一种用于彩色滤光片的显影液的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于彩色滤光片的显影液，所述显影液的组分包括有强碱、非离子表面活性剂、全氟代烃基聚醚化合物、络合剂和纯净水，所述全氟代烃基聚醚化合物的结构通式为：，其中R1表示氢原子或C1-C18的脂肪烃基或芳香烃基，R2表示氢或C1-C4的脂肪烃基，Rf表示C1-C12的氟代脂肪烃基或氟代芳香烃基，n表示1-50的自然数。通过上述方式，本发明的用于彩色滤光片的显影液对图形部分具有良好的显影效果，显影后的图形完整且无残渣，尺寸准确，图形边缘清晰整齐，对非图形部分有良好的保护作用，不产生畸变。
【专利说明】—种用于彩色滤光片的显影液
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种显影液，特别是涉及一种用于彩色滤光片的显影液。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的快速发展，平板显示器以其完全不同的显示原理和制造技术使之同传统的视频图像显示器相比具有非常明显的优势。平板显示器具有完全平面化、轻、薄、省电等特点，符合未来图像显示器发展的必然趋势。LCD器件是众多平板显示器件中发展最快、技术最成熟、应用面最广、已经产业化并仍在迅猛发展的一种显示器件，随着半导体技术的不断发展，人们已成功地将半导体技术与LCD技术结合在一起，液晶显示器得到了广泛的应用。
[0003]彩色滤光片是彩色液晶显示器(IXD)由灰阶变为彩色的关键零组件，借由IXD内部的背光模组提供光源，再搭配驱动IC与液晶控制形成灰阶显示，将光源穿过彩色滤光片的光阻彩色层形成彩色显示画面。彩色滤光片的结构包括玻璃基板、黑色矩阵、彩色层、保护膜及ITO导电膜，此光电组件是在透明玻璃基板上制作防反射的遮光层-黑色矩阵层，再依次制作具有透光性能的红、绿、蓝三原色的彩色滤光片层，最后通过溅射工艺覆上透明ITO导电膜成为彩色滤光片。
[0004]彩色滤光片的传统制程主要有染色法(Dyeing Method)、颜料分散法(PigmentDispersed Method)、电沉积法(Electro Deposition Method)、印刷法(PrintingMethod)，其中颜料分散法已逐步发展为主流技术。颜料分散法之彩色层形成类似半导体的光刻制程，首先将颜料分散型彩色光阻涂布于已形成黑色矩阵的玻璃基板上，经软烤(Pre-bake)、曝光对准(Aligned)、显影(Developed)、光阻剥离(Stripping)、硬烤(Post-bake)并重复此流程三次形成R、G、B之三色图形(Pattern)。
[0005]彩色滤光片中精细图案的获得，一般是通过光刻技术来实现的。光刻技术包括光刻胶的曝光、显影等工艺。由于光刻胶在曝光前后在显影液中的溶解性能会有不同，因此进行曝光后，光刻胶的曝光区与未曝光区依赖于溶解性能的不同，分为可溶区和不溶区。可溶区溶于光刻胶显影液，而不溶区留下。即光刻胶可以根据曝光的图形，选择性的溶于光刻胶显影液，从而形成需要的图形。而为了获得良好的图案，需要对光刻胶进行高精度的显影，因此对光刻胶显影液的显影性提出更高的要求。
[0006]通常情况下，光刻胶为疏水性，曝光后由于光刻胶的可溶区被不溶区包围，显影液很难充分接触到可溶区，尤其是两者边缘部分，造成图形边缘的可溶性光刻胶溶解不充分，图案边缘部分显影差，使显影液的显影性降低。现有技术中，为了提高显影液对光刻胶可溶区的溶解性，以提高显影液的显影性，通常在显影液中添加表面活性剂，添加表面活性剂能够改善显影液对光刻胶的润湿性，使曝光后光刻胶的可溶区具有了很好的溶解性。但添加表面活性剂后，显影液对光刻胶的不溶区的溶解性常常也相应提高，从而导致光刻胶不可溶区的表面和边缘也容易被显影液溶解，造成光刻图形畸变，从而影响显影液显影性的有效提闻。
【发明内容】
[0007]本发明主要解决的技术问题是提供一种用于彩色滤光片的显影液，具有良好的显影效果。
[0008]为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是:提供一种用于彩色滤光片的显影液，所述显影液的组分包括有强碱、非离子表面活性剂、全氟代烃基聚醚化合物、络合剂和纯净水，所述全氟代烃基聚醚化合物的结构通式为:
【权利要求】
1.一种用于彩色滤光片的显影液，其特征在于，所述显影液的组分包括有强碱、非离子表面活性剂、全氟代烃基聚醚化合物、络合剂和纯净水，所述全氟代烃基聚醚化合物的结构
R2通式为:RICHoCHO^-Rf，其中Rl表示氢原子或C1_C18的脂肪烃基或芳香烃基，R2表示氢或C1-C4的脂肪烃基，Rf表示C1-C12的氟代脂肪烃基或氟代芳香烃基，η表示1_50的自然数。
2.根据权利要求1所述的显影液，其特征在于，所述R1表示氢原子或C1-C15的脂肪烃基或芳香烃基，所述R2表示氢或甲基，所述Rf表示C1-C9的氟代脂肪烃基或氟代芳香烃基，所述η表示5-40的自然数。
3.根据权利要求2所述的显影液，其特征在于，所述η表示为10-30的自然数。
4.根据权利要求1所述的显影液，其特征在于，所述显影液的组分为:以质量百分比计，强碱1_6%、非离子表面活性剂0.2-10%、全氟代烃基聚醚化合物0.1-3%、络合剂`0.05-1%、纯净水余量。
5.根据权利要求4所述的显影液，其特征在于，所述显影液的组分为:以质量百分比计，强碱3-6%、非离子表面活性剂2-8%、全氟代烃基聚醚化合物0.3-1.6%、络合剂`0.1-0.5%、纯净水余量。
6.根据权利要求1所述的显影液，其特征在于，所述强碱为碱金属氢氧化物、碱土金属氢氧化物、碱金属碳酸盐、碱金属硅酸盐、碱金属磷酸盐、季铵碱中的一种或多种。
7.根据权利要求1所述的显影液，其特征在于，所述非离子表面活性剂为聚醚型表面活性剂、多元醇型表面活性剂中的一种或多种。
8.根据权利要求1所述的显影液，其特征在于，所述络合剂为有机膦酸盐、氨基羧酸类、羧基羧酸类、聚丙烯酸类中一种或多种。
9.根据权利要求1所述的显影液，其特征在于，所述纯净水的电导率为2-20μ S/cm。
【文档编号】G03F7/32GK103955121SQ201410186959
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年5月6日 优先权日:2014年5月6日
【发明者】江磊, 金旭 申请人:富士胶片电子材料（苏州）有限公司