一种光学元件体散射缺陷探测装置及探测方法与流程

文档序号:15344048发布日期:2018-09-04 22:32阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本申请提供一种光学元件体散射缺陷探测装置,光学元件为长方体结构,包括多个光束照射面;光学元件体散射缺陷探测装置包括光源、三维平移台、分光单元、照明系统及成像系统,光源用于发出光束L0;三维平移台用于承载和平移光学元件;分光单元用于将光束L0分为两束光束;照明系统用于将两束光束分为多束光束后垂直入射多个光束照射面,以形成多光束交叠照明区域;成像系统用于对多光束交叠照明区域进行成像。本申请提供的光学材料体散射缺陷探测装置及探测方法可实现对体缺陷多角度照明,从而获得材料体内大部分缺陷的清晰成像,对于判断材料质量具有重要参考价值。

技术研发人员:王凤蕊;周晓燕;林宏奂;刘红婕;邓青华;石兆华;卓瑾;吴之清;邵婷;蒋晓东;黄进;叶鑫;李青芝;孙来喜;夏汉定
受保护的技术使用者:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
技术研发日:2018.03.29
技术公布日:2018.09.04
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