用于检查及量测的方法和设备与流程

技术特征：

技术总结
公开了一种用于部件相对于表面的位置控制的方法和设备。所述方法可以包括：计算作用在所述部件和所述表面之间的卡西米尔力的估计效应或由作用在所述部件和所述表面之间的卡西米尔力导出的估计效应；和使用所述估计效应补偿所述部件相对于所述表面的定位。

技术研发人员：K·范贝尔克;D·阿克布卢特;J·J·M·范德维基德翁;F·泽普
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2016.02.24
技术公布日：2017.10.20