周期性交错矩形结构的太赫兹波偏振分束器的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种周期性交错矩形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于包括交错矩形结构金属传输层（1）、基体（2）、金属反射板（3）、信号输入端（4）、第一信号输出端（5）、第二信号输出端（6）；基体（2）上、下表面分别与交错矩形结构金属传输层（1）、金属反射板（3）相连，信号从信号输入端（4）输入，依次经过交错矩形结构金属传输层（1）和基体（2）达到金属反射板（3），由金属反射板（3）向两个方向反射，第一信号输出端（5）输出TE波、第二信号输出端（6）输出TM波；交错矩形结构金属传输层（1）包括100×100个交错矩形金属单元（7），交错矩形金属单元（7）包括左上第一矩形贴片（8）、左下第一矩形贴片（9）、右上第一矩形贴片（10）、右下第一矩形贴片（11）、左上第二矩形贴片（12）、左下第二矩形贴片（13）、左上第三矩形贴片（14）、左下第三矩形贴片（15）、中上矩形贴片（16）、中下矩形贴片（17）、右上第二矩形贴片（18）、右下第二矩形贴片（19）、右上第三矩形贴片（20）、右下第三矩形贴片（21）、左中第一矩形贴片（22）、右中第一矩形贴片（23）、左中第二矩形贴片（24）、左中第三矩形贴片（25）、中心矩形贴片（26）、右中第二矩形贴片（27）、右中第三矩形贴片（28）；交错矩形结构金属传输层中心从左到右顺次设有左中第一矩形贴片（22）、左中第二矩形贴片（24）、左中第三矩形贴片（25）、中心矩形贴片（26）、右中第二矩形贴片（27）、右中第三矩形贴片（28）、右中第一矩形贴片（23），左中第一矩形贴片（22）上、下分别设有左上第一矩形贴片（8）、左下第一矩形贴片（9），左中第二矩形贴片（24）上、下分别设有第二矩形贴片（12）、左下第二矩形贴片（13），左中第三矩形贴片（25）上、下分别设有左上第三矩形贴片（14）、左下第三矩形贴片（15），中心矩形贴片（26）上、下分别设有中上矩形贴片（16）、中下矩形贴片（17），右中第二矩形贴片（27）上、下分别设有右上第二矩形贴片（18）、右下第二矩形贴片（19），右中第三矩形贴片（28）上、下分别设有右上第三矩形贴片（20）、右下第三矩形贴片（21），右中第一矩形贴片（23）上、下分别设有右上第一矩形贴片（10）、右下第一矩形贴片（11）。2.如权利要求1所述的一种周期性交错矩形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的交错矩形金属单元（7）的总长度为450μm～550μm，总宽度为150μm～200μm，某交错矩形金属单元与上相邻交错矩形金属单元通过左上第一矩形贴片（8）、左上第二矩形贴片（12）、左上第三矩形贴片（14）、中上矩形贴片（16）、右上第二矩形贴片（18）、右上第三矩形贴片（20）、右上第一矩形贴片（10）共享紧密连接，某交错矩形金属单元与下相邻交错矩形金属单元通过左下第一矩形贴片（9）、左下第二矩形贴片（13）、左下第三矩形贴片（15）、中下矩形贴片（17）、右下第二矩形贴片（19）、右下第三矩形贴片（21）、右下第一矩形贴片（11）共享紧密连接，某交错矩形金属单元与左相邻交错矩形金属单元通过左上第一矩形贴片（8）、左中第一矩形贴片（22）、左下第一矩形贴片（9）共享紧密连接，某交错矩形金属单元与右相邻交错矩形金属单元通过右上第一矩形贴片（10）、右中第一矩形贴片（23）、右下第一矩形贴片（11）共享紧密连接。3.如权利要求1所述的一种周期性交错矩形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的交错矩形结构金属传输层（1）的材料为金，厚度为0.2μm～1μm。4.如权利要求1所述的一种周期性交错矩形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的基体（2）的材料为聚二甲基硅氧烷，厚度为20μm～100μm。5.如权利要求1所述的一种周期性交错矩形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的金属反射板（3）的材料为铂，厚度为1μm～5μm。6.如权利要求1所述的一种周期性交错矩形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的左上第一矩形贴片（8）、左下第一矩形贴片（9）、右上第一矩形贴片（10）和右下第一矩形贴片（11）的形状大小相同，纵向长度均为15μm～25μm，横向宽度均为10μm～20μm；所述的左上第二矩形贴片（12）和左下第二矩形贴片（13）的形状大小相同，横向长度均为75μm～85μm，纵向宽度均为10μm～20μm；所述的左上第三矩形贴片（14）和左下第三矩形贴片（15）的形状大小相同，纵向长度均为35μm～45μm，横向宽度均为45μm～55μm；所述的中上矩形贴片（16）和中下矩形贴片（17）的形状大小相同，横向长度均为75μm～85μm，纵向宽度均为20μm～30μm；所述的右上第二矩形贴片（18）和右下第二矩形贴片（19）的形状大小相同，纵向长度均为45μm～55μm，横向宽度均为25μm～35μm；所述的右上第三矩形贴片（20）和右下第三矩形贴片（21）的形状大小相同，横向长度均为35μm～45μm，纵向宽度均为10μm～20μm。7.如权利要求1所述的一种周期性交错矩形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的左中第一矩形贴片（22）和右中第一矩形贴片（23）的形状大小相同，横向长度均为45μm～55μm，纵向宽度均为15μm～25μm。8.如权利要求1所述的一种周期性交错矩形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的左中第二矩形贴片（24）的纵向长度为75μm～85μm，横向宽度为25μm～35μm；所述的左中第三矩形贴片（25）的横向长度为75μm～85μm，纵向宽度为45μm～55μm；所述的中心矩形贴片（26）的纵向长度为65μm～75μm，横向宽度为35μm～45μm；所述的右中第二矩形贴片（27）的横向长度为55μm～65μm，纵向宽度为35μm～45μm；所述的右中第三矩形贴片（28）纵向长度为95μm～105μm，横向宽度为15μm～25μm。