一种应用于微偏振阵列片与CCD相机感光元件集成的装配仪的制作方法

文档序号:11760064阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种应用于微偏振阵列与CCD感光元件集成的装配仪,包括:显微观察镜、线偏振方向可调光源、紫外光源、CCD固定台、五维调节机构、抽真空固定装置、真空泵、电脑,其特征在于所述显微观察镜、抽真空固定装置、CCD固定台的中心在同一条直线上,线偏振方向可调光源、紫外光源在显微观察镜的旁边,五维调节机构用于调节CCD固定台。

2.如权利要求1所述的装配仪,其特征在于:所述的线偏振方向可调光源,可出射0°、45°、90°、135°的线偏振光。

3.如权利要求1所述的装配仪,其特征在于:所述紫外光源发出的紫外光能完全照射整个微偏振阵列与CCD感光元件。

4.如权利要求1所述的装配仪,其特征在于:所述抽真空固定装置为透光材料制作。

5.如权利要求1所述的装配仪,其特征在于:所述五维调节机构可在XYZ方向上进行调节、也可做倾斜调节和旋转调节。

6.如权利要求1所述的装配仪,其特征在于:所述真空泵的抽气量可控制。

7.如权利要求1所述的装配仪,其特征在于:CCD固定台中心处有引线口,可引出CCD的数据线和电源线与电脑连接。

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