专利名称：包括显微物镜和微距物镜的显微镜的制作方法
技术领域：
本发明涉及显微镜，该显微镜包括用于保持至少一个显微物镜和/或微距物镜 (可被旋转至光轴上的工作位置)的物镜转轮、在成像光路上的观察光学元件、由多个光学子系统组成的微距物镜；可与物镜转轮附接的第一光学子系统，以及在第一光学子系统被旋转入其光轴上的工作位置时，可插入到物镜转轮和观察光学元件之间的成像光路中的第二光学子系统。
背景技术：
已知显微镜具有微距物镜，例如，依据DE 32 05 305 Al中的记述。微距物镜在本文中指“观测物镜”。观测物镜用于放大率在Ix与1.6x之间大物场的观测观察。将这种观测物镜整合入携带具有用于显微观察的常用放大率的常规的物镜转轮存在问题。问题在于观测物镜即微距物镜的齐焦长度大于具有惯常放大率的显微镜物镜的齐焦长度。齐焦长度 (也称之为“光学-机械总长”)定义为样本物面与法兰的肩部之间的距离，物镜通过法兰的肩部支撑在物镜转轮上。使用齐焦物镜使得当在显微观察过程中使用物镜转轮在两个物镜之间转换时不需要重新调焦。物镜的典型齐焦长度为45mm。使用非齐焦微距物镜在转换至观测观察以及从观测观察转换回来时将需要对显微镜设置做相当大的变动。在引用文件中提及了一种用于将观测物镜与常规物镜转轮结合的选择使用一种布置，在这种布置中所谓的伯特朗(Bertrand)透镜可插入显微镜镜筒并且在其中可轴向替换，或者，在这种布置中这种伯特朗透镜可插入显微镜镜筒并且附加地使用了辅助透镜。然而，对于在物空间中的远心光路，其利于成像效果，这些布置并不理想。因此，德国文件DE 32 05 305 Al提出了一种由两个子系统构成的观测物镜，其中一个子系统布置在物镜转轮上以致于它可被转换入显微镜光路，而另一个光学子系统布置为能被转换入物镜转轮和显微镜镜筒之间的光路。在这种布置中，第一提及的子系统的齐焦长度与其他可转换物镜的齐焦长度相等。并且，第二提及的光学子系统可以轴向可替换以允许调节至观察者眼睛的适应属性。Jenoptik Jena GmbH公司的透射光研究显微镜〃 JENA VAL"实现了最大25mm的物场直径。尼康(Nikon)公司提供了0. 5x 微距物镜(Ultra-Low Mag 0. 5x Objective，超低放大率0. 5x放大镜)，这种微距物镜包括布置在物镜空间中的附加光学元件以及布置在显微镜放大倍数变换器区域中物镜空间之外的附加光学元件。申请人:提供了一种研究显微镜的模块化系统(Leica DM R)，在其中微距物镜通过布置在放大倍数变换器区域中物镜空间之外的附加光学元件的方式与物镜转轮结合。上述将微距物镜与携带有通常放大率显微镜物镜的物镜转轮结合的方法只设计用于透射照明。对于入射照明，在DE 10 2008 032 337 Al中描述了一种将微距物镜与携带有通常放大率显微镜物镜(在此称为“显微物镜”)的物镜转轮结合的选择。在此，为了实现成像和入射照明光路，提出了一种包括总共3个透镜组的低放大率物镜(在此称为“微距物镜”)。第一透镜组通常布置于物镜齐焦长度之内，而第二透镜组布置在微距物镜的出瞳位置。第三透镜布置在入射照明镜筒透镜与镜面系统的一面镜子之间的入射照明光路上，所述镜子将入射照明光路导入微距物镜的第一透镜组，并从那导入到物体。根据本发明的一个优选实施方式，第二和第二透镜组形成了这种镜面系统的一部分，从成像光路上看，镜面系统的这一部分布置在物镜第一透镜组的下游。第二透镜组具有正折光力，布置在成像光路中镜子的下游，而第三透镜组处于入射照明光路中得前述位置。第三透镜组具有负折光力并且不参与物体进入物镜中间像面的实际成像。这个透镜组只参与入射照明并且将导致在第二透镜组的微距物镜出瞳所在的位置形成一个入射光的虚像。这样，(虚)照明光瞳被置于微距物镜的后出瞳上。最后，公开号为No. 2009/0091822 Al的美国专利申请公开了一种用于荧光显微镜检查的变焦显微镜，包括变焦观察光学系统以及变焦照明光学系统。然而，因为当其中提出的变焦显微镜工作在低放大率范围时，据说照明光瞳会远离物镜光瞳，这导致了对入射照明遮蔽的问题。为了避免这个问题，在此提出了一种在物镜光瞳附近形成光源的像的可起动光学系统。在此，该光学系统也布置在入射照明光路中。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于反射光检查的显微镜，其中，微距物镜与携带有通常放大率显微镜物镜的物镜转轮结合，并且，允许在均勻照明下在显微观察和观测观察之间方便转换。另一目的是提供一种抑制反射的简单方法。通过根据权利要求1的显微镜实现了本发明的这个目标。根据本发明，描述了一种包括物镜转轮的显微镜，物镜转轮用于保持至少一个显微物镜，显微物镜可被旋转入光轴上的工作位置，并且还包括在显微镜成像光路上的观察光学元件，以及由多个光学子系统构成的微距物镜；第一光学子系统可与物镜转轮附接，而第二光学子系统在第一光学子系统被旋转入其光轴上的工作位置时，可插入至在物镜转轮和观察光学元件之间的成像光路中，根据本发明，其特征在于提供了一种产生照明光路的入射照明装置，并且入射照明装置包括用于将照明光路耦合入成像光路的分光器。这种入射照明装置通过在其工作位置上的显微物镜，或者，在其工作位置处的微距物镜的第一光学子系统，都能够产生在物镜侧带有照明光瞳的远心照明光路。为此，当微距物镜处于其工作位置时，在此位置，其光学子系统被插入到显微镜的光轴上，调节光学元件可插入到照明光路上，导致照明光瞳转移到微距物镜的后出瞳，所述后出瞳位于第一光学子系统和分光器之间。已发现这可以通过具有正折射力的调节光学元件实现。当显微物镜或者微距物镜在它们各自的工作位置时，这种配置在物镜侧形成照明光瞳；即，当从分光器看时，位置在朝向显微物镜的照明光瞳分别朝向微距物镜的第一光学子系统。而且，使用了微距物镜，微距物镜的后出瞳位于微距物镜的第一光学子系统和分光器之间。最终，调节光学元件和其正折射力确保了当微距物镜处于它的工作位置时，照明光瞳被转移到微距物镜的后出瞳。这些措施防止当使用微距物镜在显微观察和观测观察之间转换时发生渐晕与光损耗。同时，远心照明允许连续调焦；即，改变物体与各个物镜的前透镜之间的距离。
这些措施在提供物空间中的远心照明的两部分微距物镜(“远心物镜”)的情形中尤其有利。特别是在这种类型的物镜中，后出瞳被明显朝向第二光学子系统移动，第二光学子系统离物体更远。相反，在通常放大率的显微物镜中，后出瞳通常位于显微物镜自身。本发明的措施确保照明光瞳被移至微距物镜的后出瞳，以使得物体区域实现最优化照明与远心照明。入射照明装置产生具有在物镜侧的照明光瞳的照明光，(入射照明装置)独立于所使用的物镜。本发明的显微镜配置尤其适用于实现反射抑制。在入射照明的情形中，照明光有时会在光学界面被反射，导致对一级反射的扰乱。 这个问题基本上在所有物镜中都会发生；即，在通常放大率的显微物镜中也会发生。然而， 因为这种显微镜物镜的数值孔径要比微距物镜的数值孔径大得多，所以其中的反射可通过适宜的物镜设计更加有效地加以抑制。在根据本发明的显微镜中，当从显微观察切换到利用微距物镜的观测观察时，当微距物镜在适当的位置，也有可能轻易地实现对反射的抑制。在根据本发明的一种显微镜中，如果想要抑制反射，当微距物镜处于其工作位置时，使用可插入照明光路的偏振器和可插入微距物镜成像光路的分析器是尤其有利的。这些措施使得能够显著地对上述反射扰乱进行抑制。特别地，(基本上)完全地消除了所谓的“一级反射”，一级反射由在微距物镜第一光学子系统出得照明光线的反射引起。一旦通过偏振器，为了这个目的，朝照明光线的传播方向看，偏振器可定位在至少微距物镜的第一光学子系统的上游，偏振化的照明光将入射到微距物镜的第一光学子系统上并从其中通过。在微距物镜光学子系统界面反射的光保持其偏振方向，并且其中至少一部分进入到显微镜各自的微距物镜的成像光路。从成像光线的传播方向看，布置在第一光学子系统的下游的分析器使得相应偏振化的光被滤除出去，以便能完全消除一级反射。已经发现，消除干扰反射的优势比削减光强度带来的不利更加重要。微距物镜的多部分设计使得它能够与保持通常放大率显微物镜的物镜转轮结合。 为此，适用于物镜转轮的微距物镜的光学子系统的齐焦长度选择为与其他可切换显微物镜的齐焦长度相等。特别地，如果微距物镜由两个光学子系统构成的话将会很有利。适用于物镜转轮的第一光学子系统(也称为“微距物镜的场镜部件”)可特别地设计为用于提供在物空间的远心照明。微距物镜的第二光学子系统便方便地布置在物镜转轮和显微镜镜筒之间。本申请中使用的术语“显微物镜”理解为表示用于Ix以上到大约ΙΟΟχ，特别是 1. 6x或者切到ΙΟΟχ，以及更特别地从50x到IOOx及更高倍率的典型放大率的物体显微检查的显微镜物镜，而术语“微距物镜”应当理解为表示其放大率范围从0. 5x到^、特别地从 0. 5x到Ix变动，以及更特别地为大约0. 7x倍率的物镜。为了导引照明光线通过各个物镜，入射照明装置具有用于将照明光线耦合进显微镜成像光路的分光器。有利的是，分光器被布置在显微镜的成像光路上。如果上述偏振器被布置在分光器上游(从照明光线的传播方向看)，而分析器被置于分光器下游(从成像光线的传播方向看)，这将是很有利的。而且，如果偏振器、分析器以及上述的分光器结合起来以棱镜偏振器(也称为“偏振分光器”)实现，将是很有利的。棱镜偏振器将照明光线朝微距物镜的第一子系统(场镜部件)导引，在这个过程中偏振照明光线，同时也将偏振光从显微镜的成像光路中过滤出去。因为在本发明的显微镜中，照明光瞳被移到微距物镜的后出瞳，而后出瞳位于微距物镜的第一光学子系统和分光器之间，所以可以在没有与其他光学组件发生冲突的情况下方便地实施反射抑制措施。例如，可以将上述的棱镜偏振器放置于微距物镜的第二光学子系统的上游(从成像光线的传播方向看)。如果棱镜偏振器以及调节光学元件被布置在可插入光路之中的共有模块之中，将是特别有利的。取决于待检查物体，在微距物镜的第一光学子系统中或者在微距物镜的第一光学子系统与物体之间布置去偏振器将会是有利的。通过微距物镜的第一光学子系统的光线便在它照亮物体之前由去偏振器进行去偏振。随后由物体的物理特征反射、散射和衍射的光线进入成像光路并且随后可通过分析器、各自的棱镜偏振器。然而，如果待检查或者待成像物体自身能够将照明光线去偏振至足够程度，便不需要这种去偏振器。上述去偏振器有利地是采用以λ /4波板以及/或石英板形式，并且优选地相对于光轴成角度地放置。在一种尤其有利的实施方式中，去偏振器通过将其整合入微距物镜的第一光学子系统而将其与微距物镜的第一光学子系统一体化结合。可选地，结合可以通过将去偏振器粘结到微距物镜的物侧前透镜而实现。例如，如果去偏振器粘结到典型形状的前透镜的平表面，该平表面位于物镜之内，则剩下的唯一能导致反射的平面就只有前透镜的外表面。因为在微距物镜的情况下，前述外表面通常曲度很大，因此它对反射的贡献非常小。总的来说，因此，物镜部件非常紧凑，因此没有必要将去偏振器以相对于物镜部件倾斜地放置在物镜部件之前。如果将上述棱镜偏振器(为了防止反射)以及光瞳调节光学元件(为了优化照明)结合成为微距模块，将是有利的。这确保当使用微距模块时本发明的两个方面都能实现。更进一步，如果至少将微距物镜的第二光学子系统也整合入微距模块以便能同时能使用微距观察所需的组件的话，将是有利的。而且，为了确保能同时使用微距观察所需的全部组件，将微距物镜和转轮安装的微距物镜第一光学子系统之间设置为正偶接是很方便的。如果显微镜的入射照明装置包括具有微距模块布置于其内的的入射光转轮，也将是特别有利的。对于显微物镜，入射光转轮可以包括其他模块，比如包括用于期望的入射照明的分光器或者光偏转器的反射器管。上述正偶接耦接可以纯机械地或者机电地实现。当利用微距物镜的观测观察被选择(手动地或者通过自动控制)时，物镜转轮上微距物镜的第一光学子系统被旋转入显微镜的成像光路(光轴)，并且上述的微距模块同时被插入成像光路。如果微距模块布置于入射光转轮内，通过转动转轮实现将微距模块插入成像光路。 当切换到显微观察时，相应的显微物镜被插入成像光路，并且，由于正耦接，微距模块从观察光路中被去除，并且可能地，另一适宜的模块(反射器管)被插入光路。在自动显微镜的情形中，这个过程可以以电机化、计算机辅助的方式实现。应当理解上述特征以及下面描述的特征不仅可以以指定的组合方式使用，而且也可以以其他组合方式使用，或者单独使用而没有超出本发明的范围。本发明及其优点用实例的实施方式在附图中进行了简略描述，并且参考附图将在下面进行详细描述。
图Ia是本发明具体实施方式
中一种创造性显微镜组件的图解视图。图Ib是图Ia的详细视图，此处关注了不同的实施方式中的棱镜偏振器。图Ic是图Ia的详细视图，此处关注了不同的实施方式中微距物镜子系统fe和去偏振器。图2是示出了当使用通常放大率显微物镜时通常照明光路的图解视图。图3是示意了当使用简易微距物镜时的照明光路的图解视图。图4是示意了当使用具有对于照明光瞳的调节光学元件的微距物镜时的照明光路的图解视图。
具体实施例方式为了理解本发明，图Ia以非常简略的方式示意了的显微镜的相关组件。因为显微镜的基本设计已为本领域技术人员熟知，所以下面的描述将限于发明的必要特征。显微镜的公知组件，例如镜筒、目镜、放大率变换器、变焦系统、附接照相机等在图Ia及随后的附图中不具体示意而仅称为观察光学元件9。所示意的显微镜18，特别地，是用于薄片 (wafer)检查的显微镜。通常，这种显微镜装备有常规显微物镜。远心照明提供了特别的优点，其中所有的物点被照明的孔径和光照强度相同。迄今为止已知的远心显微物镜只到 1. 6x,具有16mm的视场(FOV)。然而，获得更低放大率或者甚至获得缩小的物场概观图像以提供更大视场的概观是人们所希望的。为此，图Ia所示的实施方式中将微距物镜5与物镜转轮14相结合，除此之外，物镜转轮14以通常方式装备有显微物镜15。在这种实施方式中，微距物镜5具有包括第一光学子系统如(场镜部件)和第二光学子系统恥(物镜部件)的两部分设计。这种两部分设计一方面使得能够容易实现远心照明，另一方面为典型齐焦长度(例如，45mm)提供了适应性。通过绕其旋转轴19转动物镜转轮14，可以将不同的显微或者微距物镜旋转入成像光路。由于在齐焦长度内的均一性，当插入微距物镜5时，没有必要重新调焦。而且，有可能保持在空间限制之内。待成像或者显微检查的物体标示为6。它位于显微镜载物台17之上。显微镜18具有入射照明装置20，此后会对射照明装置20详加讨论。为了清楚起见，图Ia只示意了光源8以及入射照明光轴7，照明光路观沿照明光轴7延伸。为了优化照明，入射照明装置20包括光瞳调节光学元件2，光瞳调节光学元件2导致照明光瞳被置于微距物镜5的后出瞳(rear exit pupil)。在此将在之后对其详加说明。入射照明装置20还包括偏振分光器或者分光棱镜偏振器，在短棱镜偏振器1中合并了下列功能一方面，通过将入射光照明光轴7偏转到显微镜的光轴3之上，将照明光路观耦接入显微镜18的成像光路四。在这个过程中，照明光被偏振化。通过棱镜偏振器1 的照明光可以由位于入射光照明光轴7的假想延长线上的光陷(light trap，未示出)吸收。现在考虑成像光路四，棱镜偏振器1导致上述的偏振光沿着入射光照明光轴7被反射回来，而不同偏振化的光(具有不同偏振分量的光)能够通过棱镜偏振器1并且在通过微距物镜的第二光学子系统恥后能够进入观察光学元件9。这样，棱镜偏振器1将上述的组件偏振器、分光器以及分析器合成为一个单元。这种布置确保了保持其原始偏振方向的反射光不会进入观察光学元件9。这种光主要由在微距物镜5的第一光学子系统fe界面处的反射引起的一级反射构成。这样，例示的配置使得能够消除令人烦扰的一级反射。为了确保在物体6处反射的、保持其原始偏振方向的反射光也不进入观察光学元件9，可以有利地在第一光学子系统如与物体6之间放置去偏振器16。可以使用λ/4波板作为去偏振器16，所述λ /4波板有利地粘结到微距物镜5第一光学子系统fe的前镜(见图lc)。去偏振器16确保物体6不被偏振化的照明光所照明。由物体6的物体特征所反射、衍射以及散射的光之后便通过场镜部件fe并进入棱镜偏振器1，并在滤除了前述的偏振分量之后，从棱镜偏振器1传输进入微距物镜5第二光学子系统恥并进入观察光学元件 9。无疑可以接受在这个过程中涉及的光损耗，因为反射被削弱的优势大大超过了光损耗带来的影响。如图Ia中进一步所示意的，在这种例示性实施方式中，入射照明装置20具有携带两个或者多个单独模块10，11的入射光转轮4，两个或者多个单独模块10，11的每一个可通过绕转轴13转动入射光转轮4将其插入成像光路。对应于微距物镜5的模块在此称为微距模块10。在这种例示性实施方式中，作为一个单元，前述的微距模块包括棱镜偏振器1， 光瞳调节光学元件2以及微距物镜5的第二光学子系统恥。微距物镜5的第一光学子系统 5a和前述微距模块10之间适宜的耦接使得能够确保微距观察所需要的所有组件总是同时处于工作位置。在此，为显微镜18的其余显微物镜15至少提供另外一个包括分光器12的反射器管11 (或者为所述显微物镜的每一个提供一个这种反射器管11)。图Ib示意了图Ia的细节，关注于示意于其中的微距模块10。相同的组件由相同的标号标示，并且不再更为详细地加以描述。在图Ib中，取代棱镜偏振器1，示意了分离器模块30。在不同的设计中可以使用分光棱镜偏振器或者偏振光分光器。可选地，可以使用图Ib所示的经典设计，其中，分离器模块30在照明侧具有偏振器31并且在成像侧具有分析器32。分光器12对角线地划分分离器模块30以沿光轴3的方向偏转入射光照明光轴 7。偏振器31，分析器32以及分光器12普遍为技术领域的技术人员熟知，并且因此在此不作更多描述。同时也应当注意在此使用的术语“棱镜偏振器”可以包括图Ib所示的分离器模块30。图Ic示意了图Ia的其他细节，关注于微距物镜5的物侧光学子系统5a。图Ic示意了不同的技术实现，其中，对比图la，去偏振器16被粘结到前镜35的平面表面，该平面表面位于子系统fe之内。前镜35是面对物体6的微距物镜5的物侧光学子系统fe的透镜。 图Ic例示了物镜部件fe的紧凑设计。由于面对物体6的前镜35外表面很大的曲率，因此在这个界面处任何可能的反射都非常小。图2简略地示意了在使用经典显微物镜过程中常见的照明条件。标准显微物镜标示为25。入射照明装置20包括照明光学元件21，22，孔径光阑(aperture stop) 23,以及用于照明光路观的偏转元件12。上述偏转元件可以布置在，例如，本文之前描述过的反射器管之中。光源8由照明光学元件21成像于孔径光阑23的位置，并且还通过照明光学元件22的方式成像于物镜出瞳M的位置。以非常简略的形式示意了标准物镜25和照明光学元件21和22。一般地，这些系统包括多个透镜以及可选组件，比如过滤器，光阑等。如果照明光瞳位于物镜出瞳对，可以对物体6实现远心照明。这种类型的照明在此为入射照明，优选地，为对切到IOOx的显微物镜实施。图3例示了当使用微距物镜5时常见的照明条件。为了实现远心照明，前述的微距物镜选择为两部分设计，并且因此可以分为场镜部件fe和物镜部件恥。图3的其余部件和元件与图2中的相应部件一致，因此在这里将不单独描述。尽管照明光瞳沈处在如图2 中示意布置的相同位置，但微距物镜5的后出瞳27将明显与照明光瞳沈分离，即朝向微距物镜5的第二光学子系统恥；S卩，微距物镜5的后出瞳27在微距物镜的第一光学子系统fe 及分光器12之间。后出瞳27与照明光瞳沈之间显著的空间分隔导致微距物镜后出瞳27 照明不足，以致只有物场的一小部分被能够被照明，而视场显著更大了，并且，特别地，物体不再是远心照明。(事实上，在图3中，在微距物镜5的第一光学子系统fe及物体6之间， 光线是略微发散的。)图4示意了一种解决这个问题的方法。通过把光瞳调节光学元件2插入入射照明装置20的照明光路观，有可能将照明光瞳沈的位置转移到微距物镜5的出瞳27位置，并且理想地使这两个位置重合。结果，“被转移”的照明光瞳被置于微距物镜5的第一光学子系统如及分光器12之间。优选地，这个位置稍微低于微距模块10。图3和图4的对比表明照明光瞳位置的转移导致物场大得多的部分被照明，并且此时物体6为远心照明。因为这种类型的照明调节只对微距物镜有用，所以对于光瞳调节光学元件2以及微距物镜的第二光学子系统恥(物镜部件)(以及其他可能的子系统)来说，二者被组合进反射器管10将是有利的，这也可以被称为微距模块10。微距模块10然后可以总是和微距物镜的第一光学子系统fe(场镜部件)一起被插入光路。为此，可以以基于软件的方式以及机电地，电子地或者纯机械地正耦接物镜转轮14(见图la)以及入射光转轮4(见图la)对应的运动。经过照明调节，可用的视场得到了完全照明，在图示的示例性实施方式中，照明为远心照明。
^M ο
以上描述的配置允许在标准物镜转轮中实施具有36mm视场(FOV)的0. 7x微距物附图标记1棱镜偏振器2(光瞳)调节光学元件3光轴4入射光转轮5微距物镜5a, 5b微距物镜的第一和第二光学子系统6物体7入射光照明轴8光源9观察光学模块10微距模块11反射器管12分光器、光偏转器13入射光转轮旋转轴14物镜转轮
15显微物镜
16去偏振器
17显微镜载物台
18显微镜
19物镜转轮旋转轴
20入射光照明装置
21，22入射光照明光学7
23孔径光阑
24显微物镜出瞳
25标准显微物镜
26照明光瞳
27微距物镜出瞳
28照明光路
29成像光路
30分离器模块
31偏振器
32分析器
35前镜
权利要求
1.一种显微镜，包括用于保持至少一个显微物镜(1 和/或微距物镜( 的物镜转轮(14)，所述显微物镜 (15)和/或微距物镜( 可被旋转入光轴( 上的工作位置；成像光路09)中的观察光学元件(9)；由多个光学子系统( ，5b)构成的微距物镜(5)；第一光学子系统(5a)可附接至物镜转轮(14)，以及第二光学子系统(5b)在第一光学子系统被旋转入光轴C3)上其工作位置时，可插入到物镜转轮(14)和观察光学元件(9)之间的成像光路中；还包括产生照明光路08)的入射照明装置(20)，入射光照明装置OO)包括将照明光路08) 耦接入成像光路09)的分光器(1 ；所述入射照明装置由处于其工作位置的显微物镜 (15)，或者，由处于其工作位置的微距物镜(5)的第一光学子系统( )，都能够产生在物镜侧带有照明光瞳06)的远心照明光路08)；以及，具有正折射力的调节光学元件，调节光学元件( 在微距物镜( 被旋转入其工作位置时可插入照明光路(观)，所述调节光学元件(2)使得照明光瞳06)转移到微距物镜(5)的后出瞳(27)，所述后光瞳位于第一光学子系统(5a)与分光器(12)之间。
2.如权利要求1所述的显微镜(18)，其中，为了抑制反射，偏振器(31)可插入照明光路08)并且分析器(3 可插入微距物镜(5)的成像光路09)。
3.如权利要求2所述的显微镜，其中偏振器(31)、分析器(3 以及分光器(1 组合实施为棱镜偏振器(1)。
4.如权利要求2或3所述的显微镜，其中，去偏振器(16)布置在微距物镜(5)的第一光学子系统(5a)中，或者布置在微距物镜(5)的第一光学子系统(5a)与待由显微镜(18) 成像的物体(6)之间。
5.如权利要求4所述的显微镜，其中，去偏振器取λ/4波板及/或石英板的形式。
6.如权利要求4或5所述的显微镜，其中，去偏振器(16)通过将其粘结到微距物镜(5) 的物侧前镜而与微距物镜(5)的第一光学子系统(5a)结合。
7.如权利要求4或5所述的显微镜，其中，去偏振器(16)布置于微距物镜(5)的第一光学子系统(5a)之内。
8.如权利要求1至7中任一项所述的显微镜，其中调节光学元件(2)设计为导致照明光路物镜侧照明光瞳06)被转移至处于其工作位置的微距物镜(5)的后出瞳(XT)，以及完全照明该出瞳07)。
9.如权利要求3所述的显微镜，其中，包括元件棱镜偏振器(1)、微距物镜(5)的第二光学子系统(5b)以及光瞳调节光学元件的组中的至少两个元件(l，5b，2)与微距模块 (10)结合。
10.如权利要求9所述的显微镜，其中，入射照明装置00)包括入射光转轮，入射光转轮(4)具有布置于其内的微距模块(10)。
11.如权利要求9或10所述的显微镜，其中，至少微距物镜(5)的第二光学子系统(5b) 和光瞳调节光学元件(2)与微距模块(10)结合，并且在微距模块(10)以及微距物镜(5) 的第一光学子系统(5a)之间提供正耦接。
12.如权利要求1至11中任一项所述的显微镜，其中微距物镜(5)由两个光学子系统(5a, 5b)构成。
13.如权利要求12所述的显微镜，其中，第二光学子系统(5b)布置在物镜转轮(14)与显微镜(18)的镜筒之间。
全文摘要
本发明涉及显微镜(18)，微距物镜(5)的第一光学子系统(5a)可附接于物镜转轮(14)，第二光学子系统(5b)可插入物镜转轮与观察光学元件之间；入射照明装置(20)产生远心照明光路(28)并包括将照明光路(28)与成像光路(29)耦接的分光器(12)；入射照明装置能够在物镜侧产生带有照明光瞳(26)的照明光路(28)，照明光路由在其工作位置的显微物镜(15)，或者，由在其工作位置的微距物镜的第一光学子系统(5a)产生；当微距物镜在其工作位置时，具有正折射力的调节光学元件(2)可插入照明光路，使照明光瞳(26)移到位于第一光学子系统(5a)与分光器(12)之间的微距物镜的后出瞳(27)。
文档编号G02B21/02GK102385151SQ201110251739
公开日2012年3月21日 申请日期2011年8月29日 优先权日2010年8月30日
发明者P·豪特恩尔, R·卡鲁格 申请人:徕卡显微系统复合显微镜有限公司