技术总结
本实用新型提供一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，包括底板、自下而上依次设置在底板上方的楔形滑块和竖向滑块、与竖向滑块的端部滑动配合且与底板相连的竖向导轨、用于驱动楔形滑块水平运动的直线电机、与楔形滑块相连的光栅尺、设置在底板上的读数头以及用于平衡竖向滑块及负载重力的气缸或恒力弹簧；所述竖向滑块与楔形滑块之间以及楔形滑块与底板之间分别设有一交叉滚珠导轨。本实用新型能够将楔形滑块的水平运动转化为竖向滑块的竖向运动，并通过光栅尺与读数头确定竖向滑块竖向运动的距离，从而满足在竖直方向上移动到指定长度的需求。
技术研发人员：张小鹏
受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备有限公司
技术研发日：2018.03.19
技术公布日：2018.10.19