电光调制器的制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种电光调制器，其包括基底、光波导、第一调制电极组件及第二调制电极组件。光波导包括Y型入射部、Y型出射部、仅用于传输横电波的第一连接部及仅用于传输横磁波的第二连接部。第一连接部连接Y型入射部及Y型出射部并包括第一分支及第二分支。第二连接部连接Y型入射部及Y型出射部并包括第三分支及第四分支。第一调制电极组件包括位于第一分支与第二分支之间的第一地电极、位于第一分支背离第一地电极的一侧的第一调制电极以及位于第二分支背离第一地电极的一侧的第二调制电极。第二调制电极组件包括分别覆盖第三分支以及第四分支的第二地电极及第三调制电极。
【专利说明】电光调制器
【技术领域】
[0001] 本发明涉及高速光通讯系统，特别涉及一种电光调制器。
【背景技术】
[0002] 现有的一种电光调制器利用电光效应通过调制电场改变光波导的两个分支之一 的折射率，从而改变在其中传输的光波的相位，使之与光波导另外一个分支中传输的光波 间存在相位差。如此，光波导两个分支中传输的光波重新会聚后将发生干涉，输出的光能量 取决于相位差，也即是由调制电场决定，从而实现调制。然而，随着信息技术的高速发展，信 息传输速率（频宽）已经成为技术发展主要考虑的方向。目前的电光调制器通常是对包含 横电波（transverse electric wave)及横磁波（transverse magnetic wave)的光波进行 笼统传输及调制，或仅对横电波进行传输及调制，或仅对横磁波进行传输及调制，其调制效 率较低，导致电光调制器的信息传输速率也较低。
【发明内容】
[0003] 有鉴于此，有必要提供一种能提高信息传输速率的电光调制器。
[0004] -种电光调制器，其包括一个基底、一个光波导、一个第一调制电极组件以及一个 第二调制电极组件。该基底包括一个顶面，该光波导自该顶面向该基底内部扩散而成。该光 波导包括一个Y型入射部、一个Y型出射部、一个仅用于传输横电波的第一连接部以及一个 仅用于传输横磁波的第二连接部。该第一连接部连接该Y型入射部及该Y型出射部并包括 一个第一分支以及一个第二分支。该第二连接部连接该Y型入射部及该Y型出射部并包括 一个第三分支以及一个第四分支。该第一调制电极组件包括一个第一地电极、一个第一调 制电极以及一个第二调制电极。该第一地电极位于该第一分支与该第二分支之间，该第一 调制电极位于该第一分支背离该第一地电极的一侧，该第二调制电极位于该第二分支背离 该第一地电极的一侧。该第二调制电极组件包括一个第二地电极以及一个第三调制电极。 该第二地电极覆盖该第三分支，该第三调制电极覆盖该第四分支。
[0005]相较于现有技术，本发明提供的电光调制器利用该第一连接部仅传输横电波，该 第二连接部仅传输横磁波，并利用该第一调制电极组件及该第二调制电极组件对该横电波 及该横磁波分别调制，提高了调制效率，进而提高了电光调制器的信息传输速率。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1为本发明实施方式提供的电光调制器的立体示意图。
[0007]图2是图1中电光调制器沿线Π -ΙΙ的剖面示意图。
[0008] 主要元件符号说明
【权利要求】
2.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该γ型入射部包括一个入射段、与 该入射段均连接的一个第一入射分叉以及一个第二入射分叉，该Υ型出射部包括一个出射 段、与该出射段均连接的一个第一出射分叉以及一个第二出射分叉，该第一分支及该第二 分支以并联的方式连接在该第一入射分叉及该第一出射分叉之间，该第三分支及该第四分 支以并联的方式连接在该第二入射分叉及该第二出射分叉之间。
3·如权利要求2所述的电光调制器，其特征在于，该第一连接部还包括一个第一分叉 以及一个第二分叉，该第一分支与该第二分支平行，该第一分支的两端分别通过该第一分 叉及该第二分叉与该第二分支连接。
4·如权利要求3所述的电光调制器，其特征在于，该第二连接部还包括一个第三分叉 以及一个第四分叉，该第三分支与该第四分支平行，该第四分支的两端分别通过该第三分 叉及该第四分叉与该第三分支连接。
5. 如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该基底的材料采用铌酸锂晶体。
6. 如权利要求2所述的电光调制器，其特征在于，该入射段及该出射段通过在该基底 上扩散金属钛而形成。
7·如权利要求6所述的电光调制器，其特征在于，该第一入射分叉、该第一出射分叉以 及该第一连接部通过在该基底上扩散金属锌而形成。
8. 如权利要求7所述的电光调制器，其特征在于，该第二入射分叉、该第二出射分叉以 及该第二连接部通过在该基底上扩散金属镓而形成。
9. 如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该电光调制器还包括设置在该第三 分支与该第二调制电极组件之间，及设置在该第四分支与该第二调制电极组件之间的缓冲 层，该缓冲层用来防止光波被该第二调制电极组件所吸收。
10. 如权利要求9所述的电光调制器，其特征在于，该缓冲层采用二氧化硅制成。
【文档编号】G02F1/035GK104142585SQ201310168510
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2013年5月9日 优先权日:2013年5月9日
【发明者】黄新舜 申请人:鸿富锦精密工业（深圳）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司