二极管模组的制作方法与流程

文档序号:13844023阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种二极管模组,包括半导体基底层、二极管外延层及光波导。该半导体基底层具有一表面,该表面包括依次相邻设置的外延层生长区、光波导固定区及光纤接入区,该光纤接入区开设有光纤收容沟槽,该光纤收容沟槽的延伸方向指向该光波导固定区。该二极管外延层形成于该外延层生长区,该二极管外延层包括沿远离该表面依次排列的半导体缓冲层和PN结,该PN结之间形成有多重量子井结构层。该光波导形成于该光波导固定区,该光波导其中一侧面与该多重量子井结构层一侧面相对。本发明还涉及该二极管模组的制作方法及光互连装置。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:深圳迈辽技术转移中心有限公司
技术研发日:2013.04.12
技术公布日:2018.03.02
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