1.一种太赫兹激光可变扩束比整形装置，其特征在于包括第一全反反射镜（1）、第一微球面反射镜阵列（2）、第二微球面反射镜阵列（3）、可变扩束比光学系统（4）和第二全反反射镜（5），第一全反反射镜（1）前面为太赫兹光源，第二全反反射镜（5）后面为待照射的目标物体；所述可变扩束比光学系统包括第一扩束镜单元和第二扩束镜单元。
2.根据权利要求1所述的一种太赫兹激光可变扩束比整形装置，其特征在于：所述的第一扩束镜单元包括第一镜座（9）、第一扩束镜片（7）以及连接固定第一镜座（9）和第一扩束镜片（7）的固定螺钉（8）。
3.根据权利要求2所述的一种太赫兹激光可变扩束比整形装置，其特征在于：所述的第二扩束镜单元包括第二镜座（11）、第二扩束镜片（10）、平移台（12）以及连接固定第二镜座（11）、第二扩束镜片（10）和平移台（12）的固定螺钉（8）。
4.根据权利要求3所述的一种太赫兹激光可变扩束比整形装置，其特征在于：所述的第一扩束镜片（7）和第二扩束镜片（10）分别为太赫兹凸透镜和太赫兹凹透镜表面涂有增透抗反膜，对太赫兹光透过率为99.9%。
5.根据权利要求2或3所述的一种太赫兹激光可变扩束比整形装置，其特征在于：所述的固定螺钉（8）为内六角螺钉。
6.根据权利要求1所述的一种太赫兹激光可变扩束比整形装置，其特征在于：所述的第一全反反射镜（1）和第二全反反射镜（5）为太赫兹光全反的反射镜表面涂有增反抗透膜，反射率为99.9%。
7.根据权利要求1所述的一种太赫兹激光可变扩束比整形装置，其特征在于：所述的第一微球面反射镜阵列（2）和第二微球面反射镜阵列（3）都是由若干个太赫兹全反反射镜单元（6）组成，所述太赫兹全反反射镜单元（6）都为球面反射镜，它们的曲率半径为微球面镜镜片厚度的100~140倍，太赫兹全反反射镜单元（6）尺寸为1~1.5λ，其中λ为太赫兹光的波长；第一微球面反射镜阵列（2）和第二微球面反射镜阵列（3）主要是对太赫兹光束进行一定的扩束和均匀化。