技术特征：
技术总结
本发明描述了纳米结构的光子材料，以及相关的组件，用于运行在紫外的(UV)，远紫外的(EUV)，和/或软X光波长的设备和系统中。这样一种材料可以通过在选择的波长范围内，例如可以在特别的UV，EUV/或软X光波长或波长范围内，使用改变的纳米级特征，进行制造。这样一种材料可用于制造组件，例如镜子，透镜或其它光学器件，面板，光源，掩模，光刻胶，或其它组件，用于一些应用，例如光刻，晶圆图案形成，天文和空间应用，生物医学应用，生物技术或其它应用。
技术研发人员：苏普利亚·杰西瓦尔
受保护的技术使用者：苏普利亚·杰西瓦尔
技术研发日：2015.11.25
技术公布日：2017.09.26