1.一种N×N通道的MEMS光开关模块，包括MEMS芯片和N芯准直器，N芯准直器含有N根光纤的阵列和相配合的N个透镜的阵列，所述N为整数，取值范围为2≤N≤16；其特征在于：
两个相同的MEMS芯片和两个相同的N芯准直器安装于同一基板(6)上，处于相同的高度；所述MEMS芯片含有N个微型反射镜片，N个镜片在同一平面上排布为阵列；MEMS芯片N个镜片的阵列与N芯准直器N根光纤的阵列相配合；
所述两个N芯准直器互相平行，其一为第一N芯准直器(5)，其N根光纤为输入光纤(51)，配合输入光纤(51)的N个透镜排布为平面矩阵，该平面与基板(6)垂直；另一为第二N芯准直器(4)，其N根光纤为输出光纤(41)，配合输出光纤(41)的N个透镜排布为平面矩阵，该平面与基板(6)垂直，所述两个N芯准直器(5、6)的透镜平面相互平行；
所述两个MEMS芯片的镜片安装平面垂直于基板(6)并且相互呈90°夹角，分别为第一MEMS芯片(2)和第二MEMS芯片(3)；第一N芯准直器(5)的透镜矩阵平面与第一MEMS芯片(2)的镜片安装平面相对，二者的交角为45°角，每个透镜与第一MEMS芯片(2)的一个镜片正相对；第二MEMS芯片(3)的镜片安装平面与第二N芯准直器(4的透镜矩阵平面相对，第二N芯准直器(3)接收第二MEMS芯片(3)的镜片反射的光束，第二N芯准直器(4)的透镜矩阵平面与第二MEMS芯片(3)的镜片安装平面间交角为45°。
2.根据权利要求1所述的N×N通道的MEMS光开关模块，其特征在于：
所述的第一、第二MEMS芯片(2、3)的镜片安装平面夹角、第一MEMS芯片(2)的镜片安装平面与第一N芯准直器(5)的透镜矩阵平面之间的交角以及第二MEMS芯片(3)的镜片安装平面与第二N芯准直器(4)的透镜矩阵平面之间的交角误差小于等于±0.1°。
3.根据权利要求1所述的N×N通道的MEMS光开关模块，其特征在于：
盒体(1)扣在基板(6)上包容安装于基板(6)上的第一、第二MEMS芯片(2、3)和第一、第二N芯准直器(5、4)，盒体(1)与基板(6)固定连接，盒体壁上有输入光纤(51)和输出光纤(41)的过孔。
4.根据权利要求1所述的N×N通道的MEMS光开关模块，其特征在于：
所述第一MEMS芯片(2)和第二MEMS芯片(3)各固定于一个芯片基座(23)上。
5.根据权利要求3所述的N×N通道的MEMS光开关模块，其特征在于：
所述芯片基座(23)为可与标准电路板直接相连接的无引脚陶瓷型基座。
6.根据权利要求3所述的N×N通道的MEMS光开关模块，其特征在于：
所述芯片基座(23)连接转接电路板(22)，MEMS芯片转接件(21)将转接电路板转接固定于基板基座(61)，基板基座(61)固定安装于基板(6)。
7.根据权利要求5所述的N×N通道的MEMS光开关模块，其特征在于：
所述转接电路板(22)为柔性电路板，MEMS芯片输出的电信号经转接电路板(22)引出。
8.根据权利要求1所述的N×N通道的MEMS光开关模块，其特征在于：
所述第一N芯准直器(5)和第二N芯准直器(4)各固定于一个准直器基座，准直器基座经基板基座(61)固定安装于基板(6)。