126表示在曝光光源111的弧长La＝35mm～60mm、狭缝长度Ls＝(0.4～0.8)La的条件下，如上述那样每次输入的照度与光轮廓之间的关系。
从该图11中可以看出，照度随输入的增大而变高是理所当然的，但光轮廓本身也同时发生变化。
这是因为，在用光轮廓124、125表示的2kW或2kW以下程度的低输入的条件下，要得到与4kW输入相同的曝光量和曝光面积就需要长时间的曝光和使曝光光源111在相同面内移动。
而在用光轮廓126表示的4kW输入的条件下，能在短时间内得到所希望的曝光量和曝光面积，若进一步施加曝光光源111的上述移动则能够更显著提高作业效率。
实施例2图12是用于说明本发明的彩色阴极射线管的制造方法的曝光装置的另一例的示意剖面图，对与上述附图相同的部分标注相同的附图标记。
在图12中，在对外表面大致平坦、周边部厚度比中央部厚度厚的平板型的屏板进行曝光时，设定曝光时的曝光光源111与单色用修正透镜16之间的间隔为H6，而共用修正透镜15设置于比上述单色用修正透镜16更靠屏板部18的一侧，且设定该共用修正透镜15与曝光光源111的间隔H5大于上述间隔H6。
在此，本实施例的上述曝光光源装置11与上述实施例1取为同样的结构。
此外，各修正透镜15、16的有效面呈大致矩形，共用修正透镜15的Y轴方向长度为L5Y、X轴方向长度为L5X的表面为曲面状的透镜。进而，作为比上述共用修正透镜15规格小的透镜的单色用修正透镜16，其Y轴方向长度为L6Y、X轴方向长度为L6X的表面为曲面状的透镜。
各修正透镜表面的曲面形状根据荧光面尺寸、荧光体像素间距等而分别设定曲面式，但若表示外形尺寸、配置顺序、配置尺寸等具体例子，例如在68cm彩色阴极射线管的例子中，首先，修正透镜配置是从曝光光源111一侧开始依次配置单色用修正透镜16、共用修正透镜15，且将各尺寸设为H5100mm、H675mm、L5Y110mm、L5X75mm、L6Y80mm、L6X55mm。该排列、尺寸中，分级滤光片12与曝光光源111之间的尺寸H2与以往的方法大致同样地设定。
本发明的黑色矩阵膜的形成工序，由第1荧光体像素用孔的曝光工序、第2荧光体像素用孔的曝光工序、第3荧光体像素用孔的曝光工序构成。
在本实施例的第1荧光体像素用孔的曝光工序中，在屏板部内表面与曝光光源111之间配置共用修正透镜15、比该共用修正透镜15外径小的第1单色用修正透镜16C来进行曝光。
在第2荧光体像素用孔的曝光工序中，在屏板部内表面与曝光光源111之间配置共用修正透镜15、比该共用修正透镜15外径小的第2单色用修正透镜16S1来进行曝光。
在第3荧光体像素用孔的曝光工序中，在屏板部内表面与曝光光源111之间配置共用修正透镜15、比该共用修正透镜15外径小的第3单色用修正透镜16S2来进行曝光。
共用修正透镜15可在第1荧光体像素用孔的曝光工序、第2荧光体像素用孔的曝光工序、第3荧光体像素用孔的曝光工序中共用。
共用修正透镜15在3次曝光中进行共用修正。此外，各单色用修正透镜进行各色用的单独的修正。由于分离了共用修正成分和按各色区分的修正成分，能够形成高精度的修正透镜，容易进行电子注沉陷(beam landing)的适当化。
本发明不限于上述实施例，可在不脱离权利要求书所记载的本发明的要旨的范围内进行各种变更。
权利要求
1.一种彩色阴极射线管的制造方法，该彩色阴极射线管包括具有荧光面的屏板部、面向该屏板部的上述荧光面配置的具有许多电子束通过孔的荫罩，上述荧光面具有设有多个开口部的黑色矩阵膜和配置于该黑色矩阵膜的上述开口部的荧光体像素，所述彩色阴极射线管的制造方法的特征在于使在形成上述黑色矩阵膜的曝光工序中所使用的曝光光源为弧长35～60mm的超高压水银灯。
2.根据权利要求1所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于使上述曝光光源为弧长50mm的超高压水银灯。
3.根据权利要求1所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于使上述曝光光源与上述屏板部的被曝光面相对位移来进行曝光。
4.根据权利要求1所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于使对上述曝光光源的输入频率为10～30kHz。
5.根据权利要求3所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于使对上述曝光光源的输入频率为20kHz。
6.一种彩色阴极射线管的制造方法，该彩色阴极射线管包括具有荧光面的屏板部、面向该屏板部的上述荧光面配置的具有许多电子束通过孔的荫罩，上述荧光面具有设有多个开口部的黑色矩阵膜和配置于该黑色矩阵膜的上述开口部的荧光体像素，所述彩色阴极射线管的制造方法的特征在于使在形成上述荧光体像素的曝光工序中所使用的曝光光源为弧长35～60mm的超高压水银灯。
7.根据权利要求6所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于使上述曝光光源为弧长50mm的超高压水银灯。
8.根据权利要求6所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于使上述曝光光源与上述屏板部的被曝光面相对位移来进行曝光。
9.根据权利要求6所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于使对上述曝光光源的输入频率为10～30kHz。
10.根据权利要求7所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于使对上述曝光光源的输入频率为20kHz。
11.一种用于彩色阴极射线管的荧光面制造的曝光装置，该彩色阴极射线管包括具有荧光面的屏板部、面向该屏板部的上述荧光面配置的具有许多电子束通过孔的荫罩，上述荧光面具有设有多个开口部的黑色矩阵膜及配置于该黑色矩阵膜的上述开口部的荧光体像素，所述曝光装置的特征在于包括通过上述荫罩对上述屏板部进行曝光的曝光光源；配置于该曝光光源与上述荫罩之间、具有供曝光光线的一部分通过的大致矩形的狭缝的光阑板；配置于该光阑板和上述荫罩之间的修正透镜和修正滤光片；以及使上述曝光光源动作的电源单元，其中，使上述曝光光源为弧长35～60mm的超高压水银灯。
12.根据权利要求11所述的用于彩色阴极射线管的荧光面制造的曝光装置，其特征在于使上述曝光光源为弧长50mm的超高压水银灯。
13.根据权利要求11所述的用于彩色阴极射线管的荧光面制造的曝光装置，其特征在于使上述狭缝在与上述曝光光源的管轴平行方向的长度比上述曝光光源的弧长短。
14.根据权利要求13所述的用于彩色阴极射线管的荧光面制造的曝光装置，其特征在于使上述狭缝在与上述曝光光源的管轴平行方向的长度为上述曝光光源的弧长的0.4～0.8。
15.根据权利要求11所述的用于彩色阴极射线管的荧光面制造的曝光装置，其特征在于使上述电源单元的输出频率为10～30kHz。
16.根据权利要求14所述的用于彩色阴极射线管的荧光面制造的曝光装置，其特征在于使上述电源单元的输出频率为20kHz。
17.根据权利要求11所述的用于彩色阴极射线管的荧光面制造的曝光装置，其特征在于具有使上述曝光光源在相同面内位移的机构。
全文摘要
本发明提供一种彩色阴极射线管的制造方法及其所用的曝光装置，使在荧光面形成曝光中所使用的曝光光源为弧长35～60mm的超高压水银灯。按照本发明，能够谋求彩色阴极射线管的黑色矩阵膜的开口形状均匀化和作业效率的提高。
文档编号G03F7/20GK1941251SQ200610159948
公开日2007年4月4日 申请日期2006年9月28日 优先权日2005年9月28日
发明者伊藤洋一, 无藤里志, 西森龙一 申请人:株式会社日立显示器, 株式会社日立显示器件