黑色着色组合物和包含其的黑色着色抗蚀剂组合物的制作方法

文档序号:17599269发布日期:2019-05-07 20:00阅读:277来源:国知局

本发明涉及一种新型黑色着色组合物和包含其的黑色着色抗蚀剂组合物,其用于液晶显示元件(液晶面板的黑色基质、着色间距、有机el显示装置的遮光部的形成)、固体摄像元件(以ccd、cmos为代表的摄像元件(图像传感器))、红外线传感器等所使用的红外透过(ir-pass)分散液等,分散性优异且绝缘性高、介电常数低、nmp抗性良好、光学浓度高。



背景技术:

在设置于液晶显示元件的彩色滤光片上的红色、绿色和蓝色像素的端部附近存在颜色重合或者未着色的部分,当光穿过该部分时,会发生映在显示器上的图像对比度变差或者渗色的现象。因此,为了防止这类情况的发生,在上述像素的端部附近可形成防止光透射的黑色基质。而且,以往就在进行使用通过配合多种黑色着色剂和树脂得到的黑色组合物来形成黑色基质的研究。

由于黑色基质的基本功能为防止光的透射,因此特别会使用碳黑作为遮光效果好的黑色着色剂,另外,也会用到含有颜料分散剂、碱性可溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂、有机溶剂的黑色基质用抗蚀剂组合物(例如参考专利文献1、专利文献2)。

另外,在黑色基质的形成中存在使红色、绿色和蓝色的像素图案同时在彩色滤光片侧形成的方法和在tft(薄膜晶体管)阵列基板侧形成的方法等,后者有可以提高各像素图案的开口率的优点。

但是,将黑色基质设置在tft阵列基板侧时,因为黑色基质直接与像素电极和tft接触,因此需要该黑色基质具有高绝缘性和低介电常数。

如此一来,在直接使用具有导电性的碳黑的黑色基质用抗蚀剂组合物中,则无法形成高绝缘性和低介电常数的膜。因此,为了解决该问题,本申请人提出了将通过绝缘性材料碳化二亚胺化合物对表面进行包覆处理后的碳黑用于黑色基质用抗蚀剂组合物的技术(例如参考专利文献3、专利文献4)。通过该方法,黑色基质的绝缘性虽然在某种程度上得到了改善,但是仅通过使用碳黑的体系很难实现最近市场进一步需求的更高绝缘性的类型。

相对于此,提出了使用多种有机颜料和碳黑的黑色基质(例如参考专利文献5)。但是,所提出的黑色基质存在nmp抗性不充分的问题。

另外,有机颜料具有高绝缘性,且将颜色混合后可得到黑色的色相(疑似黑色化)。利用该性质,还提出了由有机颜料、颜料分散剂、碱性可溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂、有机溶剂构成的疑似黑色化色相的黑色基质用抗蚀剂组合物(例如参考专利文献6、专利文献7)。但是,使用多种有机颜料时,由于颜料表面特性不同,有时难以得到良好的分散性。

因此,提出了使用由能得到良好分散性的有机颜料、颜料分散剂、碱性可溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂、有机溶剂构成的疑似黑色化色相的黑色基质用抗蚀剂组合物(例如参考专利文献8)。但是,更高的光学浓度和nmp抗性逐渐成为近年来的需求。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开平10-082908号公报

专利文献2:日本特开2000-227654号公报

专利文献3:国际公开第03/076527号公报

专利文献4:国际公开第04/000950号公报

专利文献5:日本特开2009-75446号公报

专利文献6:日本特开平04-013106号公报

专利文献7:日本特开平09-302265号公报

专利文献8:日本特开2014-228780号公报



技术实现要素:

本发明的课题是提供分散性优异且绝缘性高、介电常数低、nmp抗性良好、光学浓度高的新型黑色着色组合物及包含其的黑色着色抗蚀剂组合物。

本发明者进行了深入研究,结果发现了通过使用分散剂和特定的分散助剂使作为a.着色剂的以下1~6分散,进一步优选使用分散剂和特定的分散助剂使含有碳黑的着色剂分散,可获得良好的分散性,故而能够全部解决上述课题,从而完成了本发明,a.着色剂为:

1.a.sv49,

2.a.sv49和b.蓝色及/或者绿色颜料,

3.a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料和c.紫色颜料,

4.a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料和e.红色及/或者橙色颜料,

5.b1.pb60及/或者pb80、d.紫色着色剂和e.红色及/或者橙色颜料,

6.e1.选自po34、po72、pr57:1、pr149、pr170、pr179及pr214中至少一种、b.蓝色及/或者绿色颜料和d.紫色着色剂。

即,本发明如下:

(1)一种黑色着色组合物,其特征在于,作为a.着色剂,含有以下1~6的组合中任意一项:

1.a.sv49,

2.a.sv49和b.蓝色及/或者绿色颜料,

3.a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料和c.紫色颜料,

4.a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料和e.红色及/或者橙色颜料,

5.b1.pb60及/或者pb80、d.紫色着色剂和e.红色及/或者橙色颜料,

6.e1.选自po34、po72、pr57:1、pr149、pr170、pr179及pr214中至少一种、b.蓝色及/或者绿色颜料和d.紫色着色剂。

(2)根据(1)所述的黑色着色组合物,其特征在于,a.着色剂如下:

b.蓝色及/或者绿色颜料为选自pb15:3、pb15:4、pb15:6、pb16、pb60、pb75、pb79、pb80及pg54中的至少一种,

或c.紫色颜料为pv23及/或者pv29,

或d.紫色着色剂为选自pv23、pv29及sv49中的至少一种,

或e.红色及/或者橙色颜料为选自po34、po38、po43、po64、po69、po71、po72、po73、pr57:1、pr122、pr149、pr166、pr170、pr177、pr179、pr214、pr224、pr242、pr254、pr264及pr274中的至少一种。

(3)根据(1)所述的黑色着色组合物,其特征在于,a.着色剂如下:a.sv49和b.蓝色及/或者绿色颜料:选自pb15:3、pb15:4、pb15:6、pb16、pb60、pb80及pg54中的至少一种,

或a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料:选自pb15:3、pb15:4、pb15:6、pb16、pb60、pb80及pg54中的至少一种和c.紫色颜料:pv23及/或者pv29,

或a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料:选自pb15:3、pb15:4、pb15:6、pb16、pb60、pb80及pg54中的至少一种和e.红色及/或者橙色颜料:选自po34、po38、po43、po64、po69、po71、po72、po73、pr57:1、pr122、pr149、pr166、pr170、pr177、pr179、pr214、pr224、pr242、pr254、pr264及pr274中的至少一种,

或e1.po34、po72、b.蓝色及/或者绿色颜料:选自pg15、pg16、pb60、pb80及pg54中的至少一种和d.紫色着色剂:pv23、pv29及/或者sv49。

(4)根据(1)~(3)中任意一项所述的黑色着色组合物,其特征在于,作为a.着色剂,含有碳黑及/或者内酰胺黑。

(5)根据(1)~(4)中任意一项所述的黑色着色组合物,其特征在于,含有:

b.具有磺酸基的分散助剂

c.分散剂

d.粘合剂树脂

e.有机溶剂。

(6)根据(1)~(5)中任意一项所述的黑色着色组合物,其特征在于,含有f.多官能环氧化合物。

(7)根据(5)所述的黑色着色组合物,其特征在于,b.具有磺酸基的分散助剂为下述通式(1)及/或者(2)所表示的分散助剂及/或者颜料黄138的磺化物,

式中,x和y相同或者不同,表示可被f、c1、br、no2、ch3或者och3取代的苯基,m表示h、na、k、nh4或者nr1r2r3r4,其中r1、r2、r3以及r4相同或者不同,表示可以被其他取代基取代的碳原子数1~10的饱和或者不饱和脂肪族烃基或者可以被其他取代基取代的碳原子数6~10的芳香烃基,m表示1以上的整数。

(8)根据(6)所述的黑色着色组合物,其特征在于,通式(1)及/或者(2)所表示的分散助剂的x为2,5-二氯苯基,y为苯基。

(9)根据(5)所述的黑色着色组合物,其特征在于,c.分散剂为含碱性基团的丙烯酸树脂类分散剂。

(10)根据(6)所述的黑色着色组合物,其特征在于,f.多官能环氧化合物为具有二苯甲烷骨架、二萘甲烷骨架、三嗪骨架、线性酚醛骨架、四苯乙烷骨架、双酚骨架以及联苯骨架中至少一种骨架的多官能环氧化合物。

(11)根据(5)所述的黑色着色组合物,其特征在于,d.粘合剂树脂含有碱可溶性树脂。

(12)一种黑色着色抗蚀剂组合物,其特征在于,含有(1)~(11)中任意一项所述的黑色着色组合物、碱可溶性树脂、光聚合性化合物和光聚合引发剂。

根据本发明,通过成为含有特定的有机颜料的黑色着色组合物及黑色着色抗蚀剂组合物,可以发挥分散性优异、绝缘性高、介电常数低、nmp抗性良好、光学浓度和红外线透过率高、遮光性也优异、进而流动性和分散稳定性优异的显著效果。

具体实施方式

对本发明的黑色着色组合物(以下也简称为“着色组合物”)进行进一步详细的说明。

本发明的着色组合物,作为a.着色剂,以含有的以下1~6中的任意一项为基础:

1.a.sv49,

2.a.sv49和b.蓝色及/或者绿色颜料,

3.a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料和c.紫色颜料,

4.a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料和e.红色及/或者橙色颜料,

5.b1.pb60及/或者pb80、d.紫色着色剂和e.红色及/或者橙色颜料,

6.e1.选自po34、po72、pr57:1、pr149、pr170、pr179及pr214中的至少一种、b.蓝色及/或者绿色颜料和d.紫色着色剂。下面,对以这些着色剂为代表的构成材料进行说明。

[a.着色剂]

本发明,作为a.着色剂,使用以含有以下1~6中的任意一项为基础的着色剂:

1.a.sv49,

2.a.sv49和b.蓝色及/或者绿色颜料,

3.a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料和c.紫色颜料,

4.a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料和e.红色及/或者橙色颜料,

5.b1.pb60及/或者pb80、d.紫色着色剂和e.红色及/或者橙色颜料,

6.e1.选自po34、po72、pr57:1、pr149、pr170、pr179及pr214中至少一种、b.蓝色及/或者绿色颜料和d.紫色着色剂。

进而,从着色组合物以及黑色着色抗蚀剂组合物的耐热性、光学浓度、nmp抗性的均衡性方面考虑,作为a.着色剂,优选使用含有如下物质的着色剂:b.蓝色及/或者绿色颜料:选自pb15:3、pb15:4、pb15:6、pb16、pb60、pb75、pb79、pb80及pg54中的至少一种,

或c.紫色颜料:pv23及/或者pv29,

或d.紫色着色剂:选自pv23、pv29及sv49中的至少一种,

或e.红色及/或者橙色颜料:po34、po38、po43、po64、po69、po71、po72、po73、pr57:1、pr122、pr149、pr166、pr170、pr177、pr179、pr214、pr224、pr242、pr254。

进而,从nmp抗性方面考虑,优选使用含有如下物质的着色剂:

a.sv49和b.蓝色及/或者绿色颜料:选自pb15:3、pb15:4、pb15:6、pb16、pb60、pb80及pg54中的至少一种,

或a.sv49和b.蓝色及/或者绿色颜料:选自pb15:3、pb15:4、pb15:6、pb16、pb60、pb80及pg54中的至少一种,c.紫色颜料:pv23及/或者pv29,

或a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料:选自pb15:3、pb15:4、pb15:6、pb16、pb60、pb80及pg54中的至少一种和e.红色及/或者橙色颜料:选自po34、po38、po43、po64、po69、po71、po72、po73、pr57:1、pr122、pr149、pr166、pr170、pr177、pr179、pr214、pr224、pr242、pr254、pr264及pr274中的至少一种,

或e1.po34、po72、b.蓝色及/或者绿色颜料:选自pg15、pg16、pb60、pb80及pg54中的至少一种和d.紫色着色剂:pv23、pv29及/或者sv49。

不使用碳黑、内酰胺黑时,优选配合比率如下:

a.sv49和b.蓝色及/或者绿色颜料的配合比率为a:b=90~30:10~70,

a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料和c.紫色颜料的配合比率为a:b:c=15~50:20~60:10~40,

a.sv49、b.蓝色及/或者绿色颜料和e.红色及/或者橙色颜料的配合比率为a:b:e=10~80:5~60:5~60,

b1.pb60及/或者pb80和d.紫色着色剂和e.红色及/或者橙色颜料的配合比率为b1:d:e=10~70:10~60:10~60,

e1.选自po34、po72、pr57:1、pr149、pr170、pr179及/或者pr214中的至少一种、b.蓝色及/或者绿色颜料和d.紫色着色剂的配合比率为e1:b:d=10~60:10~70:10~60。

进一步要求更高的光学浓度时,作为着色剂优选合用碳黑及/或者内酰胺黑。通过成为本发明的着色成分,可以得到良好的光学浓度。

(碳黑)

作为构成本发明黑色着色组合物的碳黑,优选使用平均一次粒径为20~60nm的中性碳黑及/或者平均一次粒径为20~60nm的酸性碳黑。

作为中性碳黑,优选ph大于9,具体而言,可列举degussa公司制的printex25(平均一次粒径为56nm,ph9.5)、printex35(平均一次粒径为31nm,ph9.5)、printex65(平均一次粒径为21nm,ph9.5)、三菱化学公司制的ma#20(平均一次粒径为40nm,ph8.0)、ma#40(平均一次粒径为40nm,ph8.0)、ma#30(平均一次粒径为30nm,ph8.0)等。

作为酸性碳黑,优选ph在2~4范围内,具体而言,可列举colombiachemicals公司制的raven1080(平均一次粒径为28nm,ph2.4)、raven1100(平均一次粒径为32nm,ph2.9)、三菱化学公司制的ma-8(平均一次粒径为24nm,ph3.0)、ma-100(平均一次粒径为22nm,ph3.5)、degussa公司制的specialblack250(平均一次粒径为56nm,ph3.0)、specialblack350(平均一次粒径为31nm,ph3.0)、specialblack550(平均一次粒径为25nm,ph4)。

ph可以通过将1g碳黑添加进20ml去除碳酸的蒸馏水(ph7.0)中,用磁力搅拌器进行混合并制备成水性混悬液,并使用玻璃电极在25℃下进行测定(德国工业品标准规格diniso787/9)。

平均一次粒径为通过电子显微镜观察到的算数平均直径的值。

且,上述碳黑的ph和平均一次粒径值为产品目录值。

合用碳黑时,在着色剂中优选将其配合成为30质量%以下。

(内酰胺黑)

作为内酰胺黑,可以使用拥有以下结构的公知的内酰胺黑。具体而言,可以列举irgaphorblacks0100cf(basf公司制)等。使用内酰胺黑时,优选在着色剂中将其配合成为50质量%以下。

且,在黑色着色组合物中优选将碳黑和内酰胺黑的总量配合成为60质量%以下。

(其他着色剂)

在不破坏本发明效果的范围内,可以合用上述成分a与黄色颜料等其他着色剂。作为这样的着色剂,可以使用以往使用的公知的着色剂。

作为优选的黄色颜料,可以列举py83、110、128、138、139、150、151、154、155、180、181等。

在本发明中,作为上述“黑色着色组合物”,具体而言,例如在制备后述的黑色着色抗蚀剂组合物时,用匀胶机将该黑色着色抗蚀剂组合物以1μm的膜厚涂布在玻璃基板上,用macbeth浓度计(td-931、macbeth公司制)来测定只在实地部形成的黑色着色抗蚀剂图案。需要光学浓度(od值)在0.6以上,更优选1.2以上,进一步优选1.4以上。

[b.具有磺酸基的分散助剂]

在本发明的黑色着色组合物中,上述b.具有磺酸基的分散助剂可用于分散上述着色剂。

作为本发明中具有磺酸基的分散助剂,可列举用下述通式(1)及/或者(2)表示的化合物、颜料黄138的磺化物、具有酞菁骨架的磺化物、具有蒽醌骨架的磺化物、具有萘骨架的磺化物等。

本发明中的具有磺酸基的分散助剂中,优选使用下述通式(1)及/或者(2)表示的化合物及/或者颜料黄138的磺化物。分散着色剂时,通过合用该具有磺酸基的分散助剂和含碱性基团的分散剂,在黑色着色组合物中,可以得到优异的流动性、分散稳定性。另外,将上述黑色着色组合物作为黑色着色抗蚀剂组合物使用时,可以得到高光学浓度。

对上述用通式(1)及/或者(2)所表示的化合物进行说明。

在上述通式(1)、(2)中,x和y相同或者不同,表示可被f、c1、br、no2、ch3或者och3取代的苯基。m表示h、na、k、nh4或者nr1r2r3r4。

关于上述通式(1)、(2)的“nr1r2r3r4”(m),r1、r2、r3以及r4相同或者不同,表示可以被其他取代基取代的碳原子数1~10的饱和或者不饱和脂肪族烃基或者可以被其他取代基取代的碳原子数6~10的芳香族烃基。在这里,作为上述饱和或者不饱和的脂肪族烃基,可列举甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、辛基、癸基等的烷基;乙烯基、烯丙基、1-丁烯基等的链烯基;乙炔基、丙炔基等的炔基等。作为上述芳香族烃基,可列举苯基、萘基等。另外,作为上述其他的取代基,可列举羟基、卤代基、羧基、氨基、低级烷基(碳原子数1~5)等。

且,上述r1r2r3及r4中的1个可被其他取代基取代,也可以2个以上被其他取代基取代。

进而,上述通式(1)、(2)的“m”为1以上的整数。

在上述化合物(分散助剂)中,上述通式(1)所表示的化合物为烯醇型、上述通式(2)所表示的化合物为酮型的互变异构体,上述分散助剂中包含这两种化合物。即上述分散助剂包括由上述通式(1)或(2)所表示的化合物构成的情况以及由上述通式(1)及(2)所表示的化合物的两者所构成的情况中的任一种。

这样的分散助剂为新型化合物,例如可通过如下方式制造,将以下述式(3)~(30)的单偶氮化合物溶解在浓硫酸、发烟硫酸、氯磺酸或者它们的混合液中,加热到室温乃至80~90℃,接下来用大量的水进行稀释,并将得到的悬浊液过滤后进行水洗,再将得到的滤饼干燥、粉碎,尚不存在市售品。

在这些具有磺酸基的分散助剂中,从拥有良好的流动性和分散稳定性的同时,能够得到更高光学浓度的黑色着色抗蚀剂组合物方面考虑,上述式(1)及/或者(2)的x为2,5-二氯苯基、y为苯基的下述通式(31)所表示的化合物(用上述式(3)的单偶氮化合物,通过上述制造方法得到的化合物:烯醇型)及/或者下述通式(32)所表示的化合物(用上述式(4)的单偶氮化合物,通过上述制造方法得到的化合物:酮型)尤为合适。

本发明中的具有磺酸基的分散助剂的合计使用量,相对于总着色剂100质量份,通常优选为30质量份以下,更优选为0.1~20质量份。存在具有磺酸基的分散助剂的使用量即使超过上述范围,其分散效果未必再提高的趋势。

且,作为用于分散有机颜料的具有磺酸基的分散助剂,除了上述记载的具有磺酸基的分散助剂之外,也可以合用其他分散助剂。

[c.分散剂]

作为本发明中的c.分散剂,可以使用阴离子性表面活性剂、含碱性基团的聚酯类分散剂、含碱性基团的丙烯酸树脂类分散剂、含碱性基团的聚氨酯类树脂分散剂、含碱性基团的碳化二亚胺类树脂分散剂等。

这些分散剂可以单独使用,另外也可2种以上组合使用。其中,从能够得到良好分散性的方面考虑,优选使用含碱性基团的聚酯类分散剂、含碱性基团丙烯酸类树脂分散剂、含碱性基团的聚氨酯类树脂分散剂、含碱性基团的碳化二亚胺类树脂分散剂。

作为具有碱性基团的高分子分散剂,例如,可列举如下化合物:

(1)聚胺化合物(例如,聚烯丙胺、聚乙烯胺、聚乙烯聚亚胺等的聚(低级)亚烷基胺等)的氨基及/或亚氨基与选自具有游离羧基的聚酯、聚酰胺及聚酯酰胺中的至少1种的反应生成物。

(2)在分子内分别具有至少1个选自聚酯侧链、聚醚侧链及聚丙烯侧链中至少1种的侧链与碱性含氮基团的碳化二亚胺类化合物。

(3)聚(低级)亚烷基亚胺、甲基亚氨基双丙基胺等的低分子氨化合物与具有游离的羧基的聚酯的反应生成物。

(4)使聚异氰酸酯化合物的异氰酸酯基依次与甲氧基聚乙二醇等的醇类、己内酯聚酯等具有1个羟基的聚酯类、具有2~3个的异氰酸酯基反应性官能团的化合物、具有异氰酸酯基反应性官能团和叔氨基的脂肪族或杂环式烃化合物反应而得的反应生成物。

(5)使具有醇性羟基的丙烯酸酯的聚合物与聚异氰酸酯化合物以及具有氨基的烃化合物反应的反应生成物。

(6)使低分子氨化合物加成聚醚链而得的反应生成物。

(7)使具有异氰酸酯基的化合物与具有氨基的化合物反应而得的反应生成物。

(8)使聚环氧化合物与具有游离的羧基的线状聚合物及具有1个仲氨基的有机胺化合物反应的反应生成物。

(9)在单侧末端具有可与氨基反应的官能团的聚碳酸酯化合物与聚胺化合物的反应生成物。

(10)选自甲基丙烯酸甲酯、乙基丙烯酸甲酯、丙基丙烯酸甲酯、丁基丙烯酸甲酯、硬脂基丙烯酸甲酯、苄基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸酯、乙基丙烯酸酯、丙基丙烯酸酯、丁基丙烯酸酯、硬脂基丙烯酸酯、苄基丙烯酸酯等的丙烯酸甲酯或丙烯酸酯中的至少1种与丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、n-羟甲基酰胺、乙烯基咪唑、乙烯基吡啶、具有氨基和聚己内酯骨架的单体等的含有碱性基团的聚合性单体中的至少1种以及苯乙烯、苯乙烯衍生物、其它的聚合性单体中的至少1种的共聚物。

(11)由叔氨基、季铵碱等具有碱性基团的嵌段与不具有碱性官能团的嵌段所构成的丙烯酸类嵌段共聚物等。

(12)使聚烯丙胺与聚碳酸酯化合物进行迈克尔加成反应而得的分散剂。

(13)分别具有至少一个聚丁二烯链和碱性含氮基团的碳化二亚胺类化合物。

(14)在分子内分别具有至少1个具有酰胺基的侧链和碱性含氮基团的碳化二亚胺类化合物。

(15)具有含有环氧乙烷链和环氧丙烷链的构成单元且具有通过季铵化剂而季铵化的氨基的聚氨酯类化合物或丙烯酸类化合物。

(16)如下化合物:使分子内具有异氰尿酸酯环的异氰酸酯化合物的异氰酸酯基与分子内具有活性氢基且具有咔唑环及/或偶氮苯骨架的化合物的活性氢基反应而得,相对于该化合物的分子内来自具有异氰尿酸酯环的异氰酸酯化合物的异氰酸酯基和通过异氰酸酯基与活性氢基反应所生成的氨基甲酸酯键及尿素键的总量,咔唑环和偶氮苯骨架的数目为15~85%等。

在这些含碱性基团的高分子分散剂中,更优选含碱性基团的氨基甲酸类高分子分散剂、含碱性基团的聚酯类高分子分散剂、含碱性基团的丙烯酸类高分子分散剂,更优选含氨基的氨基甲酸类高分子分散剂、含氨基的聚酯类高分子分散剂、含氨基的丙烯酸类高分子分散剂。特别优选含碱性基团的丙烯酸类高分子分散剂。

含碱性基团的分散剂的使用量,相对于a成分100质量份,优选1~200质量份,更优选1~60质量份。

[d.粘合剂树脂]

在上述黑色着色组合物中,作为上述d.粘合剂树脂,可列举热固化性树脂、热塑性树脂、碱可溶性树脂、光聚合性化合物(光聚合性树脂、在分子内具有1个以上的光聚合性不饱和键的单体、低聚物等)等。这些可单独使用或2种以上配合使用。

其中,从进行用碱性溶液引起显影的碱显影性方面考虑,优选使用碱可溶性树脂。

这样的粘合剂树脂相对于上述黑色着色组合物的总固体成分,以质量分率表示并以使用的粘合剂树脂的总量计,优选为0.5~94质量%,更优选为0.5~50质量%的范围。

作为上述热固化性树脂和热塑性树脂,例如,可列举丁醛树脂、苯乙烯-马来酸共聚物、氯化聚乙烯、氯化聚丙烯、聚氯乙烯、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、聚乙酸乙烯酯、聚氨酯类树脂、酚醛树脂、聚酯树脂、丙烯酸类树脂、醇酸树脂、苯乙烯树脂、聚酰胺树脂、橡胶类树脂、环化橡胶、环氧树脂、纤维素类、聚丁二烯、聚酰亚胺树脂、苯并胍胺树脂、三聚氰胺树脂、尿素树脂等。

作为上述碱可溶性树脂,例如优选如下含羧基的碱可溶性树脂:使丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、马来酸、马来酸酐、马来酸单烷基酯、柠康酸、柠康酸酐、柠康酸单烷基酯等含羧基不饱和单体和选自苯乙烯、2-羟乙基丙烯酸酯、2-羟乙基丙烯酸甲酯、丙烯酸烯丙酯、甲基丙烯酸烯丙酯、苄基丙烯酸酯、苄基丙烯酸甲酯、甘油基单丙烯酸酯、甘油基丙烯酸甲酯、具有二环戊二烯骨架、三环丙烷环己烷环的单(甲基)丙烯酸酯、n-苯基马来酰亚胺、聚苯乙烯大分子单体及聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体中的至少一种反应所得到的共聚物。

其中,从提高耐热性的方面考虑,优选能够得到高耐热性的碱可溶性丙烯酸类树脂。

从成膜性、碱显影性方面考虑,优选碱可溶性树脂的酸值为10~300mgkoh/g,重均分子量为1,000~200,000,进一步优选酸值为20~200mgkoh/g,重均分子量为3,000~100,000。

根据需要的功能,碱可溶性树脂可以适当使用1种或者组合2种以上来使用。重均分子量为聚苯乙烯换算后的重均分子量,与所述含酸性基团的树脂同样地进行测定。

作为上述光聚合性化合物的光聚合性树脂,可使用经由异氰酸酯基、醛基、环氧基等将(甲基)丙烯酸化合物、肉桂酸等的光交联性基团导入具有羟基、羧基、氨基等反应性取代基的线状高分子的树脂。也可使用将苯乙烯-马来酸酐共聚物、α-烯烃-马来酸酐共聚物等的包含酸酐的线状高分子用羟烷基(甲基)丙烯酸酯等的具有羟基的(甲基)丙烯酸化合物进行半酯化的聚合物。

作为上述光聚合性化合物的分子内具有1个光聚合性不饱和键的单体,可列举甲基丙烯酸甲酯、丁基丙烯酸甲酯、2-乙基己基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸酯、丁基丙烯酸酯、2-乙基己基丙烯酸酯等的烷基丙烯酸甲酯或丙烯酸酯;苄基丙烯酸甲酯、苄基丙烯酸酯等的芳烷基丙烯酸甲酯或丙烯酸酯;丁氧基乙基丙烯酸甲酯、丁氧基乙基丙烯酸酯等的烷氧基烷基丙烯酸甲酯或丙烯酸酯;n,n-二甲基氨基乙基丙烯酸甲酯、n,n-二甲基氨基乙基丙烯酸酯等的氨基烷基丙烯酸甲酯或丙烯酸酯;二乙二醇乙基醚、三乙二醇丁基醚、二丙二醇甲基醚等的聚亚烷基二醇烷基醚的丙烯酸甲酯或丙烯酸酯;六乙二醇苯基醚等的聚亚烷基二醇芳基醚的丙烯酸甲酯或丙烯酸酯;异冰片基丙烯酸甲酯或丙烯酸酯;甘油基丙烯酸甲酯或丙烯酸酯;2-羟乙基丙烯酸甲酯或丙烯酸酯等。

作为上述光聚合性化合物的分子内具有2个以上光聚合性不饱和键的单体,可列举双酚a二丙烯酸甲酯、1,4-丁二醇二丙烯酸甲酯、1,3-丁二醇二丙烯酸甲酯、二乙二醇二丙烯酸甲酯、甘油基二丙烯酸甲酯、新戊二醇二丙烯酸甲酯、聚乙二醇二丙烯酸甲酯、聚丙二醇二丙烯酸甲酯、四乙二醇二丙烯酸甲酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸甲酯、季戊四醇三丙烯酸甲酯、季戊四醇四丙烯酸甲酯、二季戊四醇四丙烯酸甲酯、二季戊四醇六丙烯酸甲酯、二季戊四醇五丙烯酸甲酯、双酚a二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、甘油基二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯等。

[e.有机溶剂]

作为本发明的黑色着色组合物所使用的有机溶剂,为可以稳定地分散以往所使用的着色剂,且可以使上述b.具有磺酸基的分散助剂、c.分散剂、d.粘合剂树脂溶解的有机溶剂,优选常压下(1.013×102kpa)沸点为100~250℃的酯类有机溶剂、醚类有机溶剂、醚酯类有机溶剂、酮类有机溶剂、芳香族烃类有机溶剂、含氮类有机溶剂等。

作为这样的溶剂,具体而言,可例示乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丁基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚等的醚类有机溶剂;乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、乙二醇单丁基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯等的醚酯类有机溶剂;甲基异丁基酮、环己酮、2-庚酮、δ-丁内酯等的酮类有机溶剂;2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、甲酸-n-戊酯等的酯类有机溶剂;甲醇、乙醇、异丙基醇、丁醇等的醇类溶剂;n-甲基吡咯烷酮、n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基乙酰胺等的含氮类有机溶剂等。这些可单独或2种以上混合使用。

[f.多官能环氧化合物]

本发明的黑色着色组合物优选含有多官能环氧化合物。

使用酸性碳黑时,由于多官能环氧化合物和存在于酸性碳黑表面的官能团恰好的相互作用,从而能赋予高绝缘性。

另外,使用本发明的黑色着色组合物的黑色着色抗蚀剂组合物,在形成热固化性图案时能够有效地发挥作用。

作为上述多官能环氧化合物,可列举以往用于形成黑色着色组合物的多官能环氧化合物。

作为上述多官能环氧化合物,可例示具有选自二苯甲烷骨架、二萘甲烷骨架、三嗪骨架、联苯骨架、线性酚醛骨架、四苯乙烷骨架及双酚骨架等中至少一种骨架的多官能环氧化合物。

在上述多官能环氧化合物中,优选具有选自二苯甲烷骨架、二萘甲烷骨架、三嗪骨架以及联苯骨架中至少一种骨架的多官能环氧化合物。

作为具有选自上述二苯甲烷骨架、二萘甲烷骨架、三嗪骨架以及联苯骨架中至少一种骨架的多官能环氧化合物,可例示:

商品名:tepic(日产化学公司制)、

商品名:epiclon830(dic公司制)、

商品名:jer-yx-4000(三菱化学公司制)、

商品名:jer-604(三菱化学公司制)等。在上述多官能环氧化合物中,优选4官能以上的多官能环氧化合物。认为只要是上述4官能以上的多官能环氧化合物,则由于高温下的膜维持性优异,从而能够维持蓬松度的同时保证高绝缘性。上述4官能以上的多官能环氧化合物更优选具有二苯甲烷骨架、二萘甲烷骨架、三嗪骨架以及联苯骨架的4官能以上的多官能环氧化合物。作为这样的化合物,可列举商品名:jer-604(三菱化学公司制)的商品。

相对于上述总着色剂100质量份,上述多官能环氧化合物含有0.1~20质量份。上述多官能环氧化合物的含量低于0.1质量份时,有时会发生无法得到高抗性的黑色着色组合物等问题,另一方面,上述多官能环氧化合物的含量高于20质量份时,由于环氧基的聚合而可能会破坏分散液的稳定性。

本发明的黑色着色组合物优选主要由上述a~f成分构成,这些成分在黑色着色组合物中通常占90~100质量%。

(可根据需要添加的添加剂)

根据黑色着色组合物的制造方法,可以适当使用光聚合引发剂、热阻聚剂、紫外线吸收剂、抗氧化剂等的各种添加剂、光聚合性化合物。作为上述光聚合引发剂,例如,可列举后述的光聚合性引发剂。

[黑色着色组合物的制造方法]

对使用以上材料来制造着色组合物的方法的例子进行说明。

作为分散处理方法,例如,可例示在分散不含有碳黑、内酰胺黑的着色成分时,将a.上述1~6的组合中任意一种着色剂和含有b~f成分的混合物使用辊磨机、捏合机、高速搅拌机、珠磨机、球磨机、砂磨机、超声波分散机、高压分散装置等进行分散处理的方法等。

作为a.着色剂使用碳黑、内酰胺黑时,可例示如下方法:(1)将a.上述1~6的组合中任意一种着色剂、碳黑及/或者内酰胺黑和含有b~f成分的混合物使用辊磨机、捏合机、高速搅拌机、珠磨机、球磨机、砂磨机、超声波分散机、高压分散装置等进行分散处理的方法,(2)将a.上述1~6的组合中任意一种着色剂、根据需要的内酰胺黑和包含b~f成分的混合物使用辊磨机、捏合机、高速搅拌机、珠磨机、球磨机、砂磨机、超声波分散机、高压分散装置等进行分散处理,将得到的混合物和碳黑使用辊磨机、捏合机、高速搅拌机、珠磨机、球磨机、砂磨机、超声波分散机、高压分散装置等进行分散处理的方法,(3)将a.上述1~6的组合中任意一种着色剂和含有b~f成分的混合物、碳黑和包含b~e成分的混合物及/或者内酰胺黑和包含b~e成分的混合物分别进行分散处理,将获得的各分散物进行混合处理的方法等。

且,也可以在分散处理之后再添加f成分进行混合处理。

使用碳黑作为a.着色剂并使a成分和碳黑共分散时,由于存在会发生碳黑过度分散的趋势,因此优选对a.1~6的着色剂和碳黑分别进行分散处理。

下面,对将本发明的黑色着色组合物用于光刻法的黑色着色抗蚀剂组合物(以下也简称“抗蚀剂组合物”)的例子进行说明。

作为上述黑色着色抗蚀剂组合物,主要由着色剂、分散剂、含磺酸基的分散助剂、粘合剂树脂、光聚合引发剂以及有机溶剂构成,作为上述粘合剂树脂,可列举包含碱可溶性树脂以及光聚合性化合物的粘合剂树脂。

<黑色着色抗蚀剂组合物的构成材料>

(着色剂)

作为着色剂,使用与上述黑色着色组合物中记载的相同物质。

着色剂的使用量相对于黑色着色抗蚀剂组合物的总固体成分,以质量分率表示且以使用的着色剂的总量计,优选20~90质量%,更优选30~60质量%。

(含磺酸基的分散助剂)

作为含磺酸基的分散助剂,使用与上述黑色着色组合物中记载的相同物质。

在黑色着色抗蚀剂组合物中,相对于所使用的全部着色剂100质量份,含磺酸基的分散助剂的使用量通常优选为30质量份以下,更优选0.1~20质量份的范围。存在即使含磺酸基的分散助剂的使用量超过上述范围,分散效果也不会再提高的趋势。

(分散剂)

作为分散剂,使用与上述黑色着色组合物中记载的相同物质。

在黑色着色抗蚀剂组合物中,相对于使用的全部着色剂100质量份,分散剂的使用量通常优选1~200质量份,更优选1~60质量份。分散剂的使用量不足1质量份时,有时会存在分散性变差的情况。另一方面,相对于使用的全部着色剂100质量份,超过200质量份时,有时会存在显影性变差的情况。

(作为粘合剂树脂的碱可溶性树脂)

作为碱可溶性树脂,使用与上述黑色着色组合物中记载的相同物质。

在黑色着色抗蚀剂组合物中,相对于使用的全部着色剂100质量份,碱可溶性树脂的使用量通常优选10~1,000质量份,更优选10~500质量份。此时,碱可溶性树脂的使用量小于10质量份时,例如,存在碱显影性变差或在未曝光部的基板上或遮光层上产生浮渣、膜残留的可能性。另一方面,当超过1,000质量份时,着色剂浓度反而会相对降低,因此存在制成薄膜时难以达到目标光学浓度的可能性。

(作为粘合剂树脂的光聚合性化合物)

作为光聚合性化合物,为分子内具有1个以上光聚合性不饱和键的单体、低聚物等,使用上述着色组合物中记载的相同物质。

这些光聚合性化合物可以单独使用或者2种以上组合使用。光聚合性化合物的使用量,相对于上述黑色着色抗蚀剂组合物中的总固体成分,以质量分率计优选3~50质量%。

(光聚合引发剂)

作为光聚合引发剂没有特别限定,例如可列举二苯甲酮、n,n’-四乙基-4,4’-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4’-二甲基氨基二苯甲酮、苯偶酰、2,2-二乙氧基苯乙酮、安息香、安息香甲基醚、安息香异丁基醚、苄基二甲基缩酮、α-羟基异丁基苯酮、噻吨酮、2-氯噻吨酮、1-羟基环己基苯酮、叔丁基蒽醌、1-氯蒽醌、2,3-二氯蒽醌、3-氯-2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、1,4-萘醌、1,2-苯并蒽醌、1,4-二甲基蒽醌、2-苯蒽醌、2-甲基-1[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基丙烷-1-酮、肟酯类光聚合引发剂、三嗪类光聚合引发剂等。这些光聚合引发剂可单独或2种以上合并使用。

上述光聚合引发剂的使用量,相对于上述黑色着色抗蚀剂组合物中的总固体成分,以质量分率计优选1~20质量%。

(有机溶剂)

作为上述黑色着色抗蚀剂所使用的有机溶剂,优选可列举常压下(1.013×102kpa)沸点为100~250℃的酯类有机溶剂、醚类有机溶剂、醚酯类有机溶剂、酮类有机溶剂、芳香族烃类有机溶剂、含氮类有机溶剂等。当大量含有沸点超过250℃的有机溶剂时,在将涂布形成的涂膜预烘时,有机溶剂不能充分蒸发而残留于干燥涂膜内,干燥涂膜的耐热性可能会变差。另外,当大量含有沸点小于100℃的有机溶剂时,难以做到无斑驳且均匀地涂布,可能无法得到表面平滑性优异的涂膜。

作为优选的溶剂,具体而言,可列举与上述黑色着色组合物所使用的有机溶剂相同的物质。

在这些有机溶剂中,从溶解性、分散性、涂布性等方面考虑,优选二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、环己酮、2-庚酮、2-羟基丙酸乙酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、甲酸-n-戊酯等,更优选丙二醇单甲基醚乙酸酯。

进而,从上述碱可溶性树脂的溶解性、分散性、涂布性的方面考虑,在上述黑色着色抗蚀剂组合物中优选使这些有机溶剂的含量在50质量%以上,更优选含有70质量%以上。

作为上述黑色着色抗蚀剂组合物,可列举主要由着色剂、分散剂、含磺酸基的分散助剂、碱可溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及有机溶剂构成的物质,这些成分在黑色着色抗蚀剂组合物中通常占90~100质量%。

(可根据需要添加的添加剂)

上述黑色着色抗蚀剂组合物中,根据需要可以适当使用热阻聚剂、紫外线吸收剂、抗氧化剂等各种添加剂。

<黑色着色抗蚀剂组合物的制造方法>

示出使用以上材料制造黑色着色抗蚀剂组合物的方法的一个例子。

〔制造方法〕

在用上述黑色着色抗蚀剂组合物的制造方法得到的黑色着色组合物中添加光聚合性化合物、光聚合引发剂、根据需要的碱可溶性树脂、有机溶剂、其他添加剂,使用高速搅拌机等搅拌装置均匀混合后,用过滤器过滤,从而得到黑色着色抗蚀剂组合物。

实施例

下面对本发明1个实施例的黑色基质用着色组合物以及包含其的黑色基质用着色抗蚀剂组合物进行说明。

使用实施例对本发明进行具体的说明,本发明只要不脱离其主旨和适用范围,并不限定于这些实施例。且,只有没有特殊声明,本实施例中“份”以及“%”分别表示“质量份”以及“质量%”。

<着色剂>

pv23(颜料紫23)

pv29(颜料紫29)

sv49(溶剂紫49)

pb15(颜料蓝15:3)

pb15(颜料蓝15:4)

pb15(颜料蓝15:6)

pb16(颜料蓝16)

pb60(颜料蓝60)

pb75(颜料蓝75)

pb79(颜料蓝79)

pb80(颜料蓝80)

pg54(颜料绿54)

pg60(颜料绿60)

po34(颜料橙34)

po38(颜料橙38)

po43(颜料橙43)

po64(颜料橙64)

po69(颜料橙69)

po71(颜料橙71)

po72(颜料橙72)

po73(颜料橙73)

pr57:1(颜料红57:1)

pr122(颜料红122)

pr149(颜料红149)

pr166(颜料红166)

pr170(颜料红170)

pr177(颜料红177)

pr179(颜料红179)

pr214(颜料红214)

pr224(颜料红224)

pr242(颜料红242)

pr254(颜料红254)

pr264(颜料红264)

pr274(颜料红274)

碳黑(酸性碳黑)

内酰胺黑(irgaphorblacks0100,cf、basf公司制)

苝黑

<含碱性基团的高分子分散剂>

byk-lpn-22102(公司名:毕克化学公司制,含碱性基团的丙烯酸类嵌段共聚物)

<含磺酸基的分散助剂>

(分散助剂1)

在100ml三角烧瓶中加入30ml浓硫酸,一边用磁力搅拌器搅拌一边投入10g颜料红2(上述式(3)及/或者(4)所表示的化合物),在室温下搅拌30分钟。在1l烧杯中装入50g水和50g冰的混合物,将上述反应物注入该冰水中,用磁力搅拌器搅拌30分钟。将其在减压下过滤·水洗,再将所得到的固体干燥,从而得到12g目标物质(上述通式(31)及/或者(32)所表示的化合物:m=h)。(分散助剂2)

在100ml三角烧瓶中加入30ml浓硫酸,一边用磁力搅拌器搅拌一边投入10gc.i.颜料黄138,在室温下搅拌30分钟。在1l烧杯中装入50g水和50g冰的混合物,将上述反应物注入该冰水中,用磁力搅拌器搅拌30分钟。将其在减压下过滤·水洗,再将所得到的固体干燥,从而得到12g目标物质颜料黄138的磺化物。

<碱可溶性树脂>

bmm/maa共聚物(苄基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物,理论酸值:120mgkoh/g,重均分子量:25,000)

<光聚合性化合物>

dpeha(二季戊四醇六丙烯酸酯)

<光聚合引发剂>

irgacureoxe02(1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9h-咔唑-3-基]-乙酮-1-(o-乙酰肟))

<有机溶剂>

pgmea(丙二醇单甲基醚乙酸酯)

pgme(丙二醇单甲基醚)

(黑色基质用着色组合物的制造)

将表1~3中记载的组成的混合物用循环式珠磨机在以下条件进行混炼,得到实施例a1~37以及对比例a1~5涉及的黑色基质用着色组合物。且,表示组成的数值单位为质量%。

循环式珠磨机:内容量150ml

循环的混合物的量:1kg

分散负载:100%

循环温度:50℃

圆周速度:9~10m/s

出料量:200g/min

循环时间:2小时

表1

表2

表3

(黑色基质用着色抗蚀剂组合物的制造)

使上述实施例a1~37以及对比例a1~5涉及的黑色基质用着色组合物和其他材料成为表4~6的组成,使用高速搅拌机混合均匀后,用孔径3μm的过滤器过滤,得到实施例b1~37以及对比例b1~5的黑色基质用着色抗蚀剂组合物。

表4

表5

表6

<评价试验>

对于通过上述各实施例及对比例得到的黑色基质用着色组合物以及黑色基质用着色抗蚀剂组合物,用下述方法评价其分散稳定性、光学浓度、表面电阻值、耐溶剂性、涂膜色相、过滤性,其结果如表1~6所示。

(初始粘度,40℃/7天保存后粘度(分散稳定性))

将上述实施例、对比例的黑色基质用着色组合物及黑色基质用着色抗蚀剂组合物分别采集入玻璃瓶并塞严,使用b型粘度计(tokimec公司制)测定在室温下保存1天后于25℃的粘度[cp](初始粘度)和在40℃下保存7天后的粘度[cp]。

(表面电阻值)

将实施例、对比例中的各黑色基质用着色抗蚀剂组合物用匀胶机以1μm的膜厚涂布在玻璃基板上,在100℃下预烘3分钟后,用高压汞灯曝光,再在230℃下后烘3小时,得到只在实地部形成的黑色抗蚀剂图案。用advance公司制,主体:微安计r8340,option:屏蔽箱r12702a测定得到的各实地部的黑色抗蚀剂图案的表面电阻值。

(od(1μ/m)(光学浓度))

将实施例、对比例的各黑色基质用着色抗蚀剂组合物用匀胶机以1μm膜厚涂布在玻璃基板上,在100℃预烘3分钟后,用高压汞灯曝光,再在230℃后烘3小时,得到只在实地部形成的黑色抗蚀剂图案。用macbeth浓度计(td-931,商品名,macbeth公司制)来测定得到的各实地部的黑色抗蚀剂图案的光学浓度(od值)。

测定8个位置的od并通过膜厚、颜料浓度进行校正,将除去最大、最小值后的od值的平均值作为光学浓度。

(用切刀切割涂膜,测定od值测定点的膜厚)

校正od值=实测od值×15.0/颜料浓度×1.0/实测膜厚值

(耐溶剂性(nmp抗性试验))

将实施例、对比例的各黑色基质用着色抗蚀剂组合物用匀胶机以1μm的膜厚涂布在玻璃基板(90nm×90nm)上,在100℃预烘3分钟后,用高压汞灯曝光,再在230℃后烘3小时,得到只在实地部形成的黑色抗蚀剂图案。接下来,将涂布板放在盘子上,添加加热到100℃的nmp,用铝箔封住,放入100℃的烤箱中,10分钟后取出,只将溶出液(nmp)回收到螺口瓶中。目视观察后,用分光光度计(uv-2500pc)测定溶出液的吸光度(300-1000nm,空白为nmp)。结果为记录最大峰值吸收。值越小越好。

(涂膜色相)

目视观察实施例、对比例的各黑色抗蚀剂图案的色相并评价色相。

如对比例a2,当仅大量使用作为着色剂的苝黑时,作为黑色基质用着色组物,与初始粘度相比在40℃下保存7天后的粘度变得更高,分散稳定性变差。其他的实施例和对比例中粘度没有变化,或者即使有也不明显。

根据仅使用碳黑作为着色剂的对比例b1,作为黑色基质用着色抗蚀剂组合物,其表面电阻值、耐溶剂性低。根据仅使用苝黑作为着色剂的对比例b2,作为黑色基质用着色抗蚀剂组合物,与初始粘度相比在40℃中保存7天后的粘度变得更高,分散稳定性变差,涂膜色相为紫色而非黑色。根据仅使用内酰胺黑作为着色剂的对比例b3,作为黑色基质用着色抗蚀剂组合物,耐溶剂性变差,涂膜色相为茶色而非黑色。根据使用内酰胺黑和pb60作为着色剂的对比例b4,作为黑色基质用着色抗蚀剂组合物,耐溶剂性变差。根据使用碳黑、内酰胺黑、pv23和pb60作为着色剂的对比例b5,作为黑色基质用着色抗蚀剂组合物,耐溶剂性依然变差。

相对于此,根据本发明的例子的实施例a1~a37及b1~b37,可以得到分散稳定性和耐溶剂性良好,表面电阻值和od值高,涂膜的色相为黑色这样的取得了均衡性的涂膜。

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