一种用于dwl66fs型激光直写系统样品的定位夹具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种用于DWL66FS型激光直写系统样品的定位夹具，包括平板结构的C面，所述C面下方设有与C面垂直的A面和B面，所述A面和B面用于紧贴DWL66FS型激光直写系统样品台相邻两侧，所述C面上设有与待加工样品匹配的形状结构，用于贴靠样品。本实用新型通过夹具上设有的与待加工样品匹配的形状结构来放置不同结构的样品，以使得同一样品多次放置的位置近乎完全一致，本实用新型结构简单，方便实用。
【专利说明】—种用于DWL66FS型激光直写系统样品的定位夹具
【技术领域】
[0001]本实用新型属于一种实验辅助用品，更具体地说是一种用于DWL66FS型激光直写系统进行多层套刻实验样品的定位夹具。
【背景技术】
[0002]现有光刻技术作为半导体行业的“核心工艺”，一直是目前的科学研究和工业应用的热点领域。激光直写技术作为一种重要的微光刻技术具有精度高、无需掩膜版一次成型和光刻效率高等特点，广泛应用于光刻设备中。德国海德堡公司生产的DWL66FS型激光直写仪，它具有无掩模板直写系统的灵活性，可以根据实验结果随时调整图形设计，同时还拥有较高的曝光速度，适用于高校的科研工作。然而在使用过程中发现，DWL66FS型激光直写系统进行多层套刻实验中，经常存在多层套刻时对准误差较大的问题，经分析发现这主要是由于样品摆放在样品台的位置与前次摆放位置偏离过大致使仪器不能对其有效对准造成的，而且当样品重新摆放位置偏差过大时甚至会导致DWL66FS型激光直写系统在套刻过程中报错而无法进行实验工作。通常用于多层套刻实验的样品形状为方形或者圆形，而使用仪器自带的定位销虽然能够固定方形样品的位置，但是由于定位销只能插入样品工作台真空吸附区的孔洞里对样品进行定位，因此将样品紧靠两个定位销放置好后，开启样品工作台上的真空吸附装置不但将样品本身稳定吸附在样品工作台上，而且也将定位销吸附在样品工作台上无法取下。当仪器用来曝光样品的镜头在靠近样品边缘进行光刻时则很容易被定位销划伤，造成仪器的损坏。而且，使用仪器自带的定位销无法定位圆形样品。所以我们需要一种用于DWL66FS型激光直写系统的样品定位夹具，它能使同一方形(或者圆形)样品多次放置在样品工作台上的位置近乎完全一致，并且能够在对样品进行定位放置稳定吸附后轻松的从样品台上移除，从而不会影响仪器的光刻工作或者对仪器造成损伤。
实用新型内容
[0003]为了解决现有DWL66FS型激光直写系统进行多层套刻实验时，使用仪器自带的定位销定位样品时存在多层套刻时对准误差较大或可能造成仪器曝光镜头被定位销划伤导致仪器损坏，以及无法定位圆形样品等问题，本实用新型提出一种用于DWL66FS型激光直写系统样品的定位夹具。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案:一种用于DWL66FS型激光直写系统样品的定位夹具，包括平板结构的C面，所述C面下方设有与C面垂直的A面和B面，所述A面和B面用于紧贴DWL66FS型激光直写系统样品台相邻两侧，所述C面上设有与待加工样品匹配的形状结构，用于贴靠样品。
[0005]优选地,所述A面和B面沿C面的边沿垂直设置。
[0006]优选地，所述C面上设有与待加工样品匹配的形状结构为垂直结构。
[0007]优选地，还包括一个D面，所述D面与C面配合，所述D面上设有与待加工样品匹配的形状结构，用于贴靠样品。
[0008]本实用新型的有益效果:本实用新型的定位夹具可以稳定地放置在仪器原有的样品台上，并且可通过夹具上设有的与待加工样品匹配的形状结构来放置不同结构的样品，以使得同一样品多次放置的位置近乎完全一致，从而解决对样品进行多层套刻时因为多次重新在样品台上摆放样品时样品位置容易偏离原位置过大而导致光刻图案不能有效对准的问题，满足使用DWL66FS激光直写系统进行多层套刻实验时对样品多次摆放位置准确定位的需求，并且不会影响仪器的正常光刻过程，也不会损伤仪器，本实用新型结构简单，方便实用。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型用于DWL66FS型激光直写系统样品的定位夹具一种实施例的立体[U1]；
[0010]图2为图1的俯视图；
[0011]图3为图1的左视图；
[0012]图4为图1的前视图；
[0013]图5为本实用新型用于DWL66FS型激光直写系统样品的定位夹具另一种实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0015]一种用于DWL66FS型激光直写系统样品的定位夹具，包括平板结构的C面，所述C面下方设有与C面垂直的A面和B面，所述A面和B面用于紧贴DWL66FS型激光直写系统样品台相邻两侧，所述C面上设有与待加工样品匹配的形状结构，用于贴靠样品。
[0016]实施例1:如图1-4所不,一种用于DWL66FS型激光直写系统样品的定位夹具,包括L型结构的C面，C面的厚度为2mm，所述C面下方设有与C面垂直的A面和B面，本实施例中，所述A面和B面沿C面的边沿设置，所述A面和B面用于紧贴DWL66FS型激光直写系统样品台左侧和前侧，所述C面上有两条相互垂直的Cl和C2两条边,Cl和C2两条边分别长130mm和90mm，C3和C4两条边的长度分别为200mm和70mm，Cl和C2两条边用于贴靠样品:该样品至少具有一条直边，可以为方形样品。
[0017]当所述夹具的A、B面分别紧贴DWL66FS型激光直写系统样品台左侧和前侧时，夹具C面包括的Cl和C2两条边在DWL66FS型激光直写系统样品台上的位置就是固定的，此时将准备进行多层套刻的方形样品紧靠Cl和C2两条边放置就能使样品在样品台上的位置固定，重复以上操作，从而能够使得多次摆放样品的位置近乎完全一致。当样品紧靠Cl和C2两条边放置在样品工作台时，样品正好位于样品工作台上的真空吸附孔区，开启样品工作台上的真空吸附装置，可以使放置好的样品稳定吸附在样品工作台上，而所述样品定位夹具因为不在仪器原本样品工作台的真空吸附孔区域则可以被轻易的从样品工作台上移开，丝毫不会影响DWL66FS型激光直写系统后续的样品光刻过程。
[0018]实施例2:如图5所示，该实施例是在实施例1的基础上增加一个D面，当样品是圆形时，将圆形样品定位辅助夹具的Dl和D2两条边分别紧靠Cl和C2两条边放置，然后将准备进行多层套刻的圆形样品紧靠D3放置，放置好后在圆形样品与D4和D5的交点做标记，每次将圆形样品重新放置时，将标记点与D4和D5对准就能使圆形样品在样品台上的位置固定，从而能够使得多次摆放圆形样品的位置近乎完全一致。开启样品工作台上的真空吸附装置，可以使放置好的圆形样品稳定吸附在样品工作台上，而所述样品定位夹具以及圆形样品定位辅助夹具因为不在仪器原本样品工作台的真空吸附孔区域则可以被轻易的从样品工作台上移开，丝毫不会影响DWL66FS型激光直写系统后续的样品光刻过程。
[0019]本实施例中，D面为多个，满足不同直径的圆形样品。
[0020]最后应说明的是:以上所述仅为说明本实用新型的实施方式，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种用于DWL66FS型激光直写系统样品的定位夹具，其特征在于，包括平板结构的C面，所述C面下方设有与C面垂直的A面和B面，所述A面和B面用于紧贴DWL66FS型激光直写系统样品台相邻两侧，所述C面上设有与待加工样品匹配的形状结构，用于贴靠样品。
2.根据权利要求1所述的定位夹具，其特征在于，所述A面和B面沿C面的边沿垂直设置。
3.根据权利要求1或2所述的定位夹具，其特征在于，所述C面上设有与待加工样品匹配的形状结构为垂直结构。
4.根据权利要求3所述的定位夹具，其特征在于，还包括一个D面，所述D面与C面配合，所述D面上设有与待加工样品匹配的形状结构，用于贴靠样品。
【文档编号】G03F7/20GK204065660SQ201420539684
【公开日】2014年12月31日 申请日期:2014年9月19日 优先权日:2014年9月19日
【发明者】李华, 郭党委, 应卫 申请人:兰州大学