专利名称：：柔性光波导及光学模块的制作方法
技术领域：
：本发明涉及可弯曲性、耐热性及透明性优异的柔性光波导及光学模块。
背景技术：
：近年来，为了适应高速度大容量的信号传输，正在推动改变原来的电气线路、使用光线路的信号传输技术。作为光传输线路，从加工容易性、低成本、布线自由度及高密度化方面考虑，聚合物光波导受到了关注。作为聚合物光波导的形式，通常认为不具有需要进行板间连接的硬支持基板、具备柔软性的柔性光波导是适宜的。对于这种柔性光波导，除了板间的连接外，还研究了其对以往使用了柔性电路板的折叠型便携电话的铰链部分及连接笔记本电脑的显示器和主体的铰链部分等的适用性、对日常设备的适用性，要求其具有可弯曲性、耐热性及透明性。作为以往的柔性光波导，已提出了例如专利文献l中记载的聚合物光波导膜。该聚合物光波导膜将重氢化或卣化的聚(曱基)丙烯酸酯用于包层及芯层，采用旋涂法进行制作，列举了在波长1.3pm下波导的波导损耗(波导长5cm)为1.1dB及1.5dB的例子，而且公开了在波导不弯曲的状态下及弯曲的状态下损耗相同(参见专利文献l，实施例1及2)。其中，关于制作的聚合物光波导膜的可弯曲性，虽然描述了如上所述在波导不弯曲的状态下及弯曲的状态下的波导损耗，但是并没有描述弯曲时的曲率半径及反复弯曲试验结果等具体的测定条件，其程度是不明确的。另外，关于耐热性及透明性也是不明确的。如上所述，在以往的柔性光波导中，同时具备可弯曲性、耐热性及透明性的光波导是未知的。专利文献1:日本特许第3249340号公报
发明内容本发明是鉴于上述观点而做出的，目的是提供具有高度的可弯曲性、耐热性及透明性的柔性光波导及使用柔性光波导的光学模块。本发明人反复进行了深入研究，结果发现可利用以下记载的内容来解决上述问题。即，本发明涉及以下的(1)~(17)。(1)柔性光波导，其具有芯部和包层，并且在曲率半径为2mm的360°弯曲试验中插入损耗的增加量为O.ldB以下。(2)上述(1)中所述的柔性光波导，其中芯部和包层的比折射率差为1~10%。(3)上述(1)或(2)中所述的柔性光波导，将曲率半径为5mm的反复弯曲试验进行10万次后的插入损耗的增加量为O.ldB以下。(4)上述(1)~(3)中任一项所述的柔性光波导，薄膜拉伸试验中的弹性模量为0.056GPa。(5)上述(1)(4)中任一项所述的柔性光波导，薄膜拉伸试验中的最大伸长率为350°/0。(6)上述(1)(5)中任一项所述的柔性光波导，其厚度为950(Him。(7)上述(1)(6)中任一项所述的柔性光波导，将最高温度为265°C的回流试验进行3次后的传输损耗的增加量为0.05dB/cm以下。(8)上述(1)~(7)中任一项所述的柔性光波导，传输损耗为0JdB/cm以下。(9)上述(1)~(8)中任一项所述的柔性光波导，芯部和/或包层是使用含有(A)粘结剂聚合物、(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的树脂组合物制作的。(10)上述(9)中所述的柔性光波导，该柔性光波导是使用以下树脂组合物制作的相对于(A)成分及(B)成分的总量，含有(A)成分580质量％及(B)成分20~95质量％，并且相对于(A)成分及(B)成分的总量100质量份，含有(C)成分0.110质量份。(11)上述(9)或(10)中所述的柔性光波导，其中(A)粘结剂聚合物是苯氧基树脂。(12)上述(9)U1)中任一项所述的柔性光波导，其中含有分子内具有乙烯性不饱和基团的化合物作为(B)光聚合性化合物。(13)上述(9)~(12)中任一项所述的柔性光波导，其中含有单官能(甲基)丙烯酸酯作为(B)光聚合性化合物，所述单官能(曱基)丙烯酸酯具有选自芳基、芳烷基、芳氧基及芳香族杂环基中的至少一种基团。(14)上述(9)(12)中任一项所述的柔性光波导，其中含有下述通式(1)表示的乙氧基化药型二(曱基)丙烯酸酯作为(B)光聚合性化合物。(式中，R'表示氢原子或曱基，WR。各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~12的烷基、碳原子数为1~6的烷氧基、碳原子数为2~7的烷氧羰基、碳原子数为6~10的芳基、或碳原子数为79的芳烷基。a及b各自独立地表示1~20的整数。)(15)上述(9)~(12)中任一项所述的柔性光波导，其中含有下式通式(2)表示的(曱基)丙烯酸酯作为(B)光聚合性化合物。(式中，X为CH2CH(OH)CH2、(C2H40)cC2H4、(C3H60)dC3H6、或(C2H40)e(C3H60)fC3H6，Y表示C(CH3)2、CH2、S02或0，c、d、e及f分别表示0至10的整数。R"表示氬原子或曱基，R"表示氢原子、曱基或卤素原子。)(16)上述(9)~(11)中任一项所述的柔性光波导，其中含有分子内具有2个以上环氧基的化合物作为(B)光聚合性化合物。(17)使用了上述(1)~(16)中任一项所述的柔性光波导的光学模块。根据本发明，可以提供具有高弯曲性、耐热性和透明性的柔性光波导和使用柔性光波导的光学模块。附图简要说明图l说明了本发明的柔性光波导的形态，是剖面图。图2显示了在本发明中所实施的回流试验中回流炉内的温度曲线。图3显示了使用实施例1中制作的柔性光波导进行360°弯曲试验时的曲率半径和损耗变化。图4显示了使用实施例1中制作的柔性光波导进行反复弯曲试验时的弯曲次数和损耗变化。图5显示了使用实施例1中制作的柔性光波导测定传输损耗时的结果。符号说明1:柔性光波导(光波导)2:芯部3:上部包层4:下部包层5、保护膜具体实施例方式图1(a)中显示了本发明的柔性光波导的例子。光波导1由高折射率的芯层形成用树脂形成的芯部2和低折射率包层形成用树脂形成的包层(上部包层3及下部包层4)构成。关于芯部2，在芯层形成用树脂形成的芯层上，如后所述透过负掩模图案以图像状照射活性光线，然后经过显影工序形成图案状。另外，对于光波导l，也可以如图l(b)、(c)及(d)那样，在上部包层3或下部包层4的外侧中的至少一方上设置保护膜5。通过设置保护膜5，可以将保护膜5的柔软性及强韧性赋予光波导1。而且，由于光波导1不会变脏或受损，因此提高了操作容易性。〔包层形成用树脂〕作为本发明中使用的包层形成用树脂，只要能达到本发明的效果，就没有特别的限制，适宜使用比芯层的折射率低、通过光或热固化的热固性树脂组合物或感光性树脂组合物。作为更适宜的情况，优选包层形成用树脂由含有(A)粘结剂聚合物、(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的树脂组合物构成。此处使用的(A)粘结剂聚合物是用于形成包层并确保该包层的强度及可弯曲性的材料，只要能达到该目的，就没有特别的限制，可以列举苯氧基树脂、环氧树脂、(曱基)丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚芳酯、聚醚酰胺、聚醚酰亚胺、聚醚砜等，或它们的衍生物等。这些粘结剂聚合物可以单独使用，或2种以上混合使用。在这些聚合物中，从耐热性高的方面考虑，优选主链上具有芳香环的聚合物，特别优选苯氧基树脂。另外，从三维交联、提高耐热性方面考虑，优选环氧树脂，特别是室温(25°C)下为固态的环氧树脂。而且，为了确保包层形成用树脂膜的透明性，其与后文详述的(B)光聚合性化合物的相溶性是重要的，从该方面考虑，上述苯氧基树脂及(曱基)丙烯酸树脂是优选的。还有，此处的(曱基)丙烯酸树脂是指丙烯酸树脂及曱基丙烯酸树脂。在苯氧基树脂中，从具有高耐热性方面考虑，优选双酚A型环氧树脂的直链状高分子聚合物。属于该直链状高分子聚合物的苯氧基树脂通常是通过使双酚A和表氯醇进行缩聚反应的一步法、或使2官能环氧树脂和双盼A进行加聚的两步法进行制造。作为具体例子，可以列举东都化成抹式会社制造的"非诺托(7工乂卜-卜)YP-50、非诺托YP-55、非诺托YP-70"(均为商品名)、曰本特开平4-120124号公报、特开平4-122714号公报及特开平4-339852号公报中记载的物质等。作为室温(25。C)下为固态的环氧树脂，例如可以列举东都化成抹式会社制造的"艾珀托(工求卜-卜)YD-7020、艾珀托YD-7019、艾珀托YD-7017"(均为商品名)、日本环氧树脂公司制造的"艾皮克托(工匕。i-卜)1010、艾皮克托1009、艾皮克托1008"(均为商品名)等双酚型环氧树脂。关于(A)粘结剂聚合物的分子量，从强度及可弯曲性方面考虑，优选重均分子量分子量为20,000以上，更优选为50,000以上。重均分子量的上限没有特别的限制，但是从和(B)光聚合性化合物的相溶性及曝光显影性方面考虑，优选为l,OOO，OOO，更优选为500,000以下。还有，本发明中的重均分子量是采用凝胶渗透色谱(GPC)测定、通过标准聚苯乙烯换算的值。(A)粘结剂聚合物的配合量，相对于(A)成分及(B)成分的总量优选为5~80质量％。如果是5质量％以上，则可以得到具有充分的强度和可弯曲性的固化树脂。如果是80质量％以下，则由于曝光时(B)成分的包缠，容易进行固化，能够充分地获得对制造过程中使用的溶剂的耐受性(以下称为"耐溶剂性")。从以上方面考虑，更优选为10~75质量％，特别优选为2070质量%。作为(B)光聚合性化合物，只要能利用紫外线等光的照射进行聚合，就没有特别的限制，可以列举分子内具有2个以上环氧基的化合物及分子内具有乙烯性不饱和基团的化合物等。其中，从和上述苯氧基树脂的相溶性方面考虑，优选含有分子内具有2个以上环氧基的化合物的物质。具体来说，可以列举双酚A型环氧树脂、四溴双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、双酚AF型环氧树脂、双酚AD型环氧树脂、芴型环氧树脂、萘型环氧树脂等2官能芳香族缩水甘油醚；酚醛清漆型环氧树脂、曱酚酚醛清漆型环氧树脂、双环戊二烯-酚型环氧树脂、四羟苯基乙烷型环氧树脂等多官能芳香族缩水甘油醚；聚乙二醇型环氧树脂、聚丙二醇型环氧树脂、新戊二醇型环氧树脂、己二醇型环氧树脂等二官能脂肪族缩水甘油醚；三羟曱基丙烷型环氧树脂、山梨醇型环氧树脂、甘油型环氧树脂等多官能脂肪族缩水甘油醚；氢化双酚A型环氧树脂、氢化双酚F型环氧树脂等2官能脂环式缩水甘油醚；邻苯二曱酸二缩水甘油酯等2官能芳香族缩水甘油酯；四氬邻苯二曱酸二缩水甘油酯、六氢邻苯二曱酸二缩水甘油酯等2官能脂环式缩水甘油酯；N,N-二缩水甘油基苯胺、N，N-二缩水甘油基三氟曱基苯胺等2官能芳香族缩水甘油胺；N，N，N，,N，-四缩甘油基-4,4-二氨基二苯基曱烷、1，3-双(N，N-缩水甘油基氨基曱基)环己烷、N，N,O-三缩水甘油基-对氨基苯酚等多官能芳香族缩水甘油胺；脂环族二环氧缩醛、脂环族二环氧基己二酸酯、脂环族二环氧基羧酸酯、乙烯基二氧化环己烯等2官能脂环式环氧树脂；三缩水甘油基异氰脲酸酯等多官能杂环式环氧树脂；有机聚硅氧烷型环氧树脂等2官能或多官能含硅环氧树脂等。在这些物质中，从透明性及耐热性方面考虑，优选2官能芳香族缩水甘油醚、2官能脂环式缩水甘油醚、2-官能脂环式环氧树脂。这些分子内具有2个以上环氧基的化合物的分子量通常为1002，000左右，优选为150~1,000左右。关于这些化合物，适宜使用室温(25°C)下为液态的物质。另夕卜，这些化合物可以单独使用，也可以2种以上组合使用，而且还可以与其它的光聚合性化合物组合使用。还有，光聚合性化合物的分子量可通过GPC法或质量分析法进行测定。作为分子内具有乙烯性不饱和基团的化合物的具体例子，可以列举(曱基)丙烯酸酯、偏卣乙烯、乙烯基醚、乙烯基吡啶、乙烯基苯酚等。在这些物质中，从透明性和耐热性方面考虑，优选(曱基)丙烯酸酯。作为(甲基)丙烯酸酯，可以使用单官能、2官能、3官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯中的任意物质。还有，此处的(曱基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯及曱基丙烯酸酯。作为单官能(曱基)丙烯酸酯，例如可以列举(曱基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙蹄酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(曱基)丙烯酸丁氧乙酯、(曱基)丙烯酸异戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(曱基)丙烯酸辛基庚酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(曱基)丙烯酸癸酯、(曱基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(曱基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯、(曱基)丙烯酸十五烷基酯、(曱基)丙烯酸十六烷基酯、(曱基)丙烯酸硬脂酯、(曱基)丙烯酸山嵛酯等(甲基)丙烯酸烷基酯类；(曱基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙蜂酸2-羟基丙酯、(曱基)丙烯酸3-氯-2-羟基丙酯、(曱基)丙烯酸2-羟基丁酯等具有羟基的(曱基)丙烯酸烷基酯类；(曱基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(曱基)丙烯酸2-四氢呋喃基酯、(甲基)丙烯酸双环戊基酯、(甲基)丙烯酸双环戊二烯酯、(曱基)丙烯酸异水片烯酯等脂环式(甲基)丙烯酸酯类；曱氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、乙氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、甲氧基聚丙二醇(曱基)丙烯酸酯、乙氧基聚丙二醇(曱基)丙烯酸酯等烷氧基聚亚烷基二醇(甲基)丙烯酸酯类；苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯等芳氧基聚亚烷基二醇(曱基)丙烯酸酯类；(甲基)丙烯酸节酯等具有芳烷基的(曱基)丙烯酸酯类；(甲基)丙烯酸苯酯、(曱基)丙烯酸邻联苯基酯、(曱基)丙烯酸l-萘基酯、(曱基)丙烯酸2-萘基酯等具有芳基的(曱基)丙烯酸酯类；(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸对枯基苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸邻笨基苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸l-萘氧基乙酯、(曱基)丙烯酸2-萘氧基乙酯、2-羟基-3-苯氧基丙基(曱基)丙烯酸酯、2_羟基_3_(邻苯基苯氧基)丙基(曱基)丙烯酸酯、2-鞋基-3-(l-萘氧基)丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-3-(2-萘氧基)丙基(曱基)丙烯酸酯等具有芳氧基的(曱基)丙烯酸酯类；2-(曱基)丙烯酰氧乙基-N-咔唑等具有芳香族杂环式基团的(曱基)丙烯酸酯类；单(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)琥珀酸酯、单(2-(曱基)丙烯酰氧乙基)邻苯二曱酸酯、单(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)间苯二甲酸酯、单(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)对苯二曱酸酯、单(2-(曱基)丙烯酰氧乙基)四氢邻苯二甲酸酯、单(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)六氢邻苯二甲酸酯、单(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)六氢间苯二甲酸酯、单(2_(曱基)丙烯酰氧乙基)六氢对苯二甲酸酯等多元羧酸(曱基)丙烯酰氧烷基酯类等。在这些物质中，从透明性及耐热性方面考虑，优选使用(曱基)丙烯酸苄酯、(曱基)丙烯酸苯酯、(曱基)丙烯酸邻联苯酯、(曱基)丙烯酸l-萘基酯、(曱基)丙烯酸2-萘基酯、(曱基)丙烯酸苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸对枯基苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸邻苯基苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸l-萘氧基乙酯、(曱基)丙烯酸2-萘氧基乙酯、2-(甲基)丙烯酰氧乙基-N-咔唑、2-羟基-3-苯氧基丙基(曱基)丙烯酸酯、2-羟基-3-(邻苯基苯氧基)丙基(曱基)丙烯酸酯、2_羟基_3_(1-萘氧基)丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-3-(2-萘氧基)丙基(曱基)丙烯酸酯。作为2官能(曱基)丙烯酸酯，可以列举二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸二乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸三乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸四乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸聚乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸丙二醇酯、二(曱基)丙烯酸二丙二醇酯、二(曱基)丙烯酸三丙二醇酯、二(曱基)丙烯酸四丙二醇酯、二(甲基)丙烯酸聚丙二醇酯、二(曱基)丙烯酸酯乙氧基化聚丙二醇酯、二(甲基)丙烯酸l,3-丁二醇酯、二(甲基)丙烯酸l,4-丁二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、3-曱基-l，5-戊二醇二(曱基)丙烯酸酯、二(曱基)丙烯酸1，6-己二醇酯、2-丁基-2-乙基-l,3-丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、二(曱基)丙烯酸1,9-壬二醇酯、二(曱基)丙烯酸1,10-癸二醇酯、二(曱基)丙烯酸甘油酯、三环癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化2-曱基-l,3-丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化药型二(曱基)丙烯酸酯、双酚A型、双酚F型、双酚AF型、氢化双盼A型及氢化双酚F型环氧(曱基)丙烯酸酯。在这些物质中，从透明性及耐热性方面考虑，优选使用乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化双酚A二(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化药型二(曱基)丙烯酸酯、双酚A型、双酚F型及双酚AF型环氧(甲基)丙烯酸酯等。具体来说，优选使用下述通式(1)表示的乙氧基化芴型二(曱基)丙烯酸酯、下述通式(2)表示的(甲基)丙烯酸酯等。式中，RJ表示氬原子或曱基，R^R"各自独立地表示氢原子、碳原子数为112的烷基、碳原子数为16的烷氧基、碳原子数为2~7的烷氧羰基、碳原子数为610的芳基、或碳原子数为7~9的芳烷基。a及b各自独立地表示1~20的整数。还有，在通式(1)中，W为氢原子、112~1113为氢原子、a及b为1的物质可以作为市售产品获得(新中村化学株式会社制，商品名"A-BPEF，，)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>(2)式中，X为CH2CH(OH)CH2、(C2H40)CC2H4、(C3H60)dC3H6、或(C2H40)e(C3H60)AH6,Y表示C(CH3)2、CH2、S。2或0,c、d、e及f分别表示0至10的整数。R"表示氢原子或甲基，R"表示氢原子、曱基或卣素原子。在这些物质中，优选X为CH2CH(OH)CH2、Y为C(CH3)2、R"及R"为氢原子时表示的双酚A型环氧丙烯酸酯，该化合物可以作为市售产品获得(新中村化学林式会社制，商品名"EA-1020")。还有，作为(B)成分，也可以同时使用上述药二(甲基)丙烯酸酯和分子内具有至少一个(曱基)丙烯酰基的化合物。作为3官能以上的(曱基)丙烯酸酯，例如可以列举三羟曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化三羟曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(曱基)丙烯酸酯、环氧化季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇四(曱基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化异氰脲酸三(曱基)丙烯酸酯、苯酚酚醛清漆型及甲酚酚醛清漆型环氧(曱基)丙烯酸酯等。在这些物质中，从透明性及耐热性方面考虑，优选使用苯酚酚醛清漆型及甲酚酚醛清漆型环氧(曱基)丙烯酸酯。这些化合物可以单独使用，也可以2种以上组合使用，而且还可以与其它的光聚合性化合物组合使用。(B)光聚合性化合物的配合量，相对于(A)成分及(B)成分的总量优选为2095质量％。如果为20质量％以上，则容易通过包缠使(A)粘结剂聚合物固化，可以获得充足的耐溶剂性。另外，如果为95质量％以下，则可以获得具有足够强度及可弯曲性的固化树脂。从以上方面考虑，(B)光聚合性化合物的配合量更优选为25~90质量％，特别优选为30~80质量％。作为(C)光聚合引发剂，只要是能够利用紫外线等光的照射使(B)光聚合性化合物进行聚合的化合物，就没有特別的限制。在(B)成分中使用环氧树脂时，作为(C)光聚合引发剂，例如可以列举对甲氧基苯重氮六氟磷酸盐等芳基重氮盐；二苯基碘六氟磷酸盐、二苯基碘六氟锑酸盐等二芳基硤盐；三苯基锍六氟磷酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟磷酸盐、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟锑酸盐、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍五氟羟基锑酸盐等三芳基锍盐；三苯基硒六氟磷酸盐、三苯基硒四氟硼酸盐、三苯基硒六氟锑酸盐等三芳基硒盐；二曱基苯曱酰甲基锍六氟锑酸盐、二乙基苯甲酰甲基锍六氟锑酸盐等二烷基苯甲酰曱基锍盐；4-羟基苯基二甲基锍六氟锑酸盐、4-羟基苯基爷基甲基^lt六氟锑酸盐等二烷基-4-羟基盐；a-羟基曱基苯偶姻磺酸酯、N-羟基酰亚胺基磺酸酯、a-磺酰氧基酮、卩-磺酰氧基酮等磺酸酯等。在这些物质中，从透明性及固化性方面考虑，优选使用三芳基锍盐。另外，当(B)成分中使用分子中具有乙烯性不饱和基团的化合物时，作为(C)光聚合引发剂，例如可以列举二苯曱酮、N,N，-四曱基-4,4，-二氨基二苯曱酮、N,N，-四乙基-4,4，-二氨基二苯曱酮、4-曱氧基-4，-二曱基氨基二苯甲酮、2，2-二曱氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-曱基-l-苯基丙烷-l-酮、1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-曱基-l-丙烷-l-酮、-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮、1,2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、l-[(4-苯硫基)苯基]-l,2-辛二酮-2-苯曱酰肟等芳香族酮；2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2，3-二苯基蒽醌、l-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1,4-萘醌、9，10-菲醌、2-甲基-l，4-萘醌、2,3-二曱基蒽醌等醌类；苯偶姻曱基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚化合物；苯偶姻、曱基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；安息香双曱醚等偶苯酰衍生物；2-(邻氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚体、2-(邻氯苯基)-4,5-二(曱氧基苯基)咪唑二聚体、2-(邻氟苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚体、2-(邻甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚体、2-(对甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚体等2，4,5-三芳基咪唑二聚体；双(2，4,6-三曱基苯曱酰基)苯基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2，4,4-三甲基戊基氧化膦、2，4，6-三曱基苯甲酰基二苯基氧化膦等氧化膦类；9-苯基吖啶、1，7-双(9，9，-吖啶基庚烷)等吖哽衍生物；N-苯基对羟苯基甘氨酸；香豆素类化合物等。另夕卜，在2,4，5-三芳基咪唑二聚体中，两个三芳基咪唑部位的芳基的取代基可以相同而提供对称化合物，也可以不同而提供不对称化合物。另外，也可以是二乙基p塞吨酮和二甲基氨基苯曱酸的组合这样的噻吨酮类化合物和叔胺的组合。在这些物质中，特别是从透明性和厚膜固化性方面考虑，优选使用1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-曱基-l-苯基丙烷小酮、1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-甲基-l-丙烷-l-酮等a-羟基酮；氧化膦类。上述的(C)光聚合引发剂可以单独使用，也可以2种以上组合使用，而且还可以与适当的敏化剂组合使用。(C)光聚合引发剂的配合量，相对于(A)成分及(B)成分的总量IOO优选为0.1~10质量％。如果为0.1质量°/。以上，则光敏度充足。另外，如果为10质量％以下，则仅光波导表面进行选择性地固化，不会导致固化不足，而且通过光聚合引发剂本身的吸收，也不会增大传输损耗，因此是适宜的。从以上方面考虑，(C)光聚合引发剂的配合量更优选为0.3~7质量％，特别优选为0.55质量％。另外，除此之外，还可以根据需要，以不对本发明的效果带来不良影响的比例在包层形成用树脂中添加抗氧化剂、防黄变剂、紫外线吸收剂、可见光吸收剂、着色剂、增塑剂、稳定剂、填料等所谓的添加剂。对于包层形成用树脂，也可以将含有(A)(C)成分的树脂组合物溶解在适当的有机溶剂中，作为包层形成用树脂清漆进行使用。作为此处使用的有机溶剂，只要是能够溶解构成包层形成用树脂的树脂组合物的溶剂，就没有特别的限制。作为有机溶剂，例如可以列举丙酮、曱醇、乙醇、异丙醇、甲乙酮、甲基异丁基酮、环己酮、醋酸丁酯、乳酸乙酯、，丁内酯、曱基溶纤剂、乙基溶纤剂、丁基溶纤剂、丙二醇单曱基醚、丙二醇单曱基醚醋酸酯、曱苯、二甲苯、N，N-二甲基曱酰胺、N,N-二曱基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮等。在这些溶剂中，从溶解性及沸点方面考虑，优选使用曱乙酮、曱基异丁基酮、环己酮、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙基溶纤剂、丙二醇单甲基醚醋酸酯、N,N-二曱基乙酰胺。上述有机溶剂可以单独使用，也可以2种以上组合使用。该树脂清漆中的固形物浓度优选为30~80质量％。调配包层形成用树脂清漆时，优选通过搅拌进行混合。搅拌方法没有特别的限制，但是从搅拌效率方面考虑，优选使用螺旋桨的搅拌方式。搅拌时的旋转速度没有特别的限制，但优选为101,000rpm。如果为10rpm以上，则可以使(A)~(C)成分以及有机溶剂各种成分得到充分混合。如果为l，OOOrpm以下，则因螺旋浆旋转而导致的气泡巻入少。从以上方面考虑，更优选为50800rpm,特别优选为100500rpm。搅拌时间没有特别的限制，优选为124小时。如果为1小时以上，则可以使(A)(C)成分以及有机溶剂各种成分得到充分混合。如果为24小时以下，则可以缩短清漆的调配时间。对于调配的包层形成用树脂清漆，优选使用孔径为50^n以下的过滤器进行过滤。如果孔径为50pm以下，则可以除去较大异物，涂布清漆时不会产生排斥((iU3)等。从以上方面考虑，更优选使用孔径为30pm以下的过滤器进行过滤，特别优选^^用孔径为lOiim以下的过滤器进行过滤。优选对调配的包层形成用树脂清漆进行减压脱泡。脱泡方法没有特别的限制，作为具体例子，可以使用真空泵和钟形罩、带有真空装置的脱泡装置等。减压时的压力没有特别的限制，优选不会使树脂清漆中的有机溶剂沸腾的压力。减压脱泡时间没有特别的限制，优选为360分钟。如果为3分钟以上，则可以除去树脂清漆中溶解的气泡。如果为60分钟以下，则树脂清漆中所含的有机溶剂不会挥发。在图1(a)~(d)的柔性光波导的情况下，下部包层4可以通过以下方式形成，例如采用旋涂法等方法将上述包层形成用树脂清漆涂布在基板上，并将有机溶剂除去。或者通过以下方式形成，即，将包层形成用树脂清漆涂布在适当的支持膜上，除去有机溶剂，从而制作包层形成用树脂膜。而且，可以通过采用层合等方法将该树脂膜贴合在基板上。在下部包层4的外侧设置有保护膜5的图1(b)及(d)的柔性光波导的情况下，例如贴合了包层形成用树脂膜的基板可以兼作保护膜使用。另外，包层形成用树脂膜中使用的支持膜也可以兼作保护膜使用。在下部包层4的外侧未设置保护膜5的图1(a)及(c)的柔性光波导的情况下，例如可以在制作光波导1后，通过试剂液处理等方法，从下部包层4上剥离上述使用的基板及支持膜。在图1(a)(d)的柔性光波导的的情况下，对于上部包层3，例如可以在形成后述的芯部2后，使用上述包层形成用树脂清漆或包层形成用树脂膜，通过与上述所示的下部包层4相同的方法来形成。在上部包层3的外侧设置有保护膜5的图1(c)及(d)的柔性光波导的情况下，例如可以在形成上部包层3后，通过层合等方法贴合保护膜5。另外，上述所示的包层形成用树脂膜中使用的支持体，或贴合了包层形成用树脂膜的基板也可以兼作保护膜使用。在上部包层3的外侧未设置保护膜5的图1(a)及(b)的柔性光波导的情况下，例如可以在形成上部包层3后，通过试剂液处理等方法，从上部包层3上剥离支持膜。关于包层(包括上部包层3及下部包层4全部)的厚度，优选为9500pm。如果为9(im以上，则容易将传输光封闭在芯部内部，另外，如果为500(im以下，则不会使光波导1整体厚度过大，可以得到足够的柔软性。从以上方面考虑，该包层的厚度更优选为10~300,,进一步优选为20200j^m,特别优选为3(M50拜。另外，关于包层的厚度，最初形成的下部包层4和用于埋入芯图案的上部包层3可以相同或不同，但是从光波导1的整体厚度小时，可实现更优异的柔软性方面考虑，优选使下部包层4的厚度小于上述包层3的厚度。作为上部包层3的厚度，优选为7300iam,更优选为7200jim。作为下部包层4的厚度，优选为2200|im,更优选为2150|im。还有，上部包层3的厚度是指从芯部2和下部包层4的边界开始至上部包层3的上表面的值，下部包层4的厚度是指从芯部2和下部包层4的边界开始至下部包层4的下表面的值。当形成包层时使用上述所示的包层形成用树脂膜时，该树脂膜的制造过程中使用的支持膜的材料没有特别的限制，可以使用各种材料。从作为支持膜的柔软性及强韧性方面考虑，例如适宜列举聚对苯二曱酸乙二醇酯(PET)、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二曱酸乙二醇酯等聚酯；聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚苯醚、聚硫醚、聚醚酮、聚芳酯、液晶聚合物、聚砜等。支持膜的厚度也可以根据目标柔软性进行适宜的变化，但优选为210(Him。如果为2^m以上，则可以得到足够的强韧性。如果为lOOiim以下，则可以获得足够的柔软性。从以上方面考虑，更优选为280nm,进一步优选为5~50)im，特别《尤选为825fim。当上述包层形成用树脂膜的支持体兼作如图1(a)(d)所示那种柔性光波导的保护膜5使用时，优选在支持膜上施加粘接处理，在该处理面上涂布包层形成用树脂清漆。由此，提高了包层和支持膜，即保护膜5的粘接力，可以抑制包层和保护膜5剥离的不良情况。此处的粘接处理是指通过易粘接树脂涂层、防静电树脂涂层、电暈处理、等离子体处理、反应性离子蚀刻处理、喷砂等粗糙加工，提高保护膜5和其上形成的包层形成用树脂的粘接力的处理。〔芯层形成用树脂〕作为本发明中使用的芯层形成用树脂，只要能达到本发明的效果，就没有特别的限制，适宜使用比包层的折射率高、可通过紫外线等活性光线照射形成芯图案的感光性树脂组合物。具体来说，更优选使用与上述包层形成用树脂相同的树脂组合物。即，含有上述(A)、(B)及(C)成分，必要时含有上述添加剂等的树脂组合物。其中，从除了高耐热性、高透明性外，使芯部具有比包层更高的折射率的方面考虑，特别优选使用含有作为上述(B)光聚合性化合物的上述通式(1)表示的乙氧基化芴型二(曱基)丙烯酸酯和/或上述通式(2)表示的(曱基)丙烯酸酯的树脂组合物。芯层形成用树脂与上述包层形成用树脂一样，也可以溶解在适当的有机溶剂中，作为芯层形成用树脂清漆进行使用。对于芯层形成用树脂清漆，优选通过与上述包层形成用树脂清漆相同的方法进行调配、过滤及脱泡。芯层可以通过以下方式形成，即，使用旋涂等方法在下部包层4上涂布芯层形成用树脂清漆，并除去有机溶剂。或者通过以下方式形成，即，将芯层形成用树脂清漆涂布在适当的支持膜上，除去有^U容剂，从而制作芯层形成用树脂膜，然后通过采用层合等方法将该树脂膜贴合在下部包层4上。关于芯层的厚度，优选为5-10(Vm。如果为5|im以上，则容易进行芯中心和连接端子的精密位置调节，另外，如果为lOOiim以下，则不会使光波导l整体厚度过大，可以得到足够的柔软性。从以上方面考虑，该芯层的厚度更优选为10~70(am，特别优选为20~60|im。在芯层形成中使用芯层形成用树脂膜时，该树脂膜制造过程中使用的支持膜在材料上没有特别的限制，可以使用各种材料。从作为支持膜的柔软性及强韧性方面考虑，以及从芯图案曝光用光线的透过率方面考虑，例如适宜列举聚对苯二曱酸乙二醇酯、聚对苯二曱酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯；聚丙烯、聚碳酸酯等。支持膜的厚度也可以根据目标柔软性进行适宜的变化，但优选为550pm。如果为5fim以上，则可以得到足够的强韧性。如果为50pm以下，则在形成芯图案时可以增大与光掩模的间距，能够形成微细的图案。从以上方面考虑，更优选为1040(im,特别优选为1530jim。另外，从提高曝光用光线的透过率及减小芯图案侧壁的粗糙性方面考虑，优选使用内部不含润滑材料粒子的高透明型支持膜。作为这种支持膜，例如可以获得东洋纺绩林式会社制造的"科斯茂新(-久乇夕X4^)A1517、科斯茂新A4100"(均为商品名)。〔柔性光波导〕优选本发明的柔性光波导在曲率半径为2mm的360°弯曲试-睑中插入损耗的增加量为O.ldB以下。如果为O.ldB以下，则在弯曲状态下使用柔性光波导时，损耗值小，传输信号强度不会减弱。还有，插入损耗是指主要由传输损耗及接合损耗造成的光损耗。优选本发明的光波导的芯部和包层的比折射率差为1~10%。如果为1%以上，则弯曲时在芯部传输的光不会泄漏到包层。如果为10%以下，则在光波导和光纤等的连接部位不会使传输光过度扩散，使接合损耗不会变大。从以上方面考虑，更优选为1.5~7.5%，特別优选为25%。还有，比折射率差通过以下所示式子求出。比折射率差(％)=[(芯部的折射率)2-(包层的折射率fl/[2x(芯部的折射率)2]x100作为本发明的柔性光波导，优选将曲率半径为5mm的反复弯曲试验进行10万次后的插入损耗的增加量为O.ldB以下。如果为O.ldB以下，则可以长期进行稳定的光传输，例如可以用于便携电话的铰链部分等通常的可动部分。从以上方面考虑，更优选为0.5dB以下。另外，将曲率半径为2mm的反复弯曲试验进行10万次后，在放大镜或显微镜下进行目视观察时，优选芯部不发生开裂。从柔性光波导的机械特性考虑，更优选包层也不发生开裂。本发明的柔性光波导在薄膜拉伸试验中的弹性模量优选为0.056GPa。如果为0.05GPa以上，则可以获得足够的柔软性，弯曲时光波导发生变形不会影响传输特性，因此是适宜的。如果为6GPa以下，则不会变脆而在弯曲时断裂，因此是适宜的。从以上方面考虑，更优选为0.16GPa,进下优选为0.25GPa,特别优选为0.54GPa。还有，弹性模量是指在薄膜拉伸试验中载荷-伸长率曲线上与原点的连线的斜率。优选本发明的柔性光波导在薄膜拉伸试验中的最大伸长率为3~50%。如果为3%以上，则不会变脆而在弯曲时断裂，因此是适宜的。如果为50%以下，则可以获得足够的柔软性，弯曲时光波导发生变形不会影响传输特性，因此是适宜的。从以上方面考虑，更优选为540%。还有，最大伸长率是指在薄膜拉伸试验中施加最大载荷的时刻的伸长率。本发明的柔性光波导的厚度优选为9500pim。如果为9iim以上，则弯曲时不会由于强度不足而断裂，因此是适宜的。如果为500)im以下，则可以获得足够的柔软性。从以上方面考虑，更优选为10300[im，进一步优选为20200(xm,特别优选为30~150(im。作为本发明的柔性光波导，优选将最高温度为265°C的回流试验进行3次后的传输损耗的增加量为0.05dB/cm以下。如果为0.05dB/cm以下，则从部件组装时的可靠性方面考虑，适用于回流工艺，可以扩大柔性光波导的应用范围。从以上方面考虑，更优选为0.03dB/cm以下。还有，最高温度为265。C的回流试验是指按IPC/JEDECJ-STD-020B的条件实施的无铅焊接回流试验。优选本发明的柔性光波导的传输损耗为0.3dB/cm以下。如果为0.3dB/cm以下，则可以抑制光损耗所导致的传输信号强度下降，因此是适宜的。从以上方面考虑，更优选为0.2dB/cm以下，特别优选为0.1dB/cm以下。在本发明的柔性光波导中使用上述树脂组合物时，对于树脂组合物的固化物，作为耐热性、可弯曲性、强度等各种物性评价，例如可通过公知的方法测定玻璃化转变温度、5质量％减少温度、拉伸弹性模量、最大拉伸强度、最大伸长率、线膨胀系数、吸水率等。作为本发明的柔性光波导的制造方法，没有特别的限制，可以列举如上所述使用芯层形成用树脂清漆和/或包层形成用树脂清漆并采用旋涂法等进行制造的方法、或使用芯层形成用树脂膜和/或包层形成用树脂膜的方法等。也可以组合这些方法进行制造。在这些方法中，从能够以低成本成批制造大面积的光波导方面考虑，优选使用该树脂膜的方法。然后，作为柔性光波导的形态，一般认为是图1(a)~(d)4种，此处，关于图1(d)中所示的保护膜5被设置于下部包层4及上部包层3的外侧的柔性光波导，对使用芯层形成用树脂膜及包层形成用树脂膜时的制造方法进行详细i兌明。首先，作为第1工序，利用光和/或热使由包层形成用树脂和支持膜构成的包层形成用树脂膜的包层形成用树脂固化，形成下部包层4。在形成该下部包层4的第1工序中，在包层形成用树脂膜的支持膜的相反侧设置保护膜时，将该保护膜剥离后，通过光和/或热使包层形成用树脂固化，形成下部包层4。形成下部包层4时的活性光线照射量优选为0.15J/cm2，加热温度优选为50~130°C，但并不局限于这些条件。接着，作为第2工序，在下部包层4上，层合由芯层形成用树脂和支持膜构成的芯层形成用树脂膜，形成芯层。在该第2工序中，在上述的下部包层4上，通过热压粘合芯层形成用树脂膜，形成比下部包层折射率高的芯层。作为第2工序中的层合方式，可以列举使用辊压层合机或平板层压机的方法，但是从粘合性及追随性方面考虑，优选使用平板层压机在减压下层合芯层形成用树脂膜。还有，本发明中的平板层压机是指将层合材料夹持在一对平板之间，通过对平板加压而进行压合的层压机，例如适宜采用真空加压式层压机。此处的加热温度优选为5013(TC，压合压力优选为0.11.0MPa(l~10kgf/cm2),但并不局限于这些条件。还有，在利用真空加压式层压机层合前，也可以使用辊压层合机预先将芯层形成用树脂膜暂时粘贴在下部包层4。此处，从粘合性及追随性方面考虑，优选一边压合一边暂时粘贴，压合时，也可以一边使用具有热辊的层压机进行加热一边进行。层压温度优选为室温(25°C)-IOO'C。如果为室温(25°C)以上，则提高了下部包层和芯层的密合性，如果为IO(TC以下，则芯层进行辊压层合时不流动，可以得到需要的膜厚。从以上方面考虑，更优选为40100°C。压力优选为0.20.9MPa，层压速度优选为0,l3m/min,但是并不局限于这些条件。接着，作为第3工序，使芯层进行曝光显影，形成光波导的芯图案(芯部2)。具体来说，使活性光线透过负掩模进行图像状照射。作为活性光线的光源，例如可以列举碳弧灯、水银蒸气弧灯、超高压水银灯、高压水银灯、氙灯等可有效照射紫外线的公知光源。另外，也可以使用其它的照相用泛光灯泡、太阳灯等可有效照射可见光的光源。此处的活性光线照射量优选为0.0110J/cm2。如果为0.01J/cn^以上，则可以充分固化，不会因后述的显影工序而使芯图案流失，如果为10J/cm2以下，则不会因曝光量大而导致粗大的芯图案，可以形成微细的芯图案，因此是适宜的。从以上方面考虑，更优选为0.055J/cm2，特别优选为0.12J/cm2。从提高解像度及芯图案密合性方面考虑，也可以在曝光后进行加热。作为从紫外线照射至曝光后加热的时间，优选在30秒~10分钟以内。如果处于该范围内，则因紫外线照射而产生的活性种不会失活。曝光后的加热温度优选为4(M60。C。然后，剥离芯层形成用树脂膜的支持膜，通过湿法显影等除去未曝光部分进行显影，形成光波导的芯图案。在湿法显影的情况下，可以使用与上述膜的组成适应的有机溶剂类显影液进行显影。作为有机溶剂类显影液，例如可以列举丙酮、曱醇、乙醇、异丙醇、曱乙酮、甲基异丁基酮、环己酮、醋酸丁酯、乳酸乙酯、y-丁内酯、曱基溶纤剂、乙基溶纤剂、丁基溶纤剂、丙二醇单曱基醚、丙二醇单曱基醚醋酸酯、曱苯、二曱苯、N，N-二曱基曱酰胺、N,N-二曱基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮等。在这些溶剂中，从溶解性方面考虑，优选使用曱乙酮、甲基异丁基酮、环己酮、乳酸甲酯、乳酸乙酯、y-丁内酯、乙基溶纤剂、丁基溶纤剂、丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚醋酸酯、N,N-二曱基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮。为了防止着火，这些有机溶剂中可以添加1~20质量％的水。另外，上述有机溶剂可以单独使用，或2种以上组合使用，但是从调节未曝光部分的溶解性方面考虑，优选与适当的有机溶剂组合使用。作为具体例子，适宜列举丙二醇单曱基醚醋酸酯/N，N-二曱基乙酰胺、丙二醇单曱基醚醋酸酯/N-曱基吡咯烷酮、乳酸乙酯/N，N-二曱基乙酰胺、乳酸乙酯/N-曱基吡咯烷酮、y-丁内酯/N，N-二曱基乙酰胺、y-丁内酉旨/N-曱基吡咯烷酮等组合。作为显影方式，可以举出浸渍方式(dipping)、桨叶方式(paddling)、高压喷淋方式等喷淋方式、刷涂方式、擦涂方式等，高压喷淋方式提高解像度，因此特别优选。作为显影后的处理，也可以使用上述所示的有机溶剂清洗光波导的芯图案。作为有机溶剂类洗涤液，例如可以列举丙酮、曱醇、乙醇、异丙醇、醋酸乙酯、醋酸丁酯、乳酸乙酯、Y-丁内酯、曱基溶纤剂、乙基溶纤剂、丁基溶纤剂、丙二醇单曱基醚、丙二醇单甲基醚醋酸酯、曱苯、二曱苯等。在这些溶剂中，从溶解性方面考虑，优选使用曱醇、乙醇、异丙醇、醋酸乙酯。为了防止着火，这些有机溶剂中可以添加1~20质量％的水。另外，上述有机溶剂可单独使用，或2种以上组合使用。作为清洗方式，可以列举浸渍、桨叶方式、高压喷淋等喷淋方式，刷洗、擦洗等。作为曝光或清洗后的处理，可以根据需要进行60250。C左右的加热，或者进行0.11000J/cn^的曝光，从而可以使光波导的芯图案进一步固化。此后，进行层合用于埋入芯图案的包层形成用树脂膜并使之固化的第4工序。在芯图案上，用与上述相同的方法加热压合包层形成用树脂膜，从而形成上述包层3。此时上部包层3的厚度优选比芯层的厚度大。作为第4工序中的层合方式，可以列举使用辊压层合机或平板层压机的方法，但是从粘合性、追随性及平坦性方面考虑，与第2工序相同，优选使用平板层压机，最好是真空加压式层压机在减压下层合包层形成用树脂膜。此处的加热温度优选为50~130°C，压合压力优选为O.l-l.OMPa(l10kgf/cm2)，但并不局限于这些条件。第4工序中的固化与第l工序相同，采用光和/或热进行实施。上述包层3形成时的活性光线照射量优选为0.1~30J/cm2。上述包层形成用树脂膜的支持膜为PET时，活性光线的照射量优选为0.1~5J/cm2。另一方面，在该支持膜为聚萘二酸乙二醇酯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚苯醚、聚硫醚、聚醚砜、聚砜等情况下，与PET相比紫外线更不易通过，因此优选活性光线的照射量为0.530J/cm2。如果为0.5J/cn^以上，则固化反应可充分进行，如果为30J/cr^以下，则光照时间不需要过长。从以上方面考虑，更优选为3~27J/cm2，特别优选为5~25J/cm2。还有，为了进一步固化，可以使用能够对两个表面同时照射活性光线的双面曝光机。另外，也可以边加热边照射活性光线。活性光线照射过程中或照射后的加热温度优选为50~200°C，但并不局限于这些条件。本发明的柔性光波导的弯曲性、耐热性及透明性优异，因此也可以用作光学模块的光传输线路。光学模块的形态没有特别的限制，例如可以列举在光波导两端连接光纤形成的带光纤的光波导、在光波导两端连接连接器形成的带连接器的光波导、使光波导和印刷电路板复合而形成的光电复合基板、使光波导与进行光信号和电信号相互转换的光/电转换元件进行组合形成的光电转换模块、使光波导与波长分割膜组合而形成的波长合波分波器等。还有，在光电复合基板中，作为复合化印刷电路板，没有特别的限制，可以使用玻璃环氧基板等刚性基板、聚酰亚胺基板等柔性基板中的任一种。实施例以下对本发明的实施例作进一步说明，但本发明绝不受这些实施例的限定。另外，对于使以下制造例中得到的树脂膜固化得到的固化膜的物性评价，进行以下(1)~(6)中所示项目。(1)折射率测定使用棱镜耦合器(Metricon公司制，Model12010),在波长830nm下测定所得到的固化膜的折射率。(2)利用动态力学分析(DynamicMechanicalAnalysis,DMA)法进行玻璃化转变温度测定对于所得到的固化膜的玻璃化转变温度，使用动态粘弹性测定装置(RheometricScientificRheometric乂>司制，SolidsAnalyzerRSA-II)，在测定温度范围-50。C—250°C、升温速度5°C/min条件下进行测定。将损耗角正切(TanS)的峰作为玻璃化转变温度。(3)测定5%质量减少温度对于所得到的固化膜的5%质量减少温度，使用热重差示热分析(Thermogravimetry-DifferdntialThermalAnalysis:TG-DTA)装置(精工(七3-47义、7A)株式会社制造的EXSTAR6000TG/DTA6300),在空气中及测定温度范围30°C—600°C、升温速度10。C/min条件下进行测定。(4)薄膜拉伸试验对于所得到的固化膜(宽10mm,长70mm,夹头间距50mm、厚度100pm)的薄膜拉伸试验，使用拉伸试验机(林式会社岛津制作所制，AUTOGRAPHYAGS-5KNG型)，在温度25°C,拉伸速度5mm/min下，按照JISK7127进行，求出拉伸弹性才莫量、最大拉伸强度及最大伸长率。还有，最大伸长率按下式求出。最大伸长率(％)=(最大载荷时的夹头间距-初始夹头间距)/初始夹头间距x100(5)线膨胀系数的测定对于所得到的固化膜(宽3mm,长25mm，夹头间距15mm,厚度100^im)的线膨胀系数a！及a2,使用热机械分析(ThermomechanicalAnalysis:TMA)装置(精工林式会社制造的EXSTAR6000TMA/SS6100),在氮气氛下及测定温度范围25°C—300°C、升温速度5。C/min条件下进行测定。还有，a,表示比玻璃化转变温度低1050。C的温度时的线膨胀系数，ct2表示比玻璃化转变温度高10~50°C的温度时的线膨胀系数。(6)吸水率测定所得到的固化膜的吸水率按以下方法进行测定。将得到的固化膜裁成10cmx10cm的尺寸，在IOO'C加热干燥1小时后测定质量(干燥时质量)。在25。C于水中静置24小时，使其充分吸水。从水中取出后，吹掉膜表面的多余水分，立刻进行质量测定(吸水时质量)。还有，通过以下所示式子求出吸水率。吸水率(％)=(吸水时质量-干燥时质量)/干燥时质量x100另外，对于以下实施例中得到的柔性光波导的评价，进行以下(1)~(6)所示的项目。(1)360。弯曲试验将所得到的柔性光波导(波导长5cm)在半径2mm的棒上缠绕1周，使用光源中以波长850nm的光为中心波长的VCSEL(EXFO公司制，FLS-300-01-VCL)、受光传感器(爱德万测试(7卜"《乂f"只卜)公司制，Q82214)、入射纤维(GI-50/125多膜纤维，NA=0.20)及出射纤维(SI-114/125，NA-0.22),测定曲率半径为2mm的360。弯曲试验中的插入损耗值，检查相对于不进行缠绕时的插入损耗的增加量。这里，实施例1中，与上述相同，测定柔性光波导的插入损耗值，检查插入损耗值的增加量。(2)比折射率差对于所得到的柔性光波导的比折射率差，基于由芯层形成用树脂膜得到的固化膜(芯层用固化膜)及由包层形成用树脂得到的固化膜(包层用固化膜)在波长830nm下的折射率进行计算。还有，比折射率差通过以下所示式子求出。比折射率差(％)=[(芯部的折射率)2-(包层的折射率)"/[2x(芯部的折射率)2]x100(3)反复弯曲试验对于所得到的柔性光波导(波导长5cm),使用弯曲耐久性试验机(大昌电子抹式会社制)，在曲率半径5mm，弯曲速度约1秒的条件下进行反复弯曲试验。使用与上述相同的光源、受光元件、入射纤维及出射纤维测定实施10万次试验后的柔性光波导的插入损耗值，检查相对于试验前的插入损耗的增加量。另外，在曲率半径2mm,弯曲速度约1秒的条件下进行IO万次反复弯曲试验后，用金属显微镜(奥林巴斯抹式会社制，BHMJL),观察柔性光波导的芯部和包部是否发生开裂。还有，对于实施例l,除上述操作外，对于图4所示的弯曲次数进行同样的反复弯曲试验，与上述一样测定柔性光波导的插入损耗值，检查插入损耗值的增力口量。(4)薄膜拉伸试验对于所得到的柔性光波导(宽5mm，长50mm,夹头间距30mm，厚度如表3所示)的薄膜拉伸试验，按与上述相同的方法、条件进行实施，求出弹性模量及最大伸长率。(5)厚度测定使用数显千分表(三丰抹式会社)测定所得到的柔性光波导的厚度。(6)回流试验对于所得到的柔性光波导(波导长5cm),使用回流试-验才几(古河电气工业(制)，廿，t7夕'、XNA-645PC),按照IPC/JEDECj-STD-020B的条件进行3次最高温度为265。C的无铅焊回流试验。详细的回流条件示于表1中，回流炉内的温度曲线示于图2。使用与上述相同的光源、受光元件、入射纤维及出射纤维，测定实施回流试验后的柔性光波导的传输损耗值，检查相对于回流试验前的传输损耗的增加量。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table>(7)传输损耗的测定对于所得到的柔性光波导的传输损耗，使用与上述相同的光源、受光元件、入射纤维及出射纤维，通过截断法(测定波导长5、3、2cm)进行测定。制造例1〔包层形成用树脂膜A的制作〕在广口聚乙烯瓶中称量作为(A)粘结剂聚合物的苯氧基树脂(商品名非诺托YP-70,东都化成抹式会社制)50质量份、作为(B)光聚合性化合物的脂环族二环氧羧酸酯(商品名KRM-2110,分子量252,旭电化工业林式会社制)50质量份、作为(C)光聚合引发剂的三苯基锍六氟锑酸盐(商品名SP-170，旭电化工业抹式会社制)4质量份、作为敏化剂的SP-100(商品名，旭电化工业抹式会社制)0.4质量份、作为有机溶剂的丙二醇单曱基醚醋酸酯40质量份，使用机械搅拌器、传动轴及螺旋桨，在温度25。C，转数400rpm的条件下搅拌6小时，配制成包层形成用树脂清漆A。然后，用孔径为2pm的聚四氟乙烯树脂过滤器(商品名PF020，Advantech东洋抹式会社制)在温度25°C，压力0.4MPa的条件下加压过滤，再用真空泵及钟形罩在减压度为50mmHg的条件下脱泡15分钟。用涂布机(多涂机(rr-夕-)TM-MC,平野金属抹式会社(HIRANOTECSEED)制)将上述得到的包层形成用树脂清漆A涂布在聚酰胺膜(商品名Mictron,东丽抹式会社制，厚度12pm)的电暈处理表面上，在80。C干燥10分钟，然后在100。C干燥10分钟，接着粘贴作为保护膜的PET脱模膜(商品名A31，帝人杜邦薄膜抹式会社，厚度25,)并使脱模面在树脂一侧，得到包层形成用树脂膜A。此时树脂层的厚度可以通过对涂布机间隙的调节来进行任意调整，在本制造例中，进行调节使固化后膜厚为下部包层30iim，上部包层80iam。制造例2〔芯层形成用树脂膜B的制作〕使用苯氧基树脂(商品名非诺托YP-70,东都化成抹式会社制)10质量份作为(A)粘结剂聚合物、9,9-双[4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基]药(商品名A-BPEE，新中村化学工业抹式会社制)45质量份及双酚A型环氧丙烯酸酯(商品名EA-1020，新中村化学工业抹式会社制)45质量份作为(B)光聚合性化合物、双(2，4,6-三曱基苯曱酰基)苯基氧化膦(商品名Irgacure819，汽巴精化抹式会社制)2质量份作为(C)光聚合引发剂、丙二醇单曱基醚醋酸酯40质量份作为有机溶剂，除此之外，按与上述制造例1相同的方法及条件配制芯层形成用树脂清漆B。然后，使用作为加压过滤用过滤器的孔径为2ium的聚四氟乙烯树脂过滤器(商品名PF020,Advantech东洋林式会社制)及孔径为0.5jxm的膜过滤器(商品名J050A,Advantech东洋株式会社制)，按与上述制造例l相同的方法和条件进行加压过滤，再减压脱泡。按与上述制造例1相同的方法将芯层形成用树脂清漆B涂布在PET膜(商品名科斯茂新A1517,东洋纺绩林式会社制，厚度16pm)的未处理表面上并进行干燥，接着粘贴作为保护膜的PET脱模膜(商品名A31,帝人杜邦薄膜林式会社，厚度25,)并使脱模面在树脂一侧，得到芯层形成用树脂膜B。在本制造例中，为了使固化后膜厚为50|im，调节涂布机的间隙。〔物性测定用固化膜的制作〕在上述得到的芯层形成用树脂膜B上，用紫外线曝光机(抹式会社才-夕制作所制，EXM-1172)照射lJ/cm2的紫外线(波长365nm)，剥离上述PET脱模膜(A31),最后再于160。C加热千燥l小时，剥离上迷PET膜(A1517),得到固化膜。对所得到的固化膜进行折射率测定、玻璃化转变温度测定、5%质量减少温度测定、拉伸试验、线膨胀系数测定及吸水率测定。结果示于表2中。制造例3〔芯层形成用树脂膜C的制作〕使用苯氧基树脂(商品名非诺托YP-70,东都化成抹式会社制)25质量份作为(A)粘结剂聚合物、9,9-双[4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基]药(商品名A-BPEE，新中村化学工业林式会社制)37.5质量份及双酚A型环氧丙烯酸酯(商品名EA-1020,新中村化学工业抹式会社制)37.5质量份作为(B)光聚合性化合物、双(2，4，6-三曱基苯甲酰基)苯基氧化膦(商品名Irgacure819，汽巴精化株式会社制)2质量份作为(C)光聚合引发剂、丙二醇单曱基醚醋酸酯40质量份作为有机溶剂，除此之外，按与上述制造例2相同的方法及条件得到芯层形成用树脂清漆C及芯层形成用树脂膜C。〔物性测定用固化膜的制作〕使用得到的芯层形成用树脂膜C，按与制造例2相同的方法及条件得到物性测定用固化膜。对所得到的固化膜进行折射率测定、玻璃化转变温度测定、5%质量减少温度测定、拉伸试验、线膨胀系数测定及吸水率测定。结果示于表2中。制造例4〔包层形成用树脂膜D的制作〕将在制造例1中用作包层形成用树脂膜A的支持膜的聚酰胺膜改为PET膜(商品名科斯茂新A1517,东洋纺绩林式会社制，厚度16pm,涂布面防静电处理表面)除此之夕卜，按与制造例1相同的方法及条件制作包层形成用树脂膜D。制造例5〔包层形成用树脂膜E的制作〕将在制造例1中用作包层形成用树脂膜A的支持膜的聚酰胺膜改为PET膜(商品名科斯茂新A1517，东洋纺绩抹式会社制，厚度16pim,涂布面非处理表面)除此之外，按与制造例1相同的方法及条件制作包层形成用树脂膜E。〔物性测定用固化膜的制作〕在上述得到的包层形成用树脂膜E上，用紫外线曝光机(林式会社才-夕制作所制、EXM-1172)照射U/cn^的紫外线(波长365nm),剥离作为保护膜使用的PET脱模膜(A31),最后再于160。C加热干燥1小时，剥离作为支持膜使用的上述PET膜(A1517),得到固化膜。对所得到的固化膜进行折射率测定、玻璃化转变温度测定、5%质量减少温度测定、拉伸试验、线膨胀系数测定及吸水率测定。结果示于表2中。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>*1波长830nm,25°C*2DMA法承3TMA法，a1:比玻璃化转变温度低1050。C的温度时的线膨胀系数，a2:比玻璃化转变温度高1050。C的温度时的线膨胀系数上述制造例2、3及5中得到的固化膜具有耐热性、低吸湿性及低线膨胀系数，具有优异的机械性能，并且芯层形成用树脂膜具有比包层形成用树脂膜更高的折射率，因此可用作柔性光波导用材料。实施例1〔柔性光波导的制作〕将上述制造例1中得到的包层形成用树脂膜A的作为保护膜的PET脱模膜(A31)剥离，用紫外线曝光机(抹式会社才-夕制作所制、EXM-1172)从树脂一侧(基材膜的相反一侧)照射lJ/cn^的紫外线(波长365nm),接着在80。C加热处理10分钟，形成下部包层4。然后在该下部分包层4上，使用真空加压式层压机(抹式会社名机制作所制，MVLP-500),在压力0.4MPa，温度5(TC,加压时间30秒的条件下，层合上述制造例2中得到的芯层形成用树脂膜B,形成芯层。然后用上述紫外线曝光机，透过宽50pm的负型光掩模照射0.5J/cm2的紫外线(波长365nm)，接着在80。C进行5分钟的曝光后加热。然后，剥离作为支持膜的PET膜，使用显影液(丙二醇单甲基醚醋酸酯/N,N-二甲基乙酰胺=8/2,质量比)，对芯图案(芯部2)进行显影。接着，用洗涤液(异丙醇)进行清洗，在100。C加热干燥10分钟。然后在与上述相同的层合条件下，层合作为上部包层的上述制造例1中得到的包层形成用树脂膜A。进而，两面照射合计25J/cn^的紫外线(波长365nm)，然后在160。C加热处理1小时，从而形成上述包层3，得到图1(d)所示的在上下部包层外侧设置有保护膜5的柔性光波导1。然后，使用划片机(抹式会社尹、、4义-制，DAD-341)，切成波导长5cm的光波导1。还有，在这种情况下，保护膜5是被用作包层形成用树脂膜A的支持膜的聚酰胺膜。对得到的柔性光波导进行360。弯曲试验、反复弯曲试验、薄膜拉伸试验、回流试验、厚度测定、传输损失测定。可知得到的光波导具有高弯曲性、耐热性，并且不仅具有低传输损耗，还具有高透明性。结果示于表3及图3~5中。实施例2将实施例1中下部包层4及上部包层3中使用的包层形成用树脂膜A改为上述制造例4中得到的包层形成用树脂膜D，将上部包层形成用树脂膜层合后的紫外线照射量25J/cm"文为3J/cm2,将加热处理温度160。C改为120°C，除此之外，按与实施例1相同的方法及条件得到图1(d)所示的在上下包层的外侧设置有保护膜5的柔性光波导1。还有，在这种情况下，保护膜5是被用作包层形成用树脂膜D的支持膜的PET膜。对得到的柔性光波导进行360。弯曲试验、反复弯曲试验、薄膜拉伸试验、回流试验、厚度测定、传输损失测定。可知得到的光波导具有高弯曲性，并且不仅具有低传输损^<,还具有高透明性。结果示于表3中。实施例3将制造例5中得到的包层形成用树脂膜E层合在带有厚度为lpm的氧化膜的硅基板(厚度625pm)上，然后照射1J/cn^的紫外线，剥离作为支持膜使用的PET膜，形成下部包层4。接着，按与实施例1相同的方法及条件形成芯部2，再按与实施例1相同的条件层合包层形成用树脂膜E，照射3J/cn^的紫外线。剥离作为该包层形成用树脂膜E的支持膜使用的PET膜，在160。C进行加热处理，形成上述包层3，得到带硅基板的光波导。然后，将该带硅基板的光波导在5质量％的氢氟酸水溶液中浸渍24小时，从硅基板上剥离光波导部分，得到图1(a)所示的柔性光波导l。对得到的柔性光波导进行360。弯曲试验、反复弯曲试验、薄膜拉伸试验、回流试验、厚度测定、传输损失测定。可知得到的光波导具有高弯曲性、耐热性，并且不仅具有低传输损耗，还具有高透明性。结果示于表3中。实施例4将芯层形成用树脂膜B改为上述制造例3中得到的芯层形成用树脂膜C,除此之外，按与实施例1相同的方法及条件，得到图1(d)所示的在上下包层的外侧设置有保护膜5的柔性光波导1。还有，在这种情况下，保护膜5是被用作包层形成用树脂膜A的支持膜的聚酰胺膜。对得到的柔性光波导进行360。弯曲试验、反复弯曲试验、薄膜拉伸试验、回流试验、厚度测定、传输损失测定。可知得到的光波导具有高弯曲性、耐热性，并且不仅具有低传输损耗，还具有高透明性。结果示于表3中。实施例5将芯层形成用树脂膜改为上述制造例3中得到的芯层形成用树脂膜C,除此之外，按与实施例3相同的方法及条件，得到图1(a)所示的柔性光波导1。对得到的柔性光波导进行360。弯曲试验、反复弯曲试验、薄膜拉伸试验、回流试-睑、厚度测定、传输损失测定。可知得到的光波导具有高弯曲性、耐热性，并且不仅具有低传输损耗，还具有高透明性。结果示于表3中。实施例6在实施例1中得到的波导长为5cm的柔性光波导的两端，用光学用粘接剂固定带石英玻璃块的光纤(GI-50/125多模纤维，NA=0.20)，制成光学模块。使用光源中以波长850nm的光为中心波长的VCSEL(EXFO公司制，FLS-300-01-VCL)、受光传感器(爱德万测试公司制，Q82214)测定得到的光学模块的插入损耗时，为0.5dB以下。另外，进行360。弯曲试验时，在曲率半径为2mm的条件下插入损耗增加量为O.ldB以下。而且，曲率半径为5mm的反复弯曲试验进行10万次后的插入损耗的增加量为O.ldB以下。将曲率半径为2mm的反复弯曲试验进行10万次后，用金属显微镜(奥林巴斯抹式会社制，BHMJL)观察光学模块时，芯部和包部未发生开裂。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>*1曲率半径为2mm*2波长830nm*3曲率半径为5mm,实施10万次后*4曲率半径为2mm,实施10万次后工业实用性本发明的柔性光波导及光学模块具有优异的可弯曲性、耐热性及透明性,通用性高，可适用于便携电话及笔记本型电脑等日常设备领域、更广阔的领域。权利要求1.柔性光波导，其具有芯部和包层，并且在曲率半径为2mm的360°弯曲试验中插入损耗的增加量为0.1dB以下。2.权利要求1中所述的柔性光波导，其中，芯部和包层的比折射率差为110%。3.权利要求1或2中所述的柔性光波导，其中，将曲率半径为5mm的反复弯曲试验进行10万次后的插入损耗的增加量为O.ldB以下。4.权利要求1~3中任一项所述的柔性光波导，其中，薄膜拉伸试验中的弹性模量为0.056GPa。5.权利要求14中任一项所述的柔性光波导，其中，薄膜拉伸试验中的最大伸长率为350%。6.权利要求1~5中任一项所述的柔性光波导，其厚度为9~500(im。7.权利要求1~6中任一项所述的柔性光波导，其中，将最高温度为265。C的回流试验进行3次后的传输损耗的增加量为0.05dB/cm以下。8.权利要求1~7中任一项所述的柔性光波导，其中，传输损耗为0.3dB/cm以下。9.权利要求1~8中任一项所述的柔性光波导，其中，芯部和/或包层是使用含有(A)粘结剂聚合物、(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的树脂组合物制作的。10.权利要求9中所述的柔性光波导，其中，该柔性光波导是使用以下树脂组合物制作的相对于(A)成分及(B)成分的总量，含有(A)成分5~80质量％及(B)成分2095质量％，并且相对于(A)成分及(B)成分的总量IOO质量份，含有(C)成分0.110质量份。11.权利要求9或10中所述的柔性光波导，其中，(A)粘结剂聚合物是苯氧基树脂。12.权利要求911中任一项所述的柔性光波导，其中，含有分子内具有乙烯性不饱和基团的化合物作为(B)光聚合性化合物。13.权利要求912中任一项所述的柔性光波导，其中，含有单官能(曱基)丙烯酸酯作为(B)光聚合性化合物，所述单官能(曱基)丙烯酸酯具有选自芳基、芳烷基、芳氧基及芳香族杂环基中的至少一种基团。14.权利要求912中任一项所述的柔性光波导，其中，含有下述通式(1)表示的乙氧基化药型二(曱基)丙烯酸酯作为(B)光聚合性化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(1)式中，Ri表示氢原子或曱基，R^R"各自独立地表示氢原子、碳原子数为1~12的烷基、碳原子数为16的烷氧基、碳原子数为2~7的烷氧羰基、碳原子数为6~10的芳基、或碳原子数为79的芳烷基，a及b各自独立地表示1~20的整数。15.权利要求9~12中任一项所述的柔性光波导，其中，含有下式通式(2)表示的(曱基)丙烯酸酯作为(B)光聚合性化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(2)式中，X为CH2CH(OH)CH2、(C2H40)cC2H4、(C3H60)dC3H6、或(C2H40)e(C3H60)fC3H6，Y表示C(CH3)2、CH2、S02或0，c、d、e及f各自表示0至10的整数，R"表示氢原子或曱基，R"表示氢原子、甲基或卣素原子。16.权利要求911中任一项所述的柔性光波导，其中，含有分子内具有2个以上环氧基的化合物作为(B)光聚合性化合物。17.使用了权利要求1~16中任一项所述的柔性光波导的光学模块。全文摘要本发明涉及具有芯部和包层，并且在曲率半径为2mm的360°弯曲试验中插入损耗的增加量为0.1dB以下的柔性光波导及使用柔性光波导的光学模块。可以提供具有高可弯曲性、耐热性、透明性的柔性光波导及使用柔性光波导的光学模块。文档编号G02B6/12GK101379421SQ20078000487公开日2009年3月4日申请日期2007年2月7日优先权日2006年2月8日发明者增田宏,柴田智章,牧野龙也,落合雅美,高崎俊彦,高桥敦之申请人:日立化成工业株式会社