一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置的制作方法

文档序号:12447118阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置,包括放大系统和监测设备,沿着激光传输方向,所述放大系统依次包括空间滤波小孔阵列一和空间滤波小孔阵列二,其特征在于:所述空间滤波小孔阵列一处设置有光束反射器,所述光束反射器包括入射面、第一反射面和第二反射面,所述入射面与激光光路设置为近垂直结构,所述激光经第一反射面反射至第二反射面形成纵向位移,所述纵向位移与空间滤波小孔阵列一中初程小孔至末程小孔的纵向距离匹配。

2.根据权利要求1所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置,其特征在于:所述入射面与垂直方向的夹角为1.4°~5.1°或-5.1°~-1.4°。

3.根据权利要求2所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置,其特征在于:所述光束反射器设置为等腰直角棱镜,其斜边作为入射面,其两条直角边分别作为第一反射面和第二反射面。

4.根据权利要求3所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置,其特征在于:所述空间滤波小孔阵列一处设置焦距为f0的注入透镜,注入激光光束口径为D0,且所述空间滤波小孔阵列一的初程小孔位于注入透镜的焦点处,所述空间滤波小孔阵列一、空间滤波小孔阵列二之间依次设置焦距为f1的透镜一和焦距为f2的透镜二,则空间滤波小孔阵列一中末程小孔处的光斑尺寸为D1,且其中,S为激光由空间滤波小孔阵列一的初程小孔折返至末程小孔的等效传输距离,所述空间滤波小孔阵列一切换为大孔状态时,其直径为d11,所述空间滤波小孔阵列一切换为滤波孔状态时,其直径为d12,且d12<D1

5.根据权利要求4所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置,其特征在于:所述入射面至空间滤波小孔阵列一的间距为L,空间滤波小孔阵列一中初程小孔至末程小孔的纵向距离为a,第一反射面和第二反射面的长度均为b,且所述纵向位移为c,且其中,α为激光入射到第一反射面的入射角,β为第一反射面对激光的折射角,且α等于入射面与垂直方向的夹角,n为等腰直角棱镜介质材料对激光的折射率。

6.根据权利要求5所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置,其特征在于:

7.根据权利要求4所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置,其特征在于:所述空间滤波小孔阵列一切换为大孔状态时,所述空间滤波小孔阵列二中末程小孔处的光斑尺寸为D2,且所述空间滤波小孔阵列二切换为大孔状态时,其直径为d21,所述空间滤波小孔阵列二切换为滤波孔状态时,其直径为d22,且d22<D2

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