技术特征：
技术总结
本发明涉及在光学布置(2)的束路径中调整可移动的元件(6)的致动器(1)，该致动器(1)包括可移动的元件(6)、载体(5)和至少一个SMA元件(7.1至7.4)，所述SMA元件(7.1至7.4)连接到可移动的元件(6)并且设计为被支撑在所述载体(5)上，使得在SMA元件(7.1至7.4)的延伸发生改变的情况下，在所述可移动的元件(6)和载体(5)之间产生定向的力作用(F)。本发明还涉及在光学布置(2)的束路径中调整可移动的元件(6)的装置、致动器(6)的用途、以及调整方法。
技术研发人员：M.利特克;T.考夫霍尔德;F.蒂谢尔
受保护的技术使用者：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
技术研发日：2017.09.27
技术公布日：2019.05.21