用于形成着色层的放射线敏感性组合物的制作方法

专利名称：用于形成着色层的放射线敏感性组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器和液晶 显示元件，更详细地说，涉及用于形成着色层的放射线敏感性组合物， 该着色层用于在透射型或者反射型的彩色液晶显示装置、彩色摄像管元件等中使用的滤色器；具有由该放射线敏感性组合物形成的着色层的滤 色器；以及具备该滤色器的液晶显示元件。
背景技术：
以往，已知使用着色放射线敏感性组合物制造滤色器时，在基板上 或者在预先形成所期望的图案的遮光层的基板上涂布着色放射线敏感 性组合物并干燥，然后对涂膜按所期望的图案形状照射放射线(以下称 为"曝光")，进行显影，从而得到各种颜色的像素的方法(例如参见 专利文件1、专利文件2)。近年，由于液晶显示面板的大面积化、生产率的提高等，母玻璃基 板的，寸，得大型化。但是，,随，基，的大型,，，形成，色，，器时炉、光掩膜的问题引起生产节拍的降低和生产成本的提高，这成为问题。进而，本申请人在专利文件3中公开了通过使用作为放射线敏感性 组合物的放射线敏感性聚合引发剂的卜(2-浃-4-吗啉代苯基)-2-节基-2-二甲基氨基丁烷-l-酮、1- (3-溴-4-吗啉代苯基)-2-节基-2-二甲基氨基丁 烷-1 -酮等溴取代苯乙酮系化合物，可以减少因放射线敏感性聚合引发剂 的升华导致的烧成炉、废气管道的污染、反复使用显影液时显影管线中 设置的滤色器的堵塞等。专利文件1日本特开平2-144502号公报专利文件2日本特开平3-53201号公报专利文件3日本特开2001-235617号公报但是，在包含专利文件3记载的用于形成滤色器的现有的放射线敏 感性组合物中，在防止因放射线敏感性聚合引发剂的升华导致的烧成 炉、光掩膜等的污染以及防止液体中杂质发生方还不充分，强烈期望开3发兼备这些特性的放射线敏感性组合物。 发明内容本发明的课题在于提供用于形成滤色器着色层的放射线敏感性組 合物、具备由该放射线敏感性组合物形成的着色层的滤色器和具备该滤 色器的液晶显示面板，其中所述放射线敏感性组合物可以抑制因放射线 敏感性聚合引发剂的升华导致的烧成炉、光掩膜等的污染，且不产生液 体中杂质，而且显影性、图案形状等也优异。本发明的第一方面提供用于形成着色层的放射线敏感性組合物，其特征在于，含有(A )着色剂、(B )碱溶性树脂、(C )多官能性单体 以及(D)以下述通式(1 )表示的化合物作为必须成分的放射线敏感性聚合引发剂。[化学式1]<formula>formula see original document page 4</formula>(1)[式(1)中，n是2M2的整数，R!表示氢、羟基或下述(I) 、 (II) 或(m)分别表示的结构的任意一个基团，(III)中的R2是碳原子数1 ~ 12的烷基、碳原子数3~8的环烷基、或苯基(但是，可以被碳原子数 1~6的烷基、碳原子数1 6的烷氧基的至少一个以上取代)。][化学式2]<formula>formula see original document page 4</formula>本发明第二方面提供具备由上述用于形成着色层的放射线敏感性 组合物形成的着色层而成的滤色器。本发明的第三方面提供具备上述滤色器而成的彩色液晶显示面板。本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物可以抑制因放射 线敏感性聚合引发剂的升华导致的烧成炉、光掩膜等的污染，且不产生 液体中杂质，而且在像素图案和黑底图案边缘不产生浮渣，并且可以形 成没有侧壁腐蚀(77夕、'一力7卜)的良好的像素图案和黑底图案。因此，本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物可以极好地 用于电子工业领域中以彩色液晶显示面板用的滤色器为首的各种滤色 器和液晶显示面板的制造中。
具体实施方式
以下对本发明进行详细说明。用于形成着色层的放射线敏感性组合物-(A)着色剂-本发明的着色剂对色调没有特别的限定，可以根椐所得滤色器的用 途适当选定，颜料、染料或者天然色素均可。滤色器要求高精细的显色和耐热性，因此作为本发明的着色剂，优 选显色性高且耐热性高的着色剂，特别优选耐热分解性高的着色剂，通 常使用颜料，特别优选使用有机颜料、炭黑。作为上迷有机颜料，可以举出例如在颜色索引(C. I.; The Society of Dyers and Colourists社发行)中分类为颜料(Pigment)的化合物，具体 可以举出下迷带有颜色索引(C.I.)编号的化合物。C. I.颜料黄1、 C. I.颜料黄3、 C, I.颜料黄12、 C. I.颜料黄13、 C. I. 颜料黄14、 C. I.颜料黄15、 C. I.颜料黄16、 C. I.颜料黄17、 C. I,颜料黄 20、 C. 1.颜料黄24、 C. 1.颜料黄31、 C. 1.颜料黄55、 C. I.颜料黄60、 C. 1.颜料黄61、 C. 1.颜料黄65、 C. 1.颜料黄71、 C. 1.颜料黄73、 C. I.颜料 黄74、 C. 1.颜料黄81、 C. 1.颜料黄83、 C. 1.颜料黄93、 C. I.颜料黄95、 C. 1.颜料黄97、 C. 1.颜料黄98、 C. I.颜料黄IOO、 C. I,颜料黄lOl、 C.I. 颜料黄104、 C, 1.颜料黄106、 C. 1.颜料黄108、 C. L颜料黄109、 C. I.颜 料黄IIO、 C. 1.颜料黄H3、 C. I.颜料黄IM、 C. 1.颜料黄U6、 C. I.颜料 黄117、 C. 1.颜料黄119、 C. L颜料黄120、 C. 1.颜料黄126、 C. I.颜料黄127、 C. I.颜料黄128、 C. I.颜料黄129、 C. I.颜料黄138、 C. I.颜料黄139、 C. 1.颜料黄150、 C. 1.颜料黄151、 C. 1.颜料黄152、 C. L颜料黄153、 C. I.颜料黄154、 C. I.颜料黄155、 C. I.颜料黄156、 C. I.颜料黄166、 C. I. 颜料黄168、 C. I.颜料黄175、 C. I.颜料黄180、 C. I,颜料黄185;C. I.颜料橙1、 C. I.颜料橙5、 C. I.颜料橙13、 C. I.颜料橙14、 C. I. 颜料橙16、 C. I.颜料橙17、 C. I.颜料橙24、 C. I.颜料橙34、 C. I.颜料橙 36、 C. 1.颜料橙38、 C. 1.颜料橙40、 C. L颜料橙43、 C. 1.颜料橙46、 C. 1.颜料橙49、 C. 1.颜料橙51、 C. 1.颜料橙61、 C. 1.颜料橙63、 C. I.颜料 橙64、 C. 1.颜料橙71、 C. 1.颜料橙73;C. I.颜料紫1、 C. I.颜料紫19、 C. I.颜料紫23、 C. I.颜料紫29、 C. I. 颜料紫32、 C, 1.颜料紫36、 C. 1.颜料紫38;C. I.颜料红l、 C. 1.颜料红2、 C. 1.颜料红3、 C. 1.颜料红4、 C. I.颜 料红5、 C. I.颜料红6、 C. I.颜料红7、 C. I.颜料红8、 C. I.颜料红9、 C. I. 颜料红10、 C. I.颜料红ll、 C. L颜料红12、 C. I.颜料红14、 C. I.颜料红 15、 C. 1.颜料红16、 C. I.颜料红n、 C. 1.颜料红18、 C. 1.颜料红19、 C. 1.颜料红21、 C. 1.颜料红22、 C. L颜料红23、 C. 1.颜料红30、 C. I.颜料 红31、 C. 1.颜料红32、 C. 1.颜料红37、 C. 1.颜料红38、 C. 1.颜料红40、 C. 1.颜料红41、 C. 1.颜料红42、 C. 1.颜料红48: 1、 C. 1.颜料红48: 2、 C. 1.颜料红48: 3、 C. 1.颜料红48: 4、 C. 1.颜料红49: 1、 C. I.颜料红 49: 2、 C. 1.颜料红50: 1、 C. I.颜料红52: 1、 C. I.颜料红53: 1、 C. I. 颜料红57、 CI.颜料红57: 1、 C. I.颜料红57: 2、 C. I.颜料红58: 2、 C. 1.颜料红58: 4、 C. 1.颜料红60: 1、 C. 1.颜料红63: 1、 C. I.颜料红 63: 2、 C. 1.颜料红64: 1、 C. 1.颜料红81: 1、 C. I.颜料红83、 C. I.颜料 红88、 C. 1.颜料红90: 1、 C. L颜料红97、C. I.颜料红101、 C. I.颜料红102、 C. I.颜料红104、 C. I.颜料红105、 C. 1.颜料红106、 C. 1.颜料红108、 C. 1.颜料红U2、 C. 1.颜料红U3、 C. I.颜料红114、 C. I.颜料红122、 C. I.颜料红123、 C. I.颜料红144、 C. I. 颜料红146、 C. I.颜料红149、 C. I.颜料红150、 C. I.颜料红151、 C. I.颜 料红166、 C. I.颜料红168、 C. i.颜料红no、 C. i.颜料红ni、 C. I.颜料 红172、 C. 1.颜料红174、 C. 1.颜料红175、 C. I.颜料红176、 C. I.颜料红 177、 C. I.颜料红178、 C. I.颜料红179、 C. I.颜料红180、 C. I.颜料红185、 C. 1.颜料红187、 C. L颜料红188、 C. I.颜料红l卯、C. 1.颜料红193、 C.I.颜料红194、 C. 1.颜料红202、 C. 1.颜料红206、 C. I.颜料红207、 C. I. 颜料红208、 C. 1.颜料红209、 C. 1.颜料红215、 C, 1.颜料红216、 C. I.颜 料红220、 C. I.颜料红224、 C. I.颜料红226、 C. I.颜料红242、 C. I.颜料 红243、 C. 1.颜料红245、 C. 1.颜料红254、 C. 1.颜料红255、 C. I.颜料红 264、 C I.颜料红265;C. 1.颜料蓝15、 C. 1.颜料蓝15: 3、 C. I.颜料蓝15: 4、 C. I.颜料蓝 15: 6、 C. I.颜料蓝60;C. I.颜料绿7、 C. I.颜料绿36;C. 1.颜料棕23、 C. 1,颜料棕25;C. I.颜料黑1、 C. I.颜料黑7。这些有机颜料可以通过例如硫酸重结晶法、溶剂洗涤法或它们的组 合等纯化后使用。作为无机颜料可列举例如氧化钛、硫酸钡、碳酸钙、锌白、疏酸铅、 铅黄、锌黄、氧化铁红(红色氧化铁(III))、镉红、群青、普鲁士蓝、 氧化铬绿、钴绿、棕土、钛黑、氧化铁黑(合成鉄黒)、炭黑等。在本发明中，上述有机颜料和无机颜料可以分别单独使用，或者2 种以上混合使用，也可以一起使用有机颜料和无机颜料，在形成像素时， 优选使用l种以上的有机颜料，在形成黑底时，优选使用2种以上的有 机颜料和/或炭黑。在本发明中，根据需要，可以用聚合物对上迷各颜料的粒子表面进 行改性来使用。作为对颜料的粒子表面进行改性的聚合物，可以举出例 如专利文献4等中记栽的聚合物、市售的各种分散颜料用的聚合物或低 聚物等。专利文献4日本特开平8-259876号公报另外，在本发明中，根据需要，着色剂可以和分散剂一起使用。作为上述分散剂，可以举出阳离子型、阴离子型、非离子型、两性、 硅氧烷类、氟类等表面活性剂。作为上述表面活性剂，例如有聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基 醚、聚氧乙烯油基醚等聚氣乙烯烷基醚类；聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚 氧乙烯正壬基苯基醚等聚氧乙烯烷基苯基醚类；聚乙二醇二月桂酸酯、 聚乙二醇二硬脂酸酯等聚乙二醇二酯类；脱水山梨糖醇脂肪酸酯类；脂 肪酸改性聚酯类；叔胺改性聚氨酯类；聚乙烯亚类胺等，此外还有以下面商品名表示的kp (信越化学工业(林)制造)、水卩7 口一 (共荣 社化学(抹)制)、工7卜少7° (卜 一少厶7° 口夕'夕少社制)、 > 方、7 7*7夕(大日本油墨化学工业(林)制)、7口5—K (住友义卩-工厶 (林)制)、7廿匕方、一 K、廿一7 口爻(以上为旭硝子(林)制)、Disperbyk ( ^少夕少；、一;^(冲朱)制)、；y^义川一只(七丰力(林)制)等。这些表面活性剂可以单独使用或者2种以上混合使用。 表面活性剂的使用量相对于100重量份着色剂，通常为50重量份 以下，优选为0~30重量份。 -(B)碱溶性树脂-作为本发明中的碱溶性树脂，只要是对于(A)着色刑起粘合剂作 用，且在制造滤色器时，对于用于其显影处理工序中的显影液、特别优 选对于碱显影液具有可溶性的碱溶性树脂，没有特别限定，优选具有羧 基的碱溶性树脂，特别优选具有一个以上羧基的烯键式不饱和单体(以 下，称为"含有羧基的不饱和单体")与其他可共聚的烯键式不饱和单 体(以下，称为"共聚性不饱和单体")的共聚物(以下，称为"含有羧基的共聚物")。作为含有羧基的不饱和单体，例如可以举出(甲基)丙烯酸、巴豆酸、a-氯丙烯酸、肉桂酸等不饱和单羧酸； 马来酸、马来酸酐、富马酸、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸 酐、中康酸等不饱和二羧酸或其酸酐类； 3元以上的不饱和多元羧酸或其酸酐类；琥珀酸单[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯、邻苯二甲酸单[2-(曱基) 丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上的多元羧酸的单[(曱基)丙烯酰氧基烷 基]酯类；co-羧基聚己内酯单(曱基)丙烯酸酯等两末端具有羧基和羟基的聚 合物的单(甲基)丙烯酸酯类等。在这些含有羧基的不饱和单体中，琥珀酸单(2-丙烯酰氧基乙基) 酯和邻苯二甲酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯分别以M-5300和M-5400(东 亚合成(株)制)的商品名市售。上述含有羧基的不饱和单体可以单独使用或混合2种以上使用。作为共聚性不饱和单体，例如可以举出苯乙烯、a-曱基苯乙烯、邻乙烯基曱苯、间乙烯基甲苯、对乙烯基 甲苯、对氯苯乙烯、邻曱氧基苯乙烯、间甲氧基苯乙烯、对甲氧基苯乙 烯、邻乙烯基节基曱基醚、间乙烯基千基甲基醚、对乙烯基节基甲基醚、 邻乙烯基节基缩水甘油基醚、间乙烯基爷基缩水甘油基醚、对乙烯基千 基缩水甘油基醚等芳香族乙烯基化合物；茚、l-甲基茚等茚类；马来酰亚胺、N-笨基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺等不饱和亚氨类；(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙 酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸 异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(曱基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-轻基乙酯、(曱基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羟基 丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(曱基)丙烯酸3-羟基丁酯、(甲 基)丙烯酸4-羟基丁酯、甲基丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸节酯、(甲 基)丙烯酸环己酯、(曱基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸2-曱氧基乙 酯、(甲基)丙烯酸2-笨氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、 (甲基)丙烯酸甲氧基三甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基丙二醇酯、(甲 基)丙烯酸甲氣基双丙甘醇酯、(甲基)丙烯酸异水片酯、(曱基)丙 烯酸联环戊二烯酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、单(甲基) 丙烯酸甘油酯等不饱和歡酸酯类；(甲基)丙烯酸2-氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-二甲基氨基乙酯、 (甲基)丙烯酸2-氨基丙酯、(曱基)丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-氨基丙酯、(曱基)丙烯酸3-二甲基氨基丙酯等不饱和羧酸氨基烷基酯类；(甲基)丙烯酸缩水甘油基酯等不饱和羧酸缩水甘油酯类； (曱基)丙烯腈、a-氯丙烯腈、偏二氰乙烯等乙烯基氰化合物； (甲基)丙烯酰胺、a-氯丙烯酰胺、N-2-羟基乙基(甲基)丙烯酰胺等不饱和酰胺类；乙酸乙彿酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙沐酯、笨甲酸乙烯酯等羧酸乙烯基酯类；乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基缩水甘油基醚等不饱和醚类； 1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯等脂族共轭二烯类；聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚 硅氧烷等在聚合物分子链末端上具有单(甲基)丙烯酰基的大分子单体类等。这些共聚性不饱和单体可以单独使用或混合2种以上使用。 作为本发明中的含有羧基的共聚物，优选如下共聚物(以下，称为 含有羧基的共聚物(Bl)),所述共聚物为以(bl)(曱基)丙烯酸为 必须成分，根据情况，进一步含有选自琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基 乙基]酯和co-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯的至少一种化合物的含有 羧基的不饱和单体成分、和(b2)选自苯乙烯、N-苯基马来酰亚胺、(甲 基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酉旨、 (甲基)丙烯酸苄酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、聚苯乙烯大分子单体 和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体中的至少一种共聚性不饱和单体的共 聚物。作为含有羧基的共聚物(Bl)的具体例子，可以举出 (甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸甲酯共聚物、 (甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸千酯共聚物、 (甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸2-羟基乙酯共聚物、 (甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/ (甲基)丙烯酸节酯 共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、 (甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸甲酯/聚甲基丙烯酸曱酯大分子单 体共聚物、(甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸节酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸爷酯/聚(曱基)丙烯酸曱酯大分 子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸节酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/ (甲基)丙烯酸2-羟基乙酯共聚物、 (甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/ (甲基)丙烯酸节酯 共聚物、(甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/ (甲基)丙烯酸苯酯 共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/N-苯基马来酰亚胺/ (甲基)丙烯酸千酯共聚物、(甲基)丙晞酸/ (甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/ (甲基)丙烯酸千酯/ 聚苯乙烯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/ (甲基)丙烯酸千酯/ 聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、(曱基)丙烯酸/笨乙烯/N-苯基马来酰亚胺/ (曱基)丙紼酸千酯/ 单(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、(甲基)丙烯酸/ (曱基)丙烯酸2-羟基乙酯/苯乙烯/N-苯基马来酰 亚胺/ (甲基)丙烯酸苯酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/苯乙烯/N-苯基马来酰 亚胺/ (曱基)丙烯酸苯酯/聚曱基丙烯酸曱酯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/ (甲基) 丙彿酸节酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/苯乙烯/N-苯基马来酰亚胺/ (甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(曱基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/苯乙烯/^ 笨基马来酰亚胺/ (甲基)丙烯酸千酯共聚物、(曱基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酉旨/苯乙烯/^ 环己基马来酰亚胺/ (甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(曱基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/苯乙烯/^ 环己基马来酰亚胺/ (甲基)丙烯酸千酯共聚物、(甲基)丙烯酸/co-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/苯乙烯/N-苯 基马来酰亚胺/ (甲基)丙烯酸千酯/单(曱基)丙烯酸甘油酯共聚物等。含有羧基的共聚物中含有羧基的不饱和单体的共聚比例通常为5~ 50重量％、优选10~40重量％。此时，如果该共聚比例小于5重量％， 则得到的放射线敏感性组合物对碱显影液的溶解性有降低的情况，另一 方面，如果超过50重量％,则对碱显影液的溶解性变得过大，在通过碱 显影液进行显影时，有容易从着色层的基板脱落、带来着色层表面膜粗 糙的倾向。本发明中的碱溶性树脂用凝胶渗透色谱法(GPC,洗脱溶剂四氢 呋喃)测定的聚苯乙烯换算的重均分子量(以下称为"Mw")通常为3，000~ 300,000,优选5,000 ~ 100,000。另夕卜，本发明中的碱溶性树脂用凝胶渗透色谱法(GPC，洗脱溶剂 四氬呋喃)测定的聚苯乙烯换算的数均分子量(以下称为"Mn")通常 为3，000 ~ 60,000,优选5,000 ~ 25,000。本发明中，通过使用具有上述特定Mw和Mn的碱溶性树脂，可以 获得显影性优良的放射线敏感性组合物，由此可以形成具有清晰图案边 缘的像素和黑底，同时显影时在未曝光部分的基板上和遮光层上很难产 生残渣、浮垢(地汚扎)、残膜等。并且，本发明中的碱溶性树脂的Mw与Mn之比(Mw/Mn)优选为 1~5，进一步优选为1~4。在本发明中，碱溶性树脂可以单独使用或将2种以上混合使用。相对于100重量份(A)着色剂，本发明的碱溶性树脂的用量通常 为10~ 1,000重量份，优选为20~ 500重量份。碱溶性树脂的用量小于 IO重量份的话，有例如碱显影性降低、未曝光部分的基板上或遮光层上 产生浮垢、残膜的可能性，而如果超过1,000重量份，则着色剂浓度相 对降低，有难以实现薄膜的目标色浓度的可能。-(C)多官能性单体-本发明的多官能性单体包括具有2个以上聚合性不饱和键的单体。作为多官能性单体，可以列举例如乙二醇、丙二醇等亚烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯类；聚乙二醇、聚丙二醇等聚亚烷基二醇的二 (曱基)丙烯酸酯类；甘油、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等3元以上的多元醇 的聚(甲基)丙烯酸酯类、它们的二羧酸改性物；聚酯、环氧树脂、聚氨酯树脂、醇酸树脂、有机硅树脂、螺烷树脂 等的低聚(甲基)丙烯酸酯类；两末端羟基聚-l,3-丁二烯、两末端羟基聚异戊二烯、两末端羟基聚 己内酯等两末端羟基化聚合物的二(甲基)丙烯酸酯类、三[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]磷酸酯等。在这些多官能性单体中，优选3元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯 酸酯类、它们的二羧酸改性物，具体来说，优选三羟甲基丙烷三丙烯酸 酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三 甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四曱基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、下述式(2)所示的化合物、 [化学式3]<formula>formula see original document page 13</formula>( 2 )下述式(3)所示的化合物等，[化学式4]<formula>formula see original document page 13</formula> ( 3 )其中，出于着色层强度高、着色层表面的平滑性优良、且在未曝光部分 的基板上和遮光层上难以产生浮垢、残膜等考虑，特别优选三羟甲基丙 烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯。上述多官能性单体可以单独使用或将2种以上混合使用。相对于100重量份(B)碱溶性树脂，本发明中多官能性单体的用 量通常为5~ 500重量份，优选为20~ 300重量份。此时，多官能性单 体用量低于5重量份的话，着色层的强度、表面平滑性有降低的倾向， 而如果超过500重量份，会有例如碱显影性降低，或者容易在未曝光部 分的基板上或遮光层上产生浮垢、残膜等的倾向。本发明中，可以将多官能性单体的一部分置换成具有一个聚合性不 饱和键的单官能性单体。作为上述单官能性单体，例如可以举出与(B)碱溶性树脂中例举 的上述含有羧基的不饱和单体、共聚性不饱和单体一样的化合物、N-(曱基)丙彿酰基吗啉、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基-e-己内酰胺，除此之 外，还有作为市售品的M-5600 (商品名，东亚合成(林)制)等。 这些单官能性单体可以单独使用或者2种以上混合使用。 单官能性单体的使用比例相对于多官能性单体和单官能性单体的 总量，通常为90重量％以下，优选50重量％以下。单官能性单体的使 用比例如果超过90重量％的话，所得着色层的强度、表面平滑性可能不 足。相对于100重量份(B)碱溶性树脂，本发明的多官能性单体和单 官能性单体的总用量通常为5~ 500重量份，优选为20 ~ 300重量份。 如果上迷总用量低于5重量份，则着色层的强度、表面平滑性存在降低 的倾向，而如果超过500重量份，则存在例如碱显影性降低，或者在未 曝光部的基板上或者遮光层上易于产生浮垢、残膜等的倾向。-(D)光聚合引发剂-本发明的光聚合引发剂以上述通式(1 )表示的化合物(以下，称 为"化合物1")作为必须成分，通过膝光具有产生活性种的作用，所 述活性种能够使上述(C)多官能性单体和根椐情况使用的单官能性单 体的聚合开始。在式(1)中，n是2 12的整数，R!表示氢、羟基或上述(I)、 (H)或(III)分别表示的结构的任意一个基团，(III)中的R2是碳原 子数1 ~ 12的烷基、碳原子数3~8的环烷基、苯基(但是，可以被碳 原子数1~6的烷基、碳原子数1 ~6的烷氧基的至少一个以上取代)。其中，作为R2的碳原子数1 ~ 12的烷基、碳原子数3 ~ 8的环烷基， 可以举出例如，曱基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁 基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正 十一烷基、正十二烷基、环己基等。作为在苯基上取代的碳原子数1 ~6的烷基、碳原子数1 ~6的烷氧 基，作为碳原子数1 ~6的烷基，可以举出例如，甲基、乙基、正丙基、 异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基，作为碳 原子数1~6的烷氧基，可以举出例如，曱氧基、乙氧基、正丙氧基、 异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等。作为本发明优选的化合物(1)的具体粒子，2-甲基-1-[4-(乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-"[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-l曙[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基--[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4曙2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-[4-2-甲基小[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-甲基-1-[4-2-曱基-1-[4-这些化合物正丙*危基)异丙硫基) 正丁疏基) 异丁硫基) 叔丁疏基)正戊;充基) 正己硫基) 正庚疏基) 正辛硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 笨基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 笨基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 正十二烷硫基)笨基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、2- 羟基乙疏基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、3- 羟基丙硫基)笨基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、4- 羟基丁硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、5- 羟基庚硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 5-羟基己硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 2-丙烯酰氧基乙硫基)笨基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、2- 曱基丙烯酰氧基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、3- 丙烯酰氧基丙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、3- 甲基丙烯酰氧基丙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、4- 丙烯酰氧基丁疏基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 4-甲基丙烯酰氧基丁硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 2-乙酰基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 2-乙酰基乙硫基)笨基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 2-丙酰基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 2-丁酰基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 2-戊酰基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 2-己酰基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 2-苯甲酰基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 4-乙酰基丁硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮等。吗啉代丙烷-l-酮、2-甲基-1-[4-(正丙硫基)笨基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 2-甲基小[4-(正丁硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、2-甲基-1-[4- (2-羟基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、2-甲基-1-[4- (3-羟基丁疏基)苯 基]—2-吗啉代丙烷-l-酮、2-甲基-1-[4- (2-丙烯酰氧基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-卜酮、2-甲基-卜[4- (2-甲基丙烯酰氧基乙疏基)苯基]-2-吗 啉代丙烷-l-酮、2-甲基-1-[4- (4-乙酰基丁硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮等。本发明中，化合物(1)可以单独使用或混合2种以上使用。 本发明中，聚合引发剂(1)可以与其他的放射线敏感性聚合引发 剂(以下，称为"其他聚合引发剂")并用。作为其他聚合引发剂，可以举出例如，具有至少一种下述式(4)、 式(5)或式(6)表示的主要骨架的联咪唑系化合物、苯乙酮系化合物、 二笨甲酮系化合物、苯偶姻系化合物、ot-二酮系化合物、多环醌系化合 物、P占吨酮系化合物、膦系化合物、三。桊系化合物、吵唑系化合物等， 它们之中，优选联咪唑系化合物、苯乙酮系化合物等。[化学式5]<formula>formula see original document page 16</formula>(从上面开始为式(4)、式(5)、式(6))作为上述联二咪唑系化合物的具体例子，可以举出2，2，-双(2-氯苯基)-4,4，,5,5，-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2，-联二咪2，2，-双(2-溴苯基)-4，4，,5，5，-四(4-乙氧基羰基苯基)-1，2，曙联二咪峻、2,2，-双(2-氯苯基)-4,4，，5,5，-四苯基-1，2，-联二咪唑、 2,2，-双(2，4-二氯苯基)-4,4，,5，5，-四苯基-1,2，-联二咪唑、 2,2，-双(2,4,6-三氯苯基)-4，4，,5，5，-四苯基曙l，2，-联二咪唑、 2，2，-双(2-溴苯基)-4,4，，5,5，-四苯基-1,2，-联二咪唑、 2'2，-双(2,4-二溴苯基)-4，4，，5，5，-四苯基-1,2，-联二咪唑、 2，2，-双(2,4,6-三溴苯基)-4，4，，5,5，-四苯基-1,2，-联二咪唑等。 这些联二咪唑系化合物之中，优选2,2，-双(2-氯苯基)-4,4，，5，5，-四苯基-l,2，-联二咪唑、2，2，-双(2，4-二氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基-1,2，-联二咪唑和2,2，-双(2，4,6-三氯苯基)-4,4，,5,5，-四苯基-1，2，-联二咪唑， 特别优选2，2，-双(2-氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基-1，2，-联二咪唑。 上述联二咪唑系化合物可以单独使用或混合2种以上使用。 本发明中，使用联二咪唑系化合物其他光聚合引发剂时，从进一步 改善敏感度来考虑，优选与下述的氢供体并用。这里所称的"氢供体"是指可向由膝光从联二咪唑系化合物产生的 自由基提供氢原子的化合物。作为本发明中的氢供体，优选下述定义的硫醇系化合物、下述定义 的胺系化合物。上述硫醇系化合物包括以苯环或杂环作为母核，具有1个以上、优 选1 ~ 3个，更优选1 ~ 2个直接键合到该母核上的巯基的化合物(以下 称为"硫醇系氢供体")。上述胺系化合物包括以笨环或杂环作为母核，具有1个以上、优选 1 ~3个，更优选1 ~2个直接键合到该母核上的氨基的化合物(以下称 为"胺系氢供体")。另外，这些氢供体可以同时具有巯基和氨基。以下更具体地说明氩供体。石克醇系氢供体可以分别具有1个以上苯环或杂环，还可以同时具有 苯环和杂环二者。具有2个以上这些环时，可以形成稠合环。硫醇系氢供体在具有2个以上巯基时，只要残留有至少1个游离的 巯基，残留巯基的1个以上即可以被烷基、芳烷基或芳基取代。进而只要残留有至少l个游离巯基，可以具有通过亚烷基等2价有机基团键合 2个硫原子的结构单元、或者2个硫原子以二硫化物的形态键合的结构单元。进而，硫醇系氢供体在巯基以外的位置可以被羧基、取代或未取代 的烷氧基羰基、取代或未取代的苯氧基羰基、腈基等取代。作为这样的硫醇系氢供体的具体例子，可列举2-巯基苯并漆唑、2-巯基苯并喵唑、2-疏基苯并咪唑、2,5-二巯基-l，3,4-p塞二唑、2-巯基-2，5-二甲基氨基吡啶等。这些硫醇系氢供体中，优选2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并喟唑等， 特别优选2-巯基苯并p塞唑。胺系氢供体可以分别具有l个以上苯环或杂环，还可以同时具有苯 环和杂环二者。具有2个以上这些环时，可以形成稠合环。并且，胺系氢供体可以用烷基或取代烷基取代1个以上氨基，并且 氨基以外的位置也可以被羧基、取代或未取代的烷氧基羰基、取代或未 取代的苯氧基羰基、腈基等取代。作为这样的胺系氢供体的具体例子，可列举有4,4，-双(二甲基氨基) 二苯甲酮、4,4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、4-二甲基氨基苯甲酸乙基酯、4-二甲基氨基苯甲酸 异戊基酯、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯基氰等。在这些胺系氢供体中，优选4,4，-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4，-双(二乙基氨基)二笨甲酮，特别优选4，4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮。 4,4，-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4，-双(二乙基氨基)二苯曱酮在不 存在联二咪唑系化合物的情况下，其单独也能够作为放射线敏感性聚合 引发剂发挥作用。在本发明中，氢供体可以单独使用或将2种以上混合使用，由于形 成的着色层在显影时难以从衬底上脱落或着色层强度和敏感度也高，优 选将1种以上的硫醇系氩供体与1种以上的胺系氩供体组合使用。作为硫醇系氬供体与胺系氪供体优选组合的具体例子，可列举2-巯基苯并噻唑/4,4，-双(二甲基氨基)二苯曱酮、2-巯基苯并噻唑/4，4，-双(二乙基氨基)二苯曱酮、2-巯基苯并噹唑/4，4，-双(二曱基氨基)二 苯甲酮、2-巯基苯并喝唑M，4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮等，更优选的 组合有2-琉基苯并噻唑/4,4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基笨并哺唑/4，4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮，特别优选的组合为2-巯基苯并p塞唑 /4，4，-双(二乙基氨基)二笨甲酮。在硫醇系氢供体与胺系氢供体的组合中，疏醇系氪供体与胺系氩供 体的重量比通常为1:1 ~ 1:4，优选为1:1 ~ 1:3。作为上述苯乙酮系化合物的具体例子，可以举出2，2-二甲氧基苯 乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2-羟基-2-甲基 -l-苯基丙烷-l-酮、1- (4-异丙基苯基)-2-羟基-2-曱基丙烷-1-酮、1-[4-(甲硫基)苯基]-2-曱基-2-吗啉代丙烷-l-酮、4- (2-羟基乙氧基)苯基-(2-羟基-2-丙基)酮、1- (4-吗啉代苯基)-2-节基-2-二甲基氨基丁烷-1-酮、1- (2-溴-4-吗啉代苯基)-2-千基-2-二曱基氨基丁烷-1-酮、l-(4-吗 啉代苯基)-2- (2-溴苄基)-2-二曱基氨基丁烷-1-酮、1- (4-吗啉代苯基) -2- (4-溴苄基)-2-二甲基氨基丁烷-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2,2-二 甲氧基-1，2-二笨基乙烷-l-酮等。这些苯乙酮系化合物之中，优选2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗 啉代丙烷-l-酮、1- (4-吗啉代苯基)-2-千基-2-二甲基氨基丁烷-1-酮、1-(2-溴-4-吗啉代苯基)-2-千基-2-二甲基氨基丁烷-1-酮、1- (4-吗啉代苯 基)_2- (4-溴千基)-2-二甲基氨基丁烷-1-酮等。在本发明中，作为其他聚合引发剂并用苯乙酮系化合物时，也可以 添加一种以上上述氬供体。上述二苯甲酮系化合物的具体例子有4,4'-双(二甲基氨基)二苯 甲酮、4,4，-双(二乙基氨基)二苯曱酮等。上述笨偶姻系化合物的具体例子有苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻 乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚、2-苯甲酰基苯甲酸甲酯等。上述a-二酮系化合物的具体例子有丁二酮、二苯曱酰、甲基苯甲 酰基甲酸酯等。上述多环醌系化合物的具体例子有蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基 蒽醌、1,4-萘醌等。上述P占吨酮系化合物的具体例子有卩占吨酮、瘗吨酮、2-氯噻吨酮等。上述膦系化合物的具体例子有双(2，4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧 化膦、2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦等。上述三嗪系化合物的具体例子有2，4，6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-s-三溱、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三 氯甲基)-s-三溱、2-[2- (5-甲基呋喃-2-基)乙烯基H,6-双(三氯甲基) -s-三溱、2-[2- (4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基) -s-三嗪、2-[2-(3，4-二甲氧基笨基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、 2- ( 4-甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三溱、2- ( 4-乙氧基笨乙烯基) -4，6-双(三氯甲基)-s-三唤、2- (4-正丁氧基苯基)-4，6-双(三氣甲基) -s-三。泰、下式(7)所示化合物、[化学式6]<formula>formula see original document page 20</formula> ( 7 )下式(8)所示化合物、<formula>formula see original document page 20</formula> ( 8 )等具有面代甲基的三嗪系化合物等。上述,唑系化合物的具体例子有1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H,咔唑 -3-基]壬烷-l，2-壬烷-2-肟-0-笨甲酸酯、l-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H,咔唑 -3-基]壬烷-1,2-壬烷-2-肟-0-乙酸酯、l-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H,咔唑-3-基]庚烷-l，2-庚烷-2-肟-0-乙酸酯、l-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H,咔唑-3-基] 辛烷小酮肟-O-乙酸酯、l-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H,咔唑-3-基]乙烷-l-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6- (2-甲基苯甲酰基)-9.H,^^-3-基]乙烷-l-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6- (2,4，6-三甲基苯甲酰基)-9.H, 咔唑-3-基]乙烷-1-酮肟-0-苯甲酸酯、1-[9-正丁基-6- (2-乙基苯甲酰基) -9.H,咔唑-3-基]乙烷-l-酮肟-0-苯曱酸酯、乙酮(工夕乂乂)、 l-[9-乙基 -6-[2-甲基-4- (2,2-二甲基-1，3-二氣戊环基(v才矢乂 )甲氧基苯甲酰基]-9.11-呻唑-3-基]-,1- (0-才七^》將)等。这些咕唑系化合物之中，优选l-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H, ^唑-3-基]乙烷-l-酮肺-0-乙酸酯、乙酮、1-[9-乙基-6-[2-甲基-4- (2,2-二 甲基-l,3-二氧戊环基)曱氣基苯甲酰基]-9且-啼唑-3-基]-,1- (O-才七f 厕)。这些其他聚合引发剂可以单独或将2种以上混合使用。 相对于聚合引发剂(1)和其他聚合引发剂的总量，其他聚合引发 剂的使用比例通常为80重量％以下，进一步优选70重量％以下。此时， 如果其他聚合引发剂的使用比例超过95重量％，则有可能有损于本发明所期望的效果。相对于100重量份的(C)多官能性单体和单官能性单体的总量， 本发明的聚合引发剂的用量通常为0.01 ~ 200重量份，优选为1 ~ 120重 量份，特别优选为1~100重量份。此时，如果光聚合引发剂的用量低 于0.01重量份，则由于啄光引起的固化变得不足，难以获得像素或黑底 图案按照规定的排列配置的图案矩阵，而如果超过200重量份，则形成 的着色层在显影时容易从基板上脱落、或未曝光的基板上或遮光层上容 易发生浮垢、残膜等。本发明中，还可以根据需要与上述光聚合引发剂 一 起结合使用敏化 剂、固化促进剂或高分子光交联.增感剂的一种以上。-^力口剂-本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物也可以根椐需要 含有各种添加剂。作为上迷添加剂，可以举出显示更加改善用于形成着色层的放射线 敏感性组合物相对于碱显影液的溶解特性、且更抑制显影后未溶解物的 残留的作用等的有机酸或有机氨基化合物(其中，不包括上述氢供体)等。作为上迷有机酸，优选在分子中具有1个以上羧基的脂肪族羧酸或含有苯基的羧酸。作为上述脂肪族羧酸，例如可以举出甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、新戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚 酸、辛酸等一元羧酸类；草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二 酸、癸二酸、巴西二酸、曱基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲 基琥珀酸、四甲基琥珀酸、环己烷二羧酸、衣康酸、柠康酸、马来酸、 富马酸、中康酸等二元羧酸类；丙三羧酸、乌头酸、樟脑三酸等三元羧酸类等。另外，作为上述含有苯基的羧酸，例如可以举出羧基直接与苯基鍵 合的化合物、羧基通过碳链与苯基键合的羧酸等。作为含有笨基的羧酸的例子可以举出苯曱酸、曱苯酸、枯酸、2，3-二甲基苯曱酸、3,5-二甲基苯甲酸等芳香族一元羧酸类；邻苯二曱酸、间笨二甲酸、对笨二甲酸等芳香族二羧酸类； 偏苯三酸、均苯三酸、偏苯四酸、均苯四酸等3元以上的芳香族多元羧酸类，或苯基乙酸、氢化阿托酸、氢化肉桂酸、扁桃酸、苯基琥珀酸、阿托 酸、肉桂酸、亚肉桂基酸、香豆酸、伞形酸等。在这些有机酸中，从碱溶解性、对后述溶剂的溶解性、防止未曝光 部的基板上或者遮光层上的浮垢和残膜等观点出发，作为脂肪族羧酸， 优选脂肪族二羧酸，特别优选丙二酸、己二酸、衣康酸、柠康酸、富马 酸、中康酸等。作为含苯基的羧酸，优选芳香族二羧酸类，特别优选邻 苯二甲酸。上述有机酸可以单独使用或者2种以上混合使用。有机酸的使用量相对于全部放射线敏感性组合物通常15重量％以 下，优选10重量％以下。此时，有机酸的使用量如果超过15重量％的 话，存在形成的着色层与基板的贴合性降低的倾向。另外，作为上述有机氨基化合物，优选在分子中具有1个以上氨基 的脂肪族胺或含苯基的胺。作为上述脂肪族胺的例子可以举出正丙胺、异丙胺、正丁胺、异丁胺、仲丁胺、，仅丁胺、正戊胺、正己胺、正庚胺、正辛胺、正壬胺、正癸胺、正H~—烷胺、正十二烷胺、环己胺、2-甲基环己胺、3-甲基环己胺、4-甲基环己胺、2-乙基环己胺、 3-乙基环己胺、4-乙基环己胺等单(环)烷基胺类；曱基乙基胺、二乙基胺、曱基正丙基胺、乙基正丙基胺、二正丙基 胺、二异丙基胺、二正丁基胺、二异丁基胺、二仲丁基胺、二叔丁基胺、 二正戊基胺、二正己基胺、曱基环己胺、乙基环己胺、二环己基胺等二 (环)烷基胺类；二甲基乙基胺、曱基二乙基胺、三乙基胺、二甲基正丙基胺、二乙 基正丙基胺、甲基二正丙基胺、乙基二正丙基胺、三正丙基胺、三异丙 基胺、三正丁基胺、三异丁基胺、三仲丁基胺、三叔丁基胺、三正戊基 胺、三正己基胺、二甲基环己胺、二乙基环己胺、甲基二环己胺、乙基 二环己胺、三环己胺等三(环)烷基胺类；2- 氨基乙醇、3-氨基-l-丙醇、l-氨基-2-丙醇、4-氨基-l-丁醇、5-氨 基-l-戊醇、6-氨基-l-己醇、4-氨基-卜环己醇等单(环)烷醇胺类；二乙醇胺、二正丙醇胺、二异丙醇胺、二正丁醇胺、二异丁醇胺、 二正戊醇胺、二正己醇胺、二 (4-环己醇)胺等二 (环)烷醇胺类；三乙醇胺、三正丙醇胺、三异丙醇胺、三正丁醇胺、三异丁醇胺、 三正戊醇胺、三正己醇胺、三(4-环己醇)胺等三(环)烷醇胺类；3- 氨基-l，2-丙二醇、2-氨基-l,3-丙二醇、4-氨基-l，2-丁二醇、4-氨基 -1,3-丁二醇、4-氨基-l,2-环己二醇、4-氨基-l，3-环己二醇、3-二曱基氨基 -1，2-丙二醇、3-二乙基氨基-l,2-丙二醇、2-二甲基氨基-l,3-丙二醇、2-二乙基氨基-l，3-丙二醇等氨基(环)烷二醇类；1-氨基环戊烷曱醇、4-氨基环戊烷甲醇、1-氨基环己烷甲醇、4-氨基 环己烷甲醇、4-二甲基氨基环戊烷甲醇、4-二乙基氨基环戊烷甲醇、4-二曱基氨基环己烷甲醇、4-二乙基氨基环己烷曱醇等含氨基的环烷甲醇 类；P-丙氨酸、2-氨基丁酸、3-氨基丁酸、4-氨基丁酸、2-氨基异丁酸、 3-氨基异丁酸、2-氨基戊酸、5-氨基戊酸、6-氨基己酸、1-氨基环丙烷羧 酸、1-氨基环己烷羧酸、4-氨基环己烷羧酸等氨基羧酸类等。另外，作为上述含苯基的胺，例如可以举出氨基直接与苯基键合的 化合物、氨基通过碳链与笨基键合的化合物等。作为含苯基的胺的例子可以举出苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、4-乙基苯胺、4-正丙 基苯胺、4-异丙基苯胺、4-正丁基苯胺、4-叔丁基苯胺、l-萘胺、2-萘胺、 N,N-二甲基苯胺、N,N-二乙基苯胺、4-甲基-N，N-二甲基苯胺等芳香族胺类；2-氨基苄醇、3-氨基苄醇、4-氨基苄醇、4-二甲基氨基节醇、4-二乙 基氨基节醇等氨基苄醇类；2-氨基苯纷、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、4-二甲基氨基苯酚、4-二乙 基氨基苯酚等氨基盼类等。在这些有机氨基化合物中，从对后述溶剂的溶解性、防止未咏光部 的基板上或者遮光层上的浮垢和残膜等观点出发，作为脂肪族胺，优选 单(环)烷醇胺类和氨基(环)烷二醇类，特别优选2-氨基乙醇、3-氨 基-l-丙醇、5-氨基小戊醇、3-氨基-l，2-丙二醇、2-氨基-l，3-丙二醇、4-氨基-l，2-丁二醇等。另外，作为含苯基的胺，优选氨基酚类，特别优选2- 氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚等。上述有机氨基化合物可以单独或将2种以上混合使用。 相对于放射线敏感性组合物全体，有机氨基化合物的用量通常为15 重量％以下，优选10重量％以下。此时，如果有机氨基化合物的用量超 过15重量％时，则所形成的着色层与基板的贴合性有降低的倾向。 上述以外的添加剂例如有铜酞胥衍生物等蓝色颜料衍生物、黄色颜料衍生物等分散助剂； 玻璃、氧化铝等填充剂；聚乙烯醇、聚乙二醇一烷基醚、聚(氟烷基丙烯酸酯)类等高分子化合物；非离子型、阳离子型、阴离子型等表面活性剂；乙烯基三曱氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-曱氧基 乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氣基硅烷、3-氦基丙基三乙氧基硅烷、3-环 氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氣基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3- 氯丙基三甲氣基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷、3-巯基 丙基三甲氧基硅烷等贴合促进剂；2，2，-硫代双(4-曱基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二-叔丁基苯酚等抗氧化剂；2- (3-叔丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等紫外线吸收剂；聚丙烯酸钠等抗凝剂；l,l，-偶氮双(环己烷-l-甲腈)、2-苯基偶氮-4-甲氧基-2,4-二曱基戊腈等热自由基引发剂等。 -溶剂-本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物是以上述(A) ~ (D)成分作为必须成分，可以根据需要含有上述添加剂成分，通常配 合溶剂制成液态组合物。上迷溶剂只要可分散或溶解构成放射线敏感性组合物的各成分，且 不与这些成分反应，具有适度的挥发性即可，可以适当选择使用。上迷溶剂例如有乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单正 丙基醚、乙二醇单正丁基醚、二甘醇单曱基醚、二甘醇单乙基醚、二甘 醇单正丙基醚、二甘醇单正丁基醚、三甘醇单甲基醚、三甘醇单乙基醚、 丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单正丙基醚、丙二醇单正丁 基醚、双丙甘醇单甲基醚、双丙甘醇单乙基醚、双丙甘醇单正丙基醚、 双丙甘醇单正丁基醚、二缩三丙二醇单甲基醚、二缩三丙二醇单乙基醚等(多)亚烷基二醇单烷基醚类；乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、二甘醇单甲基醚 乙酸酯、二甘醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙 基醚乙酸酯等(多)亚烷基二醇单烷基醚乙酸酯类；二甘醇二甲基醚、二甘醇曱基乙基醚、二甘醇二乙基醚、四氢呋喃等其它醚类；曱乙酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮类； 乳酸曱酯、乳酸乙酯等乳酸烷基酯类；2-羟基-2-曱基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、 3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙 酯、2-羟基-3-曱基丁酸曱酯、乙酸3-曱氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-曱氧基 丁酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、 乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、曱酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁 酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它酯类；甲苯、二甲苯等芳族烃类；N，N-二甲基甲酰胺、N,N-二曱基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等酰胺化 合物或内酰胺化合物类等。这些溶剂中，从溶解性、颜料分散性、涂布性等角度考虑，优选丙 二醇单甲基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二 醇单乙基醚乙酸酯、二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、环己酮、2-庚酮、3-庚酮、乳酸乙酯、3-甲氣基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸3-甲氧基丁酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸 正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙 酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯等。上述溶剂可以单独使用或将两种以上混合使用。还可以与上述溶剂一起结合使用千基乙基醚、二正己醚、丙酮基丙 酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、l-辛醇、l-壬醇、千醇、乙酸千基酯、苯 甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、丫-丁内酯、碳酸亚乙酯、碳酸 亚丙酯、乙二醇单苯基醚乙酸酯等高沸点溶剂。这些高沸点溶剂可以单独使用或将两种以上混合使用。溶剂的用量没有特别限定，从得到的放射线敏感性组合物的涂布 性、稳定性等观点考虑，通常使除去该组合物溶剂的各成分总浓度达到 5 ~ 50重量％,优选达到10 ~ 40重量％的量。滤色器本发明的滤色器具有由本发明的用于形成着色层的放射线敏感性 组合物形成的着色层。以下对于形成本发明的滤色器的方法进行说明。首先，根据需要，在基板的表面上形成遮光层，将形成像素的部分 进行区分，在该基板上涂布例如分散有红色颜料的放射线敏感性组合物 的液态组合物，然后进行预烘烤，使溶剂蒸发，形成涂膜。接着，经由光掩膜对该涂膜曝光，然后使用碱性显影液进行显影， 溶解除去涂膜未膝光部分，然后通过后烘烤，形成像素矩阵，该像素矩 阵是红色的像素图案按照规定的排列配置得到的。然后使用分散有绿色或蓝色颜料的各放射线敏感性组合物的液态组合物，与上述同样地进行各液态组合物的涂布、预烘烤、曝光、显影 和后烘烤，在同一基板上依次形成绿色像素矩阵和蓝色像素矩阵，红色、 绿色和蓝色三原色的像素矩阵配置于基板上，得到滤色器。本发明中， 形成各色像素的顺序并不限于上述。另外，黑底使用本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物， 与上述像素的形成的情形同样地形成。作为形成像素和/或黑底时使用的基板，例如有玻璃、硅、聚碳酸酯、 聚酯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺等。并且，根据期望，还可以对这些基板实施利用硅烷偶联剂等进行的 化学试剂处理、等离子体处理、离子镀敷、溅射、气相反应法、真空蒸 镀等适宜的前处理。将放射线敏感性组合物的液态组合物涂布于基板上时，可采用喷雾 法、辊涂法、旋转涂布法(旋涂法)、狭缝喷嘴涂布法、棒涂法、喷墨 法等适当的涂布方法。特别优选旋涂法、狭缝喷嘴涂布法。涂布的厚度按照除去溶剂后的膜厚计算，通常为0.1 10pm,优选 0.2~8.0,,特别优选0.2 ~ 6.0 jam。作为形成像素和/或黑底时使用的放射线，可使用例如可见光、紫外 线、远紫外线、电子射线、X射线等。优选波长在190~450 nm范围的放射线。放射线的曝光量优选为10 ~ 10,000 J/m2。作为上述碱性显影液，优选例如碳酸钠、氩氧化钠、氢氧化钾、氢 氧化四曱基铵、胆碱、1，8-二氮杂双环-[5.4.0]-7-十一碳烯、1，5-二氮杂双 环_[4.3.0]-5-壬烯等的水溶液。在上迷碱性显影液中还可以适量添加例如甲醇、乙醇等水溶性有机 溶剂或表面活性剂等。另外，通常在碱性显影后进行水洗。作为显影处理方法，可以采用喷淋显影法、喷雾显影法、浸渍显影 法、浸置(液洼)显影法等。显影条件优选在常温下进行5~ 300秒左 右。这样得到的本发明的滤色器例如对于透射型或反射型彩色液晶显 示元件、彩色摄像管元件、颜色传感器等极为有用。 液晶显示元件本发明的液晶显示元件具备本发明的滤色器。本发明的液晶显示元件的 一个方案是使用本发明的用于形成着色 层的放射线敏感性组合物，如上所述，在薄膜晶体管基板矩阵上形成像 素和/或黑底，从而可以制备具有特别优异的特性的液晶显示元件。〖实施例〗下面，列举实施例，进一步具体地说明本发明的实施方式。但是， 本发明不受下述实施例的限定。[(B)碱溶性树脂的制备] 合成例1向具备冷凝管、搅拌机的烧瓶中加入1重量份2,2，-偶氮双(2,4-二 甲基戊腈)和200重量份丙二醇单甲基醚乙酸酯，接着加入15重量份 甲基丙烯酸、15重量份苯乙烯、35重量份甲基丙烯酸千酯、IO重量份 单甲基丙烯酸甘油酯、25重量份N-苯基马来酰亚胺和2.5重量份作为链 转移剂的oc-甲基苯乙烯二聚物，氮置换，然后一边緩慢搅拌， 一边将反 应溶液升温至8(TC,保持该温度，进行3小时聚合。然后将反应溶液的 温度升温至10(TC，加入0.5重量份2，2，-偶氮双(2，4-二甲基戊腈)，再 继续聚合1小时，得到(B)碱溶性树脂溶液(固体成分浓度=33.0% )。该(B)碱溶性树脂的Mw=17，000、 Mn=8，000。将该(B)碱溶性 树脂作为"树脂(B-l )"。合成例2向具备冷凝管、搅拌机的烧瓶中加入3重量份2,2，-偶氮双(2，4-二 甲基戊腈)和200重量份丙二醇单甲基醚乙酸酯，接着加入15重量份 甲基丙烯酸、15重量份苯乙烯、10重量份甲基丙烯酸苄酯、20重量份 甲基丙烯酸正丁基酯、25重量份N-苯基马来酰亚胺、15重量份甲基丙 烯酸羟基乙基酯和5重量份作为链转移剂的ot-甲基苯乙烯二聚物，氮置 换，然后一边緩慢搅拌， 一边将反应溶液升温至80'C，保持该温度，进 行3小时聚合。然后将反应溶液的温度升温至IO(TC，加入0.5重量份 2，2，-偶氮双(2,4-二曱基戊腈)，再继续聚合l小时，得到(B)碱溶性 树脂溶液(固体成分浓度=32.9% )。该(B)碱溶性树脂的Mw=ll，000、 Mn=6，700。将该(B)碱溶性 树脂作为"树脂(B-2)"。合成例3向具备冷凝管、搅拌机的烧瓶中加入1重量份2,2，-偶氮双(2，4-二 甲基戊腈)和200重量份丙二醇单甲基醚乙酸酯，接着加入15重量份 甲基丙烯酸、15重量份苯乙烯、30重量份甲基丙烯酸爷酯、IO重量份 单甲基丙烯酸甘油酯、30重量份N-苯基马来酰亚胺和2.5重量份作为链 转移剂的a-甲基苯乙烯二聚物，氮置换，然后一边緩慢搅拌， 一边将反 应溶液升温至8(TC,保持该温度，进行3小时聚合。然后将反应溶液的 温度升温至10(TC,加入0.5重量份2,2，-偶氮双(2,4-二甲基戊猜)，再 继续聚合1小时，得到(B)碱溶性树脂溶液(固体成分浓度=33.2% )。该(B)碱溶性树脂的Mw=15，000、 Mn=7，000。将该(B)碱溶性 树脂作为"树脂(B-3)"。合成例4向具备冷凝管、搅拌机的烧瓶中加入3重量份2,2，-偶氮双(2,4-二 甲基戊腈)和200重量份丙二醇单甲基醚乙酸酯，接着加入15重量份 曱基丙烯酸、30重量份苊烯(7七大7fk》)、35重量份甲基丙烯 酸节酯、10重量份甲基丙烯酸2-幾基乙基酯、lO重量份co-羧基聚己内 酯单丙烯酸酯和5重量份作为链转移剂的ot-甲基苯乙浠二聚物，氮置换， 然后一边緩慢搅拌， 一边将反应溶液升温至80'C,保持该温度，进行3 小时聚合。然后将反应溶液的温度升温至IO(TC，加入0.5重量份2，2，-偶氮双(2，4-二甲基戊腈)，再继续聚合1小时，得到(B)碱溶性树脂 溶液(固体成分浓度=31.0% )。该(B)碱溶性树脂的Mw-lO,OOO、 Mn=6,000。将该(B)碱溶性 树脂作为"树脂(B-4)"。实施例l将85重量份作为(A)着色剂的C丄颜料红254和C丄颜料红177的 80/20 (重量比)混合物、70重量份作为(B )碱溶性树脂的树脂(B-l )、 80重量份作为(C)多官能性单体的二季戊四醇六丙烯酸酯、50重量份 作为(0)放射线敏感性聚合引发剂的2-甲基-1-[4-(羟基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、以及l，000重量份作为溶剂的3-乙氧基丙酸乙酯与丙二醇单曱基醚乙酸酯的70/30 (重量比)混合物混合，制备放射线敏感性组 合物的液态组合物(Rl )。 [着色层的形成]将液态组合物(Rl )用旋涂器涂布在表面形成有防止钠离子溶出的 Si02膜的钠玻璃基板上，然后在90'C的热板上预烘烤2分钟，形成膜厚 1.7nm的涂膜。接着，将该基板冷却至室温后，用高压汞灯、经由光掩膜(狭缝宽 度为30pm)、以5，000 J/m2的膝光量、用含有365 nm、 405 nm和436 nm 各波长的紫外线对涂膜进行曝光。然后将该基板在23。C的含有0.04重量 %氢氧化钾水溶液的显影液中浸泡1分钟，显影后用超纯水洗涤并风干。 之后在22(TC的洁净烘箱内进行30分钟的后烘烤，在基板上形成包括红 色条紋状像素的像素阵列。显影性的评价用光学显微镜对像素阵列进行观察时，不能确认未啄光的基板上的 显影残留，且不能确认像素图案的边缘浮渣、缺损。像素阵列的残膜率 为80%，良好，且用扫描型电子显微镜(SEM)对像素图案的截面进行 观察时，不能确认侧壁腐蚀。升华性的评价将液态组合物(Rl )涂布在基板上后干燥，形成膜厚1.7nm的涂膜。 之后，使用正辛烷(比重=0.701，注入量-0.02nL)作为标准物质、清除 条件为100。C/10分钟、使用JHS-100A (商品名，日本分析工业(林)制) 作为顶空进样器、使用JEOL JMS-AX505W型质谱仪(商品名，日本分 析工业(林)制)作为气相色谱/质谱分析装置，对该涂膜进行顶空气相 色谱/质谱分析，求出来自(D)放射性敏感性聚合引发剂成分的峰面积 A，通过下述式算出由正辛烷换算的挥发量，挥发量为Ong。[由正辛烷换算的挥发量的计算式]挥发量(Hg)-Ax (正辛烷的量)(ng) / (正辛烷的峰面积) 液体中杂质的评价在5'C下将液态组合物(Rl )保存7天后，通过目视观察(D)放 射性敏感性聚合引发剂成分的重结晶化物的有无。将保存后的液态组合 物(Rl )的温度由5'C升至23。C时，液态组合物(Rl ) 1毫升中不溶解 而残留的0.5pm以上大小的固体物质(液体中杂质)的数目使用光散射式液中颗粒检测器(商品名KS-28B,卩才7 (林)制)进行测定时， 没有确认固体物质。实施例2除了使用50重量份2-甲基-1-[4-(正丁疏基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮作为(D)放射性敏感性聚合引发剂以外，与实施例1同样，制备放 射性敏感性组合物的液态组合物(R2)。接着，除了使用液态组合物(R2)代替液态组合物(Rl )以外，与 实施例1同样，在基板上形成包括红色条紋状像素的像素阵列，进行评价。其结果，不能确认未曝光的基板上的显影残留，且不能确认像素图 案的边缘浮渣、缺损。像素阵列的残膜率为85%,良好，且用扫描型电 子显微镜(SEM)对像素图案的截面进行观察时，不能确认侧壁腐蚀。 涂膜的挥发量为0pg,且也不能确认液体中杂质。比4交例1除了使用50重量份2-甲基-1-[4-(甲硫基)笨基]-2-吗啉代丙烷-1-酮(f". ^、，>弋少^4一.少；、力/kX社制4^方、扦-:T 907)作 为放射性敏感性聚合引发剂以外，与实施例l同样，制备放射性敏感性 组合物的液态组合物(rl)。接着，除了使用液态组合物(rl)代替液态组合物(Rl)以外，与 实施例l同样，在基板上形成包括红色条紋状像素的像素阵列，进行评 价。其结果，不能确认未曝光的基板上的显影残留，像素阵列的残膜率 为79%,用扫描型电子显微镜(SEM)对像素图案的截面进行观察时， 不能确认侧壁腐蚀。虽然不能确认液体中杂质，但是确认素图案的边缘 浮渣、缺损，涂膜的挥发量为1.0iiig。实施例3将95重量份作为(A)着色剂的C.I.颜料绿36和C.I.颜料黄150的60/40 (重量比)混合物、70重量份作为(B)碱溶性树脂的树脂(B-2) 、 80 重量份作为(C)多官能性单体的二季戊四醇六丙烯酸酯、50重量份作为(D )放射线敏感性聚合引发剂的2-甲基-1-[4-(羟基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、l重量份作为添加剂的丙二酸以及卯O重量份作为溶剂 的乙酸3-甲氧基丁基酯与丙二醇单曱基醚乙酸酯的50/50 (重量比)混合 物混合，制备放射线敏感性组合物的液态组合物(Gl)。接着，除了使用液态组合物(Gl )代替液态组合物(Rl )以外，与 实施例1同样，在基板上形成包括绿色条紋状像素的像素阵列，进行评 价。其结果，不能确认未咏光的基板上的显影残留，且不能确认像素图 案的边缘浮渣、缺损。像素阵列的残膜率为80%，良好，且用扫描型电 子显微镜(SEM)对像素图案的截面进行观察时，不能确认侧壁腐蚀。 涂膜的挥发量为Opg，且也不能确认液体中杂质。比较例2除了使用50重量份2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮作为放射性敏感性聚合引发剂以外，与实施例3同样，制备放射性敏 感性组合物的液态组合物(gl)。接着，除了使用液态组合物(gl )代替液态组合物(Rl )以外，与 实施例l同样，在基板上形成包括绿色条纹状像素的像素阵列，进行评价。其结果，不能确认未爆光的基板上的显影残留，像素阵列的残膜率 为79%，用扫描型电子显微镜(SEM)对像素图案的截面进行观察时， 不能确认側壁腐蚀。虽然不能确认液体中杂质，但是确认素图案的边缘 浮渣、缺损，涂膜的挥发量为1.0iiig。实施例4将70重量份作为(A)着色剂的C丄颜料蓝15:6和C.I.颜料紫23的95/5 (重量比)混合物、60重量份作为(B)碱溶性树脂的树脂(B-3) 、 90 重量份作为(C)多官能性单体的二季戊四醇六丙烯酸酯、50重量份作 为(D)放射线敏感性聚合引发剂的2-甲基-l-[4-(羟基乙硫基)笨基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、5重量份作为添加剂的非离子型表面活性剂A-60 (商 品名，花王(林)制)以及900重量份作为溶剂的3-乙氧基丙酸乙酯与丙 二醇单曱基醚乙酸酯的60/40 (重量比)混合物混合，制备放射线敏感性组合物的液态组合物(Bl)。接着，除了使用液态组合物(Bl )代替液态组合物(Rl )以外，与 实施例1同样，在基板上形成包括蓝色条纟丈状像素的像素阵列，进行评价。其结果，不能确认未曝光的基板上的显影残留，且不能确认像素图 案的边缘浮渣、缺损。像素阵列的残膜率为85%,良好，且用扫描型电 子显微镜(SEM)对像素图案的截面进行观察时，不能确认侧壁腐蚀。 涂膜的挥发量为O)Ltg，且也不能确认液体中杂质。实施例5除了 15重量份2-甲基-1-[4-(羟基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 6重量份2，2，-双(2-氯苯基)-4,4，,5,5，-四苯基-1，2，-联二咪唑、9重量份作 为胺系氢供体的4,4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮、3重量份作为硫醇系 氢供体的2-巯基苯并噻唑和15重量份2-曱基-1-[4-(曱疏基)苯基]-2-吗 啉代丙烷-l-酮作为(D)放射线敏感性聚合引发剂以夕卜，与实施例3同样， 制备放射线敏感性组合物的液态组合物(B2)。接着，除了使用液态组合物(B2)代替液态组合物(Rl )以外，与 实施例l同样，在基板上形成包括蓝色条紋状像素的像素阵列，进行评 价。其结果，不能确认未曝光的基板上的显影残留，且不能确认像素图 案的边缘浮渣、缺损。像素阵列的残膜率为90%,良好，且用扫描型电 子显微镜(SEM)对像素图案的截面进行观察时，不能确认側壁腐蚀。 涂膜的挥发量为0ng,且也不能确认液体中杂质。比專交例3除了使用50重量份2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮作为放射性敏感性聚合引发剂以外，与实施例3同样，制备放射性敏 感性组合物的液态组合物(bl)。接着，除了使用液态组合物(bl)代替液态组合物(Rl)以外，与 实施例1同样，在基板上形成包括蓝色条紋状像素的像素阵列，进行评价。其结果，不能确认未爆光的基板上的显影残留，不能确认素图案的边缘浮渣、缺损，像素阵列的残膜率为84%，涂膜的挥发量为0pg，虽 然也不能确认液体中杂质，但是用扫描型电子显微镜(SEM)对像素图 案的截面进行观察时，确认侧壁腐蚀。实施例6将250重量份作为(A)着色剂炭黑(御国色素(林)制)、75重量 份作为(B)碱溶性树脂的树脂(B-4) 、 75重量份作为(C)多官能性 单体的二季戊四醇六丙烯酸酯、50重量份作为(D)放射线敏感性聚合 引发剂的2-甲基-1-[4-(羟基乙硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮以及1，000 重量份作为溶剂的丙二醇单曱基醚乙酸酯与环己烷的50/50(重量比)混 合物混合，制备放射线敏感性组合物的液态组合物(BK1)。接着，除了使用液态组合物(BK1)代替液态组合物(Rl)以外， 与实施例l同样，在基板上形成包括黑色条紋状像素的像素阵列，进行 评价。其结果，不能确认未膝光的基板上的显影残留，且不能确认像素图 案的边缘浮渣、缺损。像素阵列的残膜率为80%,良好，且用扫描型电 子显微镜(SEM)对像素图案的截面进行观察时，不能确认側壁腐蚀。 涂膜的挥发量为Opg，且也不能确认液体中杂质。而且像素与基板的密 合性也优异。比4史例4除了使用30重量份2-甲基-l-[4-(甲疏基)苯基]-2-吗啉代丙烷-l-酮、 12重量份2,2，-双(2-氯苯基)-4，4，,5，5，-四苯基-1，2，-联二咪唑、12重量份 作为胺系氢供体的4,4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮和6重量份作为硫醇 系氢供体的2-巯基苯并噻唑作为放射线敏感性聚合引发剂以外，与实施 例7同样，制备放射线敏感性组合物的液态组合物(bkl)。接着，除了使用液态组合物(bkl)代替液态组合物(BK1)以夕卜， 与实施例l同样，在基板上形成包括黑色条紋状像素的像素阵列，进行 评价。其结果，不能确认未膝光的基板上的显影残留，像素阵列的残膜率 为83%,涂膜的挥发量为Opg,但是确认素图案的边缘浮渣、缺损，用 扫描型电子显微镜(SEM)对像素图案的截面进行观察时，确认侧壁腐蚀，确认液体中杂质为5个。 实施例7除了使用1，500重量份作为溶剂的3-乙氧基丙酸乙酯与丙二醇单曱 基醚乙酸酯的70/30 (重量比)混合物以外，与实施例l同样，制备放射 线敏感性组合物的液态组合物(R2)。接着，除了使用液态组合物(R2)代替液态组合物(Rl )以外，与 实施例l同样，在基板上形成包括红色条纟丈状像素的像素阵列，进行评 价。其结果，不能确认未曝光的基板上的显影残留，且不能确认像素图 案的边缘浮渣、缺损。像素阵列的残膜率为85。/。，良好，且用扫描型电 子显微镜(SEM)对像素图案的截面进行观察时，不能确认侧壁腐蚀。 涂膜的挥发量为Ofig，且也不能确认液体中杂质。
权利要求
1.用于形成着色层的放射线敏感性组合物，其特征在于，含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体以及(D)以下述通式(1)表示的化合物作为必须成分的放射线敏感性聚合引发剂，[化学式1][式(1)中，n是2～12的整数，R1表示氢、羟基或下述(I)、(II)或(III)分别表示的结构的任意一个基团，(III)中的R2是碳原子数1～12的烷基、碳原子数3～8的环烷基、或苯基(但是，可以被碳原子数1～6的烷基、碳原子数1～6的烷氧基的至少一个以上取代)]，[化学式2]
2. 滤色器，该滤色器具有由权利要求l所迷的用于形成着色层的放 射线敏感性组合物形成的着色层。
3. 液晶显示元件，该液晶显示元件具备权利要求2所迷的滤色器而成。
全文摘要
本发明提供用于形成滤色器着色层的放射线敏感性组合物，所述放射线敏感性组合物可以抑制因放射线敏感性聚合引发剂的升华导致的烧成炉、光掩膜等的污染，且不产生液体中杂质，而且显影性、图案形状等也优异。用于形成着色层的放射线敏感性组合物，其特征在于，含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体以及(D)以通式(1)表示的化合物作为必须成分的放射线敏感性聚合引发剂。
文档编号G02B5/20GK101266407SQ20081008358
公开日2008年9月17日 申请日期2008年3月12日 优先权日2007年3月12日
发明者一户大吾, 龙恭一郎 申请人:Jsr株式会社