1.一种彩色滤光片巨观检查机设备,主要用于检查彩色滤光片基板的目视巨观异常,包括:
一彩膜巨观检查机台,具有一可移动的平台;
一双屏蔽设备位于彩膜巨观检查机台内以进行光源的开关;
一外部搬运设备,主要为搬运彩色滤光片基板;
一玻璃基板流动设备,与一外部搬运设备结合以实现彩膜巨观检查设备。
2.如权利要求1所述的巨观检查设备,其特征在于可结合玻璃基板流动设备以实现曝光前玻璃基板、曝光后玻璃基板以及结合彩膜色度计检查结果的多项检出应用。
3.如权利要求1所述的彩色滤光片巨观检查机台,其特征在于,未曝光玻璃基板或彩膜色度计检出标记玻璃基板由上方屏蔽进入机台。
4.如权利要求1所述的彩色滤光片巨观检查机台,其特征在于,曝光后玻璃基板由下方屏蔽进入机台;所有玻璃基板均由下方屏蔽流往下游。
5.一种彩色滤光片巨观检查玻璃基板的流片方法,包括:
正常抽检涂布机后玻璃基板;
正常抽检曝光后玻璃基板;
与彩膜色度计配合,对彩膜色度计检出的异常玻璃基板进行人员复判;
对彩膜突起检查机所检查出的异物在巨观检查机台进行检查。
6.如权利要求5所述的玻璃基板自上游前来其玻璃基板的流片方法,其特征在于,进入巨观检查机台进行检查。
7.如权利要求5所述的玻璃基板自上游前来其玻璃基板的流片方法,其特征在于,跳过巨观检查机台直接进入曝光机。
8.如权利要求5所述的玻璃基板自上游前来其玻璃基板的流片方法,其特征在于,跳过巨观检查机台及曝光机直接流向下游。
9.如权利要求5所述的玻璃基板自曝光机出来后其玻璃基板的流片方法,其特征在于,通过下部流片通道流向下游。
10.如权利要求5所述的玻璃基板自曝光机出来后其玻璃基板的流片方法,其特征在于,经过上部流片通道进入巨观检查机台进行检查。