一种基于步进器的透镜控制部的制作方法

本实用新型涉及透镜控制设备技术领域，具体涉及一种基于步进器的透镜控制部。

背景技术：

步进器是通过切换步进触点的方式将输入脉冲数转换成步进信号的器件。一般用电磁线圈通电驱动步进触点和电磁线圈断电驱动步进触点两种。多用于输入脉冲的计数、插孔操纵台转换回路、时序控制回路和多点巡回检测切换回路。

步进器内的透镜系控制部是步进器的重要组成部分，长时间的露光会导致透镜的热胀冷缩，为保证步进器重复曝光系统缩小投影镜头的解像力及套刻精度达到要求，需要引入镜头控制部来控制其倍率和聚焦点，现有的透镜控制部透镜照射量、晶片发射量、压力控制演算部和倍率的微量调整往往不能形成一体化，从而影响到倍率达不到规范值，降低了透镜控制部的实用性。

技术实现要素：

本实用新型目的是提供一种基于步进器的透镜控制部，提供一种控制效果好和聚焦精度高的透镜控制部。

为了实现以上目的，本实用新型采用的技术方案为：一种基于步进器的透镜控制部，包括晶片工作台、光源、缩小投影镜头、大气压传感器、压力调整部、压力计算机演算部和焦点计算机演算部，所述光源一端通过折返镜头设有与所述晶片工作台相连接的控制室，所述控制室内壁顶部和底部分别设有控制A 室和控制B室，所述控制室一侧通过所述压力调整部双向连接有所述压力计算机演算部，所述控制室另一侧连接有所述焦点计算机演算部，所述压力计算机演算部和所述焦点计算机演算部之间设有步进器重复曝光系统传感器，所述焦点计算机演算部输入端同时连接有所述大气压传感器和所述控制室，所述晶片工作台顶部的检测器连接有所述压力计算机演算部，所述压力计算机演算部输入端连接有位于所述光源和所述折返镜头之间的反射量传感器。

进一步的，所述折返镜头和所述控制室之间设有与所述光源相连接的对物镜头。

进一步的，所述控制室一侧安装有与焦点控制器双向连接的自动聚焦部。

进一步的，所述大气压传感器和反射量传感器型号分别为MIK-P300和 KFD2-STC4-EX2。

进一步的，所述压力计算机演算部输出端连接有显示装置。

本实用新型的技术效果在于：光源通过折返镜头进入到晶片工作台上的控制室，压力计算机演算部和焦点计算演算部分别能够计算光束在控制室的压力和焦点精度，大气压传感器配合步进器重复曝光系统传感器能够将晶片反射量和透镜照射量及时的反馈到控制室中，使得各个装置和系统形成一体化，然后由风箱驱动部通过管道驱动空气进入到透镜间的空隙，改变透镜间的空气密度，导致折射率的变化，从而影响倍率使其达到规范值，这样的步进器透镜控制部大大提高了使用性能，控制效果好和聚焦精度高，应用范围得到提高。

附图说明

图1为本实用新型基于步进器透镜控制部的结构示意图。

附图标记：1-晶片工作台；2-光源；3-缩小投影镜头；4-大气压传感器； 5-压力调整部；6-压力计算机演算部；7-焦点计算机演算部；8-折返镜头；9- 控制室；10-步进器重复曝光系统传感器；11-检测器；12-反射量传感器；13- 对物镜头；14-自动聚焦部；15-显示装置。

具体实施方式

参照附图1，一种基于步进器的透镜控制部，包括晶片工作台1、光源2、缩小投影镜头3、大气压传感器4、压力调整部5、压力计算机演算部6和焦点计算机演算部7，所述光源2一端通过折返镜头8设有与所述晶片工作台1相连接的控制室9，所述控制室9内壁顶部和底部分别设有控制A室和控制B室，所述控制室9一侧通过所述压力调整部5双向连接有所述压力计算机演算部6，所述控制室9另一侧连接有所述焦点计算机演算部7，所述压力计算机演算部6和所述焦点计算机演算部7之间设有步进器重复曝光系统传感器10，所述焦点计算机演算部7输入端同时连接有所述大气压传感器4和所述控制室9，所述晶片工作台1顶部的检测器11连接有所述压力计算机演算部6，所述压力计算机演算部6输入端连接有位于所述光源2和所述折返镜头8之间的反射量传感器12。

优选的，光源2通过折返镜头8进入到晶片工作台1上的控制室9，压力计算机演算部6和焦点计算机演算部7分别能够计算光束在控制室9的压力和焦点精度，大气压传感器4配合步进器重复曝光系统传感器10能够将晶片反射量和透镜照射量及时的反馈到控制室9中，使得各个装置和系统形成一体化，然后由风箱驱动部通过管道驱动空气进入到透镜间的空隙，改变透镜间的空气密度，导致折射率的变化，从而影响倍率使其达到规范值，这样的步进器透镜控制部大大提高了使用性能，控制效果好和聚焦精度高，应用范围得到提高。

优选的，所述折返镜头8和所述控制室9之间设有与所述光源2相连接的对物镜头13。

优选的，所述控制室9一侧安装有与焦点控制器双向连接的自动聚焦部14。

优选的，所述大气压传感器4和反射量传感器12型号分别为MIK-P300和 KFD2-STC4-EX2。

优选的，所述压力计算机演算部6输出端连接有显示装置15。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。