专利名称：涂布机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于平板显示器制造工艺中的涂布机，更具体地涉及一种能够用微波检测被涂布的流体内的气泡的涂布机。
背景技术：
在诸如IXD (液晶显示器)的平板显示器的制造工艺中，涂布机是用于在基板上涂布密封胶或液晶的装置。在基板位于托台上的情况下，涂布机利用具有喷嘴的涂布头单元将密封胶或液晶涂布到基板上。
涂布机在改变基板和喷嘴之间的相对位置时在基板上形成密封图案或液晶层。
当涂布机涂布密封胶或液晶时，在密封胶或液晶中可能形成气泡。一般而言，平板显示器制造工艺需要对待涂布到基板上的密封胶或液晶的量进行高精度控制。然而，形成于密封胶或液晶中的气泡可能导致有缺陷的产品，且不可实现对涂布量的高精度控制。因此，在平板显示器制造工艺中要求密封胶或液晶中不存在气泡。并且，如果密封胶或液晶中形成有气泡，则必须要检测出气泡，使得可以制造无缺陷的产品。
根据用于检测正在涂布的密封胶或液晶中的气泡的传统方法，首先在基板上涂布密封胶或液晶，然后照相机或扫描器检测基板上的流体的施加状态。然而，传统方法因为使用扫描器或照相机，因此仅能直观地检测到基板上的气泡。根据传统方法，难于精确地检测到多少量的气泡涂布到基板上、以及差多少量的密封胶或液晶没有涂布。再者，根据传统方法，由于仅在密封胶或液晶的涂布工艺之后才可执行利用扫描器或照相机的检测工艺，因此不可能在涂布密封胶或液晶的同时检测气泡。为此原因，整个制造工艺只能延迟。并且， 即使流体内未形成气泡，也得实施利用扫描器或照相机的检测工艺。发明内容
因此，本发明的目的是提供一种用于在密封胶或液晶的涂布工艺中实时地检测气泡的涂布机。
本发明的另一目的是提供一种涂布机，其不仅能够检测流体内气泡的存在，而且能够精确地测量气泡的大小，以检测制造的产品的不良程度。
本发明的另一目的是提供一种涂布机，其能够检测气泡施加在基板上的位置。
本发明的目的并不局限于上述，本领域技术人员可从下文的说明书中理解本发明的其它目的。
根据本发明的一实施方式，提供一种涂布机，包括涂布头单元，其包括喷嘴，流体从喷嘴涂布到基板上；以及气泡检测单元，其根据物理量的变化来检测流体内的气泡，其中，气泡检测单元向涂布头单元内的流体发射微波，所述物理量的变化由微波通过涂布头单元内的流体引起。
在此，气泡检测单元可包括发生器，其产生微波，并向流体发射微波；电压测量器，其测量被发射微波的流体周围的第一点和第二点之间的电压差；以及检测器，其通过比较第一点和第二点之间的电压差而检测流体内的气泡。
同时，发生器可配备在发生器能向喷嘴发射微波的位置。
在此，气泡检测单元可包括绕喷嘴的周缘定位的第一块体和第二块体，其中，发生器可设置于第一块体和/或第二块体，第一点可位于第一块体内，第二点可位于第二块体内。
并且，发生器可粘附到喷嘴的外表面。
或者，第一块体和/或第二块体可粘附到喷嘴的外表面。
发生器的底部和喷嘴的底部可位于同一平面。
同时，气泡检测单元可包括具有孔的第三块体，喷嘴能插入孔内，其中，发生器可定位于孔的周缘，第一点和第二点在孔的周缘定位成彼此面对。
在此，喷嘴的外表面可粘附到孔的内表面。
或者，发生器可粘附到喷嘴的外表面。
并且，发生器的底部和喷嘴的底部可位于同一平面。
根据本发明的另一实施方式，涂布头单元还可包括将喷嘴与容纳流体的注射器连接的保持器，发生器可配备在所述发生器能向保持器发射微波的位置。
在此，气泡检测单元可包括绕保持器周缘定位的第一块体和第二块体，其中，发生器可设置于第一块体和/或第二块体，第一点可位于第一块体内，第二点可位于第二块体内。
并且，发生器可粘附到保持器的外表面。
或者，第一块体和/或第二块体可粘附到保持器的外表面。
并且，第一块体和/或第二块体可设置于保持器的内径恒定的范围。
同时，根据本发明另一实施方式，气泡检测单元可包括具有孔的第三块体，保持器能插入孔内，其中，发生器可定位于孔的周缘，第一点和第二点可在孔的周缘定位成彼此面对。
在此，保持器的外表面可粘附到孔的内表面。
或者，发生器可粘附到保持器的外表面。
并且，第三块体可设置于保持器的内径恒定的范围。
同时，根据本发明的另一实施方式，涂布机还可包括驱动单元，其用于改变基板与涂布头单元之间的相对位置；以及位置计算部，其用于计算在由X轴和Y轴限定的XY坐标系统上基板和涂布头单元之间的相对坐标，以控制基板与涂布头单元之间由驱动单元来改变的相对位置，其中，利用基板与涂布头单元之间的相对坐标，位置计算部计算基板上的涂布了由气泡检测单元检测出的气泡的位置。
在此，当气泡检测单元检测到气泡时，驱动单元可将涂布头单元移至由位置计算部计算出的在基板上涂布了气泡的位置，涂布头单元可进一步在与检测到气泡时的坐标相对应的位置周围涂布体积与检测到的气泡体积相等的流体。
在此，涂布头单元还可包括检查器，其中，检查器检查在与检测到气泡时的坐标相对应的位置周围的流体施加状态。
同时，流体可以为液晶。
或者，流体可以为用在基板上的密封胶。
从结合附图的以下实施方式的描述中，将清楚本发明的目的和特征，其中
图1是解释根据本发明一实施方式的如何检测气泡的示意图2是绘示根据本发明一实施方式的涂布机的图示；
图3a和北是说明根据本发明一实施方式的涂布机的图示；
图4是示出根据本发明一实施方式的涂布机的气泡检测单元200的示例性结构的图示；
图5是说明根据本发明一实施方式的涂布机的气泡检测单元200的示例性结构的图示；
图6是示出根据本发明一实施方式的气泡检测单元200和喷嘴110之间的结构关系的图示；
图7是绘示根据本发明另一实施方式的气泡检测单元200的另一示例性结构的图示；
图8是说明根据本发明另一实施方式的气泡检测单元200和喷嘴110之间的结构关系的图示；
图9和10是示出根据本发明另一实施方式的气泡检测单元200和保持器120的示例性结构的图示；
图11是示出根据本发明又一实施方式的涂布机的结构的图示；以及
图12是说明根据本发明又一实施方式的涂布机的结构。
具体实施方式
下文，将参照构成本发明实施方式一部分的附图来描述本发明的实施方式。
同时，在本发明的实施方式中，元件、功能性模块或装置可由一个或多于一个的子元件构成。由这些元件执行的电气、电子或机械功能可被实施为各种形式的电子或机械元件，例如电子电路、集成电路、ASIC(专用集成电路)，并且可被单独实施或以两种或更多种集成的形式实施。
并且，根据本发明实施方式的涂布机可应用于多种精密装置，例如半导体制造装置以及平板制造装置。
下文，将参照附图描述本发明一实施方式。
图1是解释根据本发明一实施方式的如何检测气泡的示意图。
参见图1，微波发生器M绕喷嘴N设置，流体通过喷嘴N。微波发生器M向喷嘴N 内的流体发射微波，以在流体所占据的空间中填充微波。由微波发生器M发射的微波的波长范围可从Imm到lm。
一般而言，微波具有如下特性。首先，微波通过电介质。其次，在微波通过电介质时，微波能量的一部分被电介质吸收。换言之，微波初始包含的能量可减少。第三，微波可在各自具有不同介电常数的两种不同物质之间的界面上反射。
由于微波的上述特性，微波初始具有的诸如能量、电压、功率以及电场等微波物理量可在微波通过电介质时改变。
介电常数是物质的固有属性。例如，空气的介电常数与其它物质的介电常数不同 (例如，空气的介电常数=1.0，流体的介电常数=μ)。因此，当微波通过空气时微波的物理量变化与当微波通过流体时微波的物理量变化不同。更详细地，当微波通过图1的上部部分所示的仅由无气泡的流体所填充的空间时微波的物理量变化、与当微波通过由存在一些气泡的流体所填充的空间时微波的物理量变化，两者彼此不同。
因此，可以利用微波的上述特性来检测流体内的气泡。再者，不仅可以检测流体内气泡的存在，还可以检测流体内气泡的大小。由于通过流体的微波的物理量根据流体内气泡的大小而改变，因此可借助于测定通过流体的微波的物理量变化来计算出气泡的大小。
可借助于多种方法来测定物理量的变化。根据本发明一实施方式，可使用一种测量填充有微波的空间的两点之间的电压差的方法。
参见图1，可通过测量发射的微波所通过的流体周围的第一点Pl和第二点Ρ2之间的电压差来测得气泡的存在和大小。第一点Pl和第二点Ρ2可为喷嘴N的外表面上的点。 测量流体外部区域的任意点的电压的原因是因为难于测量流体内的点的电压。因此，为了更精确地检测气泡的存在和大小，电压测量点应该尽可能地接近流体。为此原因，第一点Pl 和第二点Ρ2可被选择位于喷嘴N的外表面上，以最小化可介入其它物质的空间。
可从以下公式1获得第一点Pl和第二点Ρ2之间的电压差，其中Vpl表示第一点Pl 处的电压，Vp2表示第二点Ρ2处的电压。
公式1 在此，E表示电场，ds表示位移。
同时，微波的传播速度可如以下公式2所示。
公式2
权利要求
1.一种涂布机，包括涂布头单元，所述涂布头单元包括喷嘴，流体从所述喷嘴涂布到基板上；以及气泡检测单元，所述气泡检测单元根据物理量的变化来检测流体内的气泡，其中，所述气泡检测单元向所述涂布头单元内的流体发射微波，所述物理量的变化由所述微波通过所述涂布头单元内的流体引起。
2.如权利要求1所述的涂布机，其中，所述气泡检测单元包括 发生器，所述发生器产生所述微波，并向流体发射所述微波；电压测量器，所述电压测量器测量被发射所述微波的流体周围的第一点和第二点之间的电压差；以及检测器，所述检测器通过比较所述第一点和所述第二点之间的电压差而检测流体内的气泡。
3.如权利要求2所述的涂布机，其中，所述发生器配备在所述发生器能向所述喷嘴发射所述微波的位置。
4.如权利要求3所述的涂布机，其中，所述气泡检测单元包括绕所述喷嘴的周缘定位的第一块体和第二块体，其中，所述发生器设置于所述第一块体和/或所述第二块体，所述第一点位于所述第一块体内，所述第二点位于所述第二块体内。
5.如权利要求4所述的涂布机，其中，所述发生器粘附到所述喷嘴的外表面。
6.如权利要求4所述的涂布机，其中，所述第一块体和/或所述第二块体粘附到所述喷嘴的外表面。
7.如权利要求4所述的涂布机，其中，所述发生器的底部和所述喷嘴的底部位于同一平面。
8.如权利要求3所述的涂布机，其中，所述气泡检测单元包括具有孔的第三块体，所述喷嘴能插入所述孔内，其中，所述发生器定位于所述孔的周缘，以及所述第一点和所述第二点在所述孔的周缘定位成彼此面对。
9.如权利要求8所述的涂布机，其中，所述喷嘴的外表面粘附到所述孔的内表面。
10.如权利要求8所述的涂布机，其中，所述发生器粘附到所述喷嘴的外表面。
11.如权利要求8所述的涂布机，其中，所述发生器的底部和所述喷嘴的底部位于同一平面。
12.如权利要求2所述的涂布机，其中，所述涂布头单元还包括将所述喷嘴与容纳所述流体的注射器连接的保持器，以及所述发生器配备在所述发生器能向所述保持器发射微波的位置。
13.如权利要求12所述的涂布机，其中，所述气泡检测单元包括绕所述保持器的周缘定位的第一块体和第二块体，其中，所述发生器设置于所述第一块体和/或所述第二块体，所述第一点位于所述第一块体内，所述第二点位于所述第二块体内。
14.如权利要求13所述的涂布机，其中，所述发生器粘附到所述保持器的外表面。
15.如权利要求13所述的涂布机，其中，所述第一块体和/或所述第二块体粘附到所述保持器的外表面。
16.如权利要求13所述的涂布机，其中，所述第一块体和/或所述第二块体设置于所述保持器的内径恒定的范围。
17.如权利要求12所述的涂布机，其中，所述气泡检测单元包括具有孔的第三块体，所述保持器能插入所述孔内，其中，所述发生器定位于所述孔的周缘，以及所述第一点和所述第二点在所述孔的周缘定位成彼此面对。
18.如权利要求17所述的涂布机，其中，所述保持器的外表面粘附到所述孔的内表面。
19.如权利要求17所述的涂布机，其中，所述发生器粘附到所述保持器的外表面。
20.如权利要求17所述的涂布机，其中，所述第三块体设置于所述保持器的内径恒定的范围。
21.如权利要求1所述的涂布机，还包括驱动单元，所述驱动单元用于改变所述基板与所述涂布头单元之间的相对位置；以及位置计算部，所述位置计算部用于计算在由X轴和Y轴限定的XY坐标系统上所述基板和所述涂布头单元之间的相对坐标，以控制所述基板与所述涂布头单元之间的由所述驱动单元来改变的相对位置，其中，利用所述基板与所述涂布头单元之间的相对坐标，所述位置计算部计算在所述基板上涂布了由所述气泡检测单元检测出的气泡的位置。
22.如权利要求21所述的涂布机，其中，当所述气泡检测单元检测到气泡时，所述驱动单元将所述涂布头单元移至由所述位置计算部计算出的在所述基板上涂布了气泡的位置， 以及所述涂布头单元进一步在与检测到气泡时的坐标相对应的位置周围涂布体积与检测到的气泡体积相等的流体。
23.如权利要求21所述的涂布机，其中，所述涂布头单元还包括检查器，其中，所述检查器检查在与检测到气泡时的坐标相对应的位置周围的流体施加状态。
24.如权利要求1所述的涂布机，其中，所述流体是液晶。
25.如权利要求1所述的涂布机，其中，所述流体是用在所述基板上的密封胶。
全文摘要
本发明提供一种涂布机，包括涂布头单元，其包括喷嘴，流体从喷嘴涂布到基板上；以及气泡检测单元，其根据物理量的变化来检测流体内的气泡，其中，气泡检测单元向涂布头单元内的流体发射微波，上述物理量的变化由微波通过涂布头单元内的流体引起。
文档编号G02F1/1341GK102540579SQ201110429149
公开日2012年7月4日 申请日期2011年12月20日 优先权日2010年12月21日
发明者徐大勋 申请人:塔工程有限公司