专利名称：一种用于涂胶显影机的温湿度控制器及涂胶显影机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及涂胶显影机，特别是涉及一种用于涂胶显影机的温湿度控制器及 使用该温湿度控制器的涂胶显影机。
背景技术：
在现有技术中，涂胶显影机台(Track机台)中的温湿度控制器 (Temperaturehumidity cotroller)包括多个制冷片组，如图1、图2、图3所示为其中的1 个制冷片组，它由4个制冷片1串联形成，制冷片的冷热面分别涂散热膏夹于水冷却散热铝 板2和储冷铝板箱外壁3之间，水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁两者通过螺丝固定而成。 温湿度控制器可以共串联6组制冷片组。通过施加给制冷片的电流变化，实现对流经储冷 铝板箱内部、进入主机台“上光阻单元”的空气温/湿度进行高精度控制，避免光阻液内的 化学成分因环境变化而固化不均，发生光阻层厚度异常。但是，由于制冷片老化或修机时机台通断电时间间隔太短等原因，可能会造成处 于制冷片内的部分PN结烧毁而使做为制冷片冷热面的绝缘陶瓷片少量碎裂，而且制冷片 的冷热面所涂的散热膏没有机械强度，在外力压紧时会失去绝缘功能，因此，破坏了制冷片 与铝板之间的绝缘，而所有水冷却散热铝板利用导线串联后与机台电力保护地线(GND)相 接，从而造成机台电力跳电，届时机台内的产品必须全部重做。而机台内“上光阻单元”温 /湿度传感器，制冷片组的水冷却散热铝板上温度传感器4等侦测元件，都因机台断电而无 法发挥应有的作用，这不符合机台设计者初衷。
实用新型内容针对现有技术中存在的缺陷和不足，本实用新型的目的是提出一种温湿度控制 器，使制冷片内的PN结烧毁时也能保证制冷片与水冷却散热铝板、储冷铝板箱外壁之间的 绝对绝缘，从而避免因某个制冷片的损坏使整个机台电力跳电。为了达到上述目的，本实用新型提出一种用于涂胶显影机的温湿度控制器，包括 由多个制冷片串联形成的制冷片组，所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板和 储冷铝板箱外壁之间，每个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述储冷铝板箱外壁之间具有 导热绝缘垫片。作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片具有至少将所述制冷片完全覆盖的 面积。作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片具有高导热系数。作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片是低热阻的绝缘散热垫片。作为上述技术方案的优选，使用带有绝缘套管的可拆拔的公母接头串联所述多个 制冷片。一种涂胶显影机，包括温湿度控制器，所述温湿度控制器包括由多个制冷片串联 形成的制冷片组，所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁之间，每个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述储冷铝板箱外壁之间具有导热绝缘垫片。作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片具有至少将所述制冷片完全覆盖的 面积。作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片具有高导热系数。作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片是低热阻的绝缘散热垫片。作为上述技术方案的优选，使用带有绝缘套管的可拆拔的公母接头串联所述多个 制冷片。本实用新型提出的温湿度控制器以及使用该温湿度控制器的涂胶显影机利用导 热绝缘垫片替代没有机械强度的当外力压紧时会失去绝缘功能的散热膏，可实现制冷片与 水冷却散热铝板、储冷铝板箱外壁之间的绝对绝缘，避免因某个制冷片的损坏使整个机台 电力跳电，使机台内的产品免于全部重做，同时还可使更换制冷片的整个过程的干净和快 速。
以下结合附图，对本实用新型的具体实施方式
作进一步的详细说明。对于所属技 术领域的技术人员而言，从对本实用新型的详细说明中，本实用新型的上述和其他目的、特 征和优点将显而易见。
图1为现有技术温湿度控制器中制冷片组的立体示意图；图2为图1制冷片组的俯视图；图3为图1制冷片组的仰视图；图4为本实用新型提出的温湿度控制器中制冷片组的立体示意图；图5为图4制冷片组的俯视图；图6为图4制冷片组的仰视具体实施方式
如图1、图2、图3所示，本实用新型提出的一种用于涂胶显影机的温湿度控制器， 包括由多个制冷片1串联形成的制冷片组，所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热 铝板2和储冷铝板箱外壁3之间，每个制冷片与水冷却散热铝板2、储冷铝板箱外壁3之间 具有导热绝缘垫片5。采用导热绝缘垫片5代替现有技术中的散热膏可实现制冷片1与水冷却散热铝板 2、储冷铝板箱外壁3之间有效接触面积的增加以及绝对绝缘，不会因为一个制冷片中的PN 结烧毁而导致整个机台电力跳电，使机台内的产品免于全部重做，同时还可使更换制冷片 的整个过程的干净和快速。使用的绝缘散热垫片5最好具有至少将制冷片1完全覆盖的面积。而且，绝缘散热垫片5应最好具有高导热系数(例如可以为3. 5ff/mK)，以及，绝缘 散热垫片5应当是低热阻的绝缘散热垫片。这样才不会对制冷片的功效产生大的影响。绝缘散热垫片5的厚度可以例如为0. 2mm。在现有技术中，各个制冷片是采用压接方式进行串联，不利于快速判断和更换损 坏的制冷片。因此，作为上述技术方案的进一步的优选实施例，本实用新型还采用带有绝缘套管的可拆拔的公母接头替代压接。工程师可利用机台警报或其他维修工具在线或离线方 式快速判断和更换各制冷片组内损坏的制冷片，减少停机时间，避免因产品的重做而增加 运营成本。通常，对于涂胶显影机来说，整个制冷系统采用6组制冷片组串联，其中每组串联 4片制冷片，当采用高导热系数的导热绝缘垫片替代散热膏时，若某个制冷片发生部分PN 结烧毁造成该制冷片断路，则所有制冷片都无法工作，机台内“上光阻单元”温/湿度传感 器4将动作，使机台发出警报，通知工程师处理；若某个制冷片发生部分PN结烧毁造成该制 冷片短路，则其他制冷片仍能工作，只不过工作电流略变大(由于机台设计时，已经对制冷 片工作电流范围留有余量，所以此时的电流对其他制冷片影响不会太大)；若多个制冷片 同时短路，为了高精度控制温度，余下的制冷片必然会因工作电流很大而热面更热，所以此 时6个制冷片组的水冷却散热铝板上的串联在一起的1个或多个温度传感器4会因过温而 动作，机台会因此而发出过温警报，通知工程师处理。相应地，本实用新型还提出一种涂胶显影机，包括温湿度控制器，所述温湿度控制 器包括由多个制冷片1串联形成的制冷片组，所述制冷片1位于所述涂胶显影机的水冷却 散热铝板2和储冷铝板箱外壁3之间，每个制冷片1与所述水冷却散热铝板2、所述储冷铝 板箱外壁3之间具有导热绝缘垫片5。其中，所述绝缘散热垫片5具有至少将所述制冷片1完全覆盖的面积。所述绝缘散热垫片5具有高导热系数。绝缘散热垫片5应当是低热阻的绝缘散热垫片使用带有绝缘套管的可拆拔的公母接头串联所述多个制冷片。虽然，本实用新型已通过以上实施例及其附图而清楚说明，然而在不背离本实用 新型精神及其实质的情况下，所属技术领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应 的变化和修正，但这些相应的变化和修正都应属于本实用新型的权利要求的保护范围。
权利要求1.一种用于涂胶显影机的温湿度控制器，包括由多个制冷片串联形成的制冷片组，所 述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁之间，其特征在于，每 个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述储冷铝板箱外壁之间具有导热绝缘垫片。
2.根据权利要求1所述的用于涂胶显影机的温湿度控制器，其特征在于，所述绝缘散 热垫片具有至少将所述制冷片完全覆盖的面积。
3.根据权利要求1或2所述的用于涂胶显影机的温湿度控制器，其特征在于，所述绝缘 散热垫片具有高导热系数。
4.根据权利要求1或2所述的用于涂胶显影机的温湿度控制器，其特征在于，所述绝缘 散热垫片是低热阻的绝缘散热垫片。
5.根据权利要求1或2所述的用于涂胶显影机的温湿度控制器，其特征在于，使用带有 绝缘套管的可拆拔的公母接头串联所述多个制冷片。
6.一种涂胶显影机，包括温湿度控制器，所述温湿度控制器包括由多个制冷片串联形 成的制冷片组，所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁之 间，其特征在于，每个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述储冷铝板箱外壁之间具有导热绝 缘垫片。
7.根据权利要求6所述的涂胶显影机，其特征在于，所述绝缘散热垫片具有至少将所 述制冷片完全覆盖的面积。
8.根据权利要求6或7所述的涂胶显影机，其特征在于，所述绝缘散热垫片具有高导热 系数。
9.根据权利要求8所述的涂胶显影机，其特征在于，所述绝缘散热垫片是低热阻的绝 缘散热垫片。
10.根据权利要求6或7所述涂胶显影机，其特征在于，使用带有绝缘套管的可拆拔的 公母接头串联所述多个制冷片。
专利摘要本实用新型涉及一种用于涂胶显影机的温湿度控制器及包括该温湿度控制器的涂胶显影机。该温湿度控制器包括由多个制冷片串联形成的制冷片组，所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁之间，每个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述储冷铝板箱外壁之间具有导热绝缘垫片。本实用新型可实现制冷片与水冷却散热铝板、储冷铝板箱外壁之间的绝对绝缘，避免因某个制冷片的损坏使整个机台电力跳电，使机台内的产品免于全部重做，同时还可使更换制冷片的整个过程干净和快速。
文档编号G03F7/16GK201886368SQ20102053915
公开日2011年6月29日 申请日期2010年9月21日 优先权日2010年9月21日
发明者储著飞, 刘刚, 刘涛, 程光中 申请人:和舰科技(苏州)有限公司