镜头模组及其镜片、晶圆级镜片阵列的制作方法
【专利摘要】一种镜头模组的镜片，包括透明基板，透明基板包括相对的第一表面及第二表面，第一表面上设有一个凸台状光学部，凸台状光学部包括多个层叠设置圆柱，且多个圆柱的对称轴位于同一直线上，多个圆柱的直径沿着远离第一表面方向逐渐减小，第二表面上设有一个凹槽状光学部，凹槽状光学部与凸台状光学部的光轴位于同一直线上，凹槽状光学部的内侧壁环绕设有多个环形的台阶部，每个台阶部围成一个圆槽，多个圆槽的对称轴位于同一直线上，多个圆槽的直径自第二表面朝向第一表面逐渐减小。并提供一种由晶圆级镜片阵列及含有该镜片的镜头模组。
【专利说明】镜头模组及其镜片、晶圆级镜片阵列
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种镜片，特别是涉及一种镜头模组及其镜片、晶圆级镜片阵列。
【背景技术】
[0002]目前，晶圆级镜片阵列的制方法通常是，提供一透明基板，在基板上的一个表面涂布成型胶，利用压印模具对成形胶进行模压形成球面或非球面的镜片阵列。使用压印模具压印，制成后只能成型对应一种类型的镜片阵列。并且，基板在一个表面涂布成型胶形胶进行模压形成球面或非球面的镜片阵列之后，基板的另一表面不能再进行压印。因此，难以满足更多的光学设计需求。
实用新型内容
[0003]基于此，有必要提供一种能够避免使用压印模具压印，可以满足多种光学设计需要的镜头模组及其镜片。
[0004]一种镜头模组的镜片，包括透明基板，所述透明基板包括相对的第一表面及第二表面，所述第一表面上设有一个凸台状光学部，所述凸台状光学部包括多个层叠设置圆柱，且多个所述圆柱的对称轴位于同一直线上，多个所述圆柱的直径沿着远离所述第一表面方向逐渐减小，所述第二表面上设有一个凹槽状光学部，所述凹槽状光学部与所述凸台状光学部的光轴位于同一直线上，所述凹槽状光学部的内侧壁环绕设有多个环形的台阶部，每个所述台阶部围成一个圆槽，多个所述圆槽的对称轴位于同一直线上，多个所述圆槽的直径自所述第二表面朝向所述第一表面逐渐减小。
[0005]在其中一个实施例中，所述透明基板为玻璃或二氧化硅。
[0006]在其中一个实施例中，所述凸台状光学部的多个圆柱的直径成等差数列变化，所述凹槽状光学部的多个圆槽的直径成等差数列变化。
[0007]在其中一个实施例中，所述凸台状光学部最靠近第一表面的圆台的直径与所述凹槽状光学部最靠近第二表面的圆槽的直径相等。
[0008]在其中一个实施例中，多个所述圆台的高度与多个所述圆槽的深度相等。
[0009]在其中一个实施例中，所述凸台状光学部的多个圆台的直径变化沿正弦波曲线变化。
[0010]在其中一个实施例中，多个所述圆柱的圆形的外周边均位于同一球面上，多个所述圆槽的圆形的外周边均位于同一非球面上。
[0011]在其中一个实施例中，所述凸台状光学部的所述圆柱数量等于所述凹槽状光学部的所述圆槽的数量。
[0012]一种镜头模组，包括上述的镜片。
[0013]还提供一种晶圆级镜片阵列。
[0014]一种晶圆级镜片阵列，包括多个上述的镜片，多个所述镜片的所述凸台状光学部及所述凹槽状光学部均呈阵列排布，并且所述多个镜片的透明基板为一整块板体。
[0015]上述晶圆级镜片阵列中，透明基板为玻璃或二氧化硅。玻璃或二氧化硅制成的透明基板在第一表面及第二表面多次蚀刻形成光学部。上述镜片的光学部相较于由成型材料压印成型的光学部，折射率不存在差异问题，保证成像品质更好。
[0016]上述晶圆级镜片阵列，可以根据镜片尺寸的需求制作不同镜片，无需制作不同型号的压印模板，因此制作工艺简单，降低了生产成本，提高了生产效率。
[0017]上述晶圆级镜片阵列的第一表面及第二表面上均可以设有光学部，可以满足较多的光学设计需求。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1为一实施方式的晶圆级镜片阵列的立体图；
[0019]图2为图1所示的晶圆级镜片阵列另一角度的立体图；
[0020]图3为一实施方式的晶圆级镜片阵列制作方法的具体流程图；
[0021]图4为图3所示的晶圆级镜片阵列制作方法的步骤S20的具体流程图；
[0022]图5为一实施方式的晶圆级镜片阵列制作方法的步骤S250的具体流程图；
[0023]图6为图3所示制作方法中步骤SlO的示意图；
[0024]图7为图4所示制作方法中步骤S220的示意图；
[0025]图8为图4所示制作方法中步骤S230的示意图；
[0026]图9为图4所示制作方法中步骤S240的示意图；
[0027]图10为图5所示制作方法中步骤S251的示意图；
[0028]图11为图5所示制作方法中步骤S252的示意图；
[0029]图12为图5所示制作方法中步骤S253的示意图；
[0030]图13为图5所示制作方法中步骤S254的示意图；
[0031]图14为图5所示制作方法中步骤S255的示意图；
[0032]图15为图5所示制作方法中步骤S256的示意图；
[0033]图16为图4所示制作方法中步骤S260的示意图；
[0034]图17为另一实施方式的晶圆级镜片阵列制作方法的具体流程图；
[0035]图18为另一实施方式的晶圆级镜片阵列制作方法的具体流程图。
【具体实施方式】
[0036]为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。
[0037]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0038]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的【技术领域】的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0039]请参阅图1和图2，本实施方式的晶圆级镜片阵列10包括透明基板100。
[0040]透明基板100包括相对的第一表面110及第二表面120。第一表面110上设有多个凸台状光学部111。凸台状光学部111包括多个层叠设置圆柱，且多个圆柱的对称轴位于同一直线上。圆柱的直径沿着远离所述第一表面110方向逐渐减小。
[0041]根据不同镜片的设计要求，可以设定圆柱的直径与高度，以调节凸台状光学部111的形状。可以理解，圆柱的直径的变化规律可按照正弦曲线变化，凸台状光学部111的表面可以为近似为球面，即凸台状光学部111的每个圆柱的外周边位于同一球面上。
[0042]第二表面120上设有多个凹槽状光学部121。凹槽状光学部121与凸台状光学部111的光轴位于同一直线上。凹槽状光学部121的内侧壁环绕设有多个环形的台阶部122。每个台阶部122围成一个圆槽。多个圆槽的对称轴位于同一直线上。多个圆槽的直径自第二表面120朝向第一表面110逐渐减小。
[0043]具体在本实施方式中，多个镜片的透明基板100为一整块板体。多个凸台状光学部111及凹槽状光学部121均呈阵列排布在透明基板100上。凸台状光学部111的圆柱数量等于凹槽状光学部121的圆槽的数量。凸台状光学部111的多个圆柱的直径成等差数列变化，凹槽状光学部121的多个圆槽的直径成等差数列变化。凸台状光学部111最靠近第一表面110的圆柱的直径与凹槽状光学部121最靠近第二表面的圆槽的直径相等。多个圆台的高度与多个圆槽的深度相等。多个圆柱的圆形的外周边均位于同一球面上，多个圆槽的圆形的外周边均位于非球面上。
[0044]可以理解，根据不同镜片的设计要求，可以设定圆槽的直径与高度，以调节凹槽状光学部121的形状。凹槽状光学部121的表面可以为近似为非球面。
[0045]凸台状光学部111的圆柱数量小于凹槽状光学部121的圆槽的数量，凸台状光学部111每一级的圆柱的直径与凹槽状光学121的同一级的圆槽的直径相等。
[0046]或者，在其他实施方式中，凸台状光学部111的圆柱数量大于凹槽状光学部121的圆槽的数量。凹槽状光学部每一级的圆柱的直径与凸台状光学同一级的圆槽的直径相等。
[0047]透明基板为玻璃或二氧化硅。玻璃或二氧化硅制成的透明基板在第一表面110及第二表面120多次蚀刻形成光学部。上述镜片的光学部相较于利用成型材料压印成型的光学部，折射率不存在差异问题，保证成像品质更好，且不需要使用特定形状的压印模组。
[0048]透明基板的第一表面110上于每个凸台状光学部111的四周形成切割道(图未示)。沿切割道切割，将晶圆级镜片阵列分割成多个镜片。第二表面120放置在工作台上，可以使透明基板能够平稳的放置在工作台上。当切割晶圆级镜片阵列10的时候，能够稳定的沿切割道均匀切割，防止晶圆级镜片阵列10发生晃动。
[0049]还提供一种晶圆级镜片阵列的制作方法。
[0050]请参阅图3，晶圆级镜片阵列的制作方法，包括:
[0051]请参阅图6，步骤S10，提供透明基板100，透明基板100具有相对的第一表面110及第二表面120。
[0052]步骤S20，经过多次曝光、显影、蚀刻、清洗，在第一表面110形成多个凸台状光学部111，在第二表面120形成多个凹槽状光学部121，凸台状光学部111包括多个层叠设置圆柱，且多个圆柱的对称轴位于同一直线上，多个圆柱的直径沿着远离第一表面110方向逐渐减小，第二表面120上设有一个凹槽状的凹槽状光学部121，凹槽状光学部121与凸台状光学部111的光轴位于同一直线上，凹槽状光学部121的内侧壁环绕设有多个环形的台阶部，每个台阶部围成一个圆槽，多个圆槽的对称轴位于同一直线上，多个圆槽的直径自第二表面120朝向第一表面110逐渐减小。
[0053]请参阅图4，具体在本实施方式中，步骤S20包括:
[0054]请参阅图7，步骤S220，分别在第一表面110及第二表面120上涂布第一光阻剂层130。
[0055]光阻剂是用在许多工业制程上的光敏材料。像光刻技术，可以在材料表面刻上一个图案的被覆层。可以理解，光阻剂可以为正向光阻或负向光阻。
[0056]请参阅图8，步骤S230，对第一光阻剂层130进行曝光、显影，去除预定区域的第一光阻剂层130,使该第一表面110上形成多个圆形的第一遮挡部131,第二表面120上形成多个圆形的第一裸露部141,且第一遮挡部131与第一裸露部141相对设置。
[0057]具体的，采用一具有预定图案的模版对第一光阻剂层130曝光，将UV光照射在第一表面110及第二表面120上的第一光阻剂层130上。对曝光后的光阻剂进行显影，则在第一表面110及第二表面120上预定区域的第一光阻剂层130可以溶于显影液，获得预定图案。因此，在第一表面110上形成多个圆形的第一遮挡部131。第二表面120上形成多个圆形的第一裸露部141。
[0058]请参阅图9，步骤S240，对第一表面110及第二表面120进行蚀刻，第一表面110于第一遮挡部131处形成第一级的圆柱112,第二表面120于第一裸露部141上形成第一级的圆槽123。第一级的圆槽123的侧壁为第一级的台阶部122。
[0059]蚀刻设有覆盖光阻剂的裸露部分。则避开第一遮挡部131，蚀刻掉第一表面110除第一遮挡部131的其余部分形成第一蚀刻层133，因此在第一表面110上形成多个凸起的第一级的圆柱112。第一级的圆柱112为第一表面110经蚀刻之后的余留层。在第二表面120上，蚀刻第一裸露部141，在第一裸露部141处形成凹陷，因此第二表面120上形成多个第一级的圆槽123。
[0060]请参阅图4、图10及图11，步骤S250，分别在第一级的圆柱112的外围及第一级的圆槽123的底壁涂布第二光阻剂层，进行曝光、显影，在第一级的圆柱112的外围形成圆环形的第二遮挡部，第一级的圆槽123的底壁形成圆形的第二裸露部142，蚀刻，第一级的圆柱112的下方形成第一级的圆柱113，第二级的圆柱113的直径小于第一级的圆柱112的直径，第二级的圆柱113与第一级的圆柱112的对称轴位于同一直线上，第一级的圆槽123的底部形成第二级的圆槽124。第二级的圆槽124的直径小于第一级的圆槽123的直径，第二级的圆槽124与第一级的圆槽123的对称轴位于同一直线上。第二级的圆槽124的侧壁为第二级的台阶部(图未标)。
[0061]具体在本实施方式中，上述晶圆级镜片阵列100包括多级圆柱及圆槽，因此，上述晶圆级镜片阵列的制作方法中，步骤S250还包括重复多次形成第二级的圆柱113及第二级的圆槽124的步骤，以形成第N级的圆柱及第N级的圆槽，N大于等于3，多级圆柱的直径依次逐渐增大，多级圆柱的对称轴位于同一直线上，前一级的圆槽的底部形成后一级的圆槽，多级圆槽的直径依次逐渐减小，多级圆槽与圆槽的对称轴位于同一直线上。因此，步骤S250具体可以分为:
[0062]请参阅图5及图10，步骤S251，分别在第一级的圆柱112的外围及第一级的圆槽123的底壁涂布第二光阻剂层150，第一级的圆柱112的外围为第一蚀刻层133。进行曝光、显影，去除预定区域的第二光阻剂层150，在第一级的圆柱112的外围形成圆环形的第二遮挡部151,圆槽的底壁形成圆形的第二裸露部142。
[0063]采用一具有预定图案的模版对第二光阻剂层150曝光，将UV光照射在第二光阻剂层150上。对曝光后的第二光阻剂进行显影，预定区域的第二光阻剂层150溶于显影液，获得预定图案。因此，在第一级的圆柱112的外围形成圆环形的第二遮挡部151。第一级的圆槽123的底壁上形成圆形的第二裸露部142。
[0064]请参阅图11，步骤S252，对第一表面110及第二表面120进行蚀刻，第一级的圆柱112的下方形成第二级的圆柱113，蚀刻掉第一蚀刻层133的除去第二遮挡部151的其余部分形成第二蚀刻层134。第二级的圆柱113的直径大于第一级的圆柱112的直径，第二级的圆柱113与第一级的圆柱112的对称轴位于同一直线上。第一级的圆槽123的底部形成第二级的圆槽124，第二级的圆槽124的直径小于第一级的圆槽123的直径，第二级的圆槽124与第一级的圆槽123的对称轴位于同一直线上。
[0065]请参阅图5及12，步骤S253，分别在第二级的圆柱113的外围及第二级的圆槽124的底壁涂布第三光阻剂层160，第二级的圆柱113的外围为第二蚀刻层134。进行曝光、显影，去除预定区域的第三光阻剂层160，在第二级的圆柱113的外围形成圆环形的第三遮挡部161，第二级的圆槽124的底壁形成圆形的第三裸露部143。
[0066]请参阅图13，步骤S254，对第一表面110及第二表面120进行蚀刻，第二级的圆柱113的下方形成第三级的圆柱114，蚀刻掉第二蚀刻层134的除去第三遮挡部161的其余部分形成第三蚀刻层135。第三级的圆柱114的直径大于第二级的圆柱113的直径，第三级的圆柱114与第一级的圆柱112的对称轴位于同一直线上。第二级的圆槽124的底部形成第三级的圆槽125。第三级的圆槽125的直径小于第二级的圆槽124的直径，第三级的圆槽125与第二级的圆槽124的对称轴位于同一直线上。
[0067]请参阅图5及图14，步骤S255，分别在第三级的圆柱114的外围及第三级的圆槽125的底壁涂布第四光阻剂层170，第三级的圆柱114的外围为第三蚀刻层135。进行曝光、显影，去除预定区域的第四光阻剂层170，在第三级的圆柱114的外围形成圆环形的第四遮挡部171，第三级的圆槽125的底壁形成圆形的第四裸露部144。
[0068]请参阅图5及图15，步骤S256，对第一表面110及第二表面120进行蚀刻，第三级的圆柱114的下方形成第四级的圆柱115，蚀刻掉第三蚀刻层135的除去第四遮挡部的其余部分形成第四蚀刻层136。第四级的圆柱115的直径大于第三级的圆柱114的直径，第四级的圆柱115与第一级的圆柱112的对称轴位于同一直线上。第三级的圆槽125的底部形成第四级的圆槽126，第四级的圆槽126的直径小于第三级的圆槽125的直径，第四级的圆槽126与第三级的圆槽125的对称轴位于同一直线上。
[0069]可以理解，根据不同的镜片设计需要，在步骤S260与步骤S250之间，步骤S250形成圆柱及圆槽的步骤可以重复多次。重复的次数根据镜片的结构而定。
[0070]并且，根据镜片的设计需要，可以设定具有不同预定图案的曝光模版。从而可以改变圆柱及圆槽的直径大小，设定凸台状光学部111及凹槽状光学部121的形状。
[0071]具体在本实施方式中，凸台状光学部111的多个圆柱的直径成等差数列变化，凹槽状光学部121的多个圆槽的直径成等差数列变化。凸台状光学部111最靠近第一表面110的圆柱的直径与凹槽状光学部121最靠近第二表面120的圆槽的直径相等。并且，第一表面110上涂布的光阻剂与第二表面120涂布的光阻剂分别为正向光阻或负向光阻。因此，在制作第一级的圆柱112的时候和制作第四级的圆槽126的时候，可以使用相同的曝光模板。同理，在制作第二级的圆柱113的时候和制作第三级的圆槽125的时候，可以使用相同的曝光模板。因此，在上述晶圆级镜片阵列的制作方法中，可以使用一套曝光模板，可以避免制作多个曝光模板，因此节约了模板的制作成本。
[0072]请参阅图4及图16，步骤S260，去除光阻剂层，形成凸台状光学部111及凹槽状光学部121，凸台状光学部111与凹槽状光学部121的光轴位于同一直线上。
[0073]具体在本实施方式中，通过有机溶剂，清洗去除第一光阻剂层130、第二光阻剂层150、第三光阻剂层160及第四光阻剂层170。
[0074]可以理解，光阻剂层还可以通过剥离的方式去除。
[0075]具体在本实施方式中，晶圆级镜片阵列的制作方法还可以包括，在透光基板的第一表面110上于每个凸台状光学部111的四周形成切割道的步骤。
[0076]沿切割道切割，将晶圆级镜片阵列10分割成多个上述镜片。
[0077]上述晶圆级镜片阵列的制作方法，可以根据镜片尺寸的需求制作不同镜片，无需制作不同型号的压印模板，因此制作工艺简单，降低了生产成本，提高了生产效率。
[0078]由上述晶圆级镜片阵列的制作方法制得的晶圆级镜片阵列10的第一表面110及第二表面120上均可以设有光学部，可以满足较多的光学设计需求。
[0079]可以理解，上述晶圆级镜片阵列的制作方法中，凸台状光学部111与凹槽状光学部121可以分开制作。因此，可以先进行制作凸台状光学部111，后进行制作凹槽状光学部121。也可以先进行制作凹槽状光学部121，后进行制作凸台状光学部111。也可以凸台状光学部111的多级圆柱与凹槽状光学部121的多级圆槽相互交错进行制作。
[0080]请参阅图17，因此，在其他实施方式中，一种晶圆级镜片阵列的制作方法先进行制作凸台状光学部111，后进行制作凹槽状光学部121。一种晶圆级镜片阵列的制作方法包括:
[0081]步骤S310，提供一透明基板，所述透明基板具有相对的第一表面及第二表面。
[0082]步骤S320，在第一表面上涂布光阻剂层，对光阻剂层进行曝光、显影，去除预定区域光阻剂层，使该第一表面上形成多个圆形的第一遮挡部。
[0083]步骤S330,对第一表面进行蚀刻，第一表面在第一遮挡部形成第一级的圆柱。
[0084]步骤S340，在第一级的圆柱的外围涂布光阻剂层，进行曝光、显影、在第一级的圆柱的外围形成圆环形的第二遮挡部。
[0085]步骤S350，对第一表面进行蚀刻，第一级的圆柱的下方形成第二级的圆柱，第二级的圆柱的直径小于第一级的圆柱的直径，第二级的圆柱与第一级的圆柱的对称轴位于同一直线上。
[0086]步骤S360，在第二表面上涂布光阻剂层，对光阻剂层进行曝光、显影，去除预定区域光阻剂层，使第二表面上形成多个圆形的第一裸露部，第一遮挡部与第一裸露部相对设置。
[0087]步骤S370，对第二表面进行蚀刻，第二表面在第一裸露部处形成第一级的圆槽，所述第一级的圆槽的侧壁为第一级的台阶部。
[0088]步骤S380，在第一级的圆槽的底壁涂布光阻剂层，进行曝光、显影、在第一级的圆槽的底壁形成圆形的第二裸露部。
[0089]步骤S390，对第二表面进行蚀刻，蚀刻，第一级的圆槽的底部形成第二级的圆槽，第二级的圆槽的直径小于第一级的圆槽的直径，第二级的圆槽与第一级的圆槽的对称轴位于同一直线上，第二级的圆槽的侧壁为第二级的台阶部。
[0090]步骤S399，去除光阻剂层，形成凸台状光学部及凹槽状光学部，凸台状光学部与凹槽状光学部的光轴位于同一直线上。
[0091]在其他实施方式中，在步骤S350与步骤S360之间，重复所述步骤S340及步骤S350,以形成第N级的所述圆柱，N大于等于3，多个圆柱的直径依次逐渐增大。
[0092]在步骤S390与步骤S399之间，重复所述步骤S380及步骤S390，以形成第N级的所述圆槽，N大于等于3，前一级的圆槽的底部形成后一级的圆槽，以形成多个所述台阶部，多个圆槽的直径依次逐渐减小。
[0093]请参阅图18，在其他实施方式中，一种晶圆级镜片阵列的制作方法先进行制作凹槽状光学部，后进行制作凸台状光学部。一种晶圆级镜片阵列的制作方法包括:
[0094]步骤S410，提供一透明基板，所述透明基板具有相对的第一表面及第二表面。
[0095]步骤S420，在第二表面上涂布光阻剂层，对光阻剂层进行曝光、显影，去除预定区域光阻剂层，使第二表面上形成多个圆形的第一裸露部，第一遮挡部与第一裸露部相对设置。
[0096]步骤S430，对第二表面进行蚀刻，第二表面在第一裸露部处形成第一级的圆槽，第一级的圆槽的侧壁为第一级的台阶部。
[0097]步骤S440，在第一级的圆槽的底壁涂布光阻剂层，进行曝光、显影、在第一级的圆槽的底壁形成圆形的第二裸露部。
[0098]步骤S450，对第二表面进行蚀刻，第一级的圆槽的底部形成第二级的圆槽，第二级的圆槽的直径小于第一级的圆槽的直径，第二级的圆槽与第一级的圆槽的对称轴位于同一直线上，第二级的圆槽的侧壁为第二级的台阶部。
[0099]步骤S460，在第一表面上涂布光阻剂层，对光阻剂层进行曝光、显影，去除预定区域光阻剂层，使该第一表面上形成多个圆形的第一遮挡部。
[0100]步骤S470，对第一表面进行蚀刻，第一表面在第一遮挡部形成第一级的圆柱。
[0101]步骤S480，在第一级的圆柱的外围涂布光阻剂层，进行曝光、显影、在第一级的圆柱的外围形成圆环形的第二遮挡部。
[0102]步骤S490，对第一表面进行蚀刻，第一级的圆柱的下方形成第二级的圆柱，第二级的圆柱的直径小于第一级的圆柱的直径，第二级的圆柱与第一级的圆柱的对称轴位于同一直线上。
[0103]步骤S499，去除光阻剂层，形成凸台状光学部及凹槽状光学部，凸台状光学部与凹槽状光学部的光轴位于同一直线上。
[0104]可以理解，在其他实施方式中，在步骤S450与步骤S460之间，重复所述步骤S440及步骤S450，以形成第N级的所述圆槽，N大于等于3，前一级的圆槽的底部形成后一级的圆槽，以形成多个所述台阶部，多个圆槽的直径依次逐渐减小。
[0105]在步骤S490与步骤S499之间，重复所述步骤S480及步骤S490，以形成第N级的所述圆柱，N大于等于3，多个圆柱的直径依次逐渐增大。
[0106]还提供一种镜片(图未示)。将晶圆级镜片阵列沿切割道切割，分割成多个独立的镜片。晶圆级镜片阵列包括多个镜片。
[0107]还提供一种镜头模组(图未示)。镜头模组包括上述镜片。
[0108]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1.一种镜头模组的镜片，其特征在于，包括透明基板，所述透明基板包括相对的第一表面及第二表面，所述第一表面上设有一个凸台状光学部，所述凸台状光学部包括多个层叠设置圆柱，且多个所述圆柱的对称轴位于同一直线上，多个所述圆柱的直径沿着远离所述第一表面方向逐渐减小，所述第二表面上设有一个凹槽状光学部，所述凹槽状光学部与所述凸台状光学部的光轴位于同一直线上，所述凹槽状光学部的内侧壁环绕设有多个环形的台阶部，每个所述台阶部围成一个圆槽，多个所述圆槽的对称轴位于同一直线上，多个所述圆槽的直径自所述第二表面朝向所述第一表面逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的镜头模组的镜片，其特征在于，所述透明基板为玻璃或二氧化硅。
3.根据权利要求1所述的镜头模组的镜片，其特征在于，所述凸台状光学部的多个圆柱的直径成等差数列变化，所述凹槽状光学部的多个圆槽的直径成等差数列变化。
4.根据权利要求3所述的镜头模组的镜片，其特征在于，所述凸台状光学部最靠近第一表面的圆柱的直径与所述凹槽状光学部最靠近第二表面的圆槽的直径相等。
5.根据权利要求1所述的镜头模组的镜片，其特征在于，多个所述圆柱的高度与多个所述圆槽的深度相等。
6.根据权利要求1所述的镜头模组的镜片，其特征在于，所述凸台状光学部的多个圆柱的直径变化沿正弦波曲线变化。
7.根据权利要求1所述的镜头模组的镜片，其特征在于，多个所述圆柱的圆形的外周边均位于同一球面上，多个所述圆槽的圆形的外周边均位于同一非球面上。
8.根据权利要求1所述的镜头模组的镜片，其特征在于，所述凸台状光学部的所述圆柱数量等于所述凹槽状光学部的所述圆槽的数量。
9.一种镜头模组，其特征在于，包括如权利要求1?8任意一项所述的镜片。
10.一种晶圆级镜片阵列，其特征在于，包括多个如权利要求1?8任意一项所述的镜片，多个所述镜片的所述凸台状光学部及所述凹槽状光学部均呈阵列排布，并且所述多个镜片的透明基板为一整块板体。
【文档编号】G02B3/00GK203838356SQ201320876273
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2013年12月27日 优先权日:2013年12月27日
【发明者】于立新, 黄鹏飞 申请人:南昌欧菲光电技术有限公司, 南昌欧菲光科技有限公司, 深圳欧菲光科技股份有限公司, 苏州欧菲光科技有限公司