专利名称：一种低温型水系正胶剥离液及其制备方法
技术领域：
本发明涉及一种正胶剥离液及其制备方法，尤其涉及一种用于FPD面板生产的光阻剥离的低温型水系正胶剥离液及其制备方法。
背景技术：
低温型水系正胶剥离液，透明易挥发性液体，易燃，密度(20°C )约为1. Og/ml。低温型水系正胶剥离液主要用于FPD (Flat Panel Display，平板显示器)面板生产的光阻剥离，其使用工艺温度为80°C左右；目前正胶剥离液主要由乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO) 和超纯水组成，该产品主要存在以下几点缺点1)用该低温型水系正胶剥离液进行光阻剥离时容易对光阻保护的金属层产生攻击，导致产品良率降低；2)该低温型水系正胶剥离液的使用工艺温度要求较高，需加热到80°C左右，能耗较大；3)乙醇胺(MEA)和二甲基亚砜(DMSO)对环境污染大且对人体健康有较大伤害。 因此有必要提供低温型水系正胶剥离液及其制备方法，提高产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种低温型水系正胶剥离液及其制备方法，能够提高产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种低温型水系正胶剥离液，包括以下重量百分比的组合物N-甲基吡咯烷酮四％ 31%;二甲基乙酰胺 23. 7% 27. 7%;二乙二醇丁醚 24% 水17% 23%。上述的低温型水系正胶剥离液，其中，所述N-甲基吡咯烷酮的浓度大于99% (重量百分比)。上述的低温型水系正胶剥离液，其中，所述二甲基乙酰胺的浓度大于99% (重量百分比)。上述的低温型水系正胶剥离液，其中，所述二乙二醇丁醚的浓度大于99% (重量百分比)。本发明为解决上述技术问题还提供一种低温型水系正胶剥离液的制备方法，包括如下步骤先通过自动上料系统将一定量N-甲基吡咯烷酮和水加入到反应釜中，充分搅拌10 30分钟；然后继续通过自动上料系统加入二甲基乙酰胺、二乙二醇丁醚和水，使得N-甲基吡咯烷酮的重量百分含量为 31%，二甲基乙酰胺的重量百分含量为23. 7% 27.7%, 二乙二醇丁醚的重量百分含量为M% 沈％，水的重量百分含量为17% 23%时停止上料，搅拌10 30分钟；最后开动隔膜泵，将制得的混合物先经过0. 5um过滤器循环过滤2 3小时，再经 0. 2 μ m的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0. 2 μ m的有害粒子，即得低温型水系正胶剥离液。本发明对比现有技术有如下的有益效果本发明提供的低温型水系正胶剥离液及其制备方法，能够提高产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。
具体实施例方式下面通过实施例进一步描述本发明，但不限于所举的实施例。选用含量99%的N-甲基吡咯烷酮(NMP)，电子级，江阴市江化微电子材料有限公司生产；其指标如表1 :
权利要求
1.一种低温型水系正胶剥离液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物N-甲基吡咯烷酮四％ 31% ；二甲基乙酰胺 23. 7% 27.7%;二乙二醇丁醚 24% 水17% 23%。
2.如权利要求1所述的低温型水系正胶剥离液，其特征在于，所述N-甲基吡咯烷酮的浓度大于99% (重量百分比)。
3.如权利要求1所述的低温型水系正胶剥离液，其特征在于，所述二甲基乙酰胺的浓度大于99% (重量百分比)。
4.如权利要求1所述的低温型水系正胶剥离液，其特征在于，所述二乙二醇丁醚的浓度大于99% (重量百分比)。
5.一种如权利要求1所述的低温型水系正胶剥离液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤先通过自动上料系统将一定量N-甲基吡咯烷酮和水加入到反应釜中，充分搅拌10 30分钟；然后继续通过自动上料系统加入二甲基乙酰胺、二乙二醇丁醚和水，使得N-甲基吡咯烷酮的重量百分含量为四％ 31%，二甲基乙酰胺的重量百分含量为23. 7% 27.7%，二乙二醇丁醚的重量百分含量为对^ 沈1^，水的重量百分含量为17% 23%时停止上料， 搅拌10 30分钟；最后开动隔膜泵，将制得的混合物先经过0. 5um过滤器循环过滤2 3小时，再经 0. 2 μ m的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0. 2 μ m的有害粒子，即得低温型水系正胶剥离液。
全文摘要
本发明公开了一种低温型水系正胶剥离液及其制备方法，所述低温型水系正胶剥离液包括以下重量百分比的组合物N-甲基吡咯烷酮29％～31％；二甲基乙酰胺23.7％～27.7％；二乙二醇丁醚24％～26％；水17％～23％。本发明提供的低温型水系正胶剥离液及其制备方法，能够提高产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。
文档编号G03F7/42GK102566333SQ20111046173
公开日2012年7月11日 申请日期2011年12月30日 优先权日2011年12月30日
发明者季文庆, 朱龙, 栾成, 殷福华, 邵勇 申请人:江阴江化微电子材料股份有限公司