一种彩色滤光片用显影液的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种彩色滤光片用显影液，所述显影液的组分包括有碱金属氢氧化物、聚醚型表面活性剂、非离子型氟碳表面活性剂、有机膦酸盐类络合剂和纯净水。通过上述方式，本发明的彩色滤光片用显影液对图形部分具有良好的显影效果，显影后的图形完整且无残渣，尺寸准确，图形边缘清晰整齐，对非图形部分有良好的保护作用，不产生畸变。
【专利说明】一种彩色滤光片用显影液
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种显影液，特别是涉及一种彩色滤光片用显影液。
【背景技术】
[0002]彩色滤光片(Color filter)是一种表现颜色的光学滤光片，它可以精确选择欲通过的小范围波段光波，而反射掉其他不希望通过的波段。彩色滤光片通常安装在光源的前方，使人眼可以接收到饱和的某个颜色光线。有红外滤光片，绿色，蓝色等。与UV滤光片，VD滤光片相比,凡是带色的滤光片之总称。如反差滤光片、分色用滤光片、LB滤光片等。
[0003]彩色滤光片可用于液晶显示器中，是液晶显示器用于形成彩色图像的重要部件。彩色滤光片的制作过程为，先在衬底基板上涂布光致刻蚀剂，将光致刻蚀剂预烤并用掩模板以光罩曝光，再以显影液洗去没有用掩模板遮盖的未曝光区域的光致刻蚀剂，即可按照掩模板的图案留下所需要的光致刻蚀剂图案，具体为一矩阵图案，各矩阵点对应各个像素。
[0004]光致刻蚀剂在曝光后进行显影时，光致刻蚀剂含有的组成物在碱性显影液中被中和，形成水溶性的有机聚合物盐，达到光致刻蚀剂被显影液溶解的效果。但在溶解过程中，显影液要溶解未曝光区域的光致刻蚀剂，但曝光区域和未曝光区域的接触区域很难溶解充分，造成图案边缘部分显影差。为了提高显影液的溶解性，一般会在显影液中加入表面活性齐U，但显影液对曝光区域和未曝光区域的溶解性同时提高了，导致显影液会溶解不应该溶解的区域，造成光刻图案畸形，影响显影液的显影性。
【发明内容】
[0005]本发明主要解决的技术问题是提供一种彩色滤光片用显影液，具有良好的显影效果O
[0006]为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是:提供一种彩色滤光片用显影液，所述显影液的组分包括有碱金属氢氧化物、聚醚型表面活性剂、非离子型氟碳表面活性剂、有机膦酸盐类络合剂和纯净水。
[0007]在本发明一个较佳实施例中，所述有碱金属氢氧化物为氢氧化钠、氢氧化钾及或四甲基氢氧化铵中的一种或多种。
[0008]在本发明一个较佳实施例中，所述聚醚型表面活性剂为壬基酚聚氧乙烯醚或烷基酚聚氧乙烯醚中的一种或多种。
[0009]在本发明一个较佳实施例中，所述非离子型氟碳表面活性剂为Zonyl FSN 100、Zonyl FSN 300 或 Zonyl FSO 100 中的一种或多种。
[0010]在本发明一个较佳实施例中，所述有机膦酸盐类络合剂为乙二胺四甲叉膦酸钠、二乙烯三胺五甲叉膦酸钠或乙二胺四乙酸四钠中的一种或多种。
[0011]在本发明一个较佳实施例中，所述纯净水的电导率为5-15 μ S/cm。
[0012]在本发明一个较佳实施例中，所述显影液的组分为:以质量百分百计，碱金属氢氧化物1_6%、聚醚型表面活性剂0.2-10%、非离子型氟碳表面活性剂0.1_3%、有机膦酸盐类络合剂0.05-1%、纯净水余量。
[0013]在本发明一个较佳实施例中，所述显影液的组分为:以质量百分百计，碱金属氢氧化物3-6%、聚醚型表面活性剂2-8%、非离子型氟碳表面活性剂0.3-1.6%、有机膦酸盐类络合剂0.1-0.5%、纯净水余量。
[0014]在本发明一个较佳实施例中，所述显影液的组分为:以质量百分百计，碱金属氢氧化物4.14%、聚醚型表面活性剂2.26%、非离子型氟碳表面活性剂0.85%、有机膦酸盐类络合剂0.25%、纯净水92.5%。
[0015]本发明的有益效果是:本发明的彩色滤光片用显影液，所述显影液对图形部分具有良好的显影效果，显影后的图形完整且无残渣，尺寸准确，图形边缘清晰整齐，对非图形部分有良好的保护作用，不产生畸变。
【具体实施方式】
[0016]下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0017]实施例一:
提供一种用于彩色滤光片的显影液，所述显影液的组分为:以质量百分比计，氢氧化钠
4.14%、壬基酚聚氧乙烯醚2.26%、Zonyl FSN 100 0.85%、乙二胺四甲叉膦酸钠0.25%、RO水92.5。在洁净室内，依次将Na0H、NP-10、FSN 100、EDTMPS加入到RO水中，混合均匀后用
0.1微米滤膜加压过滤，得到显影液。其中本发明中所述纯净水的电导率为5-15μ S/cm。
[0018]实施例二:
提供一种用于彩色滤光片的显影液，所述显影液的组分为:以质量百分比计，氢氧化钠
5.31%、烷基酚聚氧乙烯醚2.65%、Zonyl FSN 300 1.19%、乙二胺四甲叉膦酸钠0.35%、RO水 90.5。
[0019]实施例三:
提供一种用于彩色滤光片的显影液，所述显影液的组分为:以质量百分比计，氢氧化钠
3.65%、烷基酚聚氧乙烯醚4.22%、Zonyl FSO 100 0.65%、乙二胺四乙酸四钠0.38%、RO水91.1。
[0020]本发明揭示的彩色滤光片用显影液对图形部分具有良好的显影效果，显影后的图形完整且无残渣，尺寸准确，图形边缘清晰整齐，对非图形部分有良好的保护作用，不产生畸变。
[0021]以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的【技术领域】，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【权利要求】
1.一种彩色滤光片用显影液，其特征在于，所述显影液的组分包括有碱金属氢氧化物、聚醚型表面活性剂、非离子型氟碳表面活性剂、有机膦酸盐类络合剂和纯净水。
2.根据权利要求1所述的彩色滤光片用显影液，其特征在于，所述有碱金属氢氧化物为氢氧化钠、氢氧化钾及或四甲基氢氧化铵中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的彩色滤光片用显影液，其特征在于，所述聚醚型表面活性剂为壬基酚聚氧乙烯醚或烷基酚聚氧乙烯醚中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的彩色滤光片用显影液，其特征在于，所述非离子型氟碳表面活性剂为 Zonyl FSN 100、Zonyl FSN 300 或 Zonyl FSO 100 中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的彩色滤光片用显影液，其特征在于，所述有机膦酸盐类络合剂为乙二胺四甲叉膦酸钠、二乙烯三胺五甲叉膦酸钠或乙二胺四乙酸四钠中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的彩色滤光片用显影液，其特征在于，所述纯净水的电导率为5-15 μ S/cm。
7.根据权利要求1所述的彩色滤光片用显影液，其特征在于，所述显影液的组分为:以质量百分百计，碱金属氢氧化物1_6%、聚醚型表面活性剂0.2-10%、非离子型氟碳表面活性剂0.1_3%、有机膦酸盐类络合剂0.05-1%、纯净水余量。
8.根据权利要求7所述的彩色滤光片用显影液，其特征在于，所述显影液的组分为:以质量百分百计，碱金属氢氧化物3-6%、聚醚型表面活性剂2-8%、非离子型氟碳表面活性剂0.3-1.6%、有机膦酸盐类络合剂0.1-0.5%、纯净水余量。
9.根据权利要求8所述的彩色滤光片用显影液，其特征在于，所述显影液的组分为:以质量百分百计，碱金属氢氧化物4.14%、聚醚型表面活性剂2.26%、非离子型氟碳表面活性剂0.85%、有机膦酸盐类络合剂0.25%、纯净水92.5%。
【文档编号】G03F7/32GK103955122SQ201410186960
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年5月6日 优先权日:2014年5月6日
【发明者】江磊, 金旭 申请人:富士胶片电子材料（苏州）有限公司