缺陷修复装置的制作方法

专利名称：缺陷修复装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种通过向基板上的缺陷照射激光来修复缺陷的缺陷修
复装置。本申请以在2006年7月3日在日本提出申请的日本特愿2006 一183111号为基础主张优先权，并在此援引其内容。
io
背景技术：
在制造液晶显示装置等平板显示器(FPD)和半导体晶片的光刻制 造工序中， 一般使用利用激光来修复产生于大型玻璃基板和半导体基板 等基板上的缺陷的缺陷修复装置(例如参照日本特开2001—91919号公 报)。在以往的缺陷修复装置中，对于在制造工序中制造的基板，禾'」用检
15查装置对缺陷部的图像数据进行图像处理，自动判断基板上的缺陷是不 会给后面制造工序带来影响的疑似缺陷、还是需要修复的真正缺陷，根 据该判断结果来修复缺陷。但是，缺陷检查装置根据缺陷的类型、大小、 位置等判断基准的设定条件，不能避免错误判定，缺陷分类的判定精度 有限。因此，操作者使用显微镜等微观检查装置对通过宏观检査检测出
20的缺陷进行仔细观察(回顾检查(review)),从在宏观检査时检测出的缺 陷中选择要修复的缺陷来进行。
以往，操作者回顾检查所有的缺陷来判断是否要修复该缺陷，在要 修复时，操作缺陷修复装置向缺陷部位照射激光来修复缺陷。在回顾检 査各个缺陷时，使放置有基板的载物台沿XY方向移动，使作为是否要
25修复的判断对象的所有缺陷移动到显微镜的观察位置来进行观察。操作 者始终在缺陷修复装置前面进行作业，必须用心进行缺陷修复装置的操 作及缺陷观察，所以操作者的负荷大。并且，缺陷修复装置的作业节拍 时间依赖于要处理的缺陷数量，按顺序地重复进行回顾检查、有无修复 必要性的判断及缺陷修复，这很没有效率。

发明内容
本发明就是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种可以减 轻操作者的负荷、并可以高效地修复缺陷的缺陷修复装置。
5 本发明就是为了解决上述问题而提出的，提供一种修复基板上的缺
陷的缺陷修复装置，其特征在于，该缺陷修复装置具有摄像部，其根 据在修复工序前面的检查工序中检查出的所述基板的检查数据的缺陷位 置信息，拍摄作为回顾检查对象的缺陷；显示部，其将通过所述摄像部
拍摄到的各缺陷回顾检查图像縮小并一览显示；缺陷选择部，其从通过 io所述显示部一览显示的所述回顾检查图像中选择要修复的缺陷；缺陷修 复部，其修复通过所述缺陷选择部选择的所述缺陷；以及控制部，其控 制所述摄像部、所述显示部和所述缺陷修复部。
并且，本发明的缺陷修复装置中，其特征在于，所述控制部进行如
下控制使摄像部根据所述检查数据的缺陷位置信息，在所述缺陷修复 15部修复缺陷之前，拍摄作为回顾检查对象的所有缺陷，使图像处理部将
该回顾检查图像生成为缩小图像，使该縮小图像与所述缺陷数据关联起 来存储在存储部中，根据修复开始指令，从所述存储部中读出回顾检查 图像的缩小图像，使所述显示部进行一览显示。
并且，本发明的缺陷修复装置中，其特征在于，所述控制部进行如
20下控制使所述摄像部拍摄通过所述缺陷修复部修复的所述缺陷的修复 后的图像，并且使所述显示部将通过所述摄像部拍摄到的修复后的图像 縮小，与所述回顾检査缺陷图像关联起来进行显示。
并且，本发明的缺陷修复装置中，其特征在于，所述控制部进行如 下控制使所述摄像部拍摄通过所述缺陷修复部修复的所述缺陷的修复
25前后的图像，并且使所述显示部将修复前和修复后的图像縮小，与所述 回顾检查缺陷图像关联起来进行显示。
并且，本发明的缺陷修复装置中，其特征在于，所述控制部从外部 装置获取在检查工序中检查出的所述基板的检查数据，根据该检查数据 选择作为需要修复的回顾检查对象的缺陷，使所述摄像部根据该选择的
回顾检查对象缺陷的位置信息来拍摄被选择为回顾检查对象的各个缺 陷。
并且，本发明的缺陷修复装置中，其特征在于，所述控制部使摄像 部根据所述检查数据的缺陷位置信息，在所述缺陷修复部修复缺陷之前 5拍摄作为回顾检査对象的所有缺陷，使该回顾检查图像和縮小的縮小回 顾检査图像存储在存储部中，通过对在所述显示部上縮小而一览显示的 回顾检查图像进行放大指定，从而从所述存储部中读出所述縮小处理前 的回顾检查图像并放大显示。
根据本发明，可以获得减轻操作者的负荷、并可高效地修复缺陷的 10 效果。


图1是表示本发明的一个实施方式涉及的缺陷修复装置的结构的方 框图。
15 图2是表示本发明的缺陷修复装置的动作的流程图。
图3是表示显示于本发明的缺陷修复装置的画面上的显示例的参考图。
具体实施例方式
20 以下，参照

用于实施本发明的优选方式。图1是表示本发
明的一个实施方式涉及的缺陷修复装置的结构的方框图。基板1是作为
修复对象的FPD用玻璃基板或半导体晶片基板等。载物台2支持基板1， 并具有使基板1沿相互垂直的X方向和Y方向移动的二维移动机构。照 明光源3是缺陷观察用的光源。来自照明光源3的光透射过透镜12，被 25光束分离器13反射，通过物镜14照射到基板1上。利用这些照明光源3、 透镜12、光束分离器13、物镜14中的至少照明光源3和物镜14，构成 放大观察缺陷的回顾检查部。
激光光源4输出用于修复缺陷的激光。来自激光光源4的激光被反 射镜8反射，透过透镜9和光束分离器11、 13，通过物镜14照射到基板
l'上的缺陷。利用这些激光光源4、反射镜8、光束分离器ll、 13、物镜 14中的至少激光光源4和物镜14，构成缺陷修复部。照相机5例如是具 有CCD (Charge Coupled Device,电荷耦合器件)等摄像元件的摄像装 置，生成基于被摄体(基板1)的光像的图像信号。在基板1的表面反射
5的来自照明光源3的光，通过物镜14、光束分离器13、 11、和透镜IO， 入射到照相机5的受光面上。
控制装置6具有控制缺陷修复装置整体的功能，具有激光控制部61、 图像处理部62、载物台控制部63、操作部64、主控制部65和存储部66。 并且，虽然没有图示，控制装置6具有用于和外部装置(例如管理表示
io在修复工序前面的上游侧的检查工序中检查出的检查结果的检査数据的 检査数据服务器)进行通信的通信接口等结构。
在控制装置6中，激光控制部61通过控制施加给激光光源4的电压 等，进行激光光源4的接通/断开的控制、在接通时输出的激光的能量控 制等。图像处理部62通过间隔提取从照相机5输出的缺陷图像信号等，
15生成縮小的縮略图像数据。载物台控制部63控制载物台2的驱动。
操作部64具有由操作者操作的键盘和鼠标等，生成基于操作结果的 信号。主控制部65进行用于控制包括上述结构的控制装置6整体的运算 和数据的输入输出控制等。存储部66是存储各缺陷的检查数据和縮略图 像数据等的半导体存储器或硬盘驱动器等。显示器7是显示縮略图像和
20缺陷数据等的CRT (Cathode Ray Tube,阴极射线管)显示器或液晶显示 器等显示装置。
下面，说明本实施方式的缺陷修复装置的动作。图2是表示缺陷修 复装置的动作的流程图。缺陷修复装置的控制装置6通过未图示的通信 线路，从检查数据服务器获取在修复工序的上游侧的检査工序中检查出 25的基板整体的检查数据(缺陷列表、缺陷数据)，存储在存储部66中(步 骤S201)。该检查数据中包括表示缺陷的位置的座标(位置信息)、表示 缺陷的大小和缺陷的类型的数据。当操作者操作操作部64指示了回顾检 查时，操作部64向主控制部65输出基于操作者的指示的信号。当主控 制部65检测出该信号时，向控制装置6的各部输出动作指示。
主控制部65从存储部66读出基板1的检查数据，根据缺陷的大小 和位置等数据，分类为不需要修复的疑似缺陷和需要修复的真正缺陷， 从由检查数据表示的缺陷中选择作为需要修复的回顾检查对象的缺陷。 主控制部65将所选择的缺陷中的一个缺陷的座标通知给载物台控制部 5 63，并且指示载物台2的移动。接收到指示的载物台控制部63驱动载物 台2，根据通知的缺陷座标来控制移动量。载物台2把基板1移动到使所 选择的缺陷进入物镜14的视野区域的位置上(步骤S202)。
来自照明光源3的光被基板1反射，按照前面所述入射到照相机5 的受光面上。照相机5拍摄通过物镜14放大为预定倍率的缺陷，生成其 io回顾检查图像信号，输出给控制装置6。输入到控制装置6中的回顾检查 图像信号被输入到图像处理部62。图像处理部62根据回顾检查图像信号 生成縮略图像数据，输出给主控制部65。主控制部65将回顾检查图像的 缩略图像数据与缺陷数据关联起来存储在存储部66中(步骤S203)。 然后，主控制部65判定是否存在尚未进行上述图像保存的回顾检查 15对象的缺陷(步骤S204)。在还存在回顾检查对象的缺陷时，处理返回到 步骤S202，重复上述处理。另一方面，在被选择为回顾检查对象的所有 缺陷的縮略图像数据已保存在存储部66中时，结束回顾检查动作，处理 转入到后面的步骤S205。如上所述，自动地进行根据在前面检查工序中 检测出的回顾检查对象缺陷的位置信息来拍摄所有缺陷并保存回顾检查 20图像的回顾检查动作。
在输出了修复开始指示的情况下，主控制部65从存储部66中读出 所有回顾检查对象缺陷的縮略图像数据(或者也可以是一部分縮略图像 数据)，输出给显示器7。显示器7根据所输入的縮略图像数据，把各缺 陷的回顾检査图像308作为縮小的縮略图像，例如按照图3所示以一览 25形式显示(步骤S205)。操作者通过目视确认一览显示的回顾检查图像的 縮略图像， 一面操作操作部64的鼠标， 一面使光标300移动到显示有作 为修复对象的缺陷的回顾检查图像上并选择。此时，操作者可以从一览 显示的回顾检查图像中选择需要修复的多个缺陷。从操作部64向主控制 部65输出基于操作者的操作的信号。主控制部65根据该信号选择修复
对象的缺陷(步骤S206)。
然后，主控制部65将所选择的缺陷中的一个缺陷的座标通知给载物 台控制部63，并且指示载物台2的移动。接收到指示的载物台控制部63 驱动载物台2，根据通知的缺陷座标来控制移动量。载物台2把基板1移 5动到使所选择的缺陷进入物镜14的视野区域的位置上(步骤S207)。然 后，主控制部65将对缺陷的激光照射位置、激光照射形状指示给激光控 制部61。接收到指示的激光控制部61控制激光光源4的激光输出。来自 激光光源4的激光照射到基板1上的缺陷，进行所期望的缺陷修复(步 骤S208)。
o 然后，主控制部65判定是否存在尚未进行上述缺陷修复的修复对象
的缺陷(步骤S209)。在还存在修复对象的缺陷时，处理返回到步骤S207， 重复上述处理。另一方面，在对被选择为修复对象的所有缺陷的激光照 射结束时，结束一系列的动作。
如前面所述，以往利用显微镜逐个地观察各个缺陷，每次都要进行
15缺陷修复的必要性的判断，所以操作者始终在缺陷修复装置前面进行作 业，操作者的负荷大。与此相对，根据本实施方式，根据通过上游侧的 检查装置检测出的各个缺陷的座标数据，自动进行各个缺陷的回顾检査 动作，在该回顾检査动作中所拍摄的缺陷的縮略图像一览显示在显示器7 上，根据该显示，操作者一次选择修复对象的缺陷，所以能够减轻操作
20者的操作负担。
并且，在缺陷修复装置根据在前面检查工序中检测出的缺陷座标数 据来自动地回顾检查缺陷并进行拍摄的期间，操作者不需要在缺陷修复 装置的前面，所以能够在回顾检査动作期间操作其他装置等，可以高效 率地进行作业。当然，也可以由一个操作者操作多台缺陷修复装置，所
25以能够高效率地进行缺陷修复。
并且，通过将在回顾检查时所拍摄的各个缺陷的縮略图像一览显示 在显示器7上，操作者可以从视觉上掌握缺陷数量和缺陷的状态、趋势 等。在制造工序中，期望缺陷修复所需要的时间(修复处理时间)为较 短的时间，但如上面所述，通过能够掌握缺陷数量和缺陷的状态、趋势
等，操作者可以考虑修复处理时间高效率地选择修复对象的缺陷。例如， 在必须使修复处理时间为最短的情况下，操作者可以只选择必要的最低 限度的、在后面的制造工序中会成为问题的重要缺陷，并且在时间有富 余时，可以还选择重要缺陷之外的缺陷。
5 另外，在步骤S208，也可以生成利用照相机5拍摄照射激光来修复
缺陷前后的基板1所得到的修复前图像和修复后图像的縮略图像。该情
况时，激光控制部61将激光光源4的激光输出关闭。照相机5拍摄激光 照射前后的基板1的表面而生成图像信号，输出给控制装置6。控制装置 6的图像处理部62根据图像信号生成缺陷修复前后的縮略图像数据，输
10出给主控制部65。主控制部65将该縮略图像数据作为与激光照射前的縮 略图像数据相关联的激光照射后的縮略图像数据，存储在存储部66中。 主控制部65例如在对修复对象的所有缺陷照射激光后，从存储部 66读出激光照射后的缩略图像数据，输出给显示器7。显示器7根据该 缩略图像数据，按照图3所示以一览形式显示修复后图像的縮略图像310
15和修复前图像的縮略图像312。由此，操作者可以目视观察修复后图像来 确认是否已正确地进行了修复。在存在需要再次修复的缺陷时，再次将 该缺陷登记为修复对象的缺陷，并再次重复前述处理即可。
下面，说明显示于显示器7上的画面的示例。图3表示显示画面的 一例。修复开始按钮301是用于输入对所选择的缺陷的激光修复的开始
20的按钮。当操作者例如操作鼠标使光标300对准修复开始按钮301并点 击了鼠标时，开始图2中的步骤S206以后的处理。修复中断按钮302是 用于输入激光修复的中断的按钮。当操作者按照上面所述使光标300对 准修复中断按钮302并点击了鼠标时，激光的照射中断。
追加按钮303是用于将修复对象的缺陷登记(追加)到缺陷修复装
25置中的按钮。选择删除按钮304是用于从作为修复对象的缺陷而登记在 缺陷修复装置中的缺陷中解除任意缺陷的登记的按钮。全部删除按钮305 具有与选择删除按钮304相同的功能，是用于解除作为修复对象的缺陷 而登记在缺陷修复装置中的全部缺陷的登记的按钮。结束按钮306是用 于结束全部动作的按钮。回顾检查图像栏307是显示在回顾检查动作时由照相机5拍摄处理
对象的缺陷所得到的回顾检查图像的区域。在图3中， 一览显示着将回 顾检查图像縮小后的縮略图像308a 308e。当操作者操作作为缺陷选择 部的鼠标，使光标300对准縮略图像308a 308e中的任一方并点击鼠标，
5再使光标300对准追加按钮303并点击鼠标时，将在所指定的回顾检查 图像308c中显示的修复对象的缺陷登记到缺陷修复装置中，所登记的縮 略图像的框利用颜色或粗线等强调显示。在图3中，框利用粗线强调显 示的縮略图像308a、 308c和308d被登记为修复对象的缺陷。
在修复开始按钮301被点击时，对在回顾检查图像栏307中显示于
io所选择的縮略图像中的缺陷进行缺陷修复。在选择回顾检查图像308a 308e时，操作者也可以使光标300对准在显示器7上一览显示的回顾检 査图像的縮略图像并点击，由此选择一个回顾检查图像，操作者也可以 拖拉鼠标来选择多个回顾检查图像。
修复前图像栏309是将在向被登记为修复对象的缺陷照射激光之前
15由照相机5所拍摄的缺陷修复前的縮略图像与回顾检查图像308对应起 来显示的区域。在图3中，显示有与縮略图像308a、 308c和308d对应 的縮略图像310a、 310c、 310d。修复后图像栏311是将被登记为修复对 象的缺陷的修复后(激光照射后)的縮略图像与回顾检查图像或修复前 图像对应起来显示的区域。在图3中，显示有与縮略图像310a、 310c、
20 3 1 0d对应的修复后的縮略图像312a、 312c、 312d。
缺陷列表栏313是显示与在回顾检查图像栏307上显示的各个縮略 图像对应的缺陷数据(座标和大小等)的区域。与被登记为修复对象的 縮略图像对应的缺陷数据，例如被利用和与未登记的縮略图像对应的缺 陷数据不同的颜色来显示。
25 另外，在縮略图像中的缺陷小不易观察的情况下，当操作者通过使
光标300对准回顾检查图像栏307上的任意縮略图像并双击等而进行放 大指定时，也可以从存储部66读出与该縮略图像对应的縮小处理前的回 顾检查图像来放大显示。或者，当操作者使光标300对准回顾检查图像 栏307上的縮略图像并双击时，也可以由照相机5再次拍摄显示于该缩
略图像中的缺陷，显示缺陷的回顾检査图像。
在再次显示缺陷的图像时，主控制部65检测从操作部64输出的信
号，根据该信号判断哪个缺陷被选择为再次的拍摄对象。主控制部65根 据存储在存储部66中的检查数据，识别该缺陷的座标，将该座标通知给
5载物台控制部63，并且指示载物台2的移动。接收到指示的载物台控制 部63驱动载物台2，根据通知的缺陷座标来控制移动量。载物台2把基 板1移动到使所选择的缺陷进入物镜14的视野区域的位置上。
照相机5拍摄基板1的表面而生成图像信号，输出给控制装置6。 控制装置6的图像处理部62将基于图像信号的图像数据输出给主控制部
io 65。主控制部65将该图像数据输出给显示器7。显示器7根据该图像数 据显示基板1的表面图像。由此，操作者可以再次确认重新拍摄的回顾 检査图像内的缺陷。
以上参照附图具体说明了本发明的实施方式，但具体结构不限于这 些实施方式，也包括不脱离本发明宗旨的范围内的设计变更等。例如，
15在上述实施方式中，支持基板1的载物台2移动，但也可以使包括物镜 14的光学系统在基板1上进行XY移动，还可以使包括载物台2和物镜 14的检查头分别沿X方向和Y方向在一轴方向上相对移动。并且，物镜 14在观察基板1时和照射激光时可以是相同的倍率，也可以是不同的倍 率。另外，也可以将通过照相机5拍摄的縮小前的原图像数据与縮略图
20像数据一起记录。
权利要求
1.一种修复基板上的缺陷的缺陷修复装置，其特征在于，该缺陷修复装置具有摄像部，其根据在修复工序前面的检查工序中检查出的所述基板的检查数据的缺陷位置信息，拍摄作为回顾检查对象的缺陷；显示部，其将通过所述摄像部所拍摄的各缺陷回顾检查图像缩小并一览显示；缺陷选择部，其从通过所述显示部一览显示的所述回顾检查图像中选择要修复的缺陷；缺陷修复部，其修复通过所述缺陷选择部选择的所述缺陷；以及控制部，其控制所述摄像部、所述显示部和所述缺陷修复部。
2. 根据权利要求l所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部 进行如下控制使摄像部根据所述检查数据的缺陷位置信息，在所述缺陷修复部修复缺陷之前，拍摄作为回顾检査对象的所有缺陷，使图像处 理部将该回顾检查图像生成为縮小图像，使该縮小图像与所述缺陷数据 关联起来存储在存储部中，根据修复开始指令，从所述存储部中读出回 顾检查图像的縮小图像，使所述显示部进行一览显示。
3. 根据权利要求1或2所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部进行如下控制使所述摄像部拍摄通过所述缺陷修复部修复的所述 缺陷的修复后的图像，并且使所述显示部将通过所述摄像部所拍摄的修 复后的图像縮小，与所述回顾检查缺陷图像关联起来进行显示。
4. 根据权利要求1或2所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部进行如下控制使所述摄像部拍摄通过所述缺陷修复部修复的所述 25缺陷的修复前后的图像，并且使所述显示部将修复前和修复后的图像縮 小，与所述回顾检查缺陷图像关联起来进行显示。
5. 根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部 从外部装置获取在检查工序中检查出的所述基板的检査数据，根据该检 查数据选择作为需要修复的回顾检查对象的缺陷，使所述摄像部根据该选择的回顾检查对象缺陷的位置信息来拍摄被选择为回顾检査对象的各 个缺陷。
6.根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部 使摄像部根据所述检查数据的缺陷位置信息，在所述缺陷修复部修复缺 5陷之前拍摄作为回顾检查对象的所有缺陷，使该回顾检查图像和縮小的 缩小回顾检查图像存储在存储部中，通过对在所述显示部上縮小而一览 显示的回顾检查图像进行放大指定，从而从所述存储部中读出所述縮小 处理前的回顾检査图像并放大显示。
全文摘要
本发明涉及一种可以减轻操作者的负荷、并可高效地修复缺陷的缺陷修复装置。在进行缺陷修复之前，载物台(2)根据主控制部(65)的指示，使基板(1)进行二维移动而移动到使缺陷进入物镜(14)的视野区域的位置。照相机(5)生成基于射入光的图像信号，输出给控制装置(6)。图像处理部(62)根据回顾检查图像信号生成缩略图像数据，输出给主控制部(65)。主控制部(65)将回顾检查图像的缩略图像数据与缺陷数据关联起来存储在存储部(66)中。在输出了修复开始指示时，主控制部(65)从存储部(66)读出所有回顾检查对象缺陷的缩略图像数据，输出给显示器(7)。显示器(7)根据所输入的缩略图像数据，将各个缺陷的回顾检查图像显示为缩小的缩略图像。向由确认了回顾检查图像的显示的操作者所选择的缺陷照射激光。
文档编号G02F1/13GK101101857SQ20071012697
公开日2008年1月9日 申请日期2007年7月2日 优先权日2006年7月3日
发明者赤羽隆之 申请人:奥林巴斯株式会社