一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构的制作方法

本实用新型涉及驱动芯片金凸块封装领域，具体是一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构。

背景技术：

在金凸块封装光刻制程中，进行光阻涂布时会进行光阻去边清洗，通常是使用管路弯头喷洒溶剂至晶圆边缘以达到去除边缘光阻的目的，正如图2所示，但此结构工艺稳定性较差，导致洗边尺寸时常超出管控规格，而且由于溶剂飞溅也易造成PR Open不良，需要设计一种新型的光阻去边喷嘴结构，解决洗边尺寸时常超出管控规格以及溶剂飞溅造成PROpen的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，包括U型支架、空气喷嘴、节流阀、便拆部、溶剂运输管、清洁干燥空气制造器、电动阀和风机盒，所述U型支架竖直部分右侧固定安装有两个运输泵，运输泵沿前后方向设置，U型支架上方部分贯穿开设有第一通孔，第一通孔内固定安装有溶剂运输管一端，溶剂运输管的另一端固定安装在一个运输泵的输出端，U型支架的上方部分底部设置有便拆部，便拆部包括溶剂喷嘴安装槽，U型支架的上方部分底部开设有溶剂喷嘴安装槽，溶剂喷嘴安装槽顶部和溶剂运输管的输出端连通，溶剂喷嘴安装槽内螺纹安装有溶剂喷嘴安装座，溶剂喷嘴安装座内贯穿开设有通孔，溶剂喷嘴安装座底部固定安装有溶剂喷嘴，溶剂喷嘴和溶剂喷嘴安装座内部通孔连通，U型支架的上方部分顶部开设有安装槽，安装槽内设置有清洁干燥空气制造器，清洁干燥空气制造器包括风机盒，所述风机盒固定安装在安装槽内侧底部，风机盒内侧顶部固定安装有风机，风机盒的出风口处设置有出风管，风机的出风处正对出风管，U型支架上方部分贯穿开设有第二通孔，第二通孔和安装槽内部连通，出风管的固定安装在第二通孔内，位于U型支架上方部分的底部开设有空气喷嘴安装槽，第二通孔和空气喷嘴安装槽内部连通，空气喷嘴安装槽内螺纹安装有喷管螺纹底座，喷管螺纹底座内纵向贯穿开设有孔洞，喷管螺纹底座底部固定安装有空气喷管的一端，空气喷管的另一端螺纹安装有空气喷嘴，空气喷嘴内贯穿开设有空气喷孔，空气喷孔的底部设有电动阀，所述U型支架的下方部分所安装结构以及结构的连接关系和U型支架上方部分完全相同，U型支架内侧中央设置有晶圆。

作为本实用新型进一步的方案：其特征在于，所述溶剂喷嘴安装座顶部和溶剂喷嘴安装槽顶部连接处设置有防漏垫片。

作为本实用新型再进一步的方案：其特征在于，所述风机盒左右两侧贯穿开设有孔洞，孔洞内固定安装有空气干燥清洁网。

作为本实用新型再进一步的方案：其特征在于，所述U型支架竖直部分左侧转动安装有摄像头，U型支架竖直部分右侧固定安装有显示器。

作为本实用新型再进一步的方案：其特征在于，所述溶剂运输管底部固定安装有支架的一端，支架的另一端固定安装在U型支架上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本新型光阻去边喷嘴结构结构简单,使用方便，通过运输泵将溶剂泵入至溶剂喷嘴并喷出至晶圆，同时通过使用风机将过滤后的干燥清洁空气从空气喷嘴中喷出至晶圆上，同时分别喷出溶剂和清洁干燥空气，清洁干燥空气吹出可使溶剂呈现稳态，溶剂平稳流向晶圆的边缘，将光阻溶解去除，从而使光阻去边尺寸稳定可控，同时也防止溶剂飞溅造成PR Open不良从而提高产品的良率，通过摄像头监控光阻去边的实时情况，并通过显示器实时显示监控情况，方便操作人员通过调节节流阀和电动阀，对溶剂喷出的量进行调节，以及对空气喷嘴中喷出干燥清洁空气的流速进行调节，从而使得光阻去边尺寸更加稳定可靠。

附图说明

图1为光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构的结构示意图。

图2为传统光刻制程中光阻去边喷嘴结构设计的的结构示意图。

图3为光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构中空气喷嘴的放大图。

图4为光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构中清洁干燥空气制造器的放大图。

图5为光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构中便拆部的放大图。

图中:显示器1、运输泵2、U型支架3、摄像头4、空气喷嘴5、空气喷管6、喷管螺纹底座7、节流阀8、便拆部9、溶剂喷嘴10、晶圆11、溶剂运输管12、支架13、清洁干燥空气制造器14、安装槽15、空气喷孔16、电动阀17、出风管18、风机19、风机盒20、空气干燥清洁网21、溶剂喷嘴安装座22、溶剂喷嘴安装槽23和防漏垫片24。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～5，本实用新型实施例中，一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，包括显示器1、运输泵2、U型支架3、摄像头4、空气喷嘴5、空气喷管6、喷管螺纹底座7、节流阀8、便拆部9、溶剂喷嘴10、晶圆11、溶剂运输管12、支架13、清洁干燥空气制造器14、安装槽15、空气喷孔16、电动阀17、出风管18、风机19、风机盒20、空气干燥清洁网21、溶剂喷嘴安装座22、溶剂喷嘴安装槽23和防漏垫片24，所述U型支架竖直部分右侧固定安装有两个运输泵2，运输泵2沿前后方向设置，U型支架3上方部分贯穿开设有第一通孔，第一通孔内固定安装有溶剂运输管12一端，溶剂运输管12的另一端固定安装在一个运输泵2的输出端，U型支架3的上方部分底部设置有便拆部9，便拆部9包括溶剂喷嘴安装座22和溶剂喷嘴安装槽23，U型支架3的上方部分底部开设有溶剂喷嘴安装槽23，溶剂喷嘴安装槽23顶部和溶剂运输管12的输出端连通，溶剂喷嘴安装槽内螺纹安装有溶剂喷嘴安装座22，溶剂喷嘴安装座22内贯穿开设有通孔，溶剂喷嘴安装座22底部固定安装有溶剂喷嘴11，溶剂喷嘴11和溶剂喷嘴安装座22内部通孔连通，U型支架3的上方部分顶部开设有安装槽15，安装槽15内设置有清洁干燥空气制造器14，清洁干燥空气制造器14包括出风管18、风机19和风机盒20，所述风机盒固定安装在安装槽15内侧底部，风机盒20内侧顶部固定安装有风机19，风机盒20的出风口处设置有出风管18，风机19的出风处正对出风管18，U型支架3上方部分贯穿开设有第二通孔，第二通孔和安装槽15内部连通，出风管18的固定安装在第二通孔内，位于U型支架上方部分的底部开设有空气喷嘴安装槽，第二通孔和空气喷嘴安装槽内部连通，空气喷嘴安装槽内螺纹安装有喷管螺纹底座7，喷管螺纹底座7内纵向贯穿开设有孔洞，喷管螺纹底座7底部固定安装有空气喷管6的一端，空气喷管6的另一端螺纹安装有空气喷嘴5，空气喷嘴内贯穿开设有空气喷孔16，空气喷孔16的底部设有电动阀17，所述U型支架3的下方部分所安装结构以及结构的连接关系和U型支架3上方部分完全相同，U型支架3内侧中央设置有晶圆11，所述溶剂喷嘴安装座22顶部和溶剂喷嘴安装槽23顶部连接处设置有防漏垫片24，所述风机盒20左右两侧贯穿开设有孔洞，孔洞内固定安装有空气干燥清洁网21，所述U型支架3竖直部分左侧转动安装有摄像头4，U型支架3竖直部分右侧固定安装有显示器1，所述溶剂运输管12底部固定安装有支架13的一端，支架13的另一端固定安装在U型支架3上，使用该光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，将晶圆11放入U型支架3内，通过运输泵2将溶剂泵入至溶剂喷嘴10，从溶剂喷嘴10中喷出至晶圆11，同时启用风机19将过滤后的干燥清洁空气从空气喷嘴5中喷出至晶圆11上，同时分别喷出溶剂和清洁干燥空气，清洁干燥空气吹出可使溶剂呈现稳态，溶剂平稳流向晶圆的边缘，将光阻溶解去除，从而使光阻去边尺寸稳定可控，同时也防止溶剂飞溅造成PR Open不良从而提高产品的良率，通过摄像头4监控光阻去边的实时情况，并通过显示器1实时显示监控情况，方便操作人员通过调节节流阀8和电动阀17，对溶剂喷出的量进行调节，以及对空气喷嘴5中喷出干燥清洁空气的流速进行调节，从而使得光阻去边尺寸更加稳定可靠，通过溶剂喷嘴安装座22螺纹安装和拆卸，便于溶剂喷嘴10拆卸，避免长时间使用堵塞后影响溶剂喷出效果。

本实用新型的工作原理是：使用该光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，将晶圆11放入U型支架3内，通过运输泵2将溶剂泵入至溶剂喷嘴10，从溶剂喷嘴10中喷出至晶圆11，同时启用风机19将过滤后的干燥清洁空气从空气喷嘴5中喷出至晶圆11上，同时分别喷出溶剂和清洁干燥空气，清洁干燥空气吹出可使溶剂呈现稳态，溶剂平稳流向晶圆的边缘，将光阻溶解去除，从而使光阻去边尺寸稳定可控，同时也防止溶剂飞溅造成PR Open不良从而提高产品的良率，通过摄像头4监控光阻去边的实时情况，并通过显示器1实时显示监控情况，方便操作人员通过调节节流阀8和电动阀17，对溶剂喷出的量进行调节，以及对空气喷嘴5中喷出干燥清洁空气的流速进行调节，从而使得光阻去边尺寸更加稳定可靠。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。