技术特征：
技术总结
本发明涉及曝光装置、曝光方法和物品的制造方法。本发明提供曝光基板的曝光装置，所述曝光装置包括：被配置为在多个测量点中的每一个处测量基板的高度的测量单元；和被配置为基于通过测量单元获得的测量结果控制基板的高度并且控制将基板的被照区域布置在第一位置中并且曝光被照区域的操作的控制单元，其中，被照区域包含多个部分区域，以及，通过将被照区域布置在与第一位置不同的第二位置中使得布置于多个部分区域中的测量点的数量大于但将被照区域布置在第一位置中时的数量，控制单元使测量单元测量基板的高度。
技术研发人员：平井真一郎;本岛顺一;大川直人
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2017.11.17
技术公布日：2018.05.25