调整可移动的元件的致动器、调整的用途和方法与流程

马达、压电驱动器或其他螺线管的用途(例如特别是在光学布置中调整待移动的元件)是已知的。这些还可以用于在诸如显微镜的(部分)自动化光学布置中执行移动。因此，例如可以修改聚焦或放大倍数，或者可以改变滤光器。

某些合金(形状记忆的合金，sma)的在加热后重新采取它们的原始形状的能力已经众所周知。过程中出现的力适合于以有目标的方式定位可移动的元件。

第一方法已经在ep2140138b1中描述并且实现为在照相手机中产生移动。特别地，ep2140138b1已经公开了sma致动的设备的控制系统。sma致动的设备具有如下的sma致动器：在由于热效应收缩的情况下引起可移动的部件的移动。控制系统包括电流源。通过电流流过sma致动器来加热sma致动器。此外，出现了检测sma致动器的电阻的检测器电路和控制电流源的控制器。在监控sma致动器的电阻时通过控制器来加热sma致动器。可移动的部件的位置被捕获，并且根据该位置，进一步加热或冷却sma致动器以便于设定可移动的部件的位置。通过由形状记忆金属构成的丝线的相对布置，致动器的精确定位是可能的。同时，当前位置可以由采用的丝材的电阻测量来推断。

us8,441,749b2已经描述了基于形状记忆合金(sma)的致动器。致动器包括载体、待移动的元件和具有在载体和待移动的元件之间的多个弹性连接元件的保持设备。由于保持设备的作用，沿着轴线引导待移动的元件。当它的长度变化时，形式为丝线的至少一个sma元件在待移动的元件上施加力。

wo2013/121225a1已经公开了致动器，其包括形式为丝线的四个sma元件、载体和待移动的元件。在每个sma元件的情况下，一端连接到载体，并且另一端连接到待移动的元件。由sma元件产生的力作用彼此反方向地对准。通过在sma元件的长度中有目标的变化，在xy平面中待移动的元件是可定位的。

wo2007/113478涉及移动照相机镜头的致动器。致动器包括载体、照相机镜头、引导照相机镜头沿着其光轴移动的保持设备、以及至少一对sma元件。后者在拉伸应力下布置在照相机镜头和载体之间。

本发明基于提出其他致动器和/或与现有技术相比得到改进的致动器的目的。此外，本发明基于指定采用该致动器的新设备、用途和方法的目的。

关于致动器，该目的由独立权利要求1的主题来实现。关于该设备，该目的由权利要求9的主题来实现。关于用途和方法，该目的分别由权利要求10至12、以及13和14的主题来实现。

有利的发展例是从属权利要求的主题。

目的由如下的致动器来实现：产生了致动式移动。并且在光学布置的束路径中将待移动的元件移动到位置中。致动器包括待移动的元件、载体和至少一个sma元件，其中sma元件连接到待移动的元件，并且实施为支撑在载体上。如果sma元件的范围发生变化，则在待移动的元件和载体之间产生定向的力作用。

例如，待移动的元件移动到位置中通过产生致动式移动来实现，这是因为待移动的元件移动到期望位置和/或到期望取向或相对取向中(＝移动到位置中)。

下文中，移动到位置中还被理解为：关于预期位置、光轴和/或关于致动器的其他元件或包括致动器的布置来调整待移动的元件的可能性。调整被认为是可以实现致动式移动。可以一次、多次或连续地执行调整。

在本说明书中，sma元件被理解为实质上由形状记忆材料构成的那些元件。形状记忆材料可以是形状记忆合金或形状记忆聚合物、smp以及其组合物。此外，形状记忆材料可以是如us7,591,834b2中所述的材料。

sma元件和待移动的元件之间的连接可以由力配合、互锁和/或内聚连接来实现。此外，这样的连接件被理解为如下的实施例：其中sma元件至少在其范围的一部分之上搁置待移动的元件，和/或其中sma元件被引导穿过待移动的元件并且机械上与待移动的元件的相互作用。

可以用宽松端或者用不具有与载体的力配合或粘合连接的部分在载体上支撑sma元件。在其它实施例中，sma元件可以是可拆卸的，或者非可拆卸地连接到载体。

作为示例，连接件是可拆卸的连接件，特别是力配合和/或互锁的连接件，诸如螺纹连接件、夹具式连接件或插头式连接件。在其他实施例中，连接件可以非可拆卸的力配合、互锁和/或诸如粘合结合连接件、焊接连接件、铸件连接件或按压配合连接件之类的内聚连接件。

在致动器的一个可能的实施例中，sma元件绕轴线以螺旋形方式布置，使得在sma元件在其长度的方向上的范围发生变化的情况下，在轴线的方向上(特别是沿轴线)引起定向的力作用和/或引起致动器的绕轴线的旋转。

在此，例如轴线可以是待移动的元件的纵向轴线。在其他实施例中，轴线是例如连接到待移动的元件的其他结构的主体轴线。在这样的情况下，可以在sma元件和待移动的元件之间形成间接连接。

在其他实施例中，至少一个sma元件绕轴线以螺旋形方式布置。如果两个或更多个sma元件绕轴线以螺旋形方式布置，则所述sma元件有利地具有相同的设计。如果至少两个sma元件同时且相同意义上用于产生了待移动的元件的移动，则sma元件的相似的设计或相同设计在其致动中提供优点，由于针对所有sma元件的控制参数可以选择为近似相同或恰好相同。

这样的实施例的优点在于小空间需求以及致动器的稳健实施例。作为示例，这样的实施例可用于沿着光轴位移光学镜头。

为了获得长使用寿命，sma元件(特别是形式为由形状记忆材料构成的丝线)不应该拉伸超过1-2％。然而为了获得足够的移动，具有相对较长的长度的丝线是可用的。旋转对称的部件中的应用特别地允许丝线反复上下缠绕，并且因此节省设计空间。

如果将滑动涂层(例如包含聚四氟乙烯(ptfe)的涂层)施加到sma元件、施加到例如以同轴方式围绕轴线的主体和/或施加到在sma元件和主体之间布置的滑动元件，则可以保持低的发生的摩擦损耗。在附加的或替代的实施例中，可以通过合适的支座(例如形式为滚轴、滚珠或抛光的表面)来降低sma元件和主体之间的摩擦力。

如果在致动器的其他实施例中以相对的方式操作sma元件，则至少一个sma元件的力作用可以由至少一个其他sma元件的力作用来部分地补偿，因此可以很大程度上避免超过期望位置的驱动。

代替以相对的方式操作的sma元件或者除此以外，可以提供与至少一个sma元件起对抗作用的至少一个弹簧元件。

在其他实施例中，致动器可以具有至少两个sma元件，其布置为使得它们相应的定向力作用是至少部分地彼此相对。这些可以是以螺旋形方式绕轴线布置的至少两个sma元件，和/或例如以线性范围布置的sma元件。

作为示例，在相对的点处，sma元件可以间接或直接地连接到待移动的元件。

相对的sma元件优选地以相对的方式操作。例如，如果在sma元件的一个中带来收缩，则作为补偿在相对的sma元件中引起延伸。

在致动器的其他实施例中，将螺旋形布置的sma元件和以线性范围布置的元件进行组合，因此致动器的较大的设计自由和待移动的元件的移动的附加的自由度是可以实现的。

如上文已经提到的，sma元件可以间接地连接到待移动的元件。作为示例，可以形成其他结构，或者将其附接到待移动的元件。通过传输装置，sma元件还可以有效地联接到待移动的元件。间接连接简化了单独部件的替换，并且降低了磨损。

在致动器的其他实施例中，例如，sma元件直接连接到待移动的元件，并且被拧紧、夹紧、焊接或粘合结合到待移动的元件。

直接连接的优点包含了简化的设计和所需空间小。

在致动器的其他实施例可选项中，待移动的元件连接到至少一个固定的支座。在此，待移动的元件绕固定的支座是可枢转的和/或可旋转的，因为至少一个sma元件、有利地至少两个sma元件的行为。在sma元件的适当布置的情况下，待移动的元件绕平面中或空间中固定的支座是可枢转的和/或可旋转的。

根据上述的实施例可选项中的任一个的致动器可以出现在包括挠曲支座的布置中。作为示例，待移动的元件是挠曲支座的一部分。

致动器可以布置在物镜中，以便于移动光学元件(例如光学透镜)。作为示例，物镜可以是电影镜头、照相机镜头、望远镜瞄准镜、双目望远镜和/或单目望远镜。

具有致动器的物镜解决了先前对其实现方式提出非常高需求的技术问题。

根据现有技术，例如，先前由从光学部件位移到外部的并且通过电动马达操作的驱动器带来了在光学部件的内部中(例如物镜或其他光学组装件中)的移动。

具有整合的致动器的实施例有利地避免了例如需要大量空间的光学部件的实施例。此外，通过根据本发明的致动器可产生的致动力大于例如通过小型化压电驱动器可实现的致动力。

本发明的主题还涉及通过致动器将待移动的元件移动到位置中(例如调整待移动的元件)的设备。在此，例如待移动的元件可以包括针孔，其中针孔是诸如孔或槽的光阑。特别地，针孔可以是光学布置的(例如共聚焦显微镜的)针孔。

在其他实施例中，待移动的元件可以是传感器和/或校正反射镜。待移动的元件还可以是一个或多个透镜、光阑和/或棱镜系统(特别是偏转系统)。还可以存在至少两个待移动的元件，例如其各实施为alvarez板并且应该相对于彼此移动。

alvarez板的移动特别地需要在严格限制的安装空间中非常精确的移动。

除了在xy平面中移动，通过适当设计和布置的支座和sma元件(例如以围绕待移动的元件的方式引导、以丝线的形式)，旋转的调整和旋转致动式移动也是可能的。

将待移动的元件移动到位置中的设备包括评估单元，其用于评估待移动的元件和/或sma元件的当前空间坐标，该当前空间坐标包含空间中的坐标和相对的空间取向。此外，存在根据评估的当前空间坐标生成控制命令的控制单元。作为示例，空间坐标可以是二维坐标和/或空间中的坐标和/或相对的空间取向，例如待移动的元件的空间坐标以及光学布置的(例如显微镜、测量器具、在手术或治疗方法中使用的器具、照明设备或曝光设备的)当前束路径的轮廓的空间坐标。

这样的设备还可以用于移动包括多个传感器元件的传感器。在此，传感器可以移动了传感器元件的范围的部分(像素间隔的部分；子像素范围)。至少两个图像被记录，并且通过由适当移动的传感器的计算进行组合。该构思还称为“传感器移位”，并且例如用于改进色彩识别和/或用于增加图像分辨率。在这样的情况下，传感器例如是照相机传感器，例如ccd或cmos芯片。因此在x轴的方向上和y轴的方向上移动的传感器元件(像素)例如提供了关于传感器元件的间隙的数据，这些间隙可以通过软件来叠加、计算并且输出。

设备和/或致动器还可以用于将光栅横向推入到例如物镜的光学部件或光学布置的束路径中，和/或用于在束路径中调整所述光栅。可以通过物体的结构化照明通过这样的光栅来提高显微镜的分辨率。

致动器和设备可以用在诸如任何类型的显微术系统(例如激光扫描显微镜、电子显微镜和宽场显微镜)的光学布置中。

在相同实施例或不同实施例中，光学布置可以具有根据本发明的多个致动器。

例如，通过将待移动的元件移动到位置中的设备，致动器的校正调整待移动的(一个或多个)元件的可能性被指定。可以径向地、轴向地并且旋转地实现所需的定位移动。

有利地，已经避免了将致动器移位到光学部件的外部。在光学部件(例如由于培养结构)的不可接近性的情况下，根据现有技术的调整必须由来自外部的马达来驱动，然而根据本发明的将待移动的元件移动到位置中的设备提供了光学部件的内部的驱动器。

其内部有利地配备有驱动器的这些光学部件对诸如湿度或腐蚀性介质的环境影响较不敏感。此外，与具有位于外部的驱动器的光学部件相比，它们清洁更容易并且需要更少的安装空间。

致动器可以用于将物镜的部件移动到位置中。致动器还可以用于调整包括针孔、光阑或校正反射镜的待移动的元件。致动器的其他可能的用途在于至少两个alvarez板彼此之间的调整。

致动器和/或调整设备可以用于调整传感器。

在将传感器移动到位的方法中，其中传感器包括多个传感器元件，通过致动器以控制的方式移动传感器。当执行该方法时，光学布置中存在的传感器的实际测量值被捕获，并且借助于实际测量值与预期的测量值比较来评估。根据比较的结果，生成控制命令。

作为示例，测量值是通过sma元件的电阻测量可捕获的。

在致动器的其他实施例中，在光学布置内(例如显微镜内)，可以为了优化的位置、校正值或其他光学参数而存在控制回路。

如果实际测量值与预期的测量值的偏差保持在可容许的公差极限内，则控制命令的生成可以被省略。

传感器元件的范围可以被理解为图片元件或像素。特别有利的是，只要实现将传感器移动到位的距离是传感器元件的尺寸中的一个的部分的距离。例如，这意味着传感器可以移位和/或旋转了半个像素。

到位置中的这样的移动或者传感器的调整可以用于通过传感器来提高例如成像的分辨率。在这样的情况下，传感器例如是照相机传感器，例如ccd或cmos芯片。

此外，目的由调整待移动的元件的方法来实现，该方法在被执行时引起了通过致动器将待移动的元件移动到预期位置处的位置中。在其他步骤中，通过非固化且可逆性固化的紧固材料将待移动的元件贴附在预期位置处，其中非固化的紧固材料变换成固化状态。

作为示例，热熔粘合剂可以用作紧固材料。紧固材料在其固化状态下是高粘性或固态的，并且在其非固化的状态下是无粘性或流体的。紧固材料是可逆性固化的，只要该紧固材料可以多次地从其固化状态变成其非固化状态再从其固化状态变成其固化状态。作为示例，为了改变状态，热能可以供应到紧固材料或者从紧固材料耗散热能。

在紧固材料变换成非固化状态之后，将位于实际位置处并且通过可逆性固化的紧固材料来紧固的待移动的元件移动到预期位置处的位置中。

在方法的其他配置中，可以永久紧固待移动的元件。作为示例，通过uv辐射可固化的粘合剂(uv粘合剂)可用作紧固材料。

所提出的方法促使在不需要在光学部件外部布置的驱动器的情况下调整光学部件(例如物镜)的透镜或透镜组。

所提出的解决方案(特别是致动器)、其用途和调整方法有利地允许以高精度和非常良好的再现性通过小距离来调整一个或多个待移动的元件。在极小可用的安装空间和极少花费的情况下、在结构上困难条件下，所述的解决方案促进了致动器的用途。

下面基于示例性实施例和附图更详细地解释本发明。附图中：

图1示出了根据本发明的致动器的第一示例性实施例的示意图，

图2示出了根据本发明的致动器的第二示例性实施例的示意图，

图3示出了根据本发明的致动器的第三示例性实施例的示意图，

图4示出了根据本发明的致动器的第四示例性实施例的示意图，

图5示出了根据本发明的致动器和根据本发明的设备的第五示例性实施例的示意图，

图6示出了根据本发明的致动器和根据本发明的设备的第六示例性实施例的示意图，

图7示出了根据本发明的致动器和根据本发明的设备的第七示例性实施例的示意图，

图8示出了根据本发明的致动器和根据本发明的设备的第八示例性实施例的示意图。

如果没有特殊说明，则在示例性实施例的示意图中由相同附图标记来标记相同技术元件。附图未按比例绘制。

作为基本部件，致动器1包括待移动的元件6、载体5和至少一个sma元件7.1至7.4，其中sma元件7.1至7.4连接到待移动的元件6并且实施为支撑在载体5上(图1)。

在根据本发明的致动器1的第一示例性实施例中，存在第一sma元件7.1、第二sma元件7.2、第三sma元件7.3和第四sma元件7.4，该致动器1是在此未示出的光学布置2的构成部件。待移动的元件6实施为具有其中心处的开口的板，该开口用作光学布置2(特别是显微镜)的针孔8。待移动的元件6在由笛卡尔坐标系中的x轴x和y轴y所跨越的xy平面xy中延伸。

在致动器1的其他实施例中，待移动的元件6实施为诸如透镜或透镜组的光学元件的保持件，或者待移动的元件6用作开口位于其中的窗格或板的保持件，所述开口实施为孔、槽、交叉槽、圆环或其他。

待移动的元件6由实施为框架的载体5围绕，并且通过sma元件7.1至7.4直接连接到载体5。sma元件7.1至7.4中的每一个连接到待移动的元件6的角落中的一个，所以sma元件7.1至7.4的纵向轴线在xy平面xy中实质上相交。

sma元件7.1至7.4实施为丝线；然而，在其他实施例中它们还可以实施为棒或带。致动器1可以具有不同形式的sma元件。

由于sma元件7.1至7.4的在它们维度中的至少一个上(特别是它们的纵向轴线的方向上)的范围发生变化，定向力作用f被施加在待移动的元件6上(通过双向箭头标记)，该定向力作用使得待移动的元件6在xy平面xy中是可移位的，并且针孔8关于光学布置2的光轴4(在z轴z方向上延伸)是可调整的。

分别地，两个sma元件7.1至7.4布置为，使得它们相应的定向力作用f至少部分地彼此相对。

通过控制单元10，sma元件7.1至7.4可独立于彼此致动。在此，借助于例如具有一定的振幅且具有一定的电压的电流流过sma元件7.1至7.4中的每一个来实现致动。sma元件7.1至7.4的至少一个维度发生变化是因为相应的sma元件7.1至7.4的欧姆电阻和在过程中产生的热。

通过本领域技术人员已知的适合的测量电路(未示出)来捕获sma元件7.1至7.4中的每一个的当前长度和当前欧姆电阻。将过程中获得的测量值传输到评估单元9，其继而以适合于数据传输的方式连接到控制单元10。评估单元9配置为评估例如sma元件7.1至7.4的当前空间坐标、及其当前延伸状态、光学布置2的束路径的当前空间位置和/或待移动的元件6(特别是针孔8)的关于当前束路径的当前相对取向。

致动器1、评估单元9和控制单元10是调整待移动的元件6的设备的基本元件。

例如，根据由评估单元9传输的测量值和/或根据评估单元9的评估结果，并且可选地通过使用诸如室温的其他测量值，控制单元10生成并且输出控制信号以致动sma元件7.1至7.4。由当前束路径或其当前轮廓来指定光学布置2的光轴4。

在在此未示出的设备中执行控制命令，并且带来了sma元件7.1至7.4的对应的电流流动和/或温度变化。

可以关于光轴4调整待移动的元件6。附加地或替代地，例如，还可以使光轴4的当前轮廓与针孔8的当前位置对应。

致动的可选项和设计如上指定的设备的可选项同样适用于以下示例性实施例。

在调整待移动的元件6之后，其相对取向(例如关于xy平面xy)的稳定性以及其位置的稳定性是特别重要的。因此，在其冷却之后，sma元件7.1至7.4处于机械力平衡。在特别关键的应用中可以提供附加的制动器。这样的制动器可以借助于以下方式实现：待移动的元件6例如通过弹簧而被按压抵靠在固定邻接件上并且因此被紧固。sma元件可以继而用于释放弹簧。磁性耦接件还是可有利采用的。

根据图2的致动器1和光学布置2对应于图1中的致动器1和光学布置2，除了待移动的元件6是传感器11，该传感器11在它的检测表面上具有多个传感器元件11.n。传感器元件11.n的每一个的在x轴x的方向上和y轴y的方向上的尺寸对应于像素间隔。

增加数字图像记录的分辨率的方法包括通过像素间隔的一部分将传感器11移动到位置中。与现有技术比较，sma元件7.1、7.2的使用提供了节省空间和成本并且非常精确且可重复的可选项。

当执行调整传感器11的方法时，通过评估单元9，光学布置2中存在的传感器11的实际测量值被捕获，并且借助于实际测量值与预期的测量值比较来评估。根据向控制单元10传输的比较的结果，控制单元10生成控制命令。在实际测量值与预期的测量值的偏差在可容许的公差极限内的情况下，可以省去生成控制命令。移动到位置中或者调整传感器11通过以下的距离来实现：为传感器元件11.n的尺寸中的一个(即像素间隔)的部分的距离。在此，通过若干个像素距离和/或由像素距离的一部分的位移，还可以实现调整。

在将传感器11移动到位置中的方法的实施例中，只要构造确保了致动式移动不大于传感器元件11.n的范围，就可以省略对测量信号的反馈。可以监控精确致动式移动，例如以便于还确保了线性致动式移动。致动式移动的周期必须与传感器11的记录次数同步。传感器11的致动式移动通过以下的距离来实现：为传感器元件11.n的尺寸中的一个(即像素间隔)的部分的距离(传感器移位)。

在致动器1的其他可能的实施例中，可以由弹簧元件替换sma元件7.1至7.4中的一个或多个。由于致动器1的动态应用，现在sma元件可以针对(一个或多个)弹簧元件来工作。作为示例，sma元件7.1至7.4中的两个，例如第一和第四sma元件7.1、7.4可以替换为适当适配的弹簧元件。

图3示出了致动器1、该致动器1的载体5由挠曲支座12(仅以非常简化方式示出的)形成，待移动的元件6形成在该载体5上或附接到该载体5。第一和第二sma元件7.1、7.2实施为彼此交叉并且在其纵向范围的区域之上与连接元件16接触。在它们相应的纵向范围发生变化的情况下，sma元件7.1、7.2接触连接元件16并且将力作用f施加在连接元件16上，所述连接元件继而形成在待移动的元件6上或者附接到待移动的元件6。通过连接元件16，将sma元件7.1、7.2间接地连接到待移动的元件6。

如弹簧元件的挠曲支座12以对抗的方式对由sma元件7.1、7.2引起的力作用f有影响。

在图4所示的致动器1的第四示例性实施例中，存在两个待移动的元件6，所述待移动的元件6配置为第一alvarez板13.1和第二alvarez板13.2，也被称为alvarez透镜。第一和第二sma元件7.1、7.2连接到第一alvarez板13.1的端面，并且第三和第四sma元件7.3、7.4连接到第二alvarez板13.2的端面。通过sma元件7.1至7.4，两个alvarez板13.1、13.2彼此之间且关于xy平面xy中的光轴4是可移位的。

在其他的示例性实施例中，具有对抗效应的sma元件中的相应一个实施为弹簧元件。

图5示出了致动器1的第五示例性实施例，该致动器1的待移动的元件6由校正反射镜14来形成。

经由两个连接元件16和接合件16.1，校正反射镜14间接地各连接到sma元件7.1、7.2。

第三连接元件16将固定的支座15经由接合件16.1连接到校正反射镜14。

如果在一个可能的实施例中sma元件7.1、7.2跨越xy平面xy，则在xy平面xy中校正反射镜14的关于固定的支座15的接合件16的倾斜移动是可产生的。在xy平面xy内的略微旋转移动也是可能的。

如果sma元件7.1、7.2中的至少一个跨越延伸在xz平面xz中和/或yz平面yz中，则校正反射镜14可以关于xy平面xy和光轴4倾斜(旋转)。

如果sma元件7.1、7.2二者具有随它们的长度变化的x、y和z坐标，则在所有平面中的移动和关于所有轴线x、y和z的倾斜(旋转)，以及这些移动的组合是可实现的。

如果诸如透镜、反射镜和/或光阑的光学元件在光学布置2的束路径中改变，则该光学元件的对准在最低程度上变化但也经常引起扰动。这特别地应用在束路径必须照射针孔8的情况中、如在激光扫描显微镜(lsm)的情况(还参见图1)。出于校正束的目的，具有适当直径的校正反射镜14可以引入到束路径中。根据本发明，通过sma元件7.1、7.2，在所选择的方向上或者所有方向上，后者是可移动的。

在其他示例性实施例中，sma元件(在这种情况下第一和第二sma元件7.1、7.2)可以布置为绕光学布置2的光学部件3的轴线17螺旋形延伸。

在包括致动器1的光学部件3的实施例中，sma元件7.1、7.2布置在物镜19的外壳18的外表面上、绕纵向轴线(轴线17)平行于彼此延伸(图6)。仅以示例性方式示出了sma元件7.1、7.2的一些匝数。在所示的示例性实施例中，轴线17与光轴4重合。sma元件7.1、7.2连接到外壳18，并且被支撑在载体15上。在这种情况下，外壳18表示了待移动的元件6。

由于sma元件7.1、7.2中的长度变化，沿着光轴4以控制的方式来位移光学部件3。

图6示意性示出的实施例可选项还可用于校正元件，例如物镜19内的光学透镜20。

图7中示意性示出了这样的示例性实施例。在物镜19的外壳18中，光学透镜20的安装件21被sma元件7.1、7.2以螺旋形方式围绕。在安装件21中保持的光学透镜20表示了待移动的元件6。sma元件7.1、7.2连接到安装件21并且被支撑在外壳18上，该外壳18用作致动器1的载体5。

安装件21布置为关于光轴4偏移，所以轴线17和光学部件3的光轴4不重合。

基于图8解释了调整待移动的元件6的方法。在示例性实施例中，待移动的元件6是，沿着在物镜19中的光轴4来调整光学透镜20。sma元件7.1、7.2被支撑在外壳18上，该外壳18用作致动器1的载体5。

借助于通过致动器1位移待移动的元件6，将该待移动的元件6带到预期的位置中。一旦待移动的元件6处于预期的位置处，通过非固化且可逆性固化的紧固材料22来紧固该待移动的元件6。在该过程中，例如，借助于冷却到近似20℃的室温，非固化的紧固材料22变换为固化状态。

在调整期间，借助于通过电操作加热丝23将热能供应到紧固材料22，紧固材料22保持在非固化状态下。

在致动器1的其他实施例中，sma元件7.1、7.2中的至少一个实现为加热丝，其用于将热能供应到紧固材料22中。

如果要再次调整待移动的元件6，则紧固材料22通过加热丝23再次加热，并且如上所述通过致动器1将紧固材料22位移到新的预期位置中。一旦待移动的元件6已经移动到新的预期位置处的位置中，那么降低或关闭加热丝23的加热功率。随后再次过渡到固化状态的紧固材料22在新的预期位置处保持待移动的元件6。

附图标记

1致动器

2光学布置

3光学部件

4光轴

5载体

6待移动的元件

7.1第一sma元件

7.2第二sma元件

7.3第三sma元件

7.4第四sma元件

8针孔

9评估单元

10控制单元

11传感器

11.n传感器元件

12挠曲支座

13.1第一alvarez板

13.2第二alvarez板

14校正反射镜

15固定的支座

16连接元件

16.1接合件

17轴线

18外壳

19物镜

20光学透镜

21安装件

22紧固材料

23加热丝

f力作用

xx轴

yy轴

zz轴

xyxy平面

xzxz平面

yzyz平面