光学接收器模块的制造方法及其制造装置的制作方法

专利名称：光学接收器模块的制造方法及其制造装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及制造光学接收器模块的方法和用于制造光学接收器模块的装置。
背景技术：
首先，描述包括平面光接收元件(光电二极管(PD))的半导体光学接收器模块 (光学接收器模块)的一般结构。包括平面光接收元件的光学接收器模块包括管座、位于管座上的载体，以及位于 载体上的平面光接收元件。载体和光接收元件、跨阻抗放大器(TIA)、用于降噪的电容器等 等也可以安装在管座上。光学接收器模块进一步包括气密地密封位于管座上的上述部件的 帽(诸如具有平窗的平窗帽)以及插座(例如，具有内置透镜功能)。通过用帽密封在管座 上的部件，形成CAN组件(CAN package)。插座保持光纤。插座在将保持在插座中的光纤芯 调整到光接收元件的位置中被固定到CAN组件。通过下述过程，将插座芯调整到帽密封的CAN组件的光接收元件。在下文中，光纤 的轴向是Z轴方向，垂直于轴向的平面(该平面称为X-Y平面)中的一个方向为X轴方向， 以及平面中垂直于X轴方向的方向为Y轴方向。当从光纤的端面输出的光通过插座的透镜和帽的平窗而被发射在光接收元件上 时，调整插座的在X-Y平面中的位置。在该调整操作中，将插座的位置调整到光电流变得尽 可能大的在X-Y平面中的位置。然后，将插座的位置调整到光电流尽可能大的Z轴方向位 置。在此之后，重复几次X-Y平面中的位置调整操作和Z轴方向中的位置调整操作。结果， 插座的位置接近光电流变为最大的位置。因此，在那一位置中将插座固定到CAN组件。为将插座固定到CAN组件，将插座放置到其中光接收面中的束斑直径变得尽可能 小的位置很重要。这是因为，在平面光接收元件中，即使当光入射在稍微在PIN接合面外的 面上时，光电流也会流动，但在PIN接合面外的面中的场强低于PIN接合面中，导致恶化光 接收元件的频率特性。即使光电流在芯调整时是相同值，但当光入射在光接收元件的PIN 接合面外的面上时，恶化光接收元件的频率特性。因此，当在监控光电流的同时通过移动插 座而执行芯调整时，插座必须位于束斑直径变得尽可能小的位置中。日本特开专利公开No. 8-18077和2006-295222分别公开了用于通过以与上述相 同的方式将插座芯调整到光接收元件而制造光学接收器模块的方法。为通过在日本特开专利公开No. 8-18077和2006-295222中公开的芯调整技术的 任何一个将单模光纤放在为光电流的峰值位置的Z轴方向位置中，有必要在宽范围中搜索 适当的Z轴方向位置。在日本特开专利公开No. 8-18077中公开的技术的情况下(图3)，光 电流变得最大的Z轴方向位置具有约600 μ m的范围。因此，需要从如此的宽范围检测适当 的Z轴方向位置。结果，在光学接收器模块制造过程中，需要长时间来执行芯调整操作。
由于上述环境，在包括平面PIN-PD的光学接收器模块的制造中，难以在短的时间 中执行芯调整。

发明内容
根据本发明，提供一种用于制造光学接收器模块的方法，该光学接收器模块包括 保持光纤的光学连接器被插入到其中的插座，收集从光纤发射的光的透镜，以及包括平面 PIN-PD作为接收由透镜收集的光的光接收元件的CAN组件，该方法包括调整插座和CAN组件的相对位置，包括当使光通过透镜从光纤发射到光接收元 件时，在预定调整方向中确定光电流达到峰值的峰值位置；以及将相对位置调整到峰值位 置；以及在通过调整相对位置所调整的位置中，使插座和CAN组件彼此固定，调整相对位置包括第一过程，当将调整方向设置成在与光纤的芯方向垂直的平面中的一个方向时， 确定峰值位置，以及将相对位置调整到峰值位置；以及第二过程，当将调整方向设置成在平面中的与一个方向垂直的方向时，确定峰值 位置，以及将相对位置调整到峰值位置；以及第三过程，当调整方向设置成芯方向时，确定峰值位置，以及将相对位置调整到峰 值位置；以及第一至第三过程的至少一个通过执行特定的芯调整过程而执行，特定的芯调整过 程包括在将MCP(Mode Conditioning Patch cord 模式调节接插线)的多模光纤或连接 到MCP的多模光纤用作光纤的同时，在第一预定范围内在调整方向中相对于彼此移动插座 和CAN组件时，检测光电流；以及在从光电流达到第一预定范围内的峰值的暂定峰值位置的调整方向的双方向中， 确定是否存在光电流与第一预定范围内的峰值相比显示出预定衰减的第一衰减位置和第 二衰减位置；当存在第一衰减位置和第二衰减位置时，确定峰值位置，峰值位置为位于第一 衰减位置和第二衰减位置之间的任意位置，并且位于离第一衰减位置和第二衰减位置之间 的中点的第二预定范围内。通过该制造方法，由透镜收集从MCP的多模光纤发射的光，或从连接到MCP的多模 光纤发射的光，并且光接收元件接收由透镜收集的光。通过该配置，能使光接收元件的光接 收面中的光比在透镜收集从单模光纤发射的光，以及光接收元件接收由透镜收集的光的情 况下分布更广。相应地，能使在与芯方向垂直的平面中的一个方向、与该一个方向垂直的方 向以及芯方向中的容限曲线的每一个比在透镜收集从单模光纤发射的光以及光接收元件 接收由该透镜收集的光的情况下更陡。由于此，能使相对于彼此移动插座和CAN组件以实 现期望衰减的第一预定范围窄于其中透镜收集从单模光纤发射的光并且光接收元件接收 由该透镜收集的光的情况。因此，能在更短时间执行芯调整，以及能缩短用于制造光学接收 器模块所需的时间。由于能使每一方向中的容限曲线陡于其中透镜收集从单模光纤发射的 光以及光接收元件接收由该透镜收集的光的情况，所以能将期望衰减的值设置在更大值。
6因此，能防止由于噪声的不利影响而引起的峰值位置的误检测。此外，由于能使每一方向中 的容限曲线更陡，能高精度地检测峰值位置，以及能提高光学接收器模块的频率响应特性 的合格率。在另一实施例中，提供一种用于制造光学接收器模块的装置，该光学接收器模块 包括保持光纤的光学连接器被插入到其中的插座，收集从光纤发射的光的透镜，以及包括 平面PIN-PD作为接收由透镜收集的光的光接收元件的CAN组件，该装置包括第一保持单元，保持插座；第二保持单元，保持CAN组件；相对位置调整单元，通过相对于彼此移动第一保持单元和第二保持单元，调整插 座和CAN组件的相对位置；光电流检测单元，检测光电流；以及控制单元，执行包括相对位置调整单元的操作控制的控制操作和基于由光电流检 测单元检测的光电流的计算操作，控制单元执行调整插座和CAN组件的相对位置，包括当使光通过透镜从光纤发射到光接收元 件时，在预定调整方向中确定光电流达到峰值的峰值位置；以及将相对位置调整到峰值位 置；以及在通过调整相对位置所调整的位置中，使插座和CAN组件彼此固定，调整相对位置包括第一过程，当将调整方向设置成在与光纤的芯方向垂直的平面中的一个方向时， 确定峰值位置，以及将相对位置调整到峰值位置；以及第二过程，当将调整方向设置成在平面中的与一个方向垂直的方向时，确定峰值 位置，以及将相对位置调整到峰值位置；以及第三过程，当调整方向设置成芯方向时，确定峰值位置，以及将相对位置调整到峰 值位置；以及第一至第三过程的至少一个通过执行特定的芯调整过程而执行，特定的芯调整过 程包括在将MCP(模式调节接插线)的多模光纤或连接到MCP的多模光纤用作光纤的同 时，在第一预定范围内在调整方向中相对于彼此移动插座和CAN组件时，检测光电流；以及在从光电流达到第一预定范围内的峰值的暂定峰值位置的调整方向的双方向中， 确定是否存在光电流与第一预定范围内的峰值相比显示出预定衰减的第一衰减位置和第 二衰减位置；当存在第一衰减位置和第二衰减位置时，确定峰值位置，峰值位置为位于第一 衰减位置和第二衰减位置之间的任意位置，并且位于离第一衰减位置和第二衰减位置之间 的中点的第二预定范围内。根据本发明，在制造包括平面PIN-PD的光学接收器模块中，能在短时间执行芯调 整，以及能高精度地搜索插座相对于CAN组件的相对位置，因此能实现期望特性。


从下述结合附图进行的某些优选实施例的描述，本发明的上述和其他目的、优点 和特征将更显而易见，其中图1是表示通过根据第一实施例的用于制造光学接收器模块的方法制造的光学 接收器模块的结构的横截面图；图2是表示光学连接器插入图1的光学接收器模块的情形的横截面图；图3是表示根据第一实施例的用于制造光学接收器模块的方法的流程图；图4表示光纤的端面中的光强分布；图5表示随X轴方向中的插座的位置改变的光电流；图6表示随Z轴方向中的插座的位置改变的光电流；图7是表示根据第一实施例的用于制造光学接收器模块的装置的结构的框图；图8是表示根据第一实施例的用于制造光学接收器模块的方法的流程图；图9是表示根据第二实施例用于制造光学接收器模块的方法的流程图；图10是表示根据第三实施例用于制造光学接收器模块的方法的流程图；图11是表示根据第四实施例用于制造光学接收器模块的方法的流程图；图12是表示根据第二实施例由用于制造光学接收器模块的方法制造的光学接收 器模块的结构的横截面图；图13是表示平面PIN-PD的结构的横截面图；以及图14表示光电流和带内偏差恶化(in-band deviation degradation)间的关系， 由X轴方向中的插座的位置而定。
具体实施例方式如上所述，为通过在日本特开专利公开No. 8-18077和2006-295222中公开的芯调 整方法而确定为光电流的峰值位置的单模光纤的Z轴方向中的位置，有必要在宽范围中搜 索适当的Z轴方向位置。通过在日本特开专利公开No. 8-18077中公开的技术，例如，光电流 变为最大的Z轴方向位置中的范围具有约600 μ m的宽度。因此，有必要在宽范围的Z轴方向 位置中搜索适当的Z轴方向位置，如图3所示。因此，在用于制造光学接收器模块的过程中， 要求长时间用于芯调整操作。另外，由于搜索范围宽，部件相互干扰(彼此碰撞)具有更高概 率，并且当在光纤和光接收元件彼此接近的方向中执行芯调整操作时，不能执行芯调整。如上所述光电流在宽范围中具有最大值的原因包括光接收元件的光接收面上的 光的束斑直径(例如20 μ m)足够小于光接收元件的光接收直径(例如80 μ m)。在日本特开专利公开No. 8-18077中，不特别指定光接收元件的结构。然而，在平 面PIN-PD的情况下，由于光电流的Z容限曲线比在台式PIN-PD的情况下更平缓，更难以检 测峰值位置。在下文中描述为此的原因。图13是表示平面PIN-PD的结构的横截面图。如图13所示，平面光接收元件5包 括InP衬底51、在InP衬底51上形成的η型InP层52、在η型InP层52上形成的η—型 InGaAs层53、在ιΓ型InGaAs层53上形成的η型InP层54、在η型InP层54上形成的η 电极55，以及在η电极55上形成的钝化膜56。在η型InP层54中形成Zn扩散区57，以及 在Zn扩散区57上形成ρ电极58。在InP衬底51的底面下，形成另一钝化膜59。
在具有上述结构的平面光接收元件的情况下，有必要使光P入射在扩散直径Wl的 范围上。这是因为，在图13中，当将反偏压(反偏置电压)施加到光接收元件时，耗尽层不 仅分布在垂直方向中而且分布在水平方向中(见图13的耗尽层直径W2)，并且光吸收区变 得大于扩散直径W1。由于在水平方向中耗尽的区域中的场强变得小于中心的场强，所以足 够的场强未施加到通过将光耦合到该区域而生成的光载流子。因此，载流子漂移速度低，恶 化光电转换的频率特性。图14表示随光入射在具有例如30 μ m的扩散直径Wl的平面光接收元件的光接收 面上的位置的光电流和带内偏差恶化的测量结果。在此，定义带内偏差恶化。在X轴方向 位置为任意位置，在IOOMHz的光电转换增益和7GHz的光电转换增益间的差值为“第一差 值”。在X轴方向位置为0 μ m, IOOMHz的光电转换增益和7GHz的光电转换增益间的差值为 “第二差值”。将带内偏差恶化定义为“第一差值”和“第二差值”间的差值。当光电转换的 频率特性被恶化时，带内偏差恶化的数值变得更小。根据图14所示的测量结果，在X轴方 向位置小于-12 μ m的区域和X轴方向位置大于12 μ m的区域的每一个中，带内偏差恶化的 减少超过0. 5dB。同时，在X轴方向位置小于-20 μ m的区域和X轴方向位置大于20 μ m的 区域的每一个中，光电流的减少超过5%。换句话说，频率特性的X容限窄于光电流的X容 限。因此，有必要将插座芯调整在显示出良好频率特性的位置中，并且精确地执行峰值位置 中的耦合很重要。如上所述，当制造包括平面PIN-PD的光学接收器模块时，难以短时间执行芯调
iF. ο现在，将参考示例性实施例描述本发明。本领域的技术人员将意识到使用本发明 的教导，能实现许多另外的实施例，并且本发明不限于为说明目的而示出的实施例。在下文中，将参考附图，解释本发明的实施例。注意在所有图中，任何类似的组成 将指定相同参考数字或符号，并且将不重复说明。[第一实施例]图1是表示由根据第一实施例的用于制造光学接收器模块的方法制造的光学接 收器模块100的结构的横截面图。图2是表示光学连接器14插入到图1的光学接收器模 块100的情形的横截面图。图3是表示根据第一实施例的用于制造光学接收器模块的方法 的流程图。图4表示连接到插座2的光纤的端面的光强分布。图5表示随X轴方向中的插 座2的位置改变的光电流。图6表示随Z轴方向中的插座2的位置改变的光电流。图7是 表示根据第一实施例的光学接收器模块制造装置150的结构的框图。光学接收器模块包括保持光纤16的光学连接器14被插入到其中的插座2、收集 从光纤16发出的光的透镜12、以及包括作为接收由透镜12收集的光的光接收元件5的平 面PIN-PD的CAN组件1。制造该光学接收器模块的方法包括芯调整过程(例如图3的步 骤Sl至S7)，调整插座2和CAN组件1的相对位置，包括在光通过透镜12从光纤16发射 到光接收元件5的同时，在预定调整方向中确定光电流达到峰值的峰值位置；调整相对位 置；以及固定过程(图3的步骤88)，在通过芯调整过程调整的位置中，使插座2和CAN组 件1彼此固定。芯调整过程包括第一过程，当调整方向被设置成与光纤16的芯方向(Z轴 方向)垂直的平面中的一个方向(X轴方向)时，确定峰值位置，并且将相对位置调整到该 峰值位置；第二过程，当调整方向被设置成在该平面中的与所述一个方向垂直的方向(Y轴方向)时，确定峰值位置，并且将相对位置调整到该峰值位置；以及第三过程，当调整方向 被设置成芯方向(Z轴方向)时，确定峰值位置，并且将相对位置调整到该峰值位置。第一 至第三过程的至少一个通过执行特定的芯调整过程而被执行。特定的芯调整过程包括当 将MCP (模式调节接插线)的多模光纤或连接到MCP的多模光纤用作光纤16时，于在第一 预定范围内的调整方向中使插座2和CAN组件1相对于彼此移动的同时，检测光电流；确定 在从光电流达到第一预定范围内的峰值的暂定峰值位置的调整方向的双方向中，是否存在 第一衰减位置和第二衰减位置，其中，与第一预定范围内的峰值相比光电流显示预定衰减； 当存在第一衰减位置和第二衰减位置时，确定峰值位置，该峰值位置为位于第一衰减位置 和第二衰减位置之间的任意位置，并且位于离第一衰减位置和第二衰减位置之间的中点的 第二预定范围内。光学接收器模块包括保持光纤16的光学连接器14被插入到其中的插座2、收集 从光纤16发出的光的透镜12、以及包括作为接收由透镜12收集的光的光接收元件5的平 面PIN-PD的CAN组件1。用于制造该光学接收器模块的装置(装置150)包括第一保持单 元151，保持插座2 ；第二保持单元152，保持CAN组件1 ；相对位置调整单元153，通过相对 于彼此移动第一保持单元151和第二保持单元152，调整插座2和CAN组件1的相对位置； 光电流检测单元154，检测光电流；以及控制单元156，执行包括相对位置调整单元153的操 作控制的控制操作和基于由光电流检测单元154检测的光电流的计算操作。控制单元156 执行调整插座2和CAN组件1的相对位置的芯调整过程(例如图3的步骤Sl至S7)，包 括在光通过透镜12从光纤16发射到光接收元件5的同时，在预定调整方向中确定光电流 达到峰值的峰值位置；调整相对位置；以及固定过程(图3的步骤S8)，在通过芯调整过程 调整的位置中，使插座2和CAN组件1彼此固定。芯调整过程包括第一过程，当调整方向 被设置成与光纤16的芯方向(Z轴方向)垂直的平面中的一个方向(X轴方向)时，确定峰 值位置，并且将相对位置调整到改峰值位置；第二过程，当调整方向被设置成在该平面中的 与所述一个方向垂直的方向(Y轴方向)时，确定峰值位置，并且将相对位置调整到该峰值 位置；以及第三过程，当调整方向被设置成芯方向(Z轴方向)时，确定峰值位置，并且将相 对位置调整到该峰值位置。第一至第三过程的至少一个通过执行特定的芯调整过程而被执 行。特定的芯调整过程包括当将MCP (模式调节接插线)的多模光纤或连接到MCP的多模 光纤用作光纤16时，于在第一预定范围内的调整方向中使插座2和CAN组件1相对于彼此 移动的同时，检测光电流；确定在从光电流达到第一预定范围内的峰值的暂定峰值位置的 调整方向的双方向中，是否存在第一衰减位置和第二衰减位置，其中，与第一预定范围内的 峰值相比光电流显示预定衰减；当存在第一衰减位置和第二衰减位置时，确定峰值位置，该 峰值位置为位于第一衰减位置和第二衰减位置之间的任意位置，并且位于离第一衰减位置 和第二衰减位置之间的中点的第二预定范围内。在下文中，详细地描述该方法和装置。首先，描述光学接收器模块100的结构。如图1所示，通过根据该实施例的用于制造光学接收器模块的方法而制造的光学 接收器模块100包括CAN组件(在下文中简称为CAN) 1和具有内置透镜的插座2。CAN 1包括例如管座3、载体4、光接收元件(PD 光电二极管)5和帽6。载体4被固定在管座3上。载体4是在其上安装光接收元件5的绝缘衬底。用于
10从光接收元件5的电极取得信号的金属化图案(未示出)形成在载体4上。由光接收元件 5的电极的结构而定，该金属化图案可能变得不必要。光接收元件5被固定在载体4上。光接收元件5是背面照射型的平面PIN-PD。光 接收元件5具有图13中所示的结构。载体4和光接收元件5、跨阻抗放大器(TIA)(未示出)、用于降噪的电容器(未示 出)也可以被安装在管座3上。可以用帽6气密地密封位于管座3上的那些部件(诸如载体4和光接收元件5)。 帽6是例如具有平窗7的平窗帽。通过以这种方式利用帽6密封管座3上的部件，形成CAN 1。插座2包括光学连接器插入部11、透镜12和筒状固定部13。在该实施例中，插座 2不包括SMF (单模光纤)短截头(stub)。透镜12收集从光纤16发出的光，并且将光释放在光接收元件5上。透镜12包括 例如位于光接收元件5的一侧的凸面17，和位于光学连接器插入部11的一侧的凹面18。透 镜12的凸面17和凹面18之间的位置关系确定从透镜12释放的光的光轴19和光纤16的 芯方向之间的关系，或光轴19是否与芯方向匹配或光轴19是否偏离芯方向。将光学连接器插入部11设计成具有圆筒接头状结构，并且能将光学连接器14 (见 图2)插入光学连接器插入部11。如图2所示，光学连接器14包括套筒15，并且光纤16位 于套筒15中。在光学连接器插入部11中形成阶梯部11a。比光学连接器插入部11的阶 梯部Ila更深的侧(透镜12的侧面)具有更小直径，并且比阶梯部Ila离光学连接器插入 部11的开端更近的侧具有更大直径。由阶梯部Ila止挡光学连接器14的前端，并且光学 连接器14位于光学连接器插入部11中。用这种方式，插座2保持光纤16。在其中将插座2中保持的光纤16的芯调整到光 接收元件5的位置，将插座2固定到CAN 1。通过例如粘接剂(未示出)的粘附，将CAN 1 固定到筒状固定部13的内周。光纤16可以是具有MCP (模式调节接插线)(仅部分示出)的多模光纤或连接(附 加)到MCP的多模光纤的多模光纤(MMF)。MCP是在光输入端具有SMF并且在光输出端具 有MMF的接插线。接着，描述根据该实施例的用于制造光学接收器模块的方法。如图3所示，通过根据该实施例的用于制造光学接收器模块的方法，将步骤Sl至 S7执行为调整插座2和CAN 1的相对位置的芯调整过程，以及将步骤S8执行为在通过芯调 整过程设置的位置中，使插座2和CAN 1彼此固定的固定过程。芯调整过程包括第一过程(步骤S4)、第二过程(步骤S5)，以及第三过程(步骤 S6)，在光通过透镜12从光纤16发射到光接收元件5的同时，在调整方向中确定光电流达 到其峰值的位置；在第一过程中，调整方向是在与光轴16的芯方向(Z轴方向)垂直的平面 (也称为X-Y平面)中的一个方向(X方向)，在第二过程中，调整方向(Y轴方向)在X-Y 平面中垂直于上述方向，在第三过程中，调整方向是光纤16的芯方向(Z轴方向)。X轴方 向和Z轴方向是图1和2中所示的方向，并且Y轴方向是在图1和2的附图的每一个中从 前侧到后侧的方向。在该实施例中，通过特定的芯调整过程执行第一至第三过程。更具体地说，在第一至第三过程中，于在第一预定范围内以相对方式在各自的调整方向中移动插座2和CAN 1 的同时，检测光电流。然后，进行校验以便确定在从光电流达到第一预定范围内的峰值的暂 定峰值位置的调整方向的双方向中，是否存在第一衰减位置和第二衰减位置，其中，与第一 预定范围内的峰值相比光电流显示预定衰减。如果存在第一衰减位置和第二衰减位置时， 确定峰值位置，该峰值位置为位于第一衰减位置和第二衰减位置之间的位置，并且位于离 第一衰减位置和第二衰减位置之间的中点的第二预定范围内。如果在第一至第三过程的至少一个中确定不存在第一和第二衰减位置的至少一 个，则执行第四过程(步骤S3)来执行下述设置改变的至少一个加大第一预定范围(搜索 范围)的第一设置改变，以及减小预定衰减的第二设置改变。在第四过程后，再次执行第一 至第三过程。在该实施例中，执行第五过程来以任意顺序执行第一至第三过程，而没有第四过 程。如果，因为在第五过程的第一至第三过程的至少一个中确定第一和第二衰减位置的至 少一个不存在，而不能检测到峰值位置，那么在执行第四过程后，再次执行第五过程。在下文中，将更详细地描述该方法。首先，在步骤Si，使CAN 1和插座2位于预定位置。例如，将此时插座2的位置设 置为初始位置。在步骤S2，设置从光纤16发出的光强，以及施加到光接收元件5的反偏压。在步骤S3，设置“a”和“b”的值。“a”值是搜索范围的半值，以及“b”值是预定衰 减。搜索范围可以是例如在从上述初始位置的正方向中“a”(Pm)以及在从上述初始位置 的负方向中的“a”(ym)的范围。因此，设置“a”的值是设置搜索范围。其中，“a”的值可 以是在X峰值搜索、Y峰值搜索和Z峰值搜索中通用的值，或可以是用于搜索的每一个的唯 一值。这同样适用于“b”的值。在下文中，“a”和“b”例如均用作用于X、Y和Z峰值搜索的 每一个的单独的值。然而，“a”和“b”的初始值(在步骤S3的首次执行中设置的值)是在 X峰值搜索和Y峰值搜索之间的通用值。更具体地说，在步骤S3的首次执行中，将X峰值搜 索和Y峰值搜索中“a”的值设置为30 ( μ m)，将Z峰值搜索中的“a”的值设置为100 ( μ m)， 将X峰值搜索和Y峰值搜索中的“b”的值设置为10(% )，以及Z峰值搜索中的“b”的值设 置为)。在步骤S4，执行X峰值搜索。更具体地说，在X轴方向中搜索峰值位置。在该操 作中，于在X轴方向中从上述初始位置的正方向中的“a”(μπι)和负方向中的“a”(ym)的 范围(第一预定范围)内，相对于CAN 1而移动插座2的同时，检测由光接收元件5生成的 光电流。在此所使用的“a”的值是用于X峰值搜索的“a”的值。例如，以预定节距(例如 Iym节距)来执行光电流的检测。然后，测量在第一预定范围内检测的光电流的峰值。将 光电流变为该峰值的X轴方向中的位置确定为暂定峰值位置。然后，从暂定峰值位置在X轴 方向中的正负方向的每一个中，测量光电流显示相对于峰值的预定衰减的衰减位置。更具 体地说，测量光电流相对于该峰值衰减“b”(％)的衰减位置。在此使用的“b”的值是用于 X峰值搜索的“b”的值。将在从暂定峰值位置的正方向中的衰减位置称为第一衰减位置， 并且将在从暂定峰值位置的负方向中的衰减位置称为第二衰减位置。在第一和第二衰减 位置之间的并位于离第一和第二衰减位置之间的中点的第二预定范围内的位置被确定为X 轴方向中的峰值位置(X峰值位置)。然后，将X轴方向中的插座2的位置调整到X峰值位置。在X峰值搜索中，由搜索条件而定，光电流相对于峰值衰减“b” (% )的衰减位置 可能不存在于搜索范围内。因此，在一些情况下，不能测量到第一和第二衰减位置的至少一 个，不能确定峰值位置(X峰值位置)，并且不能将插座2的位置调整到X峰值位置。在这些 情况下，将X方向中的插座2的位置调整到X轴方向中的暂定峰值位置。在步骤S5，以与X峰值搜索相同的方式，执行Y峰值搜索。在该操作中，于在Y轴 方向中从上述初始位置的正方向中的“a”(μπι)和负方向中的“a”(ym)的范围(第一预 定范围)内，相对于CAN 1而移动插座2的同时，检测光电流。在此所使用的“a”的值是用 于Y峰值搜索的“a”的值。例如，以预定节距(例如Iym节距)来执行光电流的检测。然 后，测量在第一预定范围内检测的光电流的峰值。将光电流变为该峰值的Y轴方向中的位 置确定为暂定峰值位置。然后，在从暂定峰值位置的Y轴方向中的正负方向的每一个中，测 量光电流显示相对于峰值的预定衰减的衰减位置。更具体地说，测量光电流相对于该峰值 衰减“b”(％)的衰减位置。在此使用的“b”的值是用于Y峰值搜索的“b”的值。将在从暂 定峰值位置的正方向中的衰减位置称为第一衰减位置，并且将在从暂定峰值位置的负方向 中的衰减位置称为第二衰减位置。在第一和第二衰减位置之间的并位于离第一和第二衰减 位置之间的中点的第二预定范围内的位置被确定为Y轴方向中的峰值位置(Y峰值位置)。 然后，将Y轴方向中的插座2的位置调整到Y峰值位置。在Y峰值搜索中，由搜索条件而定，可能测量不到第一和第二衰减位置的至少一 个，不能确定峰值位置(Y峰值位置)，并且不能将插座2的位置调整到Y峰值位置，如在X 峰值搜索中。在这种情况下，将Y轴方向中的插座2的位置调整到Y轴方向中的暂定峰值 位置。在步骤S6，以与X峰值搜索和Y峰值搜索相同的方式，执行Z峰值搜索。在该操作 中，于在Z轴方向中从上述初始位置的正方向中的“a” (μπι)和负方向中的“a” ( μ m)的范 围(第一预定范围)内，相对于CAN 1而移动插座2的同时，检测光电流。在此所使用的“a” 的值是用于Z峰值搜索的“a”的值。例如，以预定节距(例如Iym节距)来执行光电流的 检测。然后，测量在第一预定范围内检测的光电流的峰值。将光电流变为该峰值的Z轴方 向中的位置确定为暂定峰值位置。然后，在从暂定峰值位置的Z轴方向中的正负方向的每 一个中，测量光电流显示相对于峰值的预定衰减的衰减位置。更具体地说，测量光电流相对 于该峰值衰减“b” (% )的衰减位置。在此使用的“b”的值是用于Z峰值搜索的“b”的值。 将在从暂定峰值位置的正方向中的衰减位置称为第一衰减位置，并且将在从暂定峰值位置 的负方向中的衰减位置称为第二衰减位置。在第一和第二衰减位置之间的并位于离第一和 第二衰减位置之间的中点的第二预定范围内的位置被确定为Z轴方向中的峰值位置(Z峰 值位置)。然后，将Z轴方向中的插座2的位置调整到Z峰值位置。在Z峰值搜索中，由搜索条件而定，可能测量不到第一和第二衰减位置的至少一 个，不能确定峰值位置(Z峰值位置)，并且不能将插座2的位置调整到Z峰值位置，如在X 峰值搜索和Y峰值搜索中。在这种情况下，将Z轴方向中的插座2的位置调整到Z轴方向 中的暂定峰值位置。现在，描述峰值搜索操作中的第二预定范围。例如，当X轴方向中的插座2的位置 是带内偏差恶化在预定限度内的位置时，光电流基本上达到峰值。在图14所示的例子中，X轴方向中的插座2的位置是带内偏差恶化为0. 5dB或更小的位置，光电流基本上达到峰 值。在图14所示的例子中，带内偏差恶化为0.5dB或更小的X轴方向范围在正方向中为约 12 μ m,以及在负方向中约12 μ m。因此，X峰值搜索中的第二预定范围在该实施例中可以是 12 μ m。X峰值位置可以是在从第一和第二衰减位置之间的中点开始的正负方向的每一个 中，在12μπι的范围中的任意位置。考虑到插座2的移动时间，可以将在从第一和第二衰减 位置之间的中点的正负方向的每一个中，在12μπι的范围中与插座2的当前位置最接近的 位置设置为X峰值位置。从与X峰值搜索中的第二预定范围相同的观点，Z峰值搜索中的 第二预定范围可以是例如在从第一和第二衰减位置之间的中点开始的正负方向的每一个 中的50 μ m的范围。然而，那些值当然随光学接收器模块100的结构和光接收元件5的特 性等等而改变。Y峰值搜索中的第二预定范围与X峰值搜索中的第二预定范围相同。如上所述，在峰值搜索的每一个(X、Y和Z峰值搜索)中，可以允许峰值位置具有 某一余度。然而，具体地说，峰值位置的每一个(X、Y和Z峰值位置)可以是第一和第二衰 减位置之间的中点。在下述描述中，每一峰值位置被确定为第一和第二衰减位置之间的中 点O在步骤S7，进行校验以便确定在步骤S4、步骤S5和步骤S6，是否获得峰值位置的 每一个(X峰值位置、Y峰值位置和Z峰值位置)。如果未能获得峰值位置的一个或多个(步 骤S7为“否”)，那么，再次执行步骤S3以便设置“a”和“b”的值。在此次执行的步骤S3， 进行下述设置改变的至少一个第一设置改变，使“a”的值大于在前次执行的步骤S3设置 的“a”的值；以及第二设置改变，使“b”的值小于前次执行步骤S3设置的“b”的值。其中，应当仅改变不能获得峰值位置的用于峰值搜索操作的“a”和“b”的值。例 如，如果不能获得X峰值位置，那么应当改变用于X峰值搜索的“a”和“b”的值的至少一 个。同样地，如果不能获得Y峰值位置，应当改变用于Y峰值搜索的“a”和“b”的值的至少 一个。如果不能获得Z峰值位置，应当改变用于Z峰值搜索的“a”和“b”的值的至少一个。 在改变用于X、Y和Z峰值搜索的“a”的值的第一设置改变中，使“a”的值增加预定量(例 如，10(μ m))。在改变用于X、Y和Z峰值搜索的“b”的值的第二设置改变中，使“b”的值减 小预定量(例如))。为防止由于由噪声引起的光电流的波动而误检测峰值位置，最好将用于X、Y和Z 峰值搜索的每一个的“b”的值设置成例如2(%)或更大。在通过上述设置改变使“b”的值 减小到)后进行进一步设置改变的情况下，最好仅进行第一设置改变来增加搜索范围 (增加“a”的值)。换句话说，在使预定衰减减小到预定限度(例如))后进一步进行 第四过程的设置改变的情况下，最好在第一和第二设置改变之间仅进行第一设置改变。在步骤S3的设置改变中，可以同时进行第一设置改变和第二设置改变。然而，当 同时进行第一设置改变和第二设置改变时，大大地改变搜索条件。因此，最好仅进行第一设 置改变和第二设置改变的一个，以及仅产生搜索条件的小的改变。在已经以上述方式进行设置改变的情况下，再次执行步骤S4至S6，并且操作进行 到步骤S7的确定。此后，重复步骤S3的设置改变和步骤S4至S6的过程，直到在步骤S7 确定已经获得峰值位置的每一个(X峰值位置，Y峰值位置和Z峰值位置)。如果在步骤S7确定已经获得峰值位置的每一个(X峰值位置、Y峰值位置和Z峰 值位置)(步骤S7为“是”)，则在通过迄今执行的步骤S4至S6所调整的位置中，将插座2
14固定到CAN 1(步骤58)。通过上述过程，在其中X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的每一个中光电流变为基本 上等于峰值的位置中，将插座2固定到CAN 1。用这种方式，获得图1中所示的光学接收器 模块100。现在参考图4和图6，描述根据该实施例能缩短用于制造光学接收器模块100所需 的时间的原因。图4中的曲线Ll表示在当LD(激光二极管)光从连接到插座2的光纤16(具有 GI62. 5多模光纤作为输出端以及单模光纤(SMF)作为输入端的MCP)的输入端发射时观察 到的光纤16的发射端面(输出端面)中的光强的X轴方向分布。图4中的曲线L2表示 当LD(激光二极管)光从SMF的与连接端相反的端面发射时观察到的、在代替光纤16并 连接到插座2的SMF的发射端面中的光强的X轴方向分布。如图4所示，光纤输出端面中 的光强分布在MCP中宽于SMF中。图4中的纵轴表示光强，峰值位置中的光强为1。在图 4所示的例子中，考虑光强等于Ι/e2或更大(e是自然对数的底)的范围。这里，Ι/e2为约 0. 13。在图4所示的例子中，在SMF连接到插座2的情况下，光强等于Ι/e2或更高的范围为 约士4.5 μ m，但在MCP连接到插座2的情况下，为约士21.6 μ m。鉴于此，相比于SMF连接 到插座2的情况，在MCP连接到插座2的情况下，由透镜12收集并发射在光接收元件5上 的光在更宽范围中具有较高光强变得显而易见。简单地说，发射在光接收元件5的光接收 面上的光的斑直径在MCP连接到插座2的情况下比在SMF连接到插座2的情况下更大。因 此，即使当在小的搜索范围中执行X、Y和Z峰值搜索的每一个时，相比于SMF连接到插座2 的情况，在MCP连接到插座2的情况下，有更多的光从光接收元件5的光接收范围伸出。因 此，X、Y和Z容限曲线在MCP连接到插座2的情况下比SMF连接到插座2的情况下变得更 陡，尽管它们由各种条件(如下所述)而定。下文是Χ、Υ和Z容限曲线在MCP连接到插座2的情况下比在SMF连接到插座2的 情况下变得更陡的原因的详细描述。作为示例性条件，将在MCP连接到插座2的情况下(在下文中，简称为“在MCP的 情况下”等等)的斑直径设置为60 μ m，SMF连接到插座2的情况下(在下文中，简称为“在 SMF的情况下”等等)的斑直径设置为20 μ m,以及光接收元件5的光接收直径为80 μ m。在 那些条件下，在MCP的情况下，仅当在X轴方向或Y轴方向中移动插座2以便使光斑从光接 收范围的中心移动比ΙΟμπι更长的距离时，光斑伸出光接收元件5的光接收范围。另一方 面，在SMF的情况下，在使光斑从光接收范围的中心移动30 μ m前，光斑不伸出光接收范围。 因此，在MCP情况下的光电流的衰减比在SMF的情况下具有对插座2的移动的更高相关性。 换句话说，在那些条件下，在MCP的情况下，X和Y容限曲线比在SMF的情况下更陡。接着， 描述在那些条件下的Z容限曲线。如果在MCP的情况下，Z方向相关性或由插座2的Z方 向移动而定的斑直径的变化率与在SMF的情况下相同，那么在MCP的情况下，光斑通过比在 SMF的情况更小的Z方向运动而伸出光接收元件5的光接收范围外。从上述事实显而易见 的是，在那些条件下，在MCP的情况下Z容限曲线也比在SMF的情况下更陡。简单地说，在那 些条件下，在MCP的情况下，X、Y和Z容限曲线比在SMF的情况下更陡。此外，在除上述以 外的条件下，例如，在MCP的情况下的斑直径等于或小于光接收范围，而在SMF的情况下斑 直径小于MCP情况下的斑直径时，由于与上文相同的原因，在MCP的情况下，X、Y和Z容限
15曲线比在SMF的情况下更陡。尽管在此未详细地描述临界条件，但是还是存在一些条件，在 这些条件下，由与在SMF的情况下的斑直径的关系而定，即使当在MCP的情况下的斑直径大 于光接收范围，在MCP的情况下，X、Y和Z容限曲线也比在SMF的情况下更陡。如上所述， 在MCP的情况下，X、Y和Z容限曲线比在SMF的情况下更陡，即使那些曲线受MCP的情况下 的斑直径、光接收元件5的光接收直径以及在SMF的情况下的斑直径之间的关系影响。如上所述，在MCP连接到插座2的情况下，与在SMF连接到插座2的情况下相比， 在更小搜索范围中，存在显示出所需衰减b的位置有更高的概率。因此，能设置更小搜索范 围。结果，能缩短用于芯调整所需的时间，以及能缩短用于制造光学接收器模块100所需的 时间。在不使用MCP，但将多模光纤简单地连接到具有LD光发射到那里的SMF的输出端 面(或多模光纤另外结合到具有LD光发射到那里的SMF的输出端面)的情况下，能预期斑 直径比在SMF的情况下更大。在这种情况下，然而，光不能充分地分布在多模光纤的芯中。 同时，由于光纤的弯曲等等，在光纤端面上接收的光的强度分布可能改变。因此，难以控制 在光纤端面中接收的光的强度。为解决这一问题，在本实施例中，多模光纤不是简单地连接 到插座2，而是连接(或另外结合)到MCP的多模光纤的多模光纤连接到插座2。图5表示在MCP或SMF连接到插座2，反偏压为3. 3V以及光强设置在-IOdBm的情 况下，通过执行X峰值搜索而测量的光电流的X容限的实际测量值。在此使用的光接收元 件5具有φ 30 μ m的扩散直径。如图5所示，在士 50 μ m的搜索范围中的光电流的测量结果显示，在SMF连接到插 座2的情况下(图5的曲线L4)，在X方向位置的-21 μ m至+21 μ m的范围中，“b”的值为 10%或更高。在MCP连接到插座2的情况下(图5的曲线L3)，在X方向位置的-15μπι至 +15μπι的范围中，“b”的值为10%或更低。简单地说，在SMF连接到插座2的情况下，显示 出期望衰减b的衰减位置在搜求范围中不存在，除非使搜索范围扩展到士21 μ m范围。另 一方面，在MCP连接到插座2的情况下，显示出期望衰减b的第一和第二衰减位置存在于在 士 15 μ m设置的搜索范围内。因此，能使在MCP连接到插座2的情况下的X峰值搜索的搜索 范围小于在SMF连接到插座2的情况下的X峰值搜索的搜索范围。通过该配置，能缩短用 于X峰值搜索所需的时间。由于Y容限曲线与图5所示的X容限曲线类似，在此不示出或描述Y容限曲线，该 Y容限曲线为表示Y轴方向中的插座2的位置与光电流间的关系的曲线。因此，能使在MCP 连接到插座2的情况下的Y峰值搜索的搜索范围小于在SMF连接到插座2的情况下的Y峰 值搜索的搜索范围。通过该配置，能缩短用于Y峰值搜索所需的时间。图6表示在MCP或SMF连接到插座2、反偏压为3. 3V以及光强设置在-IOdBm的情 况下，通过执行Z峰值搜索而测量的光电流的实际测量值。如上所述，为防止由于由噪声造 成的光电流波动而误检测峰值位置，最好将用于ζ峰值搜索的“b”的值设置在)或更 尚ο如图6所示，在士200 μ m的搜索范围中的光电流的测量结果显示，在SMF连接到 插座2的情况下(图6的曲线L6)，没有“b”的值等于2%或更高的位置。在MCP连接到插 座2的情况下(图6的曲线L5)，在Z方向位置等于-IOOym或更小，以及等于+80μπι或 更大的范围中，“b”的值等于2%或更大。简单地说，在SMF连接到插座2的情况下，显示出期望衰减b的衰减位置不存在于搜索范围内，即使将搜索范围扩展到士 200μπι范围。另 一方面，在MCP连接到插座2的情况下，显示出期望衰减b的第一和第二衰减位置存在于在 士 100 μ m设置的搜索范围内。因此，能使在MCP连接到插座2的情况下的Z峰值搜索的搜 索范围小于在SMF连接到插座2的情况下的Z峰值搜索的搜索范围。通过该配置，能缩短 用于Z峰值搜索所需的时间。在X、Y和Z峰值搜索的任何一个中(或在图5和6所需的情形的任何一个中)， 能使在MCP连接到插座2的情况下的容限曲线比在SMF连接到插座2的情况下更陡，因此， 能将所需衰减“b”的值设置在更大值。因此，能抑制由于噪声而引起的峰值位置的误检测。 此外，由于能使容限曲线更陡，能高精度地检测峰值位置，以及能提高光学接收器模块100 的频率响应特性的合格率(yield rate)。此外，由于能使搜索范围更小，因此，能缩短插座 2和CAN 1的相对运动距离。因此，能实现期望衰减b，而没有插座2和CAN 1之间的干扰。当以连续的方式制造具有相同大小、相同形状以及相同特性的光学接收器模块 100时，通过使用用于制造第一光学接收器模块100的光强和反偏压，以及在制造第一光学 接收器模块100结束时设置的“a”和“b”的值，制造第二和后续的光学接收器模块100。用 这种方式，能进一步缩短用于制造第二和后续光学接收器模块100所需的时间。更具体地 说，例如，在略去第四过程的情况下，能制造光学接收器模块100。现在参考图7，描述根据本实施例的光学接收器模块制造装置150的结构。根据本实施例的光学接收器模块制造装置150是实现根据本实施例，用于制造光 学接收器模块的上述方法(根据图3中所示的流程图的制造方法)的装置。光学接收器模 块制造装置150具有例如图7中所示的结构。更具体地说，光学接收器模块制造装置150 包括第一保持单元151、第二保持单元152、相对位置调整单元153、光电流检测单元154、光 强设置单元161、反偏压施加单元155、控制单元156、存储单元157、显示单元158、操作单元 159和固定单元160。第一保持单元151保持插座2，以及第二保持单元152保持CAN组件1。相对位置调整单元153通过以相对的方式移动第一保持单元151和第二保持单元 152而调整插座2和CAN组件1的相对位置。更具体地说，相对位置调整单元153相对于 CAN组件1移动插座2，以调整插座2和CAN组件1的相对位置。通过例如脉冲马达来形成 相对位置调整单元153。光电流检测单元154连接到光接收元件5的输出端(未示出)并检测光电流。光强设置单元161连接到向光纤16提供光的激光二极管(LD)(未示出)。光强设 置单元161调整来自激光二极管的光发射或使用光学衰减器，以便设置从光纤16发射的光强。反偏压施加单元155连接到光接收元件5的反偏压输入端(未示出)，并且将反偏 压施加到反偏压输入端。在控制单元156的控制下，反偏压施加单元155能改变施加到光 接收元件5的反偏压输入端的反偏压的值。固定单元160在芯调整位置中，将插座2和CAN组件1相对于彼此固定。尽管在 该图中未示出，但固定单元160包括存放粘接剂的存放单元，以及具有比存放单元更小直 径并从其顶端排出粘接剂的排放单元。固定单元160将粘接剂施加到插座2的筒状固定单 元13的内周和CAN组件1的外周面之间的空隙中。通过这样做，固定单元160通过粘接剂使插座2和CAN组件1彼此固定。控制单元156总控光学接收器模块制造装置150的各个部件。更具体地说，控制单 元156控制相对位置调整单元153、光强设置单元161、反偏压施加单元155、存储单元157、 显示单元158和固定单元160的操作。当控制单元156控制相对位置调整单元153的操作 时，能调整插座2相对于CAN组件1的相对位置。当控制单元156控制光强设置单元161 的操作时，能调整从光纤16发出的光强。当控制单元156控制反偏压施加单元155的操作 时，能调整施加到光接收元件5的反偏压的值。当控制单元156控制固定单元160的操作 时，能使插座2和CAN组件1彼此固定。此外，控制单元156基于由光电流检测单元154检 测的光电流，执行计算操作。通过该计算操作，控制单元156能确定X容限曲线、Y容限曲 线和Z容限曲线，能确定调整方向的每一个(X轴方向、Y轴方向和Z轴方向)中的第一和 第二衰减位置，以及能确定每一峰值位置(X峰值位置、Y峰值位置和Z峰值位置)。控制单元156包括CPU (中央处理单元)、存储用于CPU的操作程序的ROM (只读存 储器)和充当用于CPU的工作区等等的RAM(随机存取存储器)。CPU根据在ROM中存储的 操作程序而操作，以及执行各种控制操作和计算操作。显示单元158执行各种显示，以帮助操作者的参数输入操作等等。更具体地说，显 示单元158显示输入屏以帮助输入反偏压和光强的值，以及“a”和“b”的上述初始值(在首 次执行步骤S3中的值“a”和衰减值“b”)的操作。当校验显示单元158的显示屏时，操作 者在操作单元159上执行预定操作，以输入“a”和“b”的初始值，以及反偏压和光强的值。存储单元157存储“a”和“b”的改变值，以及由光电流检测单元154检测的光电 流的值，以及“a”和“b”的输入初始值，和反偏压和光强的值。通过具有上述结构的光学接收器模块制造装置150，通过以下述方式操作的控制 单元156，能实现根据本实施例的用于制造光学接收器模块的方法。如上所述，控制单元156执行调整插座2和CAN组件1的相对位置的芯调整过程 (例如图3的步骤Sl至S7)，包括在通过透镜2将光从光纤16发射到光接收元件5的同 时，在预定调整方向中确定光电流达到峰值的峰值位置；调整相对位置；和固定过程(图3 的步骤S8)，在通过芯调整过程调整的位置中，彼此固定插座2和CAN组件1。芯调整过程 包括第一过程(步骤S4的X峰值搜索)，当将调整方向设置成与光纤16的芯方向(Z轴 方向)垂直的平面中的一个方向(X轴方向)时，确定峰值位置，以及将相对位置调整到峰 值位置；以及第二过程(步骤S5的Y峰值搜索)，当将调整方向设置成与平面中的所述一 个方向垂直的方向(Y轴方向)时，确定峰值位置，以及将相对位置调整到峰值位置；以及 第三过程(步骤S6的Z峰值搜索)，当将调整方向设置成芯方向(Z轴方向)时，确定峰值 位置，以及将相对位置调整到峰值位置。通过执行特定的芯调整过程，执行第一至第三过程 的每一个。特定的芯调整过程包括当将MCP的多模光纤或连接到MCP的多模光纤用作光 纤16时，在第一预定范围内的调整方向中，相对于彼此移动插座2和CAN组件1时，检测 光电流；确定在从光电流达到第一预定范围内的峰值的暂定峰值位置的调整方向的双方向 中，是否存在第一衰减位置和第二衰减位置，其中，与第一预定范围内的峰值相比光电流显 示预定衰减。如果存在第一衰减位置和第二衰减位置，确定峰值位置，该峰值位置为位于第 一衰减位置和第二衰减位置之间的任意位置，并且位于离第一衰减位置和第二衰减位置之 间的中点的第二预定范围内。当通过第一至第三过程的至少一个，确定不存在第一和第二衰减位置的至少一个时，控制单元156执行第四过程，该第四过程进行第一设置改变和第 二设置改变的至少一个，第一设置改变加大确定不存在第一和第二衰减位置的至少一个的 过程(第一至第三过程的一个)中的搜索范围，第二设置改变减小在相应的过程(第一至 第三过程的一个)中的衰减“b”。在执行第四过程后，控制单元156再次执行第一至第三过 程。用这种方式，光接收制造装置150实现根据本实施例的用于制造光学接收器模块的上 述方法。例如由根据用于实现各个操作的操作程序而操作的控制单元156的CPU，实现稍后 描述的改进的每一个中的操作。根据上述第一实施例，为制造光学接收器模块100，执行芯调整过程(例如图3的 步骤Sl至S6)以便调整插座2和CAN组件1的相对位置，包括在通过透镜12使光从光 纤16发射到光接收元件5的同时，在预定调整方向中确定由光接收元件5生成的光电流 达到峰值的峰值位置；调整相对位置；以及固定过程(图3的步骤S8)，在通过芯调整过程 调整的位置中，使插座2和CAN组件1彼此固定。芯调整过程包括第一过程，当将调整方 向设置成X轴方向时，确定峰值位置，以及将相对位置调整到峰值位置；以及第二过程，当 将调整方向设置成Y轴方向时，确定峰值位置，以及将相对位置调整到峰值位置；以及第三 过程，当将调整方向设置成Z轴方向时，确定峰值位置，并将相对位置调整到峰值位置。通 过执行特定的芯调整过程，执行第一至第三过程的每一个。特定的芯调整过程包括当将 MCP (模式调节接插线)的多模光纤或连接到MCP的多模光纤用作光纤16时，当在第一预定 范围内的调整方向中，相对于彼此移动插座2和CAN组件1时，检测由光接收元件5生成的 光电流。通过将光电流与峰值相比，进行校验，以确定在从光电流达到第一预定范围内的峰 值的暂定峰值位置的调整方向的双方向中，是否存在显示期望衰减的第一衰减位置和第二 衰减位置的每一个。如果存在第一衰减位置和第二衰减位置，计算峰值位置，该峰值位置为 位于第一衰减位置和第二衰减位置之间的位置，并且位于离第一衰减位置和第二衰减位置 之间的中点的第二预定范围内。通过上述配置，在光接收元件5的光接收面中的光能够比在光接收元件5通过透 镜12接收从SMF发射的光的情况下分布更广。因此，能使X、Y和Z轴方向中的容限曲线的 每一个比在光接收元件5接收通过透镜12从SMF发射的光的情况下更陡。由于此，能使相 对于彼此移动插座2和CAN 1以便实现期望衰减的第一预定范围窄于在光接收元件5通过 透镜12接收从SMF发射的光的情况下。因此，能以更短的时间执行芯调整，以及能缩短用 于制造光学接收器模块100所需的时间。由于能使每一方向中的容限曲线比在光接收元件 5通过透镜12接收从SMF发射的光的情况下更陡，所以，能将期望衰减“b”的值设置在更 大值。相应地，能防止由于噪声的不利影响而引起的峰值位置的误检测。此外，由于能使在 每一方向中的容限曲线更陡，因此，能高精度地检测峰值位置，以及能提高光学接收器模块 100的频率响应特性的合格率。〈第一改进〉图8是表示根据第一改进的用于制造光学接收器模块的方法的流程图。通过根据第一改进的制造方法，执行第六过程以执行第一和第二过程，以便确定X 轴方向和Y轴方向中的峰值位置，以及将插座2和CAN 1的相对位置调整到那些峰值位置。 然后执行第七过程以执行第三过程，以便确定Z轴方向中的峰值位置，以及将插座2和CAN 1的相对位置调整到峰值位置。然后执行第八过程以执行第一和第二过程。在第七过程和第八过程之间，不执行第四过程。通过根据第一改进的制造方法，以与第一实施例相同的方式，执行步骤Sl至S5， 但在步骤S5后执行步骤Sl 1。在步骤S11，进行校验以便确定在步骤S4和S5是否已经获得每一峰值位置(X峰 值位置和Y峰值位置)。在未获得峰值位置的至少一个的情况下(步骤Sll为“否”)，执行 步骤S3的设置改变。在此时执行的步骤S3，实现下述设置改变的至少一个第一设置改变， 使搜索范围大于(或宽于)在前次执行步骤S3时设置的搜索范围，以及第二设置改变，使 必要的衰减小于前次执行步骤S3时设置的衰减。这里，应当仅改变用于未获得峰值位置的 峰值搜索操作的“a”和“b”的值。例如，在未获得X峰值位置的情况下，应当改变用于X峰 值搜索的“a”和“b”的值的至少一个。在未获得Y峰值位置的情况下，应当改变用于Y峰 值搜索的“a”和“b”的值的至少一个。同时，不需要改变用于Z峰值搜索的“a”和“b”的 值。通过进行上述设置改变，再次执行步骤S4和S5，以及操作进入步骤Sll的确定。 此后，重复步骤S3的设置改变以及步骤S4和S5，直到在步骤S11，确定获得峰值位置的每 一个(X峰值位置和Y峰值位置)为止(直到步骤Sll的结果变为“是”为止)。在确定获得峰值位置的每一个(X峰值位置和Y峰值位置)后(步骤Sll为“是”)， 操作进入步骤S6，以及执行与第一实施例相同的Z峰值搜索。在步骤S6后的步骤S12，进行校验以便确定在步骤S6是否获得Z峰值位置。在还 未获得Z峰值位置的情况下(步骤S12为“否”)，执行步骤S13的设置改变。以与步骤S3 的设置改变相同的方式，执行该设置改变。更具体地说，执行下述设置改变的至少一个第 一设置改变，使搜索范围大于(或宽于)在前次执行步骤S3时设置的搜索范围，以及第二 设置改变，使必要的衰减小于前次执行步骤S3时设置的衰减。其中，应当仅改变用于Z峰 值搜索的“a”和“b”的值，而不需要改变用于X峰值搜索和Y峰值搜索的“a”和“b”的值。通过进行上述设置改变，再次执行步骤S6，以及操作进入步骤S12的确定。此后， 重复步骤S13的设置改变和步骤S6，直到在步骤S12，确定已经获得Z峰值位置为止(直到 步骤S12的结果变为“是”为止)。如果从透镜12发射到光接收元件5的光的光轴19偏离光纤16的芯方向，当由于 Z峰值搜索Z轴方向位置平移时，由之前的X峰值搜索和Y峰值搜索调整的在X轴方向和Y 轴方向中的插座2的位置稍微偏离各自的峰值位置。因此，在第一改进中，当确定已经获得Z峰值位置(步骤S12为“是”)，操作进入 步骤S14，以及执行与步骤S4相同的操作。然后操作进入步骤S15，以及执行与步骤S5相 同的Y峰值搜索。用这种方式，重新调整X轴方向和Y轴方向中的插座2的位置。在此之后，操作进入步骤S8，以及在通过迄今执行的步骤S6、S14和S15调整的位 置中，将插座2固定到CAN 1。用这种方式，获得图1的光学接收器模块100。尽管未详细地描述，但通过上述光学接收器模块制造装置150，能实现根据第一改 进的上述制造方法。根据第一改进，在获得Z峰值位置后，执行步骤S14的X峰值搜索和步骤S15的Y 峰值搜索。因此，如果光轴19偏离光纤16的芯方向，能通过比第一实施例更高的精度，将 X轴方向和Y轴方向中的插座2的位置调整到X峰值位置和Y峰值位置。
〈第二改进〉图9是表示根据第二改进的用于制造光学接收器模块的方法的流程图。通过根据第二改进的制造方法，在执行第一改进的第八过程后，执行第三过程作 为第九过程，在第八过程和第九过程之间，不执行第四过程。通过根据第二改进的制造方法，以与第一改进相同的方式，执行步骤Sl至S15。在执行步骤S14的X峰值搜索和步骤S15的Y峰值搜索后，先前执行的、在步骤S6 调整的Z轴方向中的插座2的位置稍微偏离峰值位置。因此，在第二改进中，在步骤S15后，操作进入步骤S16，以及执行与步骤S6相同的 Z峰值搜索。用这种方式，重新调整Z轴方向中的插座2的位置。在此之后，操作进入步骤S8，以及在通过迄今执行的步骤S14、S15和S16调整的 位置中，使插座2固定到CAN 1。用这种方式，获得图1的光学接收器模块100。尽管未详细地描述，但通过上述光学接收器模块制造装置150，也能实现根据第二 改进的上述制造方法。根据第二改进，在重新调整X峰值位置和Y峰值位置后，也重新调整Z峰值位置。 因此，如果光轴19偏离光纤16的芯方向，能通过比第一改进更高的精度，将Z轴方向中的 插座2的位置调整到Z峰值位置。〈第三改进〉图10是表示根据第三改进的用于制造光学接收器模块的方法的流程图。通过根据第三改进的制造方法，重复第八过程和第九过程，直到在前一第七过程 确定的峰值位置和最后一次执行的第九过程确定的峰值位置之间的差值落在预定误差范 围内为止。通过根据第三改进的制造方法，以与第二改进相同的方式执行步骤Sl至S16。简单通过在步骤S16后，仅执行步骤S14(X峰值搜索)、步骤S15(Y峰值搜索)和 步骤S16 (Z峰值搜索)分别一次，可能不能高精度地将X峰值位置、Y峰值位置和Z峰值位 置调整到各自的峰值位置。在第三改进中，在步骤S16后，操作进入步骤S17。在步骤S17，进行校验以便确定 在步骤S16新确定的Z峰值位置是否在离由前一 Z峰值搜索(前次执行的步骤S6或前次 执行的步骤S16)确定的Z峰值位置的预定误差范围内。更具体地说，在步骤S17，进行校验 以便确定新确定的Z峰值位置和前一 Z峰值搜索确定的Z峰值位置之间的差值等于10 μ m 或更小。如果确定新确定的Z峰值位置不在离由前一 Z峰值搜索确定的Z峰值位置的预定 误差范围内(或确定在预定误差范围外)(步骤S17为“否”)，再次执行步骤S14、S15和 S16，以及操作进入步骤S17的确定。此后，重复步骤S14、S15和S16直到在步骤S17，确定 新确定的Z峰值位置在预定误差范围内为止(直到步骤S17的结果变为“是”为止)。如果确定新确定的Z峰值位置在离由前一 Z峰值搜索确定的Z峰值位置的预定误 差范围内(步骤S17为“是”)，操作进入步骤S8，以及在通过迄今执行的步骤S14、S15和 S16调整的位置中，将插座2固定到CAN 1。用这种方式，获得光学接收器模块100。尽管未详细地描述，通过上述光学接收器模块制造装置150，也能实现根据第三改 进的上述制造方法。
根据第三改进，在步骤S14至S16后执行步骤S17的确定，以及如果必要，重复步 骤S14至S16。因此，如果光轴19偏离光纤16的芯方向，能通过比第二改进更高的精度，将 X峰值位置、Y峰值位置和Z峰值位置调整到峰值位置。〈第四改进〉图11是表示根据第四改进的用于制造光学接收器模块的方法的流程图。通过根据第四改进的制造方法，重复第八过程和第九过程直到由前次执行的第一 过程确定的峰值位置和由最后一次执行的第八过程的第一过程新确定的峰值位置之间的 差值落在预定误差范围内，以及由前次执行的第二过程确定的峰值位置和最后一次执行的 第八过程的第二过程新确定的峰值位置之间的差值在预定误差范围内为止。根据第四改进的制造方法不同于根据第三改进的制造方法之处在于执行步骤S18 代替步骤S17。除此之外，根据第四改进的制造方法与根据第三改进的制造方法相同。在步骤S18，进行校验以便确定最后一次执行的步骤S14、S15和S16新确定的峰值 位置是否在离由前次执行的峰值搜索确定的χ、γ和Z峰值位置的预定误差范围内。关于X 峰值位置，进行校验以便确定新确定的X峰值位置是否在离由前次执行的X峰值搜索(前 次执行的步骤S4,或前次执行的步骤S14)确定的X峰值位置的预定误差范围(例如2 μ m) 内。关于Y峰值位置，进行校验以便确定新确定的Y峰值位置是否在离由前次执行的Y峰 值搜索(前次执行的步骤S5，或前次执行的步骤S15)确定的Y峰值位置的预定误差范围 (例如2μπι)内。关于Z峰值位置，进行校验以便确定新确定的Z峰值位置是否在离由前次 执行的Z峰值搜索(前次执行的步骤S6，或前次执行的步骤S16)确定的Z峰值位置的预定 误差范围(例如IOym)内。如果确定新确定的峰值位置的甚至一个不在离由前次峰值搜索确定的峰值位置 的预定误差范围内(或确定在预定误差范围外)(步骤S18为“否”)，则再次执行步骤S14、 S15和S16，以及操作进入步骤S18的确定。此后，重复步骤S14、S15和S16，直到在步骤 S18，确定新确定的峰值位置的每一个均在预定误差范围内为止(直到步骤S18的结果变为 “是”为止)。如果确定新确定的峰值位置的每一个在离由前一峰值搜索确定的每一相应峰值 位置的预定误差范围内(步骤S18为“是”)，那么操作进入步骤S8,以及在通过迄今执行的 步骤S14、S15和S16调整的位置中，将插座2固定到CAN 1。用这种方式，获得光学接收器 模块100。尽管未详细地描述，但通过上述光学接收器模块制造装置150，也能实现根据第四 改进的上述制造方法。根据第四改进，在步骤S14至S16后，执行步骤S18的确定，以及如果必要，重复步 骤S14至S16。因此，如果光轴19偏离光纤16的芯方向，能通过比第三改进更高的精度，将 X峰值位置、Y峰值位置和Z峰值位置调整到峰值位置。[第二实施例]在上述第一实施例中，将用于制造光学接收器模块的方法应用于具有嵌入插座2 中的透镜12的光学接收器模块100。另一方面，在第二实施例中，将用于制造光学接收器模 块的方法应用于具有图12所示的结构的光学接收器模块200。如图12所示，应用根据本实施例的用于制造光学接收器模块的方法的光学接收
22器模块200包括CAN 1和插座2 (不具有内置透镜)。CAN 1包括与第一实施例相同的管座3、相同的载体4和相同的光接收元件5。在 该实施例中，跨阻抗放大器、电容器等等以及载体4和光接收元件5可以安装在管座3上。在该实施例中，CAN 1具有帽21，代替第一实施例的帽6。帽21与收集从光纤 16(见图2)发出的光的透镜22整体形成。在该实施例中，位于管座3上的部件(诸如载体 4和光接收元件5)也用帽21气密密封，以便形成CAN 1。插座2包括光学连接器插入部23和筒状固定部13。在该实施例中，插座2也不 包括SMF(单模光纤)短截头。然而，在光学连接器插入部23中的深处设置用于定位光纤 16(见图2)的光纤挡件24。更具体地说，将光学连接器14(见图2)插入光学连接器插入 部23，以及由光纤挡件24的右端面止挡光学连接器14的前端，如图12所示。用这种方式， 光学连接器14位于光学连接器插入部23内。光纤挡件达24可以由透过光的玻璃制成，或 可以由具有用于透过光的孔的金属构件形成。光纤挡件24的在透镜22侧的面25横过(或偏离)垂直于Z轴的平面。因此，通 过光纤挡件24和透镜22而发射在光接收元件5上的光的光轴19横过(或偏离)Z轴。在该实施例中，通过根据第一实施例或第一至第四改进的任何一个的制造方法， 能制造光学接收器模块200。特别地，由于如上所述，在该实施例中，光轴19偏离Z轴方向， 因此，最好通过根据第一至第四改进的制造方法的一个，制造光学接收器模块200。上述第二实施例能实现与第一实施例或第一至第四改进的任何一个相同的效果。如果从透镜12或22发射到光接收元件5的光的光轴19与光纤16的芯方向重 合，则根据第一至第四改进的方法是不必要的，以及通过根据第一实施例的制造方法，能制 造光学接收器模块。显而易见的是，本发明不限于上述实施例，并且在不脱离本发明的范围和精神的 情况下，能被改进和改变。
2权利要求
一种用于制造光学接收器模块的方法，所述光学接收器模块包括保持光纤的光学连接器被插入到其中的插座，收集从所述光纤发射的光的透镜，以及包括平面PIN PD作为接收由所述透镜收集的光的光接收元件的CAN组件，所述方法包括调整所述插座和所述CAN组件的相对位置，包括当使光通过所述透镜从所述光纤发射到所述光接收元件时，在预定调整方向中确定由所述光接收元件生成的光电流达到峰值的峰值位置；以及将所述相对位置调整到所述峰值位置；以及在通过所述调整所述相对位置所调整的位置中，使所述插座和所述CAN组件彼此固定，所述调整所述相对位置包括第一过程，当将所述调整方向设置成在与所述光纤的芯方向垂直的平面中的一个方向时，确定所述峰值位置，以及将所述相对位置调整到所述峰值位置；以及第二过程，当将所述调整方向设置成在所述平面中的与所述一个方向垂直的方向时，确定所述峰值位置，以及将所述相对位置调整到所述峰值位置；以及第三过程，当所述调整方向设置成所述芯方向时，确定所述峰值位置，以及将所述相对位置调整到所述峰值位置；以及所述第一至第三过程的至少一个通过执行特定的芯调整过程而执行，所述特定的芯调整过程包括在将MCP(模式调节接插线)的多模光纤或连接到所述MCP的多模光纤用作所述光纤的同时，在第一预定范围内在所述调整方向中相对于彼此移动所述插座和所述CAN组件时，检测光电流；以及在从所述光电流达到所述第一预定范围内的所述峰值的暂定峰值位置的所述调整方向的双方向中，确定是否存在所述光电流与所述第一预定范围内的所述峰值相比显示出预定衰减的第一衰减位置和第二衰减位置；当存在所述第一衰减位置和所述第二衰减位置时，确定所述峰值位置，所述峰值位置为位于所述第一衰减位置和所述第二衰减位置之间的任意位置，并且位于离所述第一衰减位置和所述第二衰减位置之间的中点的第二预定范围内。
2.如权利要求1所述的方法，其中，当在所述第一至第三过程的所述至少一个中，确定不存在所述第一衰减位置和所述第 二衰减位置的至少一个时，执行第四过程，以执行第一设置改变和第二设置改变的至少一 个，以及再次执行所述第一至第三过程的所述至少一个，进行所述第一设置改变以加宽所述第一预定范围，进行所述第二设置改变以减小所述 预定衰减。
3.如权利要求1所述的方法，其中，通过执行所述特定的芯调整过程而执行所述第一 至第三过程的每一个。
4.如权利要求3所述的方法，其中， 所述调整相对位置包括第五过程，以任意顺序执行所述第一至第三过程，而不执行所述第四过程，以及 当因为在所述第五过程中在所述第一至第三过程的至少一个中确定不存在所述第一衰减位置和所述第二衰减位置的至少一个，而不能确定所述峰值位置时，在执行所述第四 过程后，再次执行所述第五过程。
5.如权利要求3所述的方法，其中， 所述调整相对位置包括第六过程，执行所述第一和第二过程，以确定与所述芯方向垂直的平面中的所述一个 方向中的所述峰值位置和所述垂直方向中的所述峰值位置，以及将所述插座和所述CAN组 件的相对位置调整到所述峰值位置；第七过程，执行所述第三过程，以确定所述芯方向中的所述峰值位置，以及将所述插座 和所述CAN组件的相对位置调整到所述峰值位置；以及 第八过程，执行所述第一和第二过程，按此顺序执行所述第六、第七和第八过程，在所述第七过程和所述第八过程之间不执 行所述第四过程。
6.如权利要求5所述的方法，其中，在所述第八过程后，执行所述第三过程作为第九过 程，在所述第八过程和所述第九过程之间，不执行所述第四过程。
7.如权利要求6所述的方法，其中，重复所述第八过程和所述第九过程，直到在前次执 行的所述第七过程中确定的所述峰值位置与最后一次执行的所述第九过程中确定的峰值 位置之间的差值落在预定误差范围内为止。
8.如权利要求6所述的方法，其中，重复所述第八过程和所述第九过程，直到在前次执行的所述第一过程中确定的所述峰 值位置和在最后一次执行的所述第八过程中的所述第一过程中确定的峰值位置之间的差 值落在预定误差范围内，以及在前次执行的所述第二过程中确定的所述峰值位置和在最后 一次执行的所述第八过程中的所述第二过程中确定的峰值位置之间的差值落在预定误差 范围内为止。
9.如权利要求5所述的方法，其中，从所述透镜发射到所述光接收元件的光的光轴偏 离所述芯方向。
10.如权利要求1所述的方法，其中，从所述透镜发射到所述光接收元件的光的光轴与 所述芯方向重合。
11.如权利要求1所述的方法，其中，在所述特定的芯调整过程中，将所述第一衰减位 置和所述第二衰减位置之间的中点设置为所述峰值位置。
12.一种用于制造光学接收器模块的装置，所述光学接收器模块包括保持光纤的光 学连接器被插入到其中的插座，收集从所述光纤发射的光的透镜，以及包括平面PIN-PD作 为接收由所述透镜收集的光的光接收元件的CAN组件，所述装置包括 第一保持单元，保持所述插座； 第二保持单元，保持所述CAN组件；相对位置调整单元，通过相对于彼此移动所述第一保持单元和所述第二保持单元，调 整所述插座和所述CAN组件的相对位置；光电流检测单元，检测由所述光接收元件生成的光电流；以及 控制单元，执行包括所述相对位置调整单元的操作控制的控制操作和基于由所述光电流检测单元检测的光电流的计算操作， 所述控制单元执行调整所述插座和所述CAN组件的相对位置，包括当使光通过所述透镜从所述光纤发 射到所述光接收元件时，在预定调整方向中确定由所述光接收元件生成的光电流达到峰值 的峰值位置；以及将所述相对位置调整到所述峰值位置；以及在通过所述调整所述相对位置所调整的位置中，使所述插座和所述CAN组件彼此固定，所述调整所述相对位置包括第一过程，当将所述调整方向设置成在与所述光纤的芯方向垂直的平面中的一个方向 时，确定所述峰值位置，以及将所述相对位置调整到所述峰值位置；以及第二过程，当将所述调整方向设置成在所述平面中的与所述一个方向垂直的方向时， 确定所述峰值位置，以及将所述相对位置调整到所述峰值位置；以及第三过程，当所述调整方向设置成所述芯方向时，确定所述峰值位置，以及将所述相对 位置调整到所述峰值位置；以及所述第一至第三过程的至少一个通过执行特定的芯调整过程而执行，所述特定的芯调 整过程包括在将MCP (模式调节接插线)的多模光纤或连接到所述MCP的多模光纤用作所述光 纤的同时，在第一预定范围内在所述调整方向中相对于彼此移动所述插座和所述CAN组件 时，检测由所述光接收元件生成的光电流；以及在从所述光电流达到所述第一预定范围内的所述峰值的暂定峰值位置的所述调整方 向的双方向中，确定是否存在所述光电流与所述第一预定范围内的所述峰值相比显示出预 定衰减的第一衰减位置和第二衰减位置；当存在所述第一衰减位置和所述第二衰减位置 时，确定所述峰值位置，所述峰值位置为位于所述第一衰减位置和所述第二衰减位置之间 的任意位置，并且位于离所述第一衰减位置和所述第二衰减位置之间的中点的第二预定范 围内。
全文摘要
本发明涉及光学接收器模块的制造方法及其制造装置。芯调整过程包括在X、Y和Z方向的每一个中搜索光接收元件的光电流达到其峰值的位置的过程。在搜索过程中，从MCP的多模光纤发射的光由透镜收集并被透射到光接收元件。然后进行校验以便确定在搜索方向的双方向中，是否存在光电流相对于搜索范围中的峰值显示出预定衰减的第一和第二衰减位置。如果存在衰减位置，则将峰值位置确定为如下的位置，该位置位于离衰减位置之间的中点的第二预定范围内，以及将插座和CAN组件的相对位置调整到峰值位置。
文档编号G02B6/42GK101900860SQ20101019430
公开日2010年12月1日 申请日期2010年5月28日 优先权日2009年5月29日
发明者栗原佑介, 森林茂 申请人:瑞萨电子株式会社